JPH01139753A - ダイヤモンド被覆工具 - Google Patents
ダイヤモンド被覆工具Info
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- JPH01139753A JPH01139753A JP29673487A JP29673487A JPH01139753A JP H01139753 A JPH01139753 A JP H01139753A JP 29673487 A JP29673487 A JP 29673487A JP 29673487 A JP29673487 A JP 29673487A JP H01139753 A JPH01139753 A JP H01139753A
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- JP
- Japan
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- diamond
- tool
- coating
- coating layer
- plasma jet
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
- C23C16/513—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using plasma jets
Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はプラズマジエッ１〜により合成したダイヤモン
ドを被覆した耐摩耗性を有する切削。
ドを被覆した耐摩耗性を有する切削。
研削、研磨用工具に関する。
［従来の技術１
従来、工具の耐磨耗性等を向上し寿命をのばすために、
イオンブレーティング等の表面処理により超硬質の被覆
を施したものが実用に供されている。硬質材料の工具と
してダイヤモンド工具は、ダイヤモンド粒子を焼結した
もの、またはバインダーを使用してダイヤモンド粒子を
工具上に固着したものが実用に供されている。
イオンブレーティング等の表面処理により超硬質の被覆
を施したものが実用に供されている。硬質材料の工具と
してダイヤモンド工具は、ダイヤモンド粒子を焼結した
もの、またはバインダーを使用してダイヤモンド粒子を
工具上に固着したものが実用に供されている。
し発明が解決しようとする問題点コ
しかしながら上記超硬質の被覆ではセラミックス等の材
質の切削、研削、研磨加工には適さず、焼結ダイヤモン
ド工具は材料、加工費が高く、また複雑な形状の工具に
は適さない。またＣＶＤ、 ＰＶＤ法を利用してダイヤ
モンドの被覆が行なわれているが母材との密着力が弱い
という欠点がある。
質の切削、研削、研磨加工には適さず、焼結ダイヤモン
ド工具は材料、加工費が高く、また複雑な形状の工具に
は適さない。またＣＶＤ、 ＰＶＤ法を利用してダイヤ
モンドの被覆が行なわれているが母材との密着力が弱い
という欠点がある。
本発明はこの点を鑑みて、工具母材上にプラズマジェッ
トを利用することにより、焼結ダイヤモンド工具等に匹
敵する耐摩耗性を得ることを目的とする。
トを利用することにより、焼結ダイヤモンド工具等に匹
敵する耐摩耗性を得ることを目的とする。
Ｅ問題点を解決するための手段］
本発明は工具母材上に、アーク放電により発生したプラ
ズマジェットを使用し、有歳化合物を分解または蒸発さ
せたダイヤセンド被覆層と、プラズマジェット中にバイ
ンダー用金属１合金またはガスを導入することにより形
成した被覆層で、ダイヤモンドを単位または多層に被覆
したダイヤモンド被覆工具である。
ズマジェットを使用し、有歳化合物を分解または蒸発さ
せたダイヤセンド被覆層と、プラズマジェット中にバイ
ンダー用金属１合金またはガスを導入することにより形
成した被覆層で、ダイヤモンドを単位または多層に被覆
したダイヤモンド被覆工具である。
し実施例１」
ＷＣＣ超超硬合金バイトデツププラズマ反応容器内に設
置し、＾ｒ：５０ｊ！／１ａｉｎ、Ｈ２：４．＆ｍｉｎ
、 Ｃ）＋４：４０ｍｊ！／１ｉｉｎを導入し、圧カフ
６０Ｔｏｒｒ、出力１０ＫＷでプラズマジェットを発生
させて１０分間被覆処理し、次にＡｒ：５０７７ｍ１ｎ
、ＷＣパウダー０．１ｇ／ｌｎを導入し、圧カフ６０Ｔ
ｏｒｒ、出力１０に−で３分間被覆処理する工程を３回
繰返した。約１０．のダイヤモンド粒子を含有する４０
ｆｉの被覆膜が生成し、ビッカース硬さは約７００ＯＮ
５Ｆ／ｍ！を示した。本発明品は無処理のバイトチップ
と比較して切削性、耐磨耗性に優れ約５倍の寿命を示し
た。
置し、＾ｒ：５０ｊ！／１ａｉｎ、Ｈ２：４．＆ｍｉｎ
、 Ｃ）＋４：４０ｍｊ！／１ｉｉｎを導入し、圧カフ
６０Ｔｏｒｒ、出力１０ＫＷでプラズマジェットを発生
させて１０分間被覆処理し、次にＡｒ：５０７７ｍ１ｎ
、ＷＣパウダー０．１ｇ／ｌｎを導入し、圧カフ６０Ｔ
ｏｒｒ、出力１０に−で３分間被覆処理する工程を３回
繰返した。約１０．のダイヤモンド粒子を含有する４０
ｆｉの被覆膜が生成し、ビッカース硬さは約７００ＯＮ
５Ｆ／ｍ！を示した。本発明品は無処理のバイトチップ
と比較して切削性、耐磨耗性に優れ約５倍の寿命を示し
た。
［実施例２］
ＴｉＣＪｆｆサーメット材バイトチツバイトチップ反応
容器内に設置し、＾ｒ＋５０ｊ！／ｍｉｎ、Ｈ２：４ｊ
！／１ｎ。
容器内に設置し、＾ｒ＋５０ｊ！／ｍｉｎ、Ｈ２：４ｊ
！／１ｎ。
ＣＨＡ ：４０ｍ１！／ｍｉｎを導入し、圧力１００Ｔ
ｏｒｒ、出力１０に−でプラズマジェットを発生させて
５分間被覆し、次にＡｒ：５０ｊ！／１ｎ、Ｔ１Ｃｌ＋
：５０ｍｊ！／ｍｉｎを導入し、圧力１００Ｔｏｒｒ
、出力１０に−で５分間被覆処理する工程を４回繰返し
た。約５−のダイヤモンド粒子を含有する４０膚の被１
１１Ａが生成し、ビッカース硬さは約７０００７（ｇ／
−を示した。本発明品は無処理のバイトチップと比較し
て切削性、耐磨耗性に優れ約５倍の寿命を示した。
ｏｒｒ、出力１０に−でプラズマジェットを発生させて
５分間被覆し、次にＡｒ：５０ｊ！／１ｎ、Ｔ１Ｃｌ＋
：５０ｍｊ！／ｍｉｎを導入し、圧力１００Ｔｏｒｒ
、出力１０に−で５分間被覆処理する工程を４回繰返し
た。約５−のダイヤモンド粒子を含有する４０膚の被１
１１Ａが生成し、ビッカース硬さは約７０００７（ｇ／
−を示した。本発明品は無処理のバイトチップと比較し
て切削性、耐磨耗性に優れ約５倍の寿命を示した。
［発明の効果］
本発明により、プラズマジェットにより合成されたダイ
ヤモンドは合成プロセスが簡単なために、容易に均一な
ダイヤモンド膜および形状と粒径の均一なダイヤモンド
粒子を広範囲な面積に付着することができる。気相合成
であることより複雑な形状の物であっても均一なダイヤ
モンドができる。ダイヤモンドとバインダーを同時に工
具上へ析出しているために工具との密着力が著しく高い
。工具母材としてはダイヤモンド析出中の温度で安定な
ものであれば良く、−殻内な工具に使用されている種々
の金属１合金の他、アルミナ、ジルコニア等のセラミッ
クスにも適用できる。これら工具母材上にダイヤモンド
の被覆を施すことにより耐摩耗性等の性質は著しく向上
した。本発明は切削、研削等の工具の寿命を著しくのば
し、ヤスリ、印字ピンの先端、切断用スリッター等の耐
磨耗工具に応用ができる。
ヤモンドは合成プロセスが簡単なために、容易に均一な
ダイヤモンド膜および形状と粒径の均一なダイヤモンド
粒子を広範囲な面積に付着することができる。気相合成
であることより複雑な形状の物であっても均一なダイヤ
モンドができる。ダイヤモンドとバインダーを同時に工
具上へ析出しているために工具との密着力が著しく高い
。工具母材としてはダイヤモンド析出中の温度で安定な
ものであれば良く、−殻内な工具に使用されている種々
の金属１合金の他、アルミナ、ジルコニア等のセラミッ
クスにも適用できる。これら工具母材上にダイヤモンド
の被覆を施すことにより耐摩耗性等の性質は著しく向上
した。本発明は切削、研削等の工具の寿命を著しくのば
し、ヤスリ、印字ピンの先端、切断用スリッター等の耐
磨耗工具に応用ができる。
ｖｆ許出出願人並木精密宝石株式会社
Claims (1)
- 工具母材上に、アーク放電により発生したプラズマジェ
ットを使用し、有機化合物を分解または蒸発させたダイ
ヤモンド被覆層と、プラズマジェット中にバインダー用
金属、合金またはガスを導入することにより形成した被
覆層で、ダイヤモンドを単層または多層に被覆したこと
を特徴とするダイヤモンド被覆工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29673487A JPH01139753A (ja) | 1987-11-25 | 1987-11-25 | ダイヤモンド被覆工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29673487A JPH01139753A (ja) | 1987-11-25 | 1987-11-25 | ダイヤモンド被覆工具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01139753A true JPH01139753A (ja) | 1989-06-01 |
Family
ID=17837405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29673487A Pending JPH01139753A (ja) | 1987-11-25 | 1987-11-25 | ダイヤモンド被覆工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01139753A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5260106A (en) * | 1990-08-03 | 1993-11-09 | Fujitsu Limited | Method for forming diamond films by plasma jet CVD |
| JPH08500187A (ja) * | 1992-12-14 | 1996-01-09 | コンバッション エンヂニアリング インコーポレーテッド | 燃料集合体及び制御集合体の部品用の耐摩耗性コーティング及び耐摩耗性コーティングの形成法 |
| WO1996005942A1 (en) * | 1994-08-24 | 1996-02-29 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article having a diamond-like coating layer and method |
| KR100612914B1 (ko) * | 2005-01-14 | 2006-08-16 | 한국과학기술연구원 | 아르곤 가스를 이용하여 기계적, 전기적 물성이 개질된경질 탄소박막과 그 제조방법 |
-
1987
- 1987-11-25 JP JP29673487A patent/JPH01139753A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5260106A (en) * | 1990-08-03 | 1993-11-09 | Fujitsu Limited | Method for forming diamond films by plasma jet CVD |
| US5382293A (en) * | 1990-08-03 | 1995-01-17 | Fujitsu Limited | Plasma jet CVD apparatus for forming diamond films |
| JPH08500187A (ja) * | 1992-12-14 | 1996-01-09 | コンバッション エンヂニアリング インコーポレーテッド | 燃料集合体及び制御集合体の部品用の耐摩耗性コーティング及び耐摩耗性コーティングの形成法 |
| WO1996005942A1 (en) * | 1994-08-24 | 1996-02-29 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article having a diamond-like coating layer and method |
| US5551959A (en) * | 1994-08-24 | 1996-09-03 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article having a diamond-like coating layer and method for making same |
| US5707409A (en) * | 1994-08-24 | 1998-01-13 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article having a diamond-like coating layer and method for making same |
| KR100612914B1 (ko) * | 2005-01-14 | 2006-08-16 | 한국과학기술연구원 | 아르곤 가스를 이용하여 기계적, 전기적 물성이 개질된경질 탄소박막과 그 제조방법 |
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