JPH044735U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH044735U JPH044735U JP4502190U JP4502190U JPH044735U JP H044735 U JPH044735 U JP H044735U JP 4502190 U JP4502190 U JP 4502190U JP 4502190 U JP4502190 U JP 4502190U JP H044735 U JPH044735 U JP H044735U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cell
- molecular beam
- diameter
- cell shutter
- shutter
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 claims description 4
- 238000005336 cracking Methods 0.000 claims description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 2
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- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案に係るセルシヤツタの正面図、
第２図は同−線断面図、第３図はセルシヤツ
タの取付図、第４図は作用説明図、第５図は別実
施例に係るセルシヤツタ正面図、第６図は同−
線断面図、第７図は更なる別実施例に係るセル
シヤツタの分解断面図、第８図は分子線エピタキ
シ装置の平面断面略図、第９図は従来のセルシヤ
ツタの正面図、第１０図は同取付図である。 １……セルシヤツタ、１ａ……セル側の面（照
射口を臨む面）、２……凹部、ｄ１……凹部の径
、ｄ２……照射口の径、１００……分子線エピタ
キシ装置、１０４……分子線蒸発源セル、１０４
ａ……分子線の照射口、１０５……ガスクラツキ
ングセル。
第２図は同−線断面図、第３図はセルシヤツ
タの取付図、第４図は作用説明図、第５図は別実
施例に係るセルシヤツタ正面図、第６図は同−
線断面図、第７図は更なる別実施例に係るセル
シヤツタの分解断面図、第８図は分子線エピタキ
シ装置の平面断面略図、第９図は従来のセルシヤ
ツタの正面図、第１０図は同取付図である。 １……セルシヤツタ、１ａ……セル側の面（照
射口を臨む面）、２……凹部、ｄ１……凹部の径
、ｄ２……照射口の径、１００……分子線エピタ
キシ装置、１０４……分子線蒸発源セル、１０４
ａ……分子線の照射口、１０５……ガスクラツキ
ングセル。
Claims (1)
- 分子線エピタキシ装置の分子線蒸発源セル及び
ガスクラツキングセルの照射口を遮蔽するセルシ
ヤツタであつて、このセルシヤツタは照射口を臨
む面に、照射口の径より大きな径の凹部を有する
ことを特徴とする分子線エピタキシ装置のセルシ
ヤツタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4502190U JPH044735U (ja) | 1990-04-26 | 1990-04-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4502190U JPH044735U (ja) | 1990-04-26 | 1990-04-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH044735U true JPH044735U (ja) | 1992-01-16 |
Family
ID=31558838
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4502190U Pending JPH044735U (ja) | 1990-04-26 | 1990-04-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH044735U (ja) |
-
1990
- 1990-04-26 JP JP4502190U patent/JPH044735U/ja active Pending