JPH01129078A - 電着被覆用組成物 - Google Patents
電着被覆用組成物Info
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- JPH01129078A JPH01129078A JP28762487A JP28762487A JPH01129078A JP H01129078 A JPH01129078 A JP H01129078A JP 28762487 A JP28762487 A JP 28762487A JP 28762487 A JP28762487 A JP 28762487A JP H01129078 A JPH01129078 A JP H01129078A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は従来のアクリル塗膜よりさらに高性能な塗膜、
すなわち耐熱性、耐摩耗性、耐候性、柔軟性を有し、か
つシリコーンシーリング材と接着可能な塗膜を得ること
ができるアクリル系電着被覆用組成物に関するものであ
る。
すなわち耐熱性、耐摩耗性、耐候性、柔軟性を有し、か
つシリコーンシーリング材と接着可能な塗膜を得ること
ができるアクリル系電着被覆用組成物に関するものであ
る。
[従来の技術]
被覆の目的は大別すると美観と表面保護とであり、美観
としての仕上り状態と光沢、そして耐蝕性が塗膜性能と
して要求されてきたが、さらに高光沢と超耐候性を有し
、かつシーリング材との良好な接着性を有する被覆組成
物に商品的価値を見出すことができる。特に最近このよ
うな性能を有する建材用途の商品の要求が高まっている
。
としての仕上り状態と光沢、そして耐蝕性が塗膜性能と
して要求されてきたが、さらに高光沢と超耐候性を有し
、かつシーリング材との良好な接着性を有する被覆組成
物に商品的価値を見出すことができる。特に最近このよ
うな性能を有する建材用途の商品の要求が高まっている
。
一般にアクリル系被覆組成物は光沢、耐候性などが良好
な塗膜を形成することは知られているが、最近はさらに
高性能な塗膜が要求されている。
な塗膜を形成することは知られているが、最近はさらに
高性能な塗膜が要求されている。
また、含フツ素系重合体も優れた耐候性を有するという
ことで最近、非常に脚光をあびている。
ことで最近、非常に脚光をあびている。
しかしながら建材用途向けに使用する場合、塗膜性能と
してシーリング材との接着性を無視することはできない
。特にシリコーンからなるシーリング材の場合、塗面を
プライマで処理することによって、ある程度接着性を向
上することはできるが、作業のけんざつさをまぬがれる
ことはできない。
してシーリング材との接着性を無視することはできない
。特にシリコーンからなるシーリング材の場合、塗面を
プライマで処理することによって、ある程度接着性を向
上することはできるが、作業のけんざつさをまぬがれる
ことはできない。
次にシリコーンを共重合させず添加物として用いる方法
もあるが、この場合特に電着塗装法においては浴塗料か
ら塗膜へのシリコーン添加物の移行は考えられず、高性
能な塗膜を期待することはむずかしい。
もあるが、この場合特に電着塗装法においては浴塗料か
ら塗膜へのシリコーン添加物の移行は考えられず、高性
能な塗膜を期待することはむずかしい。
[発明が解決しようとする問題点]
シリコーンとアクリル系共重合体の特性を生かすために
、シリコーンとアクリル系単量体との共重合について各
種、研究を試みた。例えば、ビニルトリメトキシシラン
(CH2=CH8i (OCH3)3)は通常の方法で
はアクリル系単量体との共重合性がなく、共重合体を得
ることはできなかった。
、シリコーンとアクリル系単量体との共重合について各
種、研究を試みた。例えば、ビニルトリメトキシシラン
(CH2=CH8i (OCH3)3)は通常の方法で
はアクリル系単量体との共重合性がなく、共重合体を得
ることはできなかった。
さらに、γ−メタクリロキシプロピルトリメトH3
瞳
キシシラン(CH2=C−Coo (CH2)3Si
(OCH3)3)はアクリル系単量体との共重合性はあ
るが、共重合体はメトキシシラン(=S i OCH3
)が加水分解し、さらに縮合してゲル状になり固化して
しまい、水溶性タイプとしては使用上問題がある。
(OCH3)3)はアクリル系単量体との共重合性はあ
るが、共重合体はメトキシシラン(=S i OCH3
)が加水分解し、さらに縮合してゲル状になり固化して
しまい、水溶性タイプとしては使用上問題がある。
本発明は、上記の知見をもとにアクリル官能性ポリジメ
チルシロキサンを使用することにより、安定なアクリル
系単量体との共重合体を得て、これを使用することによ
り耐候性、耐薬品性を有し、かつシリコーンシーリング
材との接着性を向上した高性能な塗膜を得る電着被覆用
組成物を提供するものである。
チルシロキサンを使用することにより、安定なアクリル
系単量体との共重合体を得て、これを使用することによ
り耐候性、耐薬品性を有し、かつシリコーンシーリング
材との接着性を向上した高性能な塗膜を得る電着被覆用
組成物を提供するものである。
[問題点を解決するための手段]
本発明は、
(I>
(イ)アクリル官能性ポリジメチルシロキサン化合物ま
たはアクリル官能性ポリジフェニルシロキサン化合物 0.1重量%〜70重量% (ロ)α、β−モノエチレン性不飽和カルボン酸
0.1雪景%〜25重量%(ハ)α、β−モノエ
チレン性不飽和カルボン酸のヒドロキシアルキルエステ
ル 0.1重量%〜30重量% および (ニ)その他共重合可能なアクリル系単量体またはビニ
ル系単量体 5重量%〜99.3重量% を共重合させてなるアクリル系共重合体と(II)アミ
ノプラスト からなり、かつ、(I>アクリル系共重合体と(II)
アミノプラストの比が(I>/(II>=50150〜
97/3であることを特徴とする電着被覆用組成物によ
って達成される。
たはアクリル官能性ポリジフェニルシロキサン化合物 0.1重量%〜70重量% (ロ)α、β−モノエチレン性不飽和カルボン酸
0.1雪景%〜25重量%(ハ)α、β−モノエ
チレン性不飽和カルボン酸のヒドロキシアルキルエステ
ル 0.1重量%〜30重量% および (ニ)その他共重合可能なアクリル系単量体またはビニ
ル系単量体 5重量%〜99.3重量% を共重合させてなるアクリル系共重合体と(II)アミ
ノプラスト からなり、かつ、(I>アクリル系共重合体と(II)
アミノプラストの比が(I>/(II>=50150〜
97/3であることを特徴とする電着被覆用組成物によ
って達成される。
本発明に用いられる(I>の(イ)の成分は次式で示さ
れる。
れる。
または
R1、R2ニーCH3または→
R3ニーニーたは−CH3
X :1〜500(好ましくは5〜70)(I>中にお
ける(イ)の量は0.1重量%〜70重量%、好ましく
は1重量%〜50重量%である。0.1重量%より少な
いと塗膜性能が十分に得られず、′70重量%より多い
と塗膜が柔かすぎて実用的でない。
ける(イ)の量は0.1重量%〜70重量%、好ましく
は1重量%〜50重量%である。0.1重量%より少な
いと塗膜性能が十分に得られず、′70重量%より多い
と塗膜が柔かすぎて実用的でない。
本発明の(I>の(ロ)の成分としては、α。
β−モノエチレン性不飽和カルボン酸であり、例えばア
クリル酸、メタクリル酸、イタコン酸等が用いられる。
クリル酸、メタクリル酸、イタコン酸等が用いられる。
本発明は、共重合体(I>中の酸基を後述のように最終
的にはその少なくとも一部を塩基で中和することによっ
て、電着被覆用組成物の水溶化もしくは水分散性化を容
易にする。この組成物を水溶性または水分散性にするた
めに必要な酸基を与えるのが成分(ロ)を加えた大きな
目的である。(I)中における(口)の量は0.1重量
%〜25重量%、好ましくは3重量%〜15重量%であ
る。0.1重量%より少ないと安定な水分散能が得られ
ない。また25重1%より多いと電着塗装後、塗膜の再
溶解を起こすので好ましくない。
的にはその少なくとも一部を塩基で中和することによっ
て、電着被覆用組成物の水溶化もしくは水分散性化を容
易にする。この組成物を水溶性または水分散性にするた
めに必要な酸基を与えるのが成分(ロ)を加えた大きな
目的である。(I)中における(口)の量は0.1重量
%〜25重量%、好ましくは3重量%〜15重量%であ
る。0.1重量%より少ないと安定な水分散能が得られ
ない。また25重1%より多いと電着塗装後、塗膜の再
溶解を起こすので好ましくない。
本発明の(I>の(ハ)の成分としては、α。
β−モノエチレン性不飽和カルボン酸のヒドロキシアル
キルエステルであり、例えば2−ヒドロキシエチルアク
リレートまたはメタクリレート、2−ヒドロキシプロピ
ルアクリレートまたはメタクリレート、3−ヒドロキシ
プロピルアクリレートまたはメタクリレート等があるが
、ヒドロキシエチルメタクリレートが好ましく、それら
の1種または2種以上を併用しても良い。(I>中にお
ける(ハ)の量は、0.1重量%〜30重量%、好まし
くは2重量%〜20重量%である。0.1重量%より少
ないとアミノ樹脂との硬化が不十分となり、耐薬品性、
耐汚染性などの塗膜性能が十分でなく、また30重量%
より多いと塗膜の耐蝕性、耐衝撃性、平滑性などが低下
するので好ましくない。
キルエステルであり、例えば2−ヒドロキシエチルアク
リレートまたはメタクリレート、2−ヒドロキシプロピ
ルアクリレートまたはメタクリレート、3−ヒドロキシ
プロピルアクリレートまたはメタクリレート等があるが
、ヒドロキシエチルメタクリレートが好ましく、それら
の1種または2種以上を併用しても良い。(I>中にお
ける(ハ)の量は、0.1重量%〜30重量%、好まし
くは2重量%〜20重量%である。0.1重量%より少
ないとアミノ樹脂との硬化が不十分となり、耐薬品性、
耐汚染性などの塗膜性能が十分でなく、また30重量%
より多いと塗膜の耐蝕性、耐衝撃性、平滑性などが低下
するので好ましくない。
本発明の(I>の成分(ニ)はアクリル系単量体または
ビニル系単量体であり、上記(イ)、(ロ)、(ハ)の
物質と共重合できるものであればよい。例えばメチル、
エチル、ブチル、2−エチルヘキシル、ラウリルアルコ
ールとアクリル酸またはメタクリル酸のエステルで代表
されるアクリル(またはメタクリル)酸エステル、スチ
レンなどに代表されるビニル系単量体類などが使用でき
る。
ビニル系単量体であり、上記(イ)、(ロ)、(ハ)の
物質と共重合できるものであればよい。例えばメチル、
エチル、ブチル、2−エチルヘキシル、ラウリルアルコ
ールとアクリル酸またはメタクリル酸のエステルで代表
されるアクリル(またはメタクリル)酸エステル、スチ
レンなどに代表されるビニル系単量体類などが使用でき
る。
(I>のアクリル系共重合体は(イ)、(ロ)、(ハ)
および(ニ)を例えばイソプロピルアルコール、ブチル
セロソルブなどのアルコール系溶剤中で、例えばアゾビ
スイソブチロニトリルなどを開始剤として公知の方法で
重合し、本発明の組成物に適する樹脂とすることができ
る。
および(ニ)を例えばイソプロピルアルコール、ブチル
セロソルブなどのアルコール系溶剤中で、例えばアゾビ
スイソブチロニトリルなどを開始剤として公知の方法で
重合し、本発明の組成物に適する樹脂とすることができ
る。
(II)の成分のアミノプラストとしては、メラミン樹
脂、グアナミン樹脂、尿素樹脂等が使用できるが、特に
メラミン樹脂のうちでもメタノール、エタノール、プロ
パツール、ブタノール等の低級アルコールの1種もしく
は2種以上により少なくとも部分的にエーテル化された
メチロールメラミンの使用が相溶性、硬化速度等の点で
好ましい。
脂、グアナミン樹脂、尿素樹脂等が使用できるが、特に
メラミン樹脂のうちでもメタノール、エタノール、プロ
パツール、ブタノール等の低級アルコールの1種もしく
は2種以上により少なくとも部分的にエーテル化された
メチロールメラミンの使用が相溶性、硬化速度等の点で
好ましい。
(I)成分のアクリル系共重合体と(II)成分のアミ
ノプラストとの組成割合は、(I)/(II)= 50
150〜97/3重量比の範囲が好ましい。
ノプラストとの組成割合は、(I)/(II)= 50
150〜97/3重量比の範囲が好ましい。
(II)成分が上記の組成割合より多いと耐衝撃性など
の塗膜物性が低下する。また(II>成分が上記の組成
割合より少ないと十分な硬化が得られず、塗膜性能に問
題が生じる。
の塗膜物性が低下する。また(II>成分が上記の組成
割合より少ないと十分な硬化が得られず、塗膜性能に問
題が生じる。
本発明の電着被覆用組成物は、例えば次の方法で製造す
ることができる。
ることができる。
まず(I>の
(イ)アクリル官能性ポリジメチルシロキサン化合物ま
たはアクリル官能性ポリジフェニルシロキサン化合物 0.1重量%〜70重量% (ロ)α、β−モノエチレン性不飽和カルボン酸
0.1重量%〜25重量%(ハ)α、β−モノエ
チレン性不飽和カルボン酸のヒドロキシアルキルエステ
ル 0.1重量%〜30重量% および (ニ)その他共重合可能なアクリル系単量体またはビニ
ル系単量体 5重量%〜99.3重量% を共重合させてなるアクリル系共重合体を適当量の有機
アミン類やアンモニア、および適当量の水を加え中和せ
しめ、さらにアミノプラストと混合した後、これに説イ
オン水を加えて適当な樹脂固子分濃度に希釈して電着塗
料に調製して使用する。
たはアクリル官能性ポリジフェニルシロキサン化合物 0.1重量%〜70重量% (ロ)α、β−モノエチレン性不飽和カルボン酸
0.1重量%〜25重量%(ハ)α、β−モノエ
チレン性不飽和カルボン酸のヒドロキシアルキルエステ
ル 0.1重量%〜30重量% および (ニ)その他共重合可能なアクリル系単量体またはビニ
ル系単量体 5重量%〜99.3重量% を共重合させてなるアクリル系共重合体を適当量の有機
アミン類やアンモニア、および適当量の水を加え中和せ
しめ、さらにアミノプラストと混合した後、これに説イ
オン水を加えて適当な樹脂固子分濃度に希釈して電着塗
料に調製して使用する。
本発明の電着被覆用組成物は、電着塗膜の光沢を調整す
る必要がある場合は、常用の無機または有機のツヤ消削
を添加すればよい。
る必要がある場合は、常用の無機または有機のツヤ消削
を添加すればよい。
上記の方法で得られた電着塗料は公知の方法で電着塗装
することができる。被塗物としては導電性物体であれば
よいが、アルマイト処理およびベーマイト処理されたア
ルミ板、アルミ合金またはリン酸鉄、リン酸亜鉛処理さ
れた鉄板が好ましく用いられる。
することができる。被塗物としては導電性物体であれば
よいが、アルマイト処理およびベーマイト処理されたア
ルミ板、アルミ合金またはリン酸鉄、リン酸亜鉛処理さ
れた鉄板が好ましく用いられる。
[実 施 例]
次に実施例を挙げて本発明の詳細な説明する。
部数は以下重量部を示す。
実施例1
次式で示されるアクリル官能性ポリジメチルシロキサン
化合物 5部、アクリル酸8部、2−ヒドロキシエチルメタクリ
レート10部、アクリル酸エチル32部、メタクリル酸
メチル45、部、アゾビスイソブチロニトリル1部、イ
ソプロパツール70部を用い、還流下で7時間重合せし
め、冷却後メラミン(“サイメル”265J 三片東圧
社製)45部をよく混合する。次いでトリエチルアミン
6部、水10部を用いて水溶化せしめ、さらに上記の塗
料を水の中に徐々に加えて、約10%固形分に希釈して
電着塗料とする。
化合物 5部、アクリル酸8部、2−ヒドロキシエチルメタクリ
レート10部、アクリル酸エチル32部、メタクリル酸
メチル45、部、アゾビスイソブチロニトリル1部、イ
ソプロパツール70部を用い、還流下で7時間重合せし
め、冷却後メラミン(“サイメル”265J 三片東圧
社製)45部をよく混合する。次いでトリエチルアミン
6部、水10部を用いて水溶化せしめ、さらに上記の塗
料を水の中に徐々に加えて、約10%固形分に希釈して
電着塗料とする。
得られた電着塗料を1日経過後、1aのステンレスビー
カーにとり、浴温度を21±1℃に保つ。
カーにとり、浴温度を21±1℃に保つ。
常法によりアルマイト処理(アルマイト皮!9μ)した
厚さ1mm、巾5an、長さ10cnのアルミニウム板
(素材A−1100>を塗装板として用いた。
厚さ1mm、巾5an、長さ10cnのアルミニウム板
(素材A−1100>を塗装板として用いた。
その塗装板をプラス極に、ステンレスビーカーをマイナ
ス極にして、電圧100V、電着時間180秒で電着塗
装し、得られた塗装板を180℃で30分間焼付けた。
ス極にして、電圧100V、電着時間180秒で電着塗
装し、得られた塗装板を180℃で30分間焼付けた。
その結果、性能良好な塗膜が得られた。結果を第1表に
示す。
示す。
実施例2
次式で示されるアクリル官能性ポリジメチルシロキサン
化合物 10部、アクリル酸8部、2−ヒドロキシエチルメタク
リレート10部、アクリル酸エチル27部、メタクリル
酸メチル45部、アゾビスイソブチロニトリル1部、イ
ソプロパツール70部を用い、還流下で7時間重合せし
め、冷却後メラミン(“サイメル”265J 三片東圧
社製)45部をよく混合する。次いでトリエチルアミン
6部、水10部を用いて水溶化せしめ、さらに上記の塗
料を水の中に徐々に加えて約10%固形分に希釈して電
着塗料とする。得られた電着塗料を1日経過後、IQ、
のステンレスビーカーにとり浴温度を21±1℃に保つ
。常法によりアルマイト処理(アルマイト皮膜9μ)し
た厚さ、1部1m、巾50、長さ10cmのアルミニウ
ム板(素材A−1100>を塗装板として用いた。その
塗装板をプラス極に、ステンレスビーカーをマイナス極
にして、電圧100■、電着時間180秒で電着塗装し
、得られた塗装板を180℃で30分間焼付けた。その
結果、性能良好な塗膜が得られた。結果を第1表に示す
。
化合物 10部、アクリル酸8部、2−ヒドロキシエチルメタク
リレート10部、アクリル酸エチル27部、メタクリル
酸メチル45部、アゾビスイソブチロニトリル1部、イ
ソプロパツール70部を用い、還流下で7時間重合せし
め、冷却後メラミン(“サイメル”265J 三片東圧
社製)45部をよく混合する。次いでトリエチルアミン
6部、水10部を用いて水溶化せしめ、さらに上記の塗
料を水の中に徐々に加えて約10%固形分に希釈して電
着塗料とする。得られた電着塗料を1日経過後、IQ、
のステンレスビーカーにとり浴温度を21±1℃に保つ
。常法によりアルマイト処理(アルマイト皮膜9μ)し
た厚さ、1部1m、巾50、長さ10cmのアルミニウ
ム板(素材A−1100>を塗装板として用いた。その
塗装板をプラス極に、ステンレスビーカーをマイナス極
にして、電圧100■、電着時間180秒で電着塗装し
、得られた塗装板を180℃で30分間焼付けた。その
結果、性能良好な塗膜が得られた。結果を第1表に示す
。
比較例1
アクリル官能性ポリジメチルシロキサン化合物の代りに
、次式で示される含フツ素アクリル単量体、昭和電工■
製FA−8(CH2=CHCOO(CH2)208F1
7〕5部を用いた他は全て実施例1と同様にして、電着
塗料を得た。この電着塗料を用いて、実施例1と同様に
して電着塗装した。
、次式で示される含フツ素アクリル単量体、昭和電工■
製FA−8(CH2=CHCOO(CH2)208F1
7〕5部を用いた他は全て実施例1と同様にして、電着
塗料を得た。この電着塗料を用いて、実施例1と同様に
して電着塗装した。
その結果を第1表に示す。
比較例2
アクリル酸8部、2−ヒドロキシエチルメタクリレート
10部、アクリル酸エチル37部、メタクリル酸メチル
45部、アゾビスイソブチロニトリル1部、インプロパ
ツール70部を用い、還流下で7時間重合せしめ、冷却
後メラミン(パサイメル°’ 265J 三片東圧社
製)45部をよく混合する。
10部、アクリル酸エチル37部、メタクリル酸メチル
45部、アゾビスイソブチロニトリル1部、インプロパ
ツール70部を用い、還流下で7時間重合せしめ、冷却
後メラミン(パサイメル°’ 265J 三片東圧社
製)45部をよく混合する。
次いでトリエチルアミン6部、水10部を用いて水溶化
せしめ、さらに上記の塗料を水の中に徐々に加えて、約
10%固形分に希釈して電着塗料とする。得られた電着
塗料を1日経過後、10のステンレスビーカーにとり浴
温度21±1℃に保つ。常法によりアルマイト処理(ア
ルマイト皮膜9μ)した厚さ1m、巾5cm、長さ10
cmのアルミニウム板(素材A−1100>を塗装板と
して用いた。その塗装板をプラス極に、ステンレスビー
カーをマイナス極にして、電圧100V、電着時間18
0秒で電着塗装し、得られた塗装板を180℃で30分
間焼付けた。その結果を第1表に示す。
せしめ、さらに上記の塗料を水の中に徐々に加えて、約
10%固形分に希釈して電着塗料とする。得られた電着
塗料を1日経過後、10のステンレスビーカーにとり浴
温度21±1℃に保つ。常法によりアルマイト処理(ア
ルマイト皮膜9μ)した厚さ1m、巾5cm、長さ10
cmのアルミニウム板(素材A−1100>を塗装板と
して用いた。その塗装板をプラス極に、ステンレスビー
カーをマイナス極にして、電圧100V、電着時間18
0秒で電着塗装し、得られた塗装板を180℃で30分
間焼付けた。その結果を第1表に示す。
[発明の効果]
以上の説明から明らかなように本発明の電着被覆用組成
物は液安定性に優れ、得られる塗膜は優れた外観を示し
、諸性能は特に耐候性およびシリコーンシーリング材と
の接着性に優れるものである。さらに本電着被覆用組成
物は、ポリジメチルシロキサンを含有しているので耐候
性が向上する。
物は液安定性に優れ、得られる塗膜は優れた外観を示し
、諸性能は特に耐候性およびシリコーンシーリング材と
の接着性に優れるものである。さらに本電着被覆用組成
物は、ポリジメチルシロキサンを含有しているので耐候
性が向上する。
また、耐薬品性(耐酸、耐アルカリを含む)、撓水性、
撓油性、耐汚染性など、従来、アニオン電着塗装による
塗膜では期待できなかった性能を特徴する
撓油性、耐汚染性など、従来、アニオン電着塗装による
塗膜では期待できなかった性能を特徴する
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ( I ) (イ)アクリル官能性ポリジメチルシロキサン化合物ま
たはアクリル官能性ポリジフェニ ルシロキサン化合物 0.1重量%〜70重量% (ロ)α,β−モノエチレン性不飽和カルボン酸0.1
重量%〜25重量% (ハ)α,β−モノエチレン性不飽和カルボン酸のヒド
ロキシアルキルエステル 0.1重量%〜30重量% および (ニ)その他共重合可能なアクリル系単量体またはビニ
ル系単量体 5重量%〜99.3重量% を共重合させてなるアクリル系共重合体と (II)アミノプラスト からなり、かつ、( I )アクリル系共重合体と(II)
アミノプラストの比が( I )/(II)=50/50〜
97/3であることを特徴とする電着被覆用組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28762487A JPH01129078A (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | 電着被覆用組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28762487A JPH01129078A (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | 電着被覆用組成物 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01129078A true JPH01129078A (ja) | 1989-05-22 |
Family
ID=17719660
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28762487A Pending JPH01129078A (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | 電着被覆用組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01129078A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004000474A1 (ja) | 2001-05-02 | 2003-12-31 | Nitto Denko Corporation | クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材、及びこれらを用いた基板処理装置のクリーニング方法 |
-
1987
- 1987-11-13 JP JP28762487A patent/JPH01129078A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004000474A1 (ja) | 2001-05-02 | 2003-12-31 | Nitto Denko Corporation | クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材、及びこれらを用いた基板処理装置のクリーニング方法 |
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