JPH01141828A - 石英ガラス管の製造方法 - Google Patents
石英ガラス管の製造方法Info
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- JPH01141828A JPH01141828A JP29741887A JP29741887A JPH01141828A JP H01141828 A JPH01141828 A JP H01141828A JP 29741887 A JP29741887 A JP 29741887A JP 29741887 A JP29741887 A JP 29741887A JP H01141828 A JPH01141828 A JP H01141828A
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- quartz glass
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- vessel
- heater
- rotating container
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 31
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B19/00—Other methods of shaping glass
- C03B19/09—Other methods of shaping glass by fusing powdered glass in a shaping mould
- C03B19/095—Other methods of shaping glass by fusing powdered glass in a shaping mould by centrifuging, e.g. arc discharge in rotating mould
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
の
この発明は石英ガラス管の製造方法に関する。
１３１日１【
たとえば半導体製造用に用いられる石英ガラス管は、一
般に透明な石英ガラスであり、気泡のほとんどない高純
度のものが要求される。
般に透明な石英ガラスであり、気泡のほとんどない高純
度のものが要求される。
従来、この種の石英ガラス管は、回転容器内に円筒状の
カーボン体を入れて、石英ガラス原料を回転容器とカー
ボン体の間に入れ、このカーボン体に直接通電して石英
ガラス原料を加熱溶融していた。
カーボン体を入れて、石英ガラス原料を回転容器とカー
ボン体の間に入れ、このカーボン体に直接通電して石英
ガラス原料を加熱溶融していた。
しかしこのようなやり方では、構造が複雑でしかもカー
ボン体は大型でカーボン材料の使用量が多くてコスト高
となっていた。また、この場合、気泡が石英ガラス管に
多く残った。
ボン体は大型でカーボン材料の使用量が多くてコスト高
となっていた。また、この場合、気泡が石英ガラス管に
多く残った。
１１へ１１
この発明は上述した問題点を解決するために、簡単な構
造で気泡の少ない高純度の石英ガラス管が作れ、カーボ
ン材料の使用が少くてすむ石英ガラス管の製造方法を提
供することを目的としている。
造で気泡の少ない高純度の石英ガラス管が作れ、カーボ
ン材料の使用が少くてすむ石英ガラス管の製造方法を提
供することを目的としている。
発！
この発明は特許請求の範囲第１項を要旨としている。
間 点を解゛するための
第１図を参照する。回転容器６内の石英ガラス原料を加
熱溶融する石英ガラス管を製造する際に、高周波誘導加
熱源（実施例では加熱器３）を回転容器６の回転軸方向
に移動することにより、回転容器６内に回転軸方向に挿
入されたカーボンヒータ９を加熱して石英ガラス原料（
実施例では石英粉１１）を加熱溶融する。
熱溶融する石英ガラス管を製造する際に、高周波誘導加
熱源（実施例では加熱器３）を回転容器６の回転軸方向
に移動することにより、回転容器６内に回転軸方向に挿
入されたカーボンヒータ９を加熱して石英ガラス原料（
実施例では石英粉１１）を加熱溶融する。
高周波加熱源を移動することにより、石英ガラス原料は
軸方向に徐々に溶融される。徐々に溶かしてゆくので溶
融石英ガラス中の気泡が消失しやすくなる。カーボンヒ
ータ９は高周波誘導加熱により、大型のものを必要とし
ない。
軸方向に徐々に溶融される。徐々に溶かしてゆくので溶
融石英ガラス中の気泡が消失しやすくなる。カーボンヒ
ータ９は高周波誘導加熱により、大型のものを必要とし
ない。
実」Ｅ医二り
第１図と第２図はこの発明の製造方法を実施するための
製造方法を示している。
製造方法を示している。
テーブル１には支柱２が立てられている。
高周波誘導加熱器３はチェーン４に取付けられている。
モータ５を回すことによりチェーン４を動かして、高周
波誘導加熱器３を支柱２に沿って矢印へ方向にガイドで
きるようになっている。
波誘導加熱器３を支柱２に沿って矢印へ方向にガイドで
きるようになっている。
外殻ともいう回転容器６は、上下にＭ７゜８を有してい
る。誘導加熱器３は回転容器６のまわりに配置しである
。誘導加熱器３の軸方向長は回転容器６の軸方向長より
短い。蓋７．８と回転容器６にはカーボンヒータ９が通
しである。この回転容器６はＢ方向に回転自在に設定さ
れている。回転容器６はたとえば内径１６５ ｍｍ、長
さ１９００ｍｍの鉄製のシリンダである。
る。誘導加熱器３は回転容器６のまわりに配置しである
。誘導加熱器３の軸方向長は回転容器６の軸方向長より
短い。蓋７．８と回転容器６にはカーボンヒータ９が通
しである。この回転容器６はＢ方向に回転自在に設定さ
れている。回転容器６はたとえば内径１６５ ｍｍ、長
さ１９００ｍｍの鉄製のシリンダである。
この回転容器６に中子１ｏを挿入し回転容器６を回転し
ながら中子１０を使用して、回転容器６と中子１０の間
に２０〜６０メツシユを８０％以上含有する高純度石英
粉１１を充填する。回転容器６内を真空又はＨｅ雰囲気
にして、この石英粉１１を遠心力により回転容器６に押
付ける。
ながら中子１０を使用して、回転容器６と中子１０の間
に２０〜６０メツシユを８０％以上含有する高純度石英
粉１１を充填する。回転容器６内を真空又はＨｅ雰囲気
にして、この石英粉１１を遠心力により回転容器６に押
付ける。
誘導加熱器３に通電して矢印へ方向に移動する。こ、の
移動により、カーボンヒータ９の誘導加熱器３に対応す
る部分を帯域的に加熱する。
移動により、カーボンヒータ９の誘導加熱器３に対応す
る部分を帯域的に加熱する。
これにより石英粉１１は上部から下部にかけて順に加熱
して徐々に回転軸方向に溶融することになる。このよう
にすることにより、石英粉１１全体を一度に加熱するの
に比べて、溶融中の石英の中の気泡が消失しやすくなる
。
して徐々に回転軸方向に溶融することになる。このよう
にすることにより、石英粉１１全体を一度に加熱するの
に比べて、溶融中の石英の中の気泡が消失しやすくなる
。
この結果、気泡の少い外径１３０ｍｍ、肉厚１ｏＩＩ１
ｍ、長さ１２００ｍｍの石英ガラス管を得た。
ｍ、長さ１２００ｍｍの石英ガラス管を得た。
Ｒ」し２匁」Ｌ
以上説明したように、気泡の少い高純度の石英ガラス管
が得られ、カーボン材料の使用も少くでき、構造が簡単
になる。
が得られ、カーボン材料の使用も少くでき、構造が簡単
になる。
第１図はこの発明の製造方法に用いられる製造装置、の
図、第２図は第１図のＸ−Ｘ線における断面図である。 ６・・・・・・・・・・・・回転容器 １１・・・・・・・・・石英粉
図、第２図は第１図のＸ−Ｘ線における断面図である。 ６・・・・・・・・・・・・回転容器 １１・・・・・・・・・石英粉
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 回転容器内の石英ガラス原料を加熱溶融す る石英ガラス管の製造方法において、高周波誘導加熱源
を回転容器の回転軸方向に移動することにより、回転容
器内に挿入されたカーボンヒータを加熱して石英ガラス
原料を加熱溶融することを特徴とする石英ガラス管の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29741887A JP2577585B2 (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 石英ガラス管の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29741887A JP2577585B2 (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 石英ガラス管の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01141828A true JPH01141828A (ja) | 1989-06-02 |
| JP2577585B2 JP2577585B2 (ja) | 1997-02-05 |
Family
ID=17846250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29741887A Expired - Lifetime JP2577585B2 (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 石英ガラス管の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2577585B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2018008365A1 (ja) * | 2016-07-08 | 2019-04-25 | ウシオ電機株式会社 | 光洗浄処理装置 |
-
1987
- 1987-11-27 JP JP29741887A patent/JP2577585B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2018008365A1 (ja) * | 2016-07-08 | 2019-04-25 | ウシオ電機株式会社 | 光洗浄処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2577585B2 (ja) | 1997-02-05 |
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