JPH01134901A - サーミスタ - Google Patents
サーミスタInfo
- Publication number
- JPH01134901A JPH01134901A JP62291778A JP29177887A JPH01134901A JP H01134901 A JPH01134901 A JP H01134901A JP 62291778 A JP62291778 A JP 62291778A JP 29177887 A JP29177887 A JP 29177887A JP H01134901 A JPH01134901 A JP H01134901A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermistor
- protective film
- barium titanate
- thermal expansion
- resistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 24
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract 2
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B62—LAND VEHICLES FOR TRAVELLING OTHERWISE THAN ON RAILS
- B62D—MOTOR VEHICLES; TRAILERS
- B62D5/00—Power-assisted or power-driven steering
- B62D5/04—Power-assisted or power-driven steering electrical, e.g. using an electric servo-motor connected to, or forming part of, the steering gear
- B62D5/0457—Power-assisted or power-driven steering electrical, e.g. using an electric servo-motor connected to, or forming part of, the steering gear characterised by control features of the drive means as such
- B62D5/046—Controlling the motor
- B62D5/0466—Controlling the motor for returning the steering wheel to neutral position
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Thermistors And Varistors (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Transportation (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、耐候性、耐薬品性、耐湿性、耐熱性などに優
れたサーミスタに関するものである。
れたサーミスタに関するものである。
近年、電子制御技術の著しい進歩に伴い、制御に使用さ
れるサーミスタには、より高い信頬性が強く要求されて
いる。
れるサーミスタには、より高い信頬性が強く要求されて
いる。
ところが、従来のサーミスタは高温、高温、還元性雰囲
気の過酷な状況下に置かれると、緒特性が著しく劣化し
て、信顧性が低下し、精密な制御には不向なものであっ
た。
気の過酷な状況下に置かれると、緒特性が著しく劣化し
て、信顧性が低下し、精密な制御には不向なものであっ
た。
このため、サーミスタの表面を合成樹脂で被覆したもの
が用いられている。
が用いられている。
サーミスタの表面を合成樹脂で被覆したサーミスタは、
合成樹脂の性能上、使用温度が略々１２０°Ｃ以下に限
定される。
合成樹脂の性能上、使用温度が略々１２０°Ｃ以下に限
定される。
また、合成樹脂は経年変化があって、初期の性能を永く
維持できない欠点がある。
維持できない欠点がある。
このような現状から、使用可能な温度がより高く、経年
劣化のないサーミスタの出現が業界で強く要望されてい
る。
劣化のないサーミスタの出現が業界で強く要望されてい
る。
本発明のサーミスタは、上記のような要望を満たすため
に発明されたもので、チタン酸バリウム系のサーミスタ
の表面の少なくとも一部に、チタン酸バリウム系のサー
ミスタの熱膨張係数との差が±３０ Ｘ １０− ７／
ｋ以下の熱膨張係数を有する材質の保護膜を５０Å〜５
５００人の厚さに施したものである。
に発明されたもので、チタン酸バリウム系のサーミスタ
の表面の少なくとも一部に、チタン酸バリウム系のサー
ミスタの熱膨張係数との差が±３０ Ｘ １０− ７／
ｋ以下の熱膨張係数を有する材質の保護膜を５０Å〜５
５００人の厚さに施したものである。
チタン酸バリウム系のサーミスタの表面の少なくとも一
部に保護膜を施すには、スパッタリングまたは蒸着によ
って形成する。
部に保護膜を施すには、スパッタリングまたは蒸着によ
って形成する。
このようにしてチタン酸バリウム系のサーミスタの表面
の少なくとも一部に施された保護膜は、耐候性、耐薬品
性、耐湿性、耐熱性などに優れており、十分にサーミス
タ本体を保護する。
の少なくとも一部に施された保護膜は、耐候性、耐薬品
性、耐湿性、耐熱性などに優れており、十分にサーミス
タ本体を保護する。
また、チタン酸バリウム系のサーミスタの熱膨張係数と
の差が±３０ Ｘ １０− ７／ｋ以下の熱膨張係数を
有する材質であるから、繰返しの熱履歴によってもサー
ミスタ本体から剥離する危険性がない。
の差が±３０ Ｘ １０− ７／ｋ以下の熱膨張係数を
有する材質であるから、繰返しの熱履歴によってもサー
ミスタ本体から剥離する危険性がない。
しかも、施された厚みが５０Å〜５５００人の厚さであ
るので、より一層剥離の危険性がなくなる。
るので、より一層剥離の危険性がなくなる。
上記の熱膨張差の範囲の外の値のところ、あるいは、上
記の厚みの範囲の外のイ直のところでは、以下の実施例
からも考察できるように、サーミスタの劣化を生ずる傾
向にある。
記の厚みの範囲の外のイ直のところでは、以下の実施例
からも考察できるように、サーミスタの劣化を生ずる傾
向にある。
実施例において使用した各材質について３回づ＼測定し
た線熱膨張率は第１表に示す通りである。
た線熱膨張率は第１表に示す通りである。
第１表
第１表に示した線熱膨張率のチタン酸バリウム系の３個
のサーミスタ１の表面に第１図に示すようにそれぞれ第
１表に示した線熱膨張率のシリカ、或いはアルミナ、或
いは窒化シリコンを保護膜３として施し、前記各サーミ
スタの両端にそれぞれ電極２を設け、各種の試験を行っ
た。
のサーミスタ１の表面に第１図に示すようにそれぞれ第
１表に示した線熱膨張率のシリカ、或いはアルミナ、或
いは窒化シリコンを保護膜３として施し、前記各サーミ
スタの両端にそれぞれ電極２を設け、各種の試験を行っ
た。
第２表、第３表及び第４表は、上記３種の保護膜を施し
た試料をそれぞれＯ′Ｃと９８℃の水中に交互に５分間
づつ浸漬する冷熱サイクルを１５サイクル繰返えした後
の室温における電気抵抗値の変化の測定結果を示すもの
で、保護膜（スパッタ膜）を施さないものに比し変化率
が少いものが得られることがわかる。
た試料をそれぞれＯ′Ｃと９８℃の水中に交互に５分間
づつ浸漬する冷熱サイクルを１５サイクル繰返えした後
の室温における電気抵抗値の変化の測定結果を示すもの
で、保護膜（スパッタ膜）を施さないものに比し変化率
が少いものが得られることがわかる。
第２表
第３表
第４表
第２図は保護膜３としてシリカのスパッタ膜を施したも
のを２００°Ｃの空気中に長時間置いた場合の室温電気
抵抗値の経時変化を示し、第３図はバイアス電圧１００
■を印加し、相対湿度９５％、温度８５°Ｃの雰囲気に
置いた場合の室温電気抵抗値の経時変化を示し、第４図
は４００°Ｃの窒素ガス中で１０分間加熱した後の室温
電気抵抗値の経時変化を示すもので、保護膜３を施さな
いものに比し、それぞれ特性が向上していることがわか
る。
のを２００°Ｃの空気中に長時間置いた場合の室温電気
抵抗値の経時変化を示し、第３図はバイアス電圧１００
■を印加し、相対湿度９５％、温度８５°Ｃの雰囲気に
置いた場合の室温電気抵抗値の経時変化を示し、第４図
は４００°Ｃの窒素ガス中で１０分間加熱した後の室温
電気抵抗値の経時変化を示すもので、保護膜３を施さな
いものに比し、それぞれ特性が向上していることがわか
る。
第５図は酸化アルミニウムのスパッタ膜を保護膜とした
場合の４００°Ｃの窒素ガス中で１０分間加熱した後の
抵抗温度特性の変化を示し、第５図は窒化シリコンのス
パッタ膜を保護膜とした場合の４００’Ｃの窒素ガス中
で１０分間加熱した後の抵抗温度特性の変化を示すもの
で、保護膜のない従来品に比しＰＴＣ特性が著しく向上
することがわかる。
場合の４００°Ｃの窒素ガス中で１０分間加熱した後の
抵抗温度特性の変化を示し、第５図は窒化シリコンのス
パッタ膜を保護膜とした場合の４００’Ｃの窒素ガス中
で１０分間加熱した後の抵抗温度特性の変化を示すもの
で、保護膜のない従来品に比しＰＴＣ特性が著しく向上
することがわかる。
本発明に係るサーミスタは、チタン酸バリウム系のサー
ミスタの表面の少なくとも一部に、チタン酸バリウム系
のサーミスタの熱膨張係数との差が±３０ Ｘ １０−
７／ｋ以下の熱膨張係数を有する材質の保護膜を５０
Å〜５５００人の厚さに施してあり、その保護膜の材質
が、シリカ、酸化アルミニウムまたは窒化シリコンであ
るので、耐候性、耐薬品性、耐湿性、耐熱性などに優れ
ており、繰返しの熱履歴によってもサーミスタ本体から
剥離する危険性がないなどの利点があって、高温、高温
、還元性雰囲気の過酷な状況下に置かれても劣化しない
サーミスタが得られるので、本発明は産業の発達に寄与
するところ極めて大なるものがある。
ミスタの表面の少なくとも一部に、チタン酸バリウム系
のサーミスタの熱膨張係数との差が±３０ Ｘ １０−
７／ｋ以下の熱膨張係数を有する材質の保護膜を５０
Å〜５５００人の厚さに施してあり、その保護膜の材質
が、シリカ、酸化アルミニウムまたは窒化シリコンであ
るので、耐候性、耐薬品性、耐湿性、耐熱性などに優れ
ており、繰返しの熱履歴によってもサーミスタ本体から
剥離する危険性がないなどの利点があって、高温、高温
、還元性雰囲気の過酷な状況下に置かれても劣化しない
サーミスタが得られるので、本発明は産業の発達に寄与
するところ極めて大なるものがある。
第１図は本発明の実施例の拡大断面図、第２図は保護膜
としてシリカのスパッタ膜を施したものと、従来品を２
００°Ｃの空気中に長時間置いた場合の室温電気抵抗値
の経時変化を現わすグラフ、第３図は保護膜としてシリ
カのスパッタ膜を施したものと、従来品にバイアス電圧
１００■を印加し、相対湿度９５％、温度８５゛Ｃの雰
囲気においた場合の室温電気抵抗値の経時変化を現わす
グラフ、第４図はシリカのスパッタ膜を保護膜として被
覆した試料を４００°Ｃの窒素ガス中で１０分間加熱し
た後の抵抗温度特性の変化を現わすグラフ、第５図は酸
化アルミニウムのスパッタ膜を保護膜として被覆した試
料を４００°Ｃの窒素ガス中で１０分間加熱した後の抵
抗温度特性の変化を現わすグラフ、第６図は窒化シリコ
ンのスパッタ膜を保護膜として被覆した試料を４００°
Ｃの窒素ガス中で１０分間加熱した後の抵抗温度特性の
変化を現わすグラフである。 １・・・サーミスタ ２・・・電極 ３・・・保護膜 第 １ 図 第 ２ 図 第 ３ 図 緯過峙Ｍ（）ｌす 第 ４ 図 −ｍ ＆ （”ｃ） 第 ５ 図 ＩＦＬ （’Ｃ）
としてシリカのスパッタ膜を施したものと、従来品を２
００°Ｃの空気中に長時間置いた場合の室温電気抵抗値
の経時変化を現わすグラフ、第３図は保護膜としてシリ
カのスパッタ膜を施したものと、従来品にバイアス電圧
１００■を印加し、相対湿度９５％、温度８５゛Ｃの雰
囲気においた場合の室温電気抵抗値の経時変化を現わす
グラフ、第４図はシリカのスパッタ膜を保護膜として被
覆した試料を４００°Ｃの窒素ガス中で１０分間加熱し
た後の抵抗温度特性の変化を現わすグラフ、第５図は酸
化アルミニウムのスパッタ膜を保護膜として被覆した試
料を４００°Ｃの窒素ガス中で１０分間加熱した後の抵
抗温度特性の変化を現わすグラフ、第６図は窒化シリコ
ンのスパッタ膜を保護膜として被覆した試料を４００°
Ｃの窒素ガス中で１０分間加熱した後の抵抗温度特性の
変化を現わすグラフである。 １・・・サーミスタ ２・・・電極 ３・・・保護膜 第 １ 図 第 ２ 図 第 ３ 図 緯過峙Ｍ（）ｌす 第 ４ 図 −ｍ ＆ （”ｃ） 第 ５ 図 ＩＦＬ （’Ｃ）
Claims (2)
- （１）チタン酸バリウム系のサーミスタの表面の少なく
とも一部に、チタン酸バリウム系のサーミスタの熱膨張
係数との差が±３０×１０＾−＾７／ｋ以下の熱膨張係
数を有する材質の保護膜を５０Å〜５５００Åの厚さに
施したことを特徴とするサーミスタ。 - （２）保護膜の材質がシリカ、酸化アルミニウムまたは
窒化シリコンである特許請求の範囲第１項に記載のサー
ミスタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62291778A JPH01134901A (ja) | 1987-11-20 | 1987-11-20 | サーミスタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62291778A JPH01134901A (ja) | 1987-11-20 | 1987-11-20 | サーミスタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01134901A true JPH01134901A (ja) | 1989-05-26 |
| JPH0379842B2 JPH0379842B2 (ja) | 1991-12-20 |
Family
ID=17773300
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62291778A Granted JPH01134901A (ja) | 1987-11-20 | 1987-11-20 | サーミスタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01134901A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008270551A (ja) * | 2007-04-20 | 2008-11-06 | Nichicon Corp | 正特性サーミスタ装置およびその製造方法 |
| JP2019091907A (ja) * | 2013-12-24 | 2019-06-13 | ティーディーケイ・エレクトロニクス・アクチェンゲゼルシャフトＴｄｋ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ａｇ | バリスタ装置の製造方法およびバリスタ装置 |
| JP2020198419A (ja) * | 2019-06-03 | 2020-12-10 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド． | 積層セラミック電子部品及びその実装基板 |
| WO2024079963A1 (ja) * | 2022-10-12 | 2024-04-18 | 株式会社村田製作所 | 電子部品及び成膜方法 |
-
1987
- 1987-11-20 JP JP62291778A patent/JPH01134901A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008270551A (ja) * | 2007-04-20 | 2008-11-06 | Nichicon Corp | 正特性サーミスタ装置およびその製造方法 |
| JP2019091907A (ja) * | 2013-12-24 | 2019-06-13 | ティーディーケイ・エレクトロニクス・アクチェンゲゼルシャフトＴｄｋ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ａｇ | バリスタ装置の製造方法およびバリスタ装置 |
| JP2020198419A (ja) * | 2019-06-03 | 2020-12-10 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド． | 積層セラミック電子部品及びその実装基板 |
| WO2024079963A1 (ja) * | 2022-10-12 | 2024-04-18 | 株式会社村田製作所 | 電子部品及び成膜方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0379842B2 (ja) | 1991-12-20 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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Effective date: 20050222 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20050412 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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