JPH01124277A

JPH01124277A - レーザ発振器

Info

Publication number: JPH01124277A
Application number: JP28208587A
Authority: JP
Inventors: Akihiro Otani; 昭博大谷; Tsukasa Matsuno; 松野　司
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1987-11-10
Filing date: 1987-11-10
Publication date: 1989-05-17

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野〕本発明は、ガスレーザ装置のレーザ発振器に関するもの
である。

［従来の技術］第２図（ａ）　、　（ｂ）は従来の三軸直交型ＣＯ２レ
ーザ装置のレーザ発振器の一例を示す横断面図及び縦断
面図である。両図において、（ｌａ）、　（ｌｂ）は対
向して配置された一対の誘電体電極、（２）は放電部、
（３）はレーザ媒質ガス循環用のブロア、（４）は熱交
換器、（５）はＣＯ２、Ｉｌｅ、　Ｎｅ等よりなるレー
ザ媒質ガスを数十〜百数十Ｔｏｒｒの圧力で封入した筐
体である。（６）はレーザ媒質ガスのガス流、（７）は
交流電源、（８）　、　（９）はそれぞれ光共振器を構
成する全反射鏡及び部分反射鏡、（１０）はレーザ光で
ある。さらに、（１１）は筐体（５）に接続した給排気
管、（１２）は古くなったレーザ媒質ガスを排気する真
空ポンプ、（１３）は真空ポンプ（１２）の吸入口に設
けられ、逆流を防止するガス排気用真空バルブ、（Ｉ４
）は筐体（５）に設けられ、給排気管（１１）の端部を
接続するボート、（１６）は逆流を防止し、新しいレー
ザ媒質ガスを導入するガス導入用真空バルブ、（１７）
は圧力計である。なお、（１２）は筐体（５）内が大気
圧以上とならないようなチエツク機構を有する逆流防止
弁である。

次に動作について説明する。まず、電ｔｆｆｓ（ｌａ）
。

（１ｂ）間で発生した放電により筐体（５）内の００２
分子が励起され、さらに全反射鏡（８）及び部分反射鏡
（９）よりなる光共振器間で励起により発生したエネル
ギーが共振されることによりレーザ光（１０）となり、
部分反射鏡（９）より取り出される。一方、放電部（２
）のレーザ媒質ガスの温度上昇を抑えて放電を安定化す
るため、ブロア（３）によりレーザ媒質ガス（６）を矢
印方向に循環させ、熱交換器（４）によりこのレーザ媒
質ガス（６）を冷却する。

以上のようなレーザ発振器において、筐体（５）内に封
入されたレーザ媒質ガスを交換するときは、まず真空ポ
ンプ（１２）を作動させ、真空バルブ（１３）を開く。

このようにすると、筐体（５）内のレーザ媒質ガスは給
排気管（１１）を通って外部に排出される。そして筐体
（５）内が十分真空状態となったとき真空バルブ（１３
）を閉じ、真空ポンプ（１２）の吸引を停止する。次に
、真空バルブ（１６）を開けて新しいレーザ媒質ガスを
筐体（５）内に注入し、圧力計（１７）が所定の圧力に
なったとき真空バルブ（１６）を閉じれば、レーザ媒質
ガスの交換が完了する。

［発明が解決しようとする問題点〕上記のように構成した従来のレーザ発振器によれば、筐
体（５）と真空ポンプ（１２）の間に設けられた給排気
管（１１）のコンダクタンスのため、真空排気速度の低
下を招き、このためレーザ媒質ガスの交換に長時間を要
する。そこでコンダクタンスを上げるために給排気管（
１１）の大口径化が必要とされ、このためコストが高く
なる等の問題があった。

本発明は上記のような問題点を解決するためになされた
もので、真空排気速度が速く、このためレーザ媒質ガス
の交換時間が短くなり、その上コストを低減できるレー
ザ発振器を得ることを目的とする。

［問題点を解決するための手段］本発明は上記の目的を達成するためになされたもので、
レーザ媒質ガスの排気用真空ポンプを筐体に直結したレ
ーザ発振器を提供するものである。

［作用］ガス排気用真空バルブを開いて筐体に直結したレーザ媒
質ガス排気用の真空ポンプを作動させると、きわめて速
い速度で古くなったレーザ媒質が外部に排出される。

［発明の実施例コ第１図（ａ）　、　　（ｂ）は、本発明の実施例を示す
横断面図及び縦断面図である。なお、第２図（ａ）。

（ｂ）に示した従来例と同−又は相当部分には同じ符号
を付し、説明を省略する。（２０）は筐体（５）の排気
側に設けられ、筐体（５）のポート（１４〉に接続した
レーザ媒質ガス排気用の真空ポンプであり、（２１）は
真空ポンプ（２０）の吸気口に設けられ、逆流を防止す
るガス排気用真空バルブである。また、（２２）、　　
（２３）、　　（２４）はそれぞれ筐体（５）の給気側
に設けられたポートであり、（，２５）、　　（２Ｂ）
、　　（２７）はそれぞれポート（２２）、　　（２３
）、　（２４）に接続したレーザ媒質ガスを導入するガ
ス導入用真空バルブ、圧力計及び逆流防止弁である。

上記のように構成した本発明の詳細な説明すれば次の通
りである。まず、光共振器で共振されたレーザ光（１０
）は、第２図で示した場合と同様に部分反射ｆｉ　（９
）から取り出され、一方レーザ媒質ガス（６）はブロア
（３）で循環され、熱交換器（４）で冷却される。筐体
（５）内に封入されたレーザ媒質ガス（６）を交換する
には、まず排気側に設けられたガス排気用真空バルブ（
２１）を開き、真空ポンプ（２０）を作動させてレーザ
媒質ガス（６）を筐体（５）の外部に直接排出する。筐
体（５）内が充分真空状態になったときはガス排気用真
空バルブ（２１）を閉じ、真空ポンプ（２０）を停止す
る。次に給気側に設けられたガス導入用真空バルブ（２
５）を開け、新しいレーザ媒質ガスを直接筐体（５）内
に導入し、圧力計（２６）が所定の値になったときガス
導入用真空バルブ（２５）を閉じ、レーザ媒質ガスの変
換を完了する。

上記の説明では、真空ポンプ（２０）の吸入口に逆流防
止のためのガス排出用真空バルブ（２１）を設けた場合
について説明したが、内部に逆流防止機構を備えた真空
ポンプを使用する場合はガス排出用真空バルブ（２１）
を省略してもよく、従ってこの場合は真空ポンプを筐体
（５）に直結してもよい。なお、給気側の計測関係の構
成については、本発明は何ら制限するものではない。

さらに上記説明では封じ切りのガスレーザ装置について
示したが、レーザ媒質ガスを連続的あるいは断続的に給
排気するガスレーザ装置についても、筐体を有するもの
であれば必ず大気圧から動作圧、または動作圧から真空
状態に筐体圧力を変化させる必要があるので、上記実施
例と同様に本発明を実施することができる。

［発明の効果コ以上の説明から明らかなように、本発明によれば、真空
排気時にコンダクタンスを下げる大口径の給排気管を無
くして真空ポンプを筐体に直結したので、レーザ媒質ガ
スの交換時間の短縮が可能になるとともに、装置の製作
費を低減できる。またレーザ媒質ガスの交換時間を一定
とするならば真空ポンプ容量の縮小が可能で、安価でコ
ンパクトな装置が得られる等の効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）　、　（ｂ）は本発明の実施例を示す横断
面図及び縦断面図、第２図（ａ）　、　（ｂ）は従来の
レーザ発振器の一例を示す横断面図及び縦断面図である
。（５）・・・筐体、（６）・・・レーザ媒質ガス、（１
０）・・・レーザビーム、（２０）真空ポンプ、（２１
）・・・ガス排気用真空バルブ、（２５）・・・ガス導
入用真空バルブ、（２６）・・・圧力計。なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示すもの
とする。

Claims

【特許請求の範囲】

　レーザ媒質ガスを封入した筐体内で前記レーザ媒質ガ
スを循環させ、かつ放電を生じさせてレーザ発振を行な
わせるレーザ発振器において、前記媒質ガスを排気する
真空ポンプを前記筐体に直結したことを特徴とするレー
ザ発振器。