JPH01129937A - 高温耐食性焼結体の製造方法 - Google Patents
高温耐食性焼結体の製造方法Info
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- JPH01129937A JPH01129937A JP62286485A JP28648587A JPH01129937A JP H01129937 A JPH01129937 A JP H01129937A JP 62286485 A JP62286485 A JP 62286485A JP 28648587 A JP28648587 A JP 28648587A JP H01129937 A JPH01129937 A JP H01129937A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 8
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 title claims description 26
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 title claims description 26
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 25
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims abstract description 25
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 claims abstract description 24
- QYEXBYZXHDUPRC-UHFFFAOYSA-N B#[Ti]#B Chemical compound B#[Ti]#B QYEXBYZXHDUPRC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 229910033181 TiB2 Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims abstract description 14
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims abstract description 4
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 10
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract description 40
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 10
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 16
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 11
- 239000000047 product Substances 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 4
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910007948 ZrB2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- VWZIXVXBCBBRGP-UHFFFAOYSA-N boron;zirconium Chemical compound B#[Zr]#B VWZIXVXBCBBRGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009694 cold isostatic pressing Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 2
- 238000004438 BET method Methods 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000282326 Felis catus Species 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 238000005280 amorphization Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000001272 pressureless sintering Methods 0.000 description 1
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、例えば真空中で金属を蒸発させる際に用いら
れる高温耐食性焼結体の製造方法に関する。
れる高温耐食性焼結体の製造方法に関する。
〈従来の技術〉
金属の真空蒸着を行う際には、２ホウ化チタン（ＴｉＢ
ｚ）や２ホウ化ジルコニウム（Ｚｒｔｈ）等の如き導電
性耐食物質と窒化硼素（ＢＮ）や窒化アルミニウム（Ａ
ｔ）Ｎ）等の如き電気絶縁性耐食物質の焼結体からなる
ポートに蒸発させる金属を入れ、真空中でボートに電流
を流し金属を真空蒸発させる方法−が知られている（特
公昭５５−１６２３４号公報）。
ｚ）や２ホウ化ジルコニウム（Ｚｒｔｈ）等の如き導電
性耐食物質と窒化硼素（ＢＮ）や窒化アルミニウム（Ａ
ｔ）Ｎ）等の如き電気絶縁性耐食物質の焼結体からなる
ポートに蒸発させる金属を入れ、真空中でボートに電流
を流し金属を真空蒸発させる方法−が知られている（特
公昭５５−１６２３４号公報）。
また、その耐食性焼結体の製造方法については、上記組
成からなる原料をホットプレス焼結することが知られて
いる（特公昭５５−８５８６号公報、特公昭５８−２２
６０号公報）。
成からなる原料をホットプレス焼結することが知られて
いる（特公昭５５−８５８６号公報、特公昭５８−２２
６０号公報）。
ホットプレスは、真空またはアルゴン、窒素などの非酸
化性雰囲気下、１７００〜２１５０℃にて１００ ｋｇ
／ａ（を超える圧力をかけて実施するものであるため、
大型形状品は得られず、また、複雑形状品の製造には適
さない等の問題がある。しかも、現在市販されている耐
食性焼結体は、−旦、円柱状にホ・ノドプレスされた焼
結体を機械加工して最終製品形状に仕上げる方法がとら
れているので高価格となる。
化性雰囲気下、１７００〜２１５０℃にて１００ ｋｇ
／ａ（を超える圧力をかけて実施するものであるため、
大型形状品は得られず、また、複雑形状品の製造には適
さない等の問題がある。しかも、現在市販されている耐
食性焼結体は、−旦、円柱状にホ・ノドプレスされた焼
結体を機械加工して最終製品形状に仕上げる方法がとら
れているので高価格となる。
このような問題を解決するための手段として常圧焼結法
が考えられるが、ＢＮやＴｉＢｚは焼結性が悪いため現
在までのところ溶融金属に対して高い耐食性を有する焼
結体は得られていない。
が考えられるが、ＢＮやＴｉＢｚは焼結性が悪いため現
在までのところ溶融金属に対して高い耐食性を有する焼
結体は得られていない。
これらの理由で、溶融金属に対する優れた耐食性、耐摩
耗性、耐熱衝撃性等を有し、安価に容易にかつ効率良く
製造できる高温耐食性焼結体の出現が待たれている。
耗性、耐熱衝撃性等を有し、安価に容易にかつ効率良く
製造できる高温耐食性焼結体の出現が待たれている。
〈発明が解決しようとする問題点〉
本発明は、このような耐食性焼結体の形状制約と生産性
を改善し大型形状品、複雑形状品を効率良く製造でき、
しかもホットプレス品と同等以上の溶融金属に対する優
れた耐食性、耐摩耗性、耐熱衝撃性を有する高温耐食性
焼結体の提供を目的とするものである。
を改善し大型形状品、複雑形状品を効率良く製造でき、
しかもホットプレス品と同等以上の溶融金属に対する優
れた耐食性、耐摩耗性、耐熱衝撃性を有する高温耐食性
焼結体の提供を目的とするものである。
〈問題点を解決するための手段〉
すなわち、本発明は、窒化硼素２０〜５００〜５０重量
ミニウム１〜１５重量％、残部が２ホウ化チタンからな
る粉末混合物を５ ｔｏｎ／ａ（以上の圧力にて成形し
た後、非酸化性雰囲気下、温度１１００〜２１００℃で
常圧焼結することを特徴とする高温耐食性焼結体の製造
方法である。
ミニウム１〜１５重量％、残部が２ホウ化チタンからな
る粉末混合物を５ ｔｏｎ／ａ（以上の圧力にて成形し
た後、非酸化性雰囲気下、温度１１００〜２１００℃で
常圧焼結することを特徴とする高温耐食性焼結体の製造
方法である。
以下本発明の詳細な説明する。
本発明で用いるＢＮ粉末は、市販品で良いが望ましくは
結晶性の高い六方晶のＢＮ粉末である。この粉末は、予
備成形時の可塑変形性に優れているため高密度の予備成
形体が得られ易い。
結晶性の高い六方晶のＢＮ粉末である。この粉末は、予
備成形時の可塑変形性に優れているため高密度の予備成
形体が得られ易い。
ＴｉＢｚ粉末は、市販品で良いが、望ましくは純度９９
．０％以上、平均粒子径５μｍ以下のものである。Ｔｉ
Ｂｚの粒度は、ＢＮ、 ＡＩ！Ｎ粉末と同等あるいは微
細粒はど焼結体密度及び強度が向上する。
．０％以上、平均粒子径５μｍ以下のものである。Ｔｉ
Ｂｚの粒度は、ＢＮ、 ＡＩ！Ｎ粉末と同等あるいは微
細粒はど焼結体密度及び強度が向上する。
アルミニウム（Ａｌ）粉は市販品で良いが、望ましくは
アトマイズ品、純度９９．０％以上、粒度２５０メツシ
ュ下品である。その理由は、Ｍは焼成中（１）式に示す
ようにＢＮと反応してＡ１’Ｎとホウ素（Ｂ）を生成し
、さらにこのＢは（２）式に示すようにＭと反応してｊ
Ｖ−Ｂ化合物となりＢＮとＴｉｔｈ及びＡＩ？＋ＢＮ
→ Ａ１’Ｎ＋Ｂ （１）Ｂ＋Ａｆｆ
−→ Ａｆｆ −Ｂ （２）以
上のＢＮ粉末、Ｍ粉末及びＴｉＢｚ粉末を、ＢＮ２０〜
５０重量％、ＡＩ’ｌ〜１５重量％、残部がＴｉＢ、に
混合する。
アトマイズ品、純度９９．０％以上、粒度２５０メツシ
ュ下品である。その理由は、Ｍは焼成中（１）式に示す
ようにＢＮと反応してＡ１’Ｎとホウ素（Ｂ）を生成し
、さらにこのＢは（２）式に示すようにＭと反応してｊ
Ｖ−Ｂ化合物となりＢＮとＴｉｔｈ及びＡＩ？＋ＢＮ
→ Ａ１’Ｎ＋Ｂ （１）Ｂ＋Ａｆｆ
−→ Ａｆｆ −Ｂ （２）以
上のＢＮ粉末、Ｍ粉末及びＴｉＢｚ粉末を、ＢＮ２０〜
５０重量％、ＡＩ’ｌ〜１５重量％、残部がＴｉＢ、に
混合する。
８Ｎが２０重量％未満では耐熱衝撃性が低下し、更にＭ
と反応するＢＮが不足気味となり得られた焼結体中に未
反応のＭ粉が存在するので、高温下で使用した場合、軟
化変形を起こし易くなる。一方、５０重量％を超えると
得られた焼結体の比抵抗が上昇するのでボートに直接電
流を通じて加熱することが不可能となる。
と反応するＢＮが不足気味となり得られた焼結体中に未
反応のＭ粉が存在するので、高温下で使用した場合、軟
化変形を起こし易くなる。一方、５０重量％を超えると
得られた焼結体の比抵抗が上昇するのでボートに直接電
流を通じて加熱することが不可能となる。
Ｍが１重量％未満では焼結体強度の向上が認められず、
１５重量％を超えると得られた焼結体中に未反応のＭ粉
が存在し耐食性、耐熱衝撃性が低下するばかりでなく、
高温下で使用した場合、軟化変形を起こし易くなる。
１５重量％を超えると得られた焼結体中に未反応のＭ粉
が存在し耐食性、耐熱衝撃性が低下するばかりでなく、
高温下で使用した場合、軟化変形を起こし易くなる。
ＴｉＢ２は、比抵抗とも関係があり常温の成形体の比抵
抗が５０〜３００μΩ国程度になるように配合すること
が好ましい。
抗が５０〜３００μΩ国程度になるように配合すること
が好ましい。
本発明は”、上記したＢＮ、 Ｍ、ＴｉＢ、の粉末混合
物を粉砕せずにそのまま成形用混合粉末として用いるか
、比表面積が入手時の２倍以上になるまで微粉砕したＢ
Ｎ粉末とＡｉ！、ＴｉＢ２粉末の混合物を成形用混合粉
末として使用するか、さらにはまた、ＢＮ、Ｍ、 Ｔｉ
Ｂ２粉末の混合物を比表面積が２倍以上になるように破
断、せん断、磨砕等の粉砕を行って粉末の焼結性を高め
た後それを５ ｔｏｎ／ｃａ１以上の圧力にて成形し、
次いで非酸化性雰囲気下、温度１１００〜２１００℃で
焼成するものである。
物を粉砕せずにそのまま成形用混合粉末として用いるか
、比表面積が入手時の２倍以上になるまで微粉砕したＢ
Ｎ粉末とＡｉ！、ＴｉＢ２粉末の混合物を成形用混合粉
末として使用するか、さらにはまた、ＢＮ、Ｍ、 Ｔｉ
Ｂ２粉末の混合物を比表面積が２倍以上になるように破
断、せん断、磨砕等の粉砕を行って粉末の焼結性を高め
た後それを５ ｔｏｎ／ｃａ１以上の圧力にて成形し、
次いで非酸化性雰囲気下、温度１１００〜２１００℃で
焼成するものである。
本発明においては、ＢＮ、 ＡＩ！、ＴｉＢ２の原料は
粉砕することが望ましく、それには一般に良く知られて
いるボールミル、振動ボールミル、アトライター、ライ
カイ機等が使用される。粉砕は、元の粉末の比表面積の
２倍以上好ましくは１０倍以上になるまで行うのが望ま
しい。２倍未満の粉砕では耐摩耗性と耐食性を十分に高
めた高温耐食性焼結体を得ることが困難である。
粉砕することが望ましく、それには一般に良く知られて
いるボールミル、振動ボールミル、アトライター、ライ
カイ機等が使用される。粉砕は、元の粉末の比表面積の
２倍以上好ましくは１０倍以上になるまで行うのが望ま
しい。２倍未満の粉砕では耐摩耗性と耐食性を十分に高
めた高温耐食性焼結体を得ることが困難である。
なお、粉砕を行う場合、それを酸化雰囲気で行うと酸化
物の生成がみられ、そのまま焼成すると耐食性、耐摩耗
性、耐熱衝撃性の低下をきたすばかりでなく焼結体にク
ランクが発生する。従って、粉砕は、酸化物が生成しな
いような例えばＮ２、Ａｒ等の非酸化性雰囲気下で行う
必要がある。粉砕を行ったものの方が耐摩耗性、耐食性
に優れる理由は、結晶の格子不整及び部分的な非晶質化
が進むと同時に新たに形成された粒子面が現われ所謂メ
カノケミカル効果により活性化された粉末となったため
と考えられる。
物の生成がみられ、そのまま焼成すると耐食性、耐摩耗
性、耐熱衝撃性の低下をきたすばかりでなく焼結体にク
ランクが発生する。従って、粉砕は、酸化物が生成しな
いような例えばＮ２、Ａｒ等の非酸化性雰囲気下で行う
必要がある。粉砕を行ったものの方が耐摩耗性、耐食性
に優れる理由は、結晶の格子不整及び部分的な非晶質化
が進むと同時に新たに形成された粒子面が現われ所謂メ
カノケミカル効果により活性化された粉末となったため
と考えられる。
本発明で用いる成形装置としては、一般に良く知られて
いる金型成形機、冷間等方圧成形機（ＣＩＰ）等が挙げ
られる。成形圧力は５ ｔｏｎ／ｃｍ２以上望ましくは
７ ｔｏｎ／ｃｆｉｉ以上で行う。５ ｔｏｎ／ａ（未
満の成形圧力では、耐摩耗性と耐食性に優れた焼結体を
得ることができない。
いる金型成形機、冷間等方圧成形機（ＣＩＰ）等が挙げ
られる。成形圧力は５ ｔｏｎ／ｃｍ２以上望ましくは
７ ｔｏｎ／ｃｆｉｉ以上で行う。５ ｔｏｎ／ａ（未
満の成形圧力では、耐摩耗性と耐食性に優れた焼結体を
得ることができない。
焼成は、１１００〜２１００℃の非酸化性雰囲気下で行
う。焼成温度が１１００℃未満では、（１）、（２）式
に示すような反応が起こりにくいため高強度の焼結体が
得られない。一方、２１００℃を超えるとＢＮ、 ＡＩ
’Ｎの熱分解が起こりその本来の性質を失うことになる
。特に高強度、高耐食性の焼結体を得るには１４００〜
１７００℃の非酸化性雰囲気下で焼成することが好まし
い。非酸化性雰囲気としては、Ｈｅｓ Ａｒｓ Ｎｚ等
の不活性雰囲気かまたは真空中である。酸化性雰囲気で
焼成すると耐食性、耐熱衝撃性が著しく低下するばかり
でなく焼結体にクランクが発生する。焼成装置としては
、タンマン類、抵抗加熱炉、高周波炉等が用いられる。
う。焼成温度が１１００℃未満では、（１）、（２）式
に示すような反応が起こりにくいため高強度の焼結体が
得られない。一方、２１００℃を超えるとＢＮ、 ＡＩ
’Ｎの熱分解が起こりその本来の性質を失うことになる
。特に高強度、高耐食性の焼結体を得るには１４００〜
１７００℃の非酸化性雰囲気下で焼成することが好まし
い。非酸化性雰囲気としては、Ｈｅｓ Ａｒｓ Ｎｚ等
の不活性雰囲気かまたは真空中である。酸化性雰囲気で
焼成すると耐食性、耐熱衝撃性が著しく低下するばかり
でなく焼結体にクランクが発生する。焼成装置としては
、タンマン類、抵抗加熱炉、高周波炉等が用いられる。
〈実施例〉
以下本発明を実施例並びに比較例をもってさらに具体的
に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではな
い。
に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではな
い。
犬Ｊ！１ｌｌＬ
市販のＢＮ粉末（六方晶、純度９９．０％、比表面積６
ｎｆ／ｇ）３０重量部にＭ粉末（−２５０メツシユ、純
度９９％、比表面積０．５ｍ／ｇ）３重量部、ＴｔＪ粉
末（純度９９％、比表面積２ｒｒｒ／ｇ）６７重量部を
添加した後振動ボールミルにて混合し成形用混合粉末を
得た。
ｎｆ／ｇ）３０重量部にＭ粉末（−２５０メツシユ、純
度９９％、比表面積０．５ｍ／ｇ）３重量部、ＴｔＪ粉
末（純度９９％、比表面積２ｒｒｒ／ｇ）６７重量部を
添加した後振動ボールミルにて混合し成形用混合粉末を
得た。
この混合粉末を５ｔｏｎ／ｃｒＡの圧力で冷間等方圧成
形した。得られた予備成形体を前記ＢＮ粉末の入った黒
鉛容器中に埋め込み高周波炉にて１７００°Ｃ１６０分
間、Ｎｔ雰囲気下で焼成した。得られた焼結体の気孔率
、曲げ強さ、ショアー硬度、耐食性の測定結果を表に示
す。
形した。得られた予備成形体を前記ＢＮ粉末の入った黒
鉛容器中に埋め込み高周波炉にて１７００°Ｃ１６０分
間、Ｎｔ雰囲気下で焼成した。得られた焼結体の気孔率
、曲げ強さ、ショアー硬度、耐食性の測定結果を表に示
す。
実Ｕ
実施例１で得た成形用混合粉末を用い、成形圧力を７
ｔｏｎ／ｃａｔとしたこと以外は実施例１と同様の方法
にて実施した。
ｔｏｎ／ｃａｔとしたこと以外は実施例１と同様の方法
にて実施した。
Ｊ１舅−」−
焼成温度を１６００℃としたこと以外は実施例２と同様
の方法にて実施した。
の方法にて実施した。
大旅貫−工
硼酸とメラミンとを１：１の重量比率で混合しアンモニ
アガス気流中にて１２００℃、４時間、加熱処理してＢ
Ｎ純度９０％、比表面積５ｊｒｒｒ／ｇの８Ｎ粉末を得
た。この粉末をＸ線回折した結果、非晶質ＢＮであるこ
とが判った。この粉末５０重量部にＭ６重量部、ＴｉＢ
２４４重量部を添加した後ボールミルにて混合し成形用
混合粉末を得た。
アガス気流中にて１２００℃、４時間、加熱処理してＢ
Ｎ純度９０％、比表面積５ｊｒｒｒ／ｇの８Ｎ粉末を得
た。この粉末をＸ線回折した結果、非晶質ＢＮであるこ
とが判った。この粉末５０重量部にＭ６重量部、ＴｉＢ
２４４重量部を添加した後ボールミルにて混合し成形用
混合粉末を得た。
この混合粉末を用い、成形圧力を７ｔｏｎ／ｃ＋＋１及
び焼成温度を１６００℃としたこと以外は実施例１と同
様の方法にて実施した。
び焼成温度を１６００℃としたこと以外は実施例１と同
様の方法にて実施した。
大施炎−工
実施例１で用いたＢＮ粉末をアトライターで比表面積が
５ Ｏｎ？／ｇになるまでＮ２雰囲気下にて粉砕してＢ
Ｎ微粉末を得た。比表面積はＢＥＴ法にて測定した。こ
の粉末３５重量部にＡＩｉ’５重量部、Ｔｉ８２６０重
量部を添加した後ボールミルにて混合し成形用混合粉末
を得た。
５ Ｏｎ？／ｇになるまでＮ２雰囲気下にて粉砕してＢ
Ｎ微粉末を得た。比表面積はＢＥＴ法にて測定した。こ
の粉末３５重量部にＡＩｉ’５重量部、Ｔｉ８２６０重
量部を添加した後ボールミルにて混合し成形用混合粉末
を得た。
この成形用混合粉末を用いたこと以外は実施例１と同様
の方法にて実施した。
の方法にて実施した。
実見■−旦
実施例５で得たＢＮ微粉末４５重量部に、ＡＩ！５重量
部、ＴｉＢｇ５０重量部を添加した後ボールミルにて混
合し成形用混合粉末を得た。
部、ＴｉＢｇ５０重量部を添加した後ボールミルにて混
合し成形用混合粉末を得た。
この混合粉末を用い、焼成温度を１４００℃としたこと
以外は実施例１と同様の方法にて実施した。
以外は実施例１と同様の方法にて実施した。
実１」［−り
実施例１で用いたＢＮ４０重量部に、Ａｉ’７重量部、
ＴｉＢｚ５３重量部を添加した後アトライターで比表面
積が６０ ｒｄ／ｇになるまで静雰囲気下にて粉砕し成
形用混合粉末を得た。
ＴｉＢｚ５３重量部を添加した後アトライターで比表面
積が６０ ｒｄ／ｇになるまで静雰囲気下にて粉砕し成
形用混合粉末を得た。
この混合粉末を用いたこと以外は実施例１と同様の方法
にて実施した。
にて実施した。
実施ｔｆｌ−
実施例７で得た成形用混合粉末を用い、成形圧力を７
ｔｏｎ／ａＪ及び焼成温度を１６００℃としたこと以外
は実施例１と同様の方法にて実施した。
ｔｏｎ／ａＪ及び焼成温度を１６００℃としたこと以外
は実施例１と同様の方法にて実施した。
北較拠−土二↓
実施例１で用いたＢＮ粉末、Ｍ粉末及びＴｉＢ２粉末を
本発明と異なる割合で各種配合した後振動ボールミルに
て混合し成形用混合粉末を得た。
本発明と異なる割合で各種配合した後振動ボールミルに
て混合し成形用混合粉末を得た。
この混合粉末を用いたこと以外は実施例１と同様の方法
にて実施した。
にて実施した。
止較■−工
実施例１で得た成形用混合粉末を用い、成形方法を２
ｔｏｎ／−の金型成形としたこと以外は実施例１と同様
の方法によって実施した。
ｔｏｎ／−の金型成形としたこと以外は実施例１と同様
の方法によって実施した。
北較皿−工
実施例５で得た成形用混合粉末を用い、成形圧力を２
ｔｏｎ／−としたこと以外は実施例１と同様の方法にて
実施した。
ｔｏｎ／−としたこと以外は実施例１と同様の方法にて
実施した。
北較■−エニエ
焼成温度を１０００℃（比較例７）又は２２００℃（比
較例８）としたこと以外は実施例１と同様の方法にて実
施した。
較例８）としたこと以外は実施例１と同様の方法にて実
施した。
尚、表に記載した各物性の測定は、次の方法によった。
（１） 気孔率・・・・・・ＪＩＳＲ２２０５に準拠
した。
した。
（２） 常温曲げ強さ・・・・・・ＪＩＳＲ１６０１
に準拠した。
に準拠した。
（３） シジアー硬度・・・・・・ＪＩＳＺ２４６に
準拠した。
準拠した。
（４） ボート寿命・・・・・・得られた焼結体より
長さ１００鶴、幅４鶴、厚さ４ｆｌの角材に加工し、こ
の棒にボート状の窪みを堀り（長さ３０１１、幅５ ｍ
ｍ、深さ３皿）、通常真空蒸着に使用されているタング
ステンボートと同様に両端を電極にクランプし、直接電
流を通じてこのボート状容器を約１５００℃に急加熱し
、Ｍ線０．６ｇを蒸発させたのち室温まで急冷した。こ
のテストを繰り返し、反り、割れを生じ、電流が流れな
くなるまでのＭ線の蒸発回数をボート寿命とし、耐食性
及び耐熱衝撃性の指標とした。
長さ１００鶴、幅４鶴、厚さ４ｆｌの角材に加工し、こ
の棒にボート状の窪みを堀り（長さ３０１１、幅５ ｍ
ｍ、深さ３皿）、通常真空蒸着に使用されているタング
ステンボートと同様に両端を電極にクランプし、直接電
流を通じてこのボート状容器を約１５００℃に急加熱し
、Ｍ線０．６ｇを蒸発させたのち室温まで急冷した。こ
のテストを繰り返し、反り、割れを生じ、電流が流れな
くなるまでのＭ線の蒸発回数をボート寿命とし、耐食性
及び耐熱衝撃性の指標とした。
〈発明の効果〉
本発明の方法によれば、従来のホットプレス法で実現で
きなかった大型形状品、複雑形状品を安価に効率良く製
造でき、しかも、ホットプレス品と同等以上の溶融金属
に対する優れた耐食性、耐摩耗性、耐熱衝撃性を有する
高温耐食性焼結体を製造することができる。
きなかった大型形状品、複雑形状品を安価に効率良く製
造でき、しかも、ホットプレス品と同等以上の溶融金属
に対する優れた耐食性、耐摩耗性、耐熱衝撃性を有する
高温耐食性焼結体を製造することができる。
特許出願人 電気化学工業株式会社
Claims (1)
- １．窒化硼素２０〜５０重量％、アルミニウム１〜１５
重量％、残部が２ホウ化チタンからなる粉末混合物を５
ｔｏｎ／ｃｍ＾２以上の圧力にて成形した後、非酸化性
雰囲気下、温度１１００〜２１００℃で常圧焼結するこ
とを特徴とする高温耐食性焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62286485A JP2612011B2 (ja) | 1987-11-14 | 1987-11-14 | 高温耐食性焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62286485A JP2612011B2 (ja) | 1987-11-14 | 1987-11-14 | 高温耐食性焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01129937A true JPH01129937A (ja) | 1989-05-23 |
| JP2612011B2 JP2612011B2 (ja) | 1997-05-21 |
Family
ID=17705011
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62286485A Expired - Fee Related JP2612011B2 (ja) | 1987-11-14 | 1987-11-14 | 高温耐食性焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2612011B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5061662A (en) * | 1989-11-08 | 1991-10-29 | Samsung Electron Devices Co., Ltd. | Method for preparing sintered body of the titanium boride and apparatus therefor |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4884819A (ja) * | 1972-02-16 | 1973-11-10 |
-
1987
- 1987-11-14 JP JP62286485A patent/JP2612011B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4884819A (ja) * | 1972-02-16 | 1973-11-10 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5061662A (en) * | 1989-11-08 | 1991-10-29 | Samsung Electron Devices Co., Ltd. | Method for preparing sintered body of the titanium boride and apparatus therefor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2612011B2 (ja) | 1997-05-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |