JPH01135942A - 振動吸収ユニット - Google Patents
振動吸収ユニットInfo
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- JPH01135942A JPH01135942A JP29292987A JP29292987A JPH01135942A JP H01135942 A JPH01135942 A JP H01135942A JP 29292987 A JP29292987 A JP 29292987A JP 29292987 A JP29292987 A JP 29292987A JP H01135942 A JPH01135942 A JP H01135942A
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
- F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
- F16F15/03—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using magnetic or electromagnetic means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F1/00—Springs
- F16F1/36—Springs made of rubber or other material having high internal friction, e.g. thermoplastic elastomers
- F16F1/40—Springs made of rubber or other material having high internal friction, e.g. thermoplastic elastomers consisting of a stack of similar elements separated by non-elastic intermediate layers
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は振動吸収ユニットに係り、特に除振・免震台と
基礎床等との間に配せられ、除振・免震台に生じる振動
を吸収する振動吸収ユニットに関する。
基礎床等との間に配せられ、除振・免震台に生じる振動
を吸収する振動吸収ユニットに関する。
クリーンルーム等において、各種の半導体製造装置が設
置され、これらの半導体製造装置の中には縮小投影型露
光装置等のように極端に振動を嫌う装置がある。このよ
うな振動を嫌う半導体製造装置（以下嫌振装置という。
置され、これらの半導体製造装置の中には縮小投影型露
光装置等のように極端に振動を嫌う装置がある。このよ
うな振動を嫌う半導体製造装置（以下嫌振装置という。
）は、クリーンルーム内の除振・免震台上に据え付けら
れる。除振・免震台は複数の振動吸収ユニット上に設け
られ、複数の振動吸収ユニットは除振・免震台に生じる
振動を吸収している。
れる。除振・免震台は複数の振動吸収ユニット上に設け
られ、複数の振動吸収ユニットは除振・免震台に生じる
振動を吸収している。
第３図は従来の振動吸収ユニットが使用された除振・免
震台の構造を示す説明図である。第３図に示すように基
礎床７１上の所定の位置には振動吸収ユニット７３が配
設される。第４図に示すように従来の振動吸収ユニット
７３は硬質ゴム板（弾性材）７５と金属板７７を交互に
積重して構成され、下端及び上端にはフランジ７９．７
９が取付けられる。下端のフランジ７９は基礎床７１に
固着され、上端のフランジ７９は支持板８１に固着され
る。
震台の構造を示す説明図である。第３図に示すように基
礎床７１上の所定の位置には振動吸収ユニット７３が配
設される。第４図に示すように従来の振動吸収ユニット
７３は硬質ゴム板（弾性材）７５と金属板７７を交互に
積重して構成され、下端及び上端にはフランジ７９．７
９が取付けられる。下端のフランジ７９は基礎床７１に
固着され、上端のフランジ７９は支持板８１に固着され
る。
基礎床７１と支持板８１との間には粘性減衰器８３が設
けられ、粘性減衰器８３は基礎床７１に取付けられる容
器８５と、容器、８５内に満たされる粘性液８７と、支
持板８１の下面に取付けられる抵抗部材８９とから構成
される。粘性減衰器８３は、支持板８１の振動と共に振
動する抵抗部材８９が粘性液８７中を振動することによ
って粘性液８７から抵抗を受け、支持板８１の振動を吸
収するようにしている。
けられ、粘性減衰器８３は基礎床７１に取付けられる容
器８５と、容器、８５内に満たされる粘性液８７と、支
持板８１の下面に取付けられる抵抗部材８９とから構成
される。粘性減衰器８３は、支持板８１の振動と共に振
動する抵抗部材８９が粘性液８７中を振動することによ
って粘性液８７から抵抗を受け、支持板８１の振動を吸
収するようにしている。
又、支持板８１上には重量物で形成された除振・免震台
９３が取付けられ、除振・免震台９３上には嫌振装置９
５が設置される。
９３が取付けられ、除振・免震台９３上には嫌振装置９
５が設置される。
ところで、除振・免震台９３に生じる固有振動数ｆは振
動吸収ユニット７３のばね定数及び除振・免震台及び搭
載装置の重、量によって決定される。
動吸収ユニット７３のばね定数及び除振・免震台及び搭
載装置の重、量によって決定される。
即ち詳細に説明すると、除振・免震台９３の固有振動数
ｆは次式によって表される。
ｆは次式によって表される。
πは円周率、Ｋは除振・免震台を支持する複数の振動吸
収ユニットのばね定数、Ｇは重力加速度（９８０ｃｍ／
ｓ’）及びＭは複数の振動吸収二ニット７３によって支
持される除振・免震台９３と搭載される嫌振装置９５と
の総重量（以下重量Ｍという。）を示す。
収ユニットのばね定数、Ｇは重力加速度（９８０ｃｍ／
ｓ’）及びＭは複数の振動吸収二ニット７３によって支
持される除振・免震台９３と搭載される嫌振装置９５と
の総重量（以下重量Ｍという。）を示す。
第５図は重量Ｍの増減と除振・免震台９３の固有振動数
ｆの相関関係図を示したものである。第５図に示すよう
に重量Ｍが軽量になるに従って振動数は高くなる。又、
第５図には除振・免震台に生じる各種の環境振動の振動
特性領域、即ち地震振動、屋外の自動車及び電車等の交
通振動、回転機器等の機械振動及び建屋振動等の振動数
の領域が示されている。
ｆの相関関係図を示したものである。第５図に示すよう
に重量Ｍが軽量になるに従って振動数は高くなる。又、
第５図には除振・免震台に生じる各種の環境振動の振動
特性領域、即ち地震振動、屋外の自動車及び電車等の交
通振動、回転機器等の機械振動及び建屋振動等の振動数
の領域が示されている。
これ等の振動数の分布から分かるように、従来の振動吸
収ユニット７３は重量Ｍが軽量になると、即ち、振動吸
収ユニット７３が鉛直方向から一定の力で押圧されてい
ないと、除振・免震台９３は交通振動及び建物振動等の
環境振動及び機械振動等のミクロン（１０−’ｍ）オー
ダの振動と共振することがわかる。従って、除振・免震
台９３上に載置される嫌振装置９５が軽量で定格重量物
に満たない場合に問題が生じるので、除振・免震台９３
は錘として十分な重量即ち第５図に示す定格重量Ｍ。に
形成されている。
収ユニット７３は重量Ｍが軽量になると、即ち、振動吸
収ユニット７３が鉛直方向から一定の力で押圧されてい
ないと、除振・免震台９３は交通振動及び建物振動等の
環境振動及び機械振動等のミクロン（１０−’ｍ）オー
ダの振動と共振することがわかる。従って、除振・免震
台９３上に載置される嫌振装置９５が軽量で定格重量物
に満たない場合に問題が生じるので、除振・免震台９３
は錘として十分な重量即ち第５図に示す定格重量Ｍ。に
形成されている。
このような構成において、基礎床７１の除振・免震台９
３との間に生じる振動は効率良く振動吸収ユニット７３
によって吸収されるので、嫌振装置９５に振動による悪
影響を与えることがない。
３との間に生じる振動は効率良く振動吸収ユニット７３
によって吸収されるので、嫌振装置９５に振動による悪
影響を与えることがない。
この場合、除振・免震台９３は第５図に示すように定格
重量Ｍ。に形成されるので、搭載嫌振装置９５の重量に
ほとんど影響されずに定格面を振動数ｆｏ で振動する
ことになる。従って、除振・免震台９３は各振動成分に
対して定格固有振動数ｆ。で振動するため、地震時にお
いては地震振動の振動成分と共振せず、搭載嫌振装置９
５は免震台９３上で転倒する虞がない。又、常時生じる
交通振動、建屋振動及び機械振動等のようなミクロンオ
ーダの振動においても、共振は全く見られず、嫌振装置
９５である電子顕微鏡等は画像のぶれがな（、又、縮小
投影型露光装置等では配線パターンの短絡等が生じない
。
重量Ｍ。に形成されるので、搭載嫌振装置９５の重量に
ほとんど影響されずに定格面を振動数ｆｏ で振動する
ことになる。従って、除振・免震台９３は各振動成分に
対して定格固有振動数ｆ。で振動するため、地震時にお
いては地震振動の振動成分と共振せず、搭載嫌振装置９
５は免震台９３上で転倒する虞がない。又、常時生じる
交通振動、建屋振動及び機械振動等のようなミクロンオ
ーダの振動においても、共振は全く見られず、嫌振装置
９５である電子顕微鏡等は画像のぶれがな（、又、縮小
投影型露光装置等では配線パターンの短絡等が生じない
。
しかしながら、このような従来の振動吸収ユニット７３
を用いた除振・免震台の構造では、搭載される嫌振装置
９５の重量に影響されずにミクロンオーダの微振動も十
分に吸収できるようにするため、総重量が数トン乃至数
十トンにも及ぶ定格重量ＭＯの除振・免震台９３を振動
吸収ユニット７３上に取付ける必要がある。このような
重量物の除振・免震台９３の取付けは、手間がかかるだ
けでなく、除振・免震台自身が嵩張り、その台の位置が
基礎床から高くなり、嫌振装置９５はその搭載が不安定
になる不具合がある。
を用いた除振・免震台の構造では、搭載される嫌振装置
９５の重量に影響されずにミクロンオーダの微振動も十
分に吸収できるようにするため、総重量が数トン乃至数
十トンにも及ぶ定格重量ＭＯの除振・免震台９３を振動
吸収ユニット７３上に取付ける必要がある。このような
重量物の除振・免震台９３の取付けは、手間がかかるだ
けでなく、除振・免震台自身が嵩張り、その台の位置が
基礎床から高くなり、嫌振装置９５はその搭載が不安定
になる不具合がある。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、軽量
な機器を搭載した場合にも、除振・免震台に生じる地震
振動又は環境振動を十分に吸収することができる振動吸
収ユニットを提案することを目的としている。
な機器を搭載した場合にも、除振・免震台に生じる地震
振動又は環境振動を十分に吸収することができる振動吸
収ユニットを提案することを目的としている。
本発明は前記目的を達成するために、除振・免震台と基
礎床等との間に配せられ、除振・免震台に生じる振動を
吸収する振動吸収ユニットに於いて、弾性材と磁性材と
を交互に積重して構成し、弾性材を挾・んで隣接する磁
性材同士が互いに磁力によって吸引するように配せられ
ることを特徴とする。
礎床等との間に配せられ、除振・免震台に生じる振動を
吸収する振動吸収ユニットに於いて、弾性材と磁性材と
を交互に積重して構成し、弾性材を挾・んで隣接する磁
性材同士が互いに磁力によって吸引するように配せられ
ることを特徴とする。
本発明に係る振動吸収ユニットによれば、磁性材は弾性
材をサンドイッチ状に挟み、隣接する磁性材同士は磁力
によって相互に吸引する。この吸引力は弾性材を押圧し
、重量物の除振・免震台で弾性材を押圧する時と同様な
作用が働く。従って、磁力の吸引力は重量物の免震台の
代わりとなり、振動吸収ユニットは除振・免震台及び搭
載嫌振装置の重量に左右されることなべ、定格固有振動
数を有し、地震振動及びミクロンオーダの環境振動と共
に共振することなく、除振・免震台に生じるこれ等の振
動を吸収することができる。
材をサンドイッチ状に挟み、隣接する磁性材同士は磁力
によって相互に吸引する。この吸引力は弾性材を押圧し
、重量物の除振・免震台で弾性材を押圧する時と同様な
作用が働く。従って、磁力の吸引力は重量物の免震台の
代わりとなり、振動吸収ユニットは除振・免震台及び搭
載嫌振装置の重量に左右されることなべ、定格固有振動
数を有し、地震振動及びミクロンオーダの環境振動と共
に共振することなく、除振・免震台に生じるこれ等の振
動を吸収することができる。
以下添付図面に従って本発明に係る振動吸収ユニットの
好ましい実施例を詳説する。
好ましい実施例を詳説する。
第１図は本発明に係る振動吸収ユニットが用いられた除
振・免震台の構造の説明図である。第１図に示すように
基礎床ｌＯ上の所定の位置には本発明に係る振動吸収ユ
ニット１２．１２・・・が取付けられる。振動吸収ユニ
ット１２は第２図に示すようにゴム板１４と磁性板１６
とを交互に積重して円柱状に形成される。隣接する磁性
板１６同士は第２図の矢印Ａに示すようにゴム板１４を
サンドイッチ状に挟んで磁力によって相互に吸引するよ
うに配置されている。磁性板１６の磁力は、１０４ ガ
ウス程度の磁束密度を有する高磁性体からなり、磁性板
１６同士の吸引力は数ｋｇ／ｃＩ１１２程度の吸引力が
得られるようになっている。
振・免震台の構造の説明図である。第１図に示すように
基礎床ｌＯ上の所定の位置には本発明に係る振動吸収ユ
ニット１２．１２・・・が取付けられる。振動吸収ユニ
ット１２は第２図に示すようにゴム板１４と磁性板１６
とを交互に積重して円柱状に形成される。隣接する磁性
板１６同士は第２図の矢印Ａに示すようにゴム板１４を
サンドイッチ状に挟んで磁力によって相互に吸引するよ
うに配置されている。磁性板１６の磁力は、１０４ ガ
ウス程度の磁束密度を有する高磁性体からなり、磁性板
１６同士の吸引力は数ｋｇ／ｃＩ１１２程度の吸引力が
得られるようになっている。
又、円筒状の振動吸収ユニット１２の上端及び下端には
、フランジ１８．１８が圧着される。下端のフランジ１
８は基礎床１０に固着され、上端のフランジ１８は除振
・免震台２０の下面に固着される。除振・免震台２０は
軽量なプレートで形成され、上面には嫌振装置２２が載
置される。
、フランジ１８．１８が圧着される。下端のフランジ１
８は基礎床１０に固着され、上端のフランジ１８は除振
・免震台２０の下面に固着される。除振・免震台２０は
軽量なプレートで形成され、上面には嫌振装置２２が載
置される。
基礎床１０と除振・免震台２０との間には粘性減衰器２
４が設けられ、粘性減衰器２４は基礎床１０に取付けら
れる容器２６と一容器２６内に満たされる粘性液２８と
、除振・免震台２０の下面に取付けられ下端部が粘性液
２８中に没入される抵抗部材３０とから構成される。
４が設けられ、粘性減衰器２４は基礎床１０に取付けら
れる容器２６と一容器２６内に満たされる粘性液２８と
、除振・免震台２０の下面に取付けられ下端部が粘性液
２８中に没入される抵抗部材３０とから構成される。
前記の如く構成された本発明に係る振動吸収ユニットに
よれば、基礎床１０と除振・免震台２０との間に生じた
振動は、振動吸収ユニット１２．１２・・・によって効
率良く吸収される。この場合に振動吸収ユニット１２で
は、磁性板１６同士の相互の吸引力により重量物の免震
台で押圧すると同様な力がゴム板１４に作用する。
よれば、基礎床１０と除振・免震台２０との間に生じた
振動は、振動吸収ユニット１２．１２・・・によって効
率良く吸収される。この場合に振動吸収ユニット１２で
は、磁性板１６同士の相互の吸引力により重量物の免震
台で押圧すると同様な力がゴム板１４に作用する。
即ち、磁性板１６同士の磁気吸引力は数トン乃至数十ト
ンにおよぶ重量物の除振・免震台の押圧力を振動吸収ユ
ニット１２に与える作用を有する。
ンにおよぶ重量物の除振・免震台の押圧力を振動吸収ユ
ニット１２に与える作用を有する。
このため、振動吸収ユニット１２上の除振・免震台２０
の固有振動数ｆは、除振・免震台２０が軽量であるにも
かかわらず、定格面を振動数ｆ０と同様な低いものが得
られ、地震振動だけでなく、屋外の自動車、電車による
交通振動、及び屋内のモータ、ファン等の回転機器の機
器振動等のミクロンオーダの微振動をも吸収して除振・
免震台２０の除振・免震を行っている。
の固有振動数ｆは、除振・免震台２０が軽量であるにも
かかわらず、定格面を振動数ｆ０と同様な低いものが得
られ、地震振動だけでなく、屋外の自動車、電車による
交通振動、及び屋内のモータ、ファン等の回転機器の機
器振動等のミクロンオーダの微振動をも吸収して除振・
免震台２０の除振・免震を行っている。
以上説明したように本発明に係る振動吸収ユニットによ
れば、弾性材と磁性材とを交互に積重して構成し、隣接
する磁性材同士を弾性材を挟んで相互に磁力によって吸
引するように配置しているので、振動吸収ユニットは軽
量な除振・免震台及び搭載機器に適用した場合でも、地
震振動又はミクロンオーダの振動に共振せずにその振動
を吸収することができる。
れば、弾性材と磁性材とを交互に積重して構成し、隣接
する磁性材同士を弾性材を挟んで相互に磁力によって吸
引するように配置しているので、振動吸収ユニットは軽
量な除振・免震台及び搭載機器に適用した場合でも、地
震振動又はミクロンオーダの振動に共振せずにその振動
を吸収することができる。
第１図は本発明に係る振動吸収ユニットが用いられた除
振・免震床の構造の説明図、第２図は本発明に係る振動
吸収ユニットの断面図、第３図は従来の振動吸収ユニッ
トを用いた除振・免震床の構造の説明図、第４図は従来
の振動吸収ユニットの断面図、第５図は従来の振動吸収
ユニットに加わる重量と固有振動数の相関関係図である
。 １０・・・基礎床、 １２・・・振動吸収ユニット、１
４・・・ゴム材、 １６・・・磁性板、 ２０・・・
除振・免震台、 ２２・・・嫌振装置。
振・免震床の構造の説明図、第２図は本発明に係る振動
吸収ユニットの断面図、第３図は従来の振動吸収ユニッ
トを用いた除振・免震床の構造の説明図、第４図は従来
の振動吸収ユニットの断面図、第５図は従来の振動吸収
ユニットに加わる重量と固有振動数の相関関係図である
。 １０・・・基礎床、 １２・・・振動吸収ユニット、１
４・・・ゴム材、 １６・・・磁性板、 ２０・・・
除振・免震台、 ２２・・・嫌振装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 除振・免震台と基礎床等との間に配せられ、除振・免震
台に生じる振動を吸収する振動吸収ユニットに於いて、 弾性材と磁性材とを交互に積重して構成し、弾性材を挟
んで隣接する磁性材同士が互いに磁力によって吸引する
ように配せられることを特徴とする振動吸収ユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29292987A JPH01135942A (ja) | 1987-11-19 | 1987-11-19 | 振動吸収ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29292987A JPH01135942A (ja) | 1987-11-19 | 1987-11-19 | 振動吸収ユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01135942A true JPH01135942A (ja) | 1989-05-29 |
Family
ID=17788234
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29292987A Pending JPH01135942A (ja) | 1987-11-19 | 1987-11-19 | 振動吸収ユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01135942A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06174008A (ja) * | 1992-11-30 | 1994-06-21 | Masao Akimoto | 振動や衝撃を発生する機械の支持装置 |
| WO2002023062A1 (en) * | 2000-09-15 | 2002-03-21 | Ultra Electronics Limited | A vibration isolation mount |
| JP2007021016A (ja) * | 2005-07-20 | 2007-02-01 | Terumo Corp | 薬剤自動調剤システム |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60168875A (ja) * | 1984-02-09 | 1985-09-02 | 株式会社竹中工務店 | 免震支持装置 |
| JPS61165044A (ja) * | 1985-01-16 | 1986-07-25 | Kajima Corp | 防振、免震装置 |
| JPS63111339A (ja) * | 1986-10-29 | 1988-05-16 | Hitachi Ltd | 振動制振装置 |
-
1987
- 1987-11-19 JP JP29292987A patent/JPH01135942A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS60168875A (ja) * | 1984-02-09 | 1985-09-02 | 株式会社竹中工務店 | 免震支持装置 |
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