JPH0112627B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0112627B2 JPH0112627B2 JP58104583A JP10458383A JPH0112627B2 JP H0112627 B2 JPH0112627 B2 JP H0112627B2 JP 58104583 A JP58104583 A JP 58104583A JP 10458383 A JP10458383 A JP 10458383A JP H0112627 B2 JPH0112627 B2 JP H0112627B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- holding frame
- support
- shaped
- holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
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- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 18
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/07—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
- B24B37/08—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for double side lapping
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、加工液と研摩材を用いて円盤状工作
物を鏡面に加工する円盤状工作物の鏡面加工装置
に関する。
物を鏡面に加工する円盤状工作物の鏡面加工装置
に関する。
一般に、コンピユータ用磁気デイスクをはじめ
とした円盤状工作物は、記録情報密度を高めるた
め、高度の形状精度と鏡面加工面が要求され、か
つ生産にあたつては低価格化を図るため、高い生
産能率が望まれている。
とした円盤状工作物は、記録情報密度を高めるた
め、高度の形状精度と鏡面加工面が要求され、か
つ生産にあたつては低価格化を図るため、高い生
産能率が望まれている。
そして、従来の生産手段の1つに、ダイヤモン
ドバイトを使用した高精度旋削法があり、高品質
の工作物が得られている。
ドバイトを使用した高精度旋削法があり、高品質
の工作物が得られている。
また、剛体砥石を用いた精密研削法も利用され
ている。
ている。
従来の前記高精度旋削法は、装置の大規模化と
生産性の低さに問題点がある。
生産性の低さに問題点がある。
また、前記精密研削法は、砥石目づまり等によ
り十分な仕上げ面が得られず、かつ精度の確保が
問題点である。
り十分な仕上げ面が得られず、かつ精度の確保が
問題点である。
本発明は、前記の点に留意し、装置の小型化と
生産性の向上をはかり、かつ、円盤状工作物の形
状精度を保ち得る円盤状工作物の鏡面加工装置を
提供することを目的とする。
生産性の向上をはかり、かつ、円盤状工作物の形
状精度を保ち得る円盤状工作物の鏡面加工装置を
提供することを目的とする。
前記課題を解決するために、本発明の円盤状工
作物の鏡面加工装置は、円盤状工作物を保持した
回転軸に対し垂直方向に移動する支持具と、U字
状の保持枠と、前記保持枠の下端に装着され前記
支持具の上端部を貫通し前記支持具に対し前記保
持枠を左右方向に移動自在に支持した摺動軸と、
前記支持具の両側の前記摺動軸に巻装されたバラ
ンス用のスプリングと、前記保持枠の左右の上端
部のそれぞれの内面に突出して形成されたガイド
と、前記両ガイドに沿いそれぞれ左右方向に摺動
自在に設けられた保持体と、前記両保持体の先端
に装着され前記工作物の両面に対称の位置に配置
される通水性のある柔軟性研摩材と、前記両上端
部に外側より螺合しそれぞれ先端が前記両保持体
に当接して前記両研摩材の前記工作物への押付圧
を調整する押付ビスと、前記両保持体にそれぞれ
形成され前記研摩材へ加工液を供給する供給路と
を備えたものである。
作物の鏡面加工装置は、円盤状工作物を保持した
回転軸に対し垂直方向に移動する支持具と、U字
状の保持枠と、前記保持枠の下端に装着され前記
支持具の上端部を貫通し前記支持具に対し前記保
持枠を左右方向に移動自在に支持した摺動軸と、
前記支持具の両側の前記摺動軸に巻装されたバラ
ンス用のスプリングと、前記保持枠の左右の上端
部のそれぞれの内面に突出して形成されたガイド
と、前記両ガイドに沿いそれぞれ左右方向に摺動
自在に設けられた保持体と、前記両保持体の先端
に装着され前記工作物の両面に対称の位置に配置
される通水性のある柔軟性研摩材と、前記両上端
部に外側より螺合しそれぞれ先端が前記両保持体
に当接して前記両研摩材の前記工作物への押付圧
を調整する押付ビスと、前記両保持体にそれぞれ
形成され前記研摩材へ加工液を供給する供給路と
を備えたものである。
前記のように構成された本発明の円盤状工作物
の鏡面加工装置は、支持具、保持枠、摺動軸、バ
ランス用のスプリング、ガイド、保持体、研摩
材、押付ビス、加工液の供給路とからなるため、
装置が小型化され、支持具に対し保持枠が左右方
向に移動自在であり、両押付ビスの調整により両
研摩材の円盤状工作物への押付圧の調整を容易に
行うことができ、かつ、両スプリングにより両研
摩材の工作物に対する押付圧のバランスをとるこ
とができるため、工作物を形状精度を保ちつつ高
品位の鏡面に仕上げることができ、生産性が向上
される。
の鏡面加工装置は、支持具、保持枠、摺動軸、バ
ランス用のスプリング、ガイド、保持体、研摩
材、押付ビス、加工液の供給路とからなるため、
装置が小型化され、支持具に対し保持枠が左右方
向に移動自在であり、両押付ビスの調整により両
研摩材の円盤状工作物への押付圧の調整を容易に
行うことができ、かつ、両スプリングにより両研
摩材の工作物に対する押付圧のバランスをとるこ
とができるため、工作物を形状精度を保ちつつ高
品位の鏡面に仕上げることができ、生産性が向上
される。
実施例について、第1図を参照して以下に説明
する。
する。
同図において、1は回転軸に保持されて回転す
る円盤状工作物、2は回転軸に対し垂直方向に移
動する支持具、3はU字状の保持枠、4は保持枠
3の下端に装着され支持具2の上端部を貫通した
摺動軸、5は支持具2の両側において摺動軸4に
巻装されたバランス用のスプリング、6は保持枠
3の上端部の両内面に突出して形成されたガイ
ド、7はそれぞれ両側のガイド6に沿い左右方向
に摺動自在に設けられた保持体、8はそれぞれ両
保持体7の内面に装着された砥粒の付着された通
水性のある柔軟性研摩材、9はそれぞれ保持枠3
の上端部に外側より螺合し保持体7に当接した押
付ビス、10は保持体7に形成された加工液の供
給路であり、円盤状工作物1の両面に対称の位置
に研摩材8が位置している。
る円盤状工作物、2は回転軸に対し垂直方向に移
動する支持具、3はU字状の保持枠、4は保持枠
3の下端に装着され支持具2の上端部を貫通した
摺動軸、5は支持具2の両側において摺動軸4に
巻装されたバランス用のスプリング、6は保持枠
3の上端部の両内面に突出して形成されたガイ
ド、7はそれぞれ両側のガイド6に沿い左右方向
に摺動自在に設けられた保持体、8はそれぞれ両
保持体7の内面に装着された砥粒の付着された通
水性のある柔軟性研摩材、9はそれぞれ保持枠3
の上端部に外側より螺合し保持体7に当接した押
付ビス、10は保持体7に形成された加工液の供
給路であり、円盤状工作物1の両面に対称の位置
に研摩材8が位置している。
そして、加工に際し、回転軸により工作物1を
回転し、工作物1の両面に対称の位置に両研摩材
8を配置し、両押付ビス9を調整して両研摩材8
の工作物1への押付圧を調整し、加工液を供給路
10から研摩材8を通して工作物1の表面に供給
し、支持具2により研摩材8を回転軸に対して垂
直方向に、一方向又は往復方向に移動する。
回転し、工作物1の両面に対称の位置に両研摩材
8を配置し、両押付ビス9を調整して両研摩材8
の工作物1への押付圧を調整し、加工液を供給路
10から研摩材8を通して工作物1の表面に供給
し、支持具2により研摩材8を回転軸に対して垂
直方向に、一方向又は往復方向に移動する。
このとき、摺動軸4に巻装されたスプリング5
により、両側の研摩材8の工作物1に対する押付
圧バランスの均等化が図られる。
により、両側の研摩材8の工作物1に対する押付
圧バランスの均等化が図られる。
さらに、工作物1は、研摩材8に付着した砥粒
により微小な切り込みが与えられ、削り取られた
加工くずは通水性の研摩材8を通つて排出され
る。
により微小な切り込みが与えられ、削り取られた
加工くずは通水性の研摩材8を通つて排出され
る。
また、柔軟性研摩材8の弾性作用により、工作
物1及び支持具2等の振動吸収効果があり、振動
による工作物1全面での表面あらさの分布および
加工量分布の均一化が図れ、工作物1の形状精度
が確保され、そのため高い装置剛性を必要としな
い。
物1及び支持具2等の振動吸収効果があり、振動
による工作物1全面での表面あらさの分布および
加工量分布の均一化が図れ、工作物1の形状精度
が確保され、そのため高い装置剛性を必要としな
い。
さらに、工作物1の表面あらさは、研摩材8の
押付圧、工作物1の回転数および支持具2の移動
速度等により制御可能であり、たとえば工作物1
の回転数を増大し、支持具2の移動速度を低減さ
せるにしたがい、表面あらさは小さくなる。
押付圧、工作物1の回転数および支持具2の移動
速度等により制御可能であり、たとえば工作物1
の回転数を増大し、支持具2の移動速度を低減さ
せるにしたがい、表面あらさは小さくなる。
なお、工作物1がアルミ材からなる場合、加工
液は、表面張力60dyn/cm以下で、かつ、アルミ
材の表面酸化抑制機能のある加工液が望ましい。
液は、表面張力60dyn/cm以下で、かつ、アルミ
材の表面酸化抑制機能のある加工液が望ましい。
つぎに、直径200mmのアルミニウム製円盤状工
作物を加工した場合の実験結果を第2図に示す。
作物を加工した場合の実験結果を第2図に示す。
砥粒粒度#600〜#800の砥粒を用いると、約1
分の加工時間で表面あらさ1μmRzの下地面は
0.1μmRz以下に改善され、また、#1500〜#5000
の砥粒を用いると、約1分で表面あらさ
0.02μmRzの鏡面加工が得られ、製品精度も工作
物全面で均等な加工量が保たれていた。
分の加工時間で表面あらさ1μmRzの下地面は
0.1μmRz以下に改善され、また、#1500〜#5000
の砥粒を用いると、約1分で表面あらさ
0.02μmRzの鏡面加工が得られ、製品精度も工作
物全面で均等な加工量が保たれていた。
本発明の円盤状工作物の鏡面加工装置は、以上
説明したように構成されているので、以下に記載
する効果を奏する。
説明したように構成されているので、以下に記載
する効果を奏する。
支持具2、保持枠3、摺動軸4、バランス用の
スプリング5、ガイド6、保持体7、研摩材8、
押付ビス9、加工液の供給路10とからなるた
め、装置が小型化され、支持具2に対し保持枠3
が左右方向に摺動自在であり、両押付ビス9の調
整により両研摩材8の円盤状工作物1への押付圧
の調整を容易に行うことができ、かつ、両スプリ
ング5により両研摩材8の工作物1に対する押付
圧のバランスをとることができるため、工作物1
を形状精度を保ちつつ高品位の鏡面に仕上げるこ
とができ、生産性を向上させることができる。
スプリング5、ガイド6、保持体7、研摩材8、
押付ビス9、加工液の供給路10とからなるた
め、装置が小型化され、支持具2に対し保持枠3
が左右方向に摺動自在であり、両押付ビス9の調
整により両研摩材8の円盤状工作物1への押付圧
の調整を容易に行うことができ、かつ、両スプリ
ング5により両研摩材8の工作物1に対する押付
圧のバランスをとることができるため、工作物1
を形状精度を保ちつつ高品位の鏡面に仕上げるこ
とができ、生産性を向上させることができる。
第1図は本発明の円盤状工作物の鏡面加工装置
の1実施例の一部切断正面図、第2図は加工時間
と表面あらさの関係図である。 1…円盤状工作物、2…支持具、3…保持枠、
4…摺動軸、5…スプリング、6…ガイド、7…
保持体、8…研摩材、9…押付ビス、10…供給
路。
の1実施例の一部切断正面図、第2図は加工時間
と表面あらさの関係図である。 1…円盤状工作物、2…支持具、3…保持枠、
4…摺動軸、5…スプリング、6…ガイド、7…
保持体、8…研摩材、9…押付ビス、10…供給
路。
Claims (1)
- 1 円盤状工作物を保持した回転軸に対し垂直方
向に移動する支持具と、U字状の保持枠と、前記
保持枠の下端に装着され前記支持具の上端部を貫
通し前記支持具に対し前記保持枠を左右方向に移
動自在に支持した摺動軸と、前記支持具の両側の
前記摺動軸に巻装されたバランス用のスプリング
と、前記保持枠の左右の上端部のそれぞれの内面
に突出して形成されたガイドと、前記両ガイドに
沿いそれぞれ左右方向に摺動自在に設けられた保
持体と、前記両保持体の先端に装着され前記工作
物の両面に対称の位置に配置される通水性のある
柔軟性研摩材と、前記両上端部に外側より螺合し
それぞれ先端が前記両保持体に当接して前記両研
摩材の前記工作物への押付圧を調整する押付ビス
と、前記両保持体にそれぞれ形成され前記研摩材
へ加工液を供給する供給路とを備えたことを特徴
とする円盤状工作物の鏡面加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58104583A JPS59232766A (ja) | 1983-06-11 | 1983-06-11 | 円盤状工作物の鏡面加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58104583A JPS59232766A (ja) | 1983-06-11 | 1983-06-11 | 円盤状工作物の鏡面加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59232766A JPS59232766A (ja) | 1984-12-27 |
JPH0112627B2 true JPH0112627B2 (ja) | 1989-03-01 |
Family
ID=14384453
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58104583A Granted JPS59232766A (ja) | 1983-06-11 | 1983-06-11 | 円盤状工作物の鏡面加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59232766A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020189235A1 (ja) * | 2019-03-20 | 2020-09-24 | 国立大学法人大阪大学 | 学習済みモデル、制御装置、摩擦攪拌接合システム、ニューラルネットワークシステム、及び学習済みモデルの生成方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2426945A (en) * | 2004-12-17 | 2006-12-13 | Zeiss Carl Smt Ag | Working opposed members of a workpiece |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5423609B2 (ja) * | 1974-12-26 | 1979-08-15 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5647807Y2 (ja) * | 1977-07-18 | 1981-11-09 |
-
1983
- 1983-06-11 JP JP58104583A patent/JPS59232766A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5423609B2 (ja) * | 1974-12-26 | 1979-08-15 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020189235A1 (ja) * | 2019-03-20 | 2020-09-24 | 国立大学法人大阪大学 | 学習済みモデル、制御装置、摩擦攪拌接合システム、ニューラルネットワークシステム、及び学習済みモデルの生成方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS59232766A (ja) | 1984-12-27 |
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