JPH01143385A - Ｘ線レーザー発振源 - Google Patents
Ｘ線レーザー発振源Info
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- JPH01143385A JPH01143385A JP29978087A JP29978087A JPH01143385A JP H01143385 A JPH01143385 A JP H01143385A JP 29978087 A JP29978087 A JP 29978087A JP 29978087 A JP29978087 A JP 29978087A JP H01143385 A JPH01143385 A JP H01143385A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S4/00—Devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in wave ranges other than those covered by groups H01S1/00, H01S3/00 or H01S5/00, e.g. phonon masers, X-ray lasers or gamma-ray lasers
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、Ｘ線領域に属する波長の光を発生するＸ線レ
ーザー発振源に関し、特に、レーザー生成プラズマを衝
突せしめてプラズマ中イオンに反転分布を形成させるＸ
線レーザー発振源に関する。
ーザー発振源に関し、特に、レーザー生成プラズマを衝
突せしめてプラズマ中イオンに反転分布を形成させるＸ
線レーザー発振源に関する。
［従来の技術］
近年、レーザーを固体乙こ集光照射することによりプラ
ズマを発生せしめ、これにより線スペクトルＸ線を発光
させるＸ線レーザー発振源が利用されている。
ズマを発生せしめ、これにより線スペクトルＸ線を発光
させるＸ線レーザー発振源が利用されている。
しかし、従来のＸ線レーザー発振源では、単一レーザー
を固体に照射し、これにより生成したプラズマから発光
するＸ線を利用していた。すなわぢ、生成したプラズマ
が固体に衝突する場合の高速クーリング、あるいは単一
プラズマ中での遷移を利用してＸ線を発生させていた。
を固体に照射し、これにより生成したプラズマから発光
するＸ線を利用していた。すなわぢ、生成したプラズマ
が固体に衝突する場合の高速クーリング、あるいは単一
プラズマ中での遷移を利用してＸ線を発生させていた。
し解決すべき問題点］
上述した従来のＸ線レーザー発振源は、単一レーザーに
よって生成した単一プラズマを利用するものであったた
め、イオンの励起はそれ自身てしか行なわれず、また、
プラズマの容量はレーザーの集光度によって制限され、
むやみに大きくするこ料ができないため、プラズマの反
転分布形成を十分に行なうことができないという問題点
があった。
よって生成した単一プラズマを利用するものであったた
め、イオンの励起はそれ自身てしか行なわれず、また、
プラズマの容量はレーザーの集光度によって制限され、
むやみに大きくするこ料ができないため、プラズマの反
転分布形成を十分に行なうことができないという問題点
があった。
さらに、レーザー生成プラズマによって発生するＸ線に
は、イオンを励起する作用があり、特に、レーザーを照
射する固体の法線方向で最大の強度を有しているが、従
来のＸ線レーザー発振源では、単一プラズマを利用して
いたため、発生されたＸ線によるイオンの励起を有効に
利用てきないという問題点もあった。
は、イオンを励起する作用があり、特に、レーザーを照
射する固体の法線方向で最大の強度を有しているが、従
来のＸ線レーザー発振源では、単一プラズマを利用して
いたため、発生されたＸ線によるイオンの励起を有効に
利用てきないという問題点もあった。
本発明は、上記問題点にかんがみてなされたもので、プ
ラズマの反転分布形成を助長し、Ｘ線レーザーの発生効
率を上げることが可能なＸ線レーザー発振源の提供を目
的とする。
ラズマの反転分布形成を助長し、Ｘ線レーザーの発生効
率を上げることが可能なＸ線レーザー発振源の提供を目
的とする。
［問題点の解決手段］
上記目的を達成するため、本発明のＸ線レーザー発振源
は、互いに略９０°の角度で面する二面を有し、レーザ
ーを照射することによってＸ線発光プラズマを発生させ
る固体と、この固体が有する二面のそれぞれにレーザー
を照射するにあたり、その照射面の法線が交差する位置
にレーザーを照射するレーザー集光手段とを備えた構成
としである。
は、互いに略９０°の角度で面する二面を有し、レーザ
ーを照射することによってＸ線発光プラズマを発生させ
る固体と、この固体が有する二面のそれぞれにレーザー
を照射するにあたり、その照射面の法線が交差する位置
にレーザーを照射するレーザー集光手段とを備えた構成
としである。
かかる構成とすることにより、固体に二本のレーザーを
集光照射した際、二か所から発生したプラズマが衝突し
、容易にプラズマの再結合が行なわれる結果、連続Ｘ線
発光や高速電子−イオン衝突が可能となり、プラズマ中
のイオンの反転分布形成を助長せしめ、Ｘ線レーザーの
発生効率を高めることができる。
集光照射した際、二か所から発生したプラズマが衝突し
、容易にプラズマの再結合が行なわれる結果、連続Ｘ線
発光や高速電子−イオン衝突が可能となり、プラズマ中
のイオンの反転分布形成を助長せしめ、Ｘ線レーザーの
発生効率を高めることができる。
［実施例コ
以下、図面にもとづいて本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の一実施例に係るＸ線レーザー発振源に
おけるプラズマ発生部の断面図、第２図は第１図のＸ線
レーザー発振源におけるプラズマ発生後のプラズマ発生
部の側面図、第３図は第１図のＸ線レーザー発振源の斜
視図である。
おけるプラズマ発生部の断面図、第２図は第１図のＸ線
レーザー発振源におけるプラズマ発生後のプラズマ発生
部の側面図、第３図は第１図のＸ線レーザー発振源の斜
視図である。
第１〜３図において、１は９０°程度に折った固体板、
２は集光レンズ、３はミラーである。そして、図示して
いないレーザー発振器からレーザー増幅器を経て出力さ
れた高出力レーザー５をミラー３によって反射させ、さ
らに集光レンズ２によって固体板１上に集光照射する。
２は集光レンズ、３はミラーである。そして、図示して
いないレーザー発振器からレーザー増幅器を経て出力さ
れた高出力レーザー５をミラー３によって反射させ、さ
らに集光レンズ２によって固体板１上に集光照射する。
これによって、固体板１上にプラズマ６が発生する。な
お、本実施例では、この二本の高出力レーザー５は波長
０．２５μｍ程度から１．１μｍ程度のものを使用して
いる。
お、本実施例では、この二本の高出力レーザー５は波長
０．２５μｍ程度から１．１μｍ程度のものを使用して
いる。
上記構成において、二本のレーザーは、９０゜程度に折
られた固体板１に同時に集光照射され、プラズマ化され
る。このとき、二本のレーザー５は９０″程度で面する
二面のそれぞれに照射されている。このため、二か所か
ら発生したプラズマ６は、第２図に示すように、固体板
１の中央部で互いに衝突し、高速に再結合されて連続Ｘ
線を発生する。
られた固体板１に同時に集光照射され、プラズマ化され
る。このとき、二本のレーザー５は９０″程度で面する
二面のそれぞれに照射されている。このため、二か所か
ら発生したプラズマ６は、第２図に示すように、固体板
１の中央部で互いに衝突し、高速に再結合されて連続Ｘ
線を発生する。
また、それぞれのプラズマ６は連続あるいはスペクトル
Ｘ線を発生するが、それによってプラズマのイオンが励
起されるのは上述した通りである。
Ｘ線を発生するが、それによってプラズマのイオンが励
起されるのは上述した通りである。
また、その際に、固体の法線方向のＸ線はその作用の強
度が最も強いことも上述した。
度が最も強いことも上述した。
しかるに、この場合、その法線方向のＸ線が他方のプラ
ズマに有効に作用し、プラズマ中のイオンの励起を促進
する。
ズマに有効に作用し、プラズマ中のイオンの励起を促進
する。
さらに、プラズマ衝突によって高速電子−イオン衝突が
起こり易くなるため、イオンを励起する作用がより強く
なる。
起こり易くなるため、イオンを励起する作用がより強く
なる。
なお、本発明は上記実施例に限定されるものでなく、要
旨の範囲内における種々変形例を含むものである。例え
ば、上述の実施例では、−枚の固体板を折り曲げたもの
を利用しているが、二枚の固体板を別個に設置すること
もてきる。また、レーザーの数も二本には限られない。
旨の範囲内における種々変形例を含むものである。例え
ば、上述の実施例では、−枚の固体板を折り曲げたもの
を利用しているが、二枚の固体板を別個に設置すること
もてきる。また、レーザーの数も二本には限られない。
さらに、固体を切り欠いて互いに略９０°で面する二面
を作ることもてきる。
を作ることもてきる。
［発明の効果］
以上説明したように本発明は、二本のレーザーを固体に
照射して発生する二つのプラズマをごく近傍に置くこと
ができ、プラズマの衝突による再結合連続Ｘ線の発光、
および発光した連続Ｘ線やスペクトルＸ線によるイオン
の励起、さらには高速電子−イオン衝突によるイオンの
励起を容易にする結果、プラズマの反転分布形成を助長
することができ、Ｘ線レーザーの発生効率が高いＸ線レ
ーザー発振源を提供できるという効果がある。
照射して発生する二つのプラズマをごく近傍に置くこと
ができ、プラズマの衝突による再結合連続Ｘ線の発光、
および発光した連続Ｘ線やスペクトルＸ線によるイオン
の励起、さらには高速電子−イオン衝突によるイオンの
励起を容易にする結果、プラズマの反転分布形成を助長
することができ、Ｘ線レーザーの発生効率が高いＸ線レ
ーザー発振源を提供できるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例に係るＸ線レーザー発振源に
おけるプラズマ発生部の断面図、第２図は第１図のＸ線
レーザー発振源におけるプラズマ発生後のプラズマ発生
部の側面図、第３図は第１図のＸ線レーザー発振源の斜
視図である。 １：固体板 ２：集光レンズ ３：ミラー ５：レーザー ６：プラズマ
おけるプラズマ発生部の断面図、第２図は第１図のＸ線
レーザー発振源におけるプラズマ発生後のプラズマ発生
部の側面図、第３図は第１図のＸ線レーザー発振源の斜
視図である。 １：固体板 ２：集光レンズ ３：ミラー ５：レーザー ６：プラズマ
Claims (2)
- （１）互いに略９０°の角度で面する二面を有し、レー
ザーを照射することによってＸ線発光プラズマを発生さ
せる固体と、この固体が有する二面のそれぞれにレーザ
ーを照射するにあたり、その照射面の法線が交差する位
置にレーザーを照射するレーザー集光手段とを具備する
ことを特徴とするＸ線レーザー発振源。 - （２）前記固体が、略９０°に折り曲げた固体板である
特許請求の範囲第１項記載のＸ線レーザー発振源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29978087A JPH01143385A (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | Ｘ線レーザー発振源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29978087A JPH01143385A (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | Ｘ線レーザー発振源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01143385A true JPH01143385A (ja) | 1989-06-05 |
Family
ID=17876863
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29978087A Pending JPH01143385A (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | Ｘ線レーザー発振源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01143385A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000060909A1 (fr) * | 1999-03-31 | 2000-10-12 | Japan As Represented By Director General Of Agency Of Industrial Science And Technology | Source de lumiere laser plasma et procede de production de rayonnement l'utilisant |
| EP1309234A3 (en) * | 2001-10-25 | 2009-04-01 | National Institute of Advanced Industrial Science and Technology | Method and apparatus for elimination of high energy ions from EUV radiating device |
-
1987
- 1987-11-30 JP JP29978087A patent/JPH01143385A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000060909A1 (fr) * | 1999-03-31 | 2000-10-12 | Japan As Represented By Director General Of Agency Of Industrial Science And Technology | Source de lumiere laser plasma et procede de production de rayonnement l'utilisant |
| US6275565B1 (en) * | 1999-03-31 | 2001-08-14 | Agency Of Industrial Science And Technology | Laser plasma light source and method of generating radiation using the same |
| EP1309234A3 (en) * | 2001-10-25 | 2009-04-01 | National Institute of Advanced Industrial Science and Technology | Method and apparatus for elimination of high energy ions from EUV radiating device |
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