JPH01132236U - - Google Patents

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JPH01132236U
JPH01132236U JP2797988U JP2797988U JPH01132236U JP H01132236 U JPH01132236 U JP H01132236U JP 2797988 U JP2797988 U JP 2797988U JP 2797988 U JP2797988 U JP 2797988U JP H01132236 U JPH01132236 U JP H01132236U
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  • Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案に係るプラズマ発生反応装置
の一実施例を示すブロツク図である。第２図Ａは
同実施例における分配回路の横断面図で、第２図
Ｂはその分配回路の縦断面図である。第３図Ａは
同分配回路のスロツトを示す概略図、第３図Ｂは
同分配回路の本管の寸法関係を示す図で、第３図
Ｃは同スロツト部分の等価回路図である。第４図
Ａは、同実施例における遮断回路の横断面図で、
第４図Ｂはその遮断回路の側面図である。第５図
は、従来のプラズマ発生反応装置の一例を示す構
成図である。 主要符号の説明、２０……マイクロ波発振器、
２５，４１……アイソレータ、３０……分配回路
、３１……本管、３２〜３６……分岐管、３２ａ
〜３６ａ……スロツト、Ａ〜Ｅ……分岐系、４２
……遮断回路、４２ｄ……シヤツタ板、４２ｈ，
４２……１／４チヨーク、４３……パワーコント
ロール用スタブ、４４……パワーモニタ、４５…
…スリースタブチユーナ、４６……アプリケータ
、４７……可変短絡器。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. マイクロ波によりアプリケータ内でプラズマを
    発生させ、物体表面に薄膜、結晶等を生成させる
    装置であつて、マイクロ波を発生する単一のマイ
    クロ波発振器と、そのマイクロ波を導入してアプ
    リケータを具えた複数の分岐系に対し所定電力の
    マイクロ波を分配する分配回路とを有することを
    特徴とするプラズマ発生反応装置。
JP1988027979U 1988-03-02 1988-03-02 プラズマ発生反応装置 Expired - Lifetime JPH0623569Y2 (ja)

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