RU2270499C2 - Проточный газовый лазер - Google Patents

Проточный газовый лазер Download PDF

Info

Publication number
RU2270499C2
RU2270499C2 RU2004115440/28A RU2004115440A RU2270499C2 RU 2270499 C2 RU2270499 C2 RU 2270499C2 RU 2004115440/28 A RU2004115440/28 A RU 2004115440/28A RU 2004115440 A RU2004115440 A RU 2004115440A RU 2270499 C2 RU2270499 C2 RU 2270499C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
gas
heat exchangers
discharge chamber
heat
laser
Prior art date
Application number
RU2004115440/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2004115440A (ru
Inventor
Владислав Павлович Фомичев (RU)
Владислав Павлович Фомичев
Анатолий Митрофанович Оришич (RU)
Анатолий Митрофанович Оришич
Лев Николаевич Пузырев (RU)
Лев Николаевич Пузырев
Василий Михайлович Фомин (RU)
Василий Михайлович Фомин
Владислав Феликсович Филев (RU)
Владислав Феликсович Филев
В чеслав Александрович Печурин (RU)
Вячеслав Александрович Печурин
Анатолий Пантелеевич Голышев (RU)
Анатолий Пантелеевич Голышев
Юрий Михайлович Приходько (RU)
Юрий Михайлович Приходько
Original Assignee
Научное учреждение "Отдельное конструкторское бюро лазерной техники при СО РАН", (НУ ОКБ лазерной техники при СО РАН)
"Институт теоретической и прикладной механики СО РАН" (ИПТМ СО РАН)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научное учреждение "Отдельное конструкторское бюро лазерной техники при СО РАН", (НУ ОКБ лазерной техники при СО РАН), "Институт теоретической и прикладной механики СО РАН" (ИПТМ СО РАН) filed Critical Научное учреждение "Отдельное конструкторское бюро лазерной техники при СО РАН", (НУ ОКБ лазерной техники при СО РАН)
Priority to RU2004115440/28A priority Critical patent/RU2270499C2/ru
Priority to GB0510264A priority patent/GB2415287B/en
Priority to DE200510023470 priority patent/DE102005023470B4/de
Priority to FR0505155A priority patent/FR2870649B1/fr
Publication of RU2004115440A publication Critical patent/RU2004115440A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2270499C2 publication Critical patent/RU2270499C2/ru

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/04Arrangements for thermal management
    • H01S3/041Arrangements for thermal management for gas lasers

Abstract

Проточный газовый лазер содержит корпус, газодинамический контур с вентиляторами-теплообменниками, выполненными в виде роторов с дисками на полом валу, газоразрядную камеру и систему подачи хладагента в теплообменники, а также резонаторы и электродвигатели вентиляторов-теплообменников. Газодинамический контур лазера выполнен из двух пар теплообменных каналов-газопроводов с общей газоразрядной камерой с одним анодом и двумя катодами, при этом каждый теплообменный канал-газопровод содержит последовательно расположенные в обечайке вентиляторы-теплообменники, оси которых расположены параллельно аноду, один из которых является нагнетающим газ в газоразрядную камеру и последующие - всасывающим, причем газодинамический контур, резонаторы и электродвигатели вентиляторов-теплообменников помещены в общий вакуумный объем. Электродвигатели вентиляторов-теплообменников, помещенные в вакууме, снабжены системой принудительного охлаждения. Технический результат - повышение КПД лазера за счет эффективности охлаждения газа и его технологичности. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Description

Изобретение относится к лазерной технике и может быть использовано в технологических процессах.
Известен проточный газовый лазер с замкнутой системой циркуляции газа, содержащий размещенные в герметичном корпусе вентилятор, служащий для перемещения рабочего газа по замкнутому контуру, систему электродов для возбуждения газа электрическим разрядом, оптический резонатор и теплообменник [1].
Недостатком известного лазера является наличие в его корпусе громоздкого теплообменника, увеличивающего габариты и усложняющего конструкцию лазера.
Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому изобретению является проточный газовый лазер, содержащий герметичный корпус с расположенными в нем средствами для прокачки и теплообмена газа, выполненными в виде ротора с дисками на полом валу, и систему подачи хладагента в теплообменник, а также электроды для поддержания возбуждающего электрического разряда в газе и оптический резонатор для вывода излучения. Причем количество роторов-теплообменников равно количеству электроразрядных камер [2].
Недостатком лазера является низкая степень охлаждения нагретого в камере разряда рабочего газа и, следовательно, низкий уровень генерируемого излучения и низкий КПД лазера.
Задачей изобретения является повышение степени охлаждения газа, повышение КПД лазера и его технологичности.
Поставленная задача достигается благодаря тому, что проточный газовый лазер содержит корпус, газодинамический контур с вентиляторами-теплообменниками, выполненными в виде роторов с дисками на полом валу, газоразрядную камеру и систему подачи хладагента в теплообменники, а также резонаторы и электродвигатели вентиляторов-теплообменников. Газодинамический контур лазера выполнен из двух пар теплообменных каналов-газопроводов с общей газоразрядной камерой с одним анодом и двумя катодами, при этом каждый теплообменный канал-газопровод содержит последовательно расположенные в обечайке вентиляторы-теплообменники, оси которых расположены параллельно аноду, один из которых является нагнетающим газ в газоразрядную камеру и последующие - всасывающим и, например, промежуточные - связаны между собой общим каналом-газопроводом, причем газодинамический контур, резонаторы и электродвигатели вентиляторов-теплообменников помещены в общий вакуумный объем.
Электродвигатели вентиляторов-теплообменников, помещенные в вакууме, снабжены системой принудительного охлаждения.
Использование нескольких теплообменных каналов-газопроводов с вентиляторами-теплообменниками для охлаждения одной (общей) газоразрядной камеры обеспечивает эффективную работу лазера путем ступенчатого снижения температуры потока до уровня, обеспечивающего полное тушение возбужденных уровней оптически активных молекул или атомов.
Для подачи и отвода охлаждающей жидкости к дискам ротора вентиляторов-теплообменников через корпус вакуумного объема на полом валу установлены торцевые уплотнения.
Указанные признаки не выявлены в других технических решениях при изучении уровня данной области техники и, следовательно, решение является новым и имеет изобретательский уровень.
На фиг.1 изображен проточный газовый лазер, на фиг.2 - то же, вид сбоку.
Проточный газовый лазер содержит корпус 1, газодинамический контур 2 с вентиляторами-теплообменниками 3, 4, 5, 6, выполненными в виде роторов с дисками на полом валу, и газоразрядную камеру 7 с анодом 8 и катодами 9 и 10, а также систему подачи хладагента в вентиляторы-теплообменники (не показана). Лазер также имеет резонаторы и электродвигатели вентиляторов-теплообменников с системой охлаждения (не показаны). Газодинамический контур 2 лазера выполнен из двух теплообменных каналов-газопроводов 11 и 12 с общей газоразрядной камерой 7, каждый из каналов-газопроводов содержит последовательно расположенные в обечайках 13 и 14, например, по два вентилятора-теплообменника 3, 4 и 5, 6, оси которых расположены параллельно аноду 8. Один из вентиляторов-теплообменников, в каждой паре теплообменных каналов-газопроводов 11 и 12, является нагнетающим газ 3 и 5 в газоразрядную камеру 7, а последующие 4 и 6 - всасывающие. Для более эффективного понижения температуры потока газа в каналах-газопроводах 11, 12 может быть установлено последовательно друг за другом несколько промежуточных вентиляторов-теплообменников.
В месте расположения газоразрядной камеры 7, каналы-газопроводы 11 и 12 образуют общую часть канала.
Всасывающие вентиляторы-теплообменники 4 и 6 не связаны непосредственно с газоразрядной камерой 7 и являются основными для эффективного охлаждения газового потока. Газодинамический контур, резонаторы и электродвигатели помещены в общий вакуумный корпус 1. Электродвигатели вентиляторов-теплообменников для работы в вакууме снабжены системой водяного охлаждения. Для предотвращения попадания охлаждающей жидкости в вакуумный объем на полых валах вентиляторов-теплообменников установлены торцевые уплотнения. Для вывода лазерного излучения в герметичном корпусе предусмотрено окно 15.
Проточный газовый лазер работает следующим образом. Дисковые вентиляторы-теплообменники 3 и 5 подают охлажденный газовый поток в разрядную камеру 7. Между катодами 9, 10 и анодом 8 зажигают электрический разряд, возбуждая колебательные уровни активной газовой компоненты рабочей смеси. В резонаторе в результате вынужденного излучения возбужденной активной компоненты создают направленное лазерное излучение, которое выводят через окно 15. Нагретый разрядом газовый поток засасывается вентиляторами-теплообменниками 4 и 6 в каждом из своих теплообменных каналов-газопроводов 11 и 12 и охлаждается до некоторой температуры, соответствующей наиболее эффективному режиму работы вентиляторов-теплообменников 4, 6. При этом температура газа может оставаться выше температуры полной дезактивации колебательных уровней газового потока. Если предусмотрено многоступенчатое охлаждение газа, то далее газ подается к следующим промежуточным вентиляторам-теплообменникам, в которых происходит ступенчатое охлаждение газа до температуры полной дезактивации газовой смеси, а затем поступает на вентиляторы-теплообменники 3 и 5, нагнетающие рабочую газовую смесь в разрядную камеру.
Через систему подачи хладагента охлаждающую жидкость подают во вращающиеся полые валы роторов вентиляторов-теплообменников, при этом используют торцевые уплотнения на стенках вакуумного объема.
Данная компоновка лазера технологична, обеспечивает высокую степень охлаждения потока газа в газодинамическом контуре и тем самым позволяет повысить КПД лазера.
Источники информации
1. Патент США №4099143, кл. 33194.5, 1978 г.
2. А.С. SU №1718314, H 01 S 3/22, 1981 г. - прототип.

Claims (2)

1. Проточный газовый лазер, содержащий корпус, газодинамический контур с вентиляторами-теплообменниками, выполненными в виде роторов с дисками на полом валу и газоразрядной камерой с анодом и катодом, и систему подачи хладагента в теплообменники, а также резонаторы и электродвигатели вентиляторов-теплообменников, отличающийся тем, что газодинамический контур лазера выполнен из двух теплообменных каналов-газопроводов с общей газоразрядной камерой с дополнительным катодом, при этом каждый теплообменный канал-газопровод содержит последовательно расположенные в обечайке вентиляторы-теплообменники, оси которых расположены параллельно аноду, один из которых является нагнетающим охлажденный газ в газоразрядную камеру, другой - всасывающий горячий газ из газоразрядной камеры, причем газодинамический контур, резонаторы и электродвигатели вентиляторов-теплообменников с принудительным охлаждением помещены в общий вакуумный объем.
2. Проточный газовый лазер по п.1, отличающийся тем, что каждый теплообменный канал-газопровод, между всасывающим и нагнетающим вентиляторами-теплообменниками, дополнительно содержат промежуточные вентиляторы-теплообменники, ступенчато понижающие температуру газового потока.
RU2004115440/28A 2004-05-21 2004-05-21 Проточный газовый лазер RU2270499C2 (ru)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2004115440/28A RU2270499C2 (ru) 2004-05-21 2004-05-21 Проточный газовый лазер
GB0510264A GB2415287B (en) 2004-05-21 2005-05-19 Recirculating gas laser
DE200510023470 DE102005023470B4 (de) 2004-05-21 2005-05-20 Umwälzungsgaslaser
FR0505155A FR2870649B1 (fr) 2004-05-21 2005-05-23 Laser a recirculation de gaz

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2004115440/28A RU2270499C2 (ru) 2004-05-21 2004-05-21 Проточный газовый лазер

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2004115440A RU2004115440A (ru) 2005-11-10
RU2270499C2 true RU2270499C2 (ru) 2006-02-20

Family

ID=34836929

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2004115440/28A RU2270499C2 (ru) 2004-05-21 2004-05-21 Проточный газовый лазер

Country Status (4)

Country Link
DE (1) DE102005023470B4 (ru)
FR (1) FR2870649B1 (ru)
GB (1) GB2415287B (ru)
RU (1) RU2270499C2 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2618792C2 (ru) * 2012-11-21 2017-05-11 Рейнбоу соурс Лейзер (ЭрЭсЛейзер) Направляющее поток устройство для двухэлектродной разрядной камеры, двухэлектродная разрядная камера с его использованием и эксимерный лазер

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1718314A1 (ru) * 1981-03-11 1992-03-07 Институт Теоретической И Прикладной Механики Со Ан Ссср Проточный газовый лазер
DE3245958A1 (de) * 1982-12-11 1984-06-14 Battelle-Institut E.V., 6000 Frankfurt Laseranordnung
US4635269A (en) * 1985-02-08 1987-01-06 Laser Corporation Of America Flowing gas laser having screening for smoothing low turbulence flow
JPH0232579A (ja) * 1988-07-22 1990-02-02 Fanuc Ltd レーザ発振装置
GB8905937D0 (en) * 1989-03-15 1989-04-26 Atomic Energy Authority Uk High pressure gas laser
WO1991007789A1 (en) * 1989-11-15 1991-05-30 Institut Teoreticheskoi I Prikladnoi Mekhaniki Sibirskogo Otdelenia Akademii Nauk Sssr Flow-type gas laser
JPH07227688A (ja) * 1994-02-22 1995-08-29 Daihen Corp ガスレ−ザ加工機

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2618792C2 (ru) * 2012-11-21 2017-05-11 Рейнбоу соурс Лейзер (ЭрЭсЛейзер) Направляющее поток устройство для двухэлектродной разрядной камеры, двухэлектродная разрядная камера с его использованием и эксимерный лазер

Also Published As

Publication number Publication date
GB2415287A (en) 2005-12-21
DE102005023470B4 (de) 2009-01-08
GB2415287B (en) 2008-05-07
DE102005023470A1 (de) 2006-02-09
FR2870649A1 (fr) 2005-11-25
GB0510264D0 (en) 2005-06-29
RU2004115440A (ru) 2005-11-10
FR2870649B1 (fr) 2007-02-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8505322B2 (en) Battery cooling
KR101888156B1 (ko) 분리된 냉각 기로를 구비한 터보 압축기
JP2009538398A (ja) コンプレッサモータの風損を減少させるシステム及び方法
KR20120053170A (ko) 다단형 건식 진공펌프
US4504954A (en) Laser apparatus
US20220127962A1 (en) Multistage pump body and multistage gas pump
JP2020512801A (ja) 冷却流路を有するチラー電動機
EP2378122A2 (en) Dry vacuum pump apparatus and method of cooling the same
RU2270499C2 (ru) Проточный газовый лазер
CN112081777B (zh) 能够实现冷却热平衡的高速涡轮机
JP7116739B2 (ja) チラーセンブリのための誘導電動機及び電動機のための冷却システム
US11339791B2 (en) High-speed dual turbo machine enabling cooling thermal equilibrium
US9634456B2 (en) Gas laser oscillation apparatus of orthogonal excitation type
KR100343711B1 (ko) 터보 압축기의 냉각구조
CN220890501U (zh) 一种干式真空泵自风冷结构
JP2005155554A (ja) 電動ルーツ型圧縮機
RU2780601C1 (ru) Корпус многоступенчатого насоса и многоступенчатый насос для газа
KR100298424B1 (ko) 스크류형진공펌프의수냉식냉각장치
CN211605639U (zh) 一体化氩离子激光器
KR200203008Y1 (ko) 스크류형 진공펌프의 공기 순환식 냉각장치
JPH01205585A (ja) レーザ発振装置
KR20190109886A (ko) 폐쇄 순환형 냉각 기로를 구비한 터보 압축기
RU2003113260A (ru) Способ газового охлаждения электрической машины и электрическая машина
CN220581216U (zh) 一种永磁变频空压机的水冷散热外壳
CN210167911U (zh) 一种高效散热伺服电机

Legal Events

Date Code Title Description
PC4A Invention patent assignment

Effective date: 20081017

MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20200522