DE102005023470B4 - Umwälzungsgaslaser - Google Patents

Umwälzungsgaslaser Download PDF

Info

Publication number
DE102005023470B4
DE102005023470B4 DE200510023470 DE102005023470A DE102005023470B4 DE 102005023470 B4 DE102005023470 B4 DE 102005023470B4 DE 200510023470 DE200510023470 DE 200510023470 DE 102005023470 A DE102005023470 A DE 102005023470A DE 102005023470 B4 DE102005023470 B4 DE 102005023470B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
heat exchange
gas
fans
discharge chamber
anode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE200510023470
Other languages
English (en)
Other versions
DE102005023470A1 (de
Inventor
Vladislav Pavlovich Novosibirsk Fomichev
Anatoly Mitrofanovich Novosibirsk Orishich
Lev Nikolaevich Novosibirsk Puzyrev
Vasily Mikhailovich Novosibirsk Fomin
Vladislav Felixovich Novosibirsk Filev
Vyacheslav Alexandrovich Novosibirsk Pechurin
Anatoly Panteleevich Novosibirsk Golyshev
Yury Mikhailovich Novosibirsk Prikhodko
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AVIAKOMPANIA "SIBIR", NOVOSBIRK, RU
INSTITUT TEORETICESKOJ I PRIKLADNOJ MECHANIKI , RU
Original Assignee
Insitut Teoreticeskoj I Prikladnoj Mechaniki Sibirskogo Otdelenija Rossiiskoj Akademii Nauk
INST TEORETICESKOJ I PRIKLADNO
N UCREZDENIE OTDELNOE KB LAZER
Naucnoe Ucrezdenie Otdelnoe Konstruktorskoe Bjuro Lazernoj Tekhniki Pri Sibirskom Otdelenii Rossiiskoj Akademii Nauk
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Insitut Teoreticeskoj I Prikladnoj Mechaniki Sibirskogo Otdelenija Rossiiskoj Akademii Nauk, INST TEORETICESKOJ I PRIKLADNO, N UCREZDENIE OTDELNOE KB LAZER, Naucnoe Ucrezdenie Otdelnoe Konstruktorskoe Bjuro Lazernoj Tekhniki Pri Sibirskom Otdelenii Rossiiskoj Akademii Nauk filed Critical Insitut Teoreticeskoj I Prikladnoj Mechaniki Sibirskogo Otdelenija Rossiiskoj Akademii Nauk
Publication of DE102005023470A1 publication Critical patent/DE102005023470A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102005023470B4 publication Critical patent/DE102005023470B4/de
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/04Arrangements for thermal management
    • H01S3/041Arrangements for thermal management for gas lasers

Abstract

Umwälzungsgaslaser, der ein Gehäuse (1), Wärmeaustauschventilatoren (3, 4, 5, 6), die als Rotoren mit Scheiben auf einer Hohlwelle ausgeführt sind, eine Gasentladungskammer (7), die eine Anode (8) und mindestens eine Kathode (9, 10) aufweist, ein System zum Zuführen eines Kühlmittels in die Wärmeaustauschventilatoren und Resonatoren und Elektromotoren der Wärmeaustauschventilatoren aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß der Laser zwei Wärmeaustauschgaszufuhrkanäle (11) mit einer gemeinsamen Gasentladungskammer (7) aufweist, die eine Anode (8) und zwei Kathoden (9, 10) aufweist, wobei jeder Wärmeaustauschgaszufuhrkanal (11) aufeinanderfolgend in einem Mantel (13, 14) angeordnete Wärmeaustauschventilatoren (3, 4, 5, 6) aufweist, die Achsen aufweisen, die parallel zur Anode (8) installiert sind, wobei einer der Ventilatoren das abgekühlte Gas in die Gasentladungskammer (7) bläst, und der nachfolgende Ventilator das heiße Gas aus der Gasentladungskammer (7) absaugt; wobei die Resonatoren und Elektromotoren der Wärmeaustauschventilatoren mit Zwangskühlung in einem gemeinsamen Vakuumvolumen angeordnet sind.

Description

  • Die Erfindung betrifft die Lasertechnik und kann in Herstellungsverfahren verwendet werden.
  • Es ist ein Umwälzungsgaslaser bekannt, der ein geschlossenes System einer Gasumwälzung, das einen, in einem dichten Gehäuse angeordneten Ventilator zur Bewegung eines Arbeitsgases längs eines geschlossenen Schleifenweges enthält, ein System von Elektroden zur Anregung des Gases durch eine elektrische Entladung, einen optischen Resonator und einen Wärmetauscher aufweist ( US 4 099 143 )
  • Ein Mangel des Lasers ist ein sperriger Wärmetauscher, der in seinem Gehäuse installiert ist, der die Größe erhöht und den Aufbau des Lasers kompliziert.
  • Das dem technischen Wesentlichen der vorgeschlagenen Erfindung am nächsten Liegende ist ein Umwälzungsgaslaser, der ein dichtes Gehäuse, in dem eine Einrichtung zum Pumpen und zum Wärmeaustausch des Gases angeordnet ist, die in einer Form eines Rotors mit Scheiben auf einer Hohlwelle ausgeführt wird, und ein System zum Zuführen eines Kühlmittels in einem Wärmetauscher, und außerdem Elektroden zum Aufrechterhalten einer anregenden elektrischen Entladung im Gas, und einen optischen Resonator zur Abgabe der Strahlung aufweist. Folglich ist die Anzahl der Wärmeaustauschrotoren gleich der Anzahl der elektrischen Entladungskammern ( SU 1 718 314 A1 )
  • Ein Mangel des Lasers ist der niedrige Kühlungsgrad des Arbeitsgases, das in der Entladungskammer erwärmt wird, und folglich ein niedriger Pegel der erzeugten Strahlung und niedriger Wirkungsgrad des Lasers.
  • Es ist eine Aufgabe der Erfindung, den Gaskühlungsgrad zu erhöhen, den Wirkungsgrad des Lasers und dessen Herstellbarkeit zu verbessern.
  • Diese Aufgabe wird gelöst, indem ein Umwälzungsgaslaser bereitgestellt wird, wobei der Laser ein Gehäuse, Wärmeaustauschventilatoren, die als Rotoren mit Scheiben auf einer Hohlwelle ausgeführt sind, eine Gasentladungskammer, ein System zum Zuführen eines Kühlmittels in die Wärmeaustauschventilatoren, und Resonatoren und Elektromotoren der Wärmeaustauschventilatoren aufweist. Der Laser weist zwei Wärmeaustauschgaszufuhrkanäle mit einer gemeinsamen Gasentladungskammer auf, die eine Anode und zwei Kathoden aufweist, wobei jeder Wärmeaustauschgaszufuhrkanal aufeinanderfolgend in einem Mantel angeordnete Wärmeaustauschventilatoren aufweist, die Achsen aufweisen, die parallel zur Anode installiert sind, wobei einer der Wärmeaustauschventilatoren das Gas in die Gasentladungskammer bläst, und nachfolgende Ventilatoren – ein ansaugender und z. B. dazwischen angeordnete – durch einen gemeinsamen Gaskanal dazwischen geschaltet sind; wobei die Resonatoren und Elektromotoren der Wärmeaustauschventilatoren in einem gemeinsamen Unterdruck bzw. Vakuumvolumen angeordnet sind.
  • Die im Vakuum angeordneten Elektromotoren der Wärmeaustauschventilatoren weisen ein Zwangskühlsystem auf.
  • Die Verwendung von mehreren Wärmeaustauschgaszufuhrkanälen mit Wärmeaustauschventilatoren zur Kühlung einer einzelnen (gemeinsamen) Gasentladungskammer stellt einen effektiven Betrieb des Lasers infolge einer abgestuften Strömungstemperaturabnahme auf das Niveau bereit, das eine vollständige Löschung der angeregten Niveaus der optisch aktiven Moleküle oder Atome bereitstellt.
  • Es sind Enddichtungen an der Hohlwelle installiert, um eine Zuführung und Entnahme des Kühlfluids zu Rotorscheiben der Wärmeaustauschventilatoren durch das Vakuumvolumengehäuse bereitzustellen.
  • Ferner wird die Erfindung mittels der Zeichnungen beschrieben. Es zeigen:
  • 1 einen Umwälzungsgaslaser,
  • 2 eine Seitenansicht desselben.
  • Wie in 1 gezeigt, umfaßt der Umwälzungsgaslaser ein Gehäuse 1 mit Wärmeaustauschventilatoren 3, 4, 5, 6, die in der Form von Rotoren mit Scheiben auf einer Hohlwelle ausgeführt sind, und eine Gasentladungskammer 7, die eine Anode 8 und Kathoden 9 und 10 aufweist, und außerdem ein System zum Zuführen eines Kühlmittels in die Wärmeaustauschventilatoren (das in den Zeichnungen gezeigt wird). Der Laser weist außerdem Resonatoren und Elektromotoren für Wärmeaustauschventilatoren mit einem Kühlsystem auf (das in den Zeichnungen nicht gezeigt wird). Der Laser weist zwei Wärmeaustauschgaszufuhrkanäle 11 und 12 mit einer gemeinsamen Gasentladungskammer 7 auf, wobei jeder der Gaszufuhrkanäle z. B. zwei, aufeinanderfolgend in Mänteln 13 und 14 angeordnete, Wärmeaustauschventilatoren 3, 4 oder 5, 6 aufweist, deren Achsen parallel zur Anode 8 installiert sind. Einer der Wärmeaustauschventilatoren in jedem der Wärmeaustauschgaszufuhrkanäle 11 und 12 ist ein Ventilator, der das Gas in die Gasentladungskammer 7 bläst, das heißt, die Ventilatoren 3, 5, und nachfolgende Wärmeaustauschventilatoren 4 und 6 sind absaugende. Es können verschiedene Zwischenwärmeaustauschventilatoren aufeinanderfolgend hintereinander installiert werden, um die Gasstromtemperatur in den Gaszufuhrkanälen 11, 12 effektiver zu senken.
  • Die Gaszufuhrkanäle 11 und 12 bilden einen gemeinsamen Teil des Kanal am Ort der Gasentladungskammer 7.
  • Die Saugwärmeaustauschventilatoren 4 und 6 stehen mit der Gasentladungskammer 7 nicht in direkter Verbindung und liefern einen Hauptbeitrag zur effektiven Kühlung des Gasstroms. Die gasdynamische Kontur, die Resonatoren und Elektromotoren sind in einem gemeinsamen Vakuumgehäuse 1 angeordnet. Die Elektromotoren der Wärmeaustauschventilatoren sind mit einem Wasserkühlsystem zum Betrieb im Vakuum versehen. Es sind Endabdichtungen an den Hohlwellen der Wärmeaustauschventilatoren installiert, um das Austreten des Kühlfluids in das Vakuumvolu men zu verhindern. Es ist ein Fenster 15 im hermetischen Gehäuse zur Ausgabe der Laserstrahlung vorgesehen.
  • Der Umwälzungsgaslaser arbeitet wie folgt. Die Wärmeaustauschventilatoren 3 und 5 führen den abgekühlten Gasstrom der Entladungskammer 7 zu. Es wird eine elektrische Entladung zwischen den Kathoden 9, 10 und der Anode 8 gezündet, die Schwingungsniveaus der aktiven Gaskomponente der Arbeitsmischung anregt. Die induzierte Strahlung der aktiven Komponente erzeugt im Resonator eine gerichtete Laserstrahlung, die durch das Fenster 15 abgegeben wird. Die Wärmeaustauschventilatoren 4 und 6 in den Wärmeaustauschgaszufuhrkanäle 11 und 12 saugen den durch die Entladung erwärmten Gasstrom ab und kühlen ihn auf eine Temperatur ab, die der effektivsten Betriebsart der Wärmeaustauschventilatoren 4, 6 entspricht. Folglich kann die Gastemperatur über der Temperatur der vollständigen Deaktivierung der Gasstromschwingungsniveaus bleiben. Um die gewünschte Temperatur zu erreichen, ist eine mehrstufige Gaskühlung mittels der Verwendung von Zwischenwärmeaustauschventilatoren vorgesehen, wobei sich in diesem Fall das Gas zu den Zwischenwärmeaustauschventilatoren bewegt, die eine stufenweise Gaskühlung auf die Temperatur der vollständigen Deaktivierung der Gasmischung bereitstellen, und dann wird das Gas zu den Wärmeaustauschventilatoren 3 und 5 bewegt, die die Arbeitsgasmischung zu Entladungskammer blasen.
  • Ein Kühlfluid wird durch das Kühlmittelzufuhrsystem den sich drehenden Hohlwellen der Wärmeaustauschventilatorrotoren zugeführt, und es werden Endabdichtungen an den Wänden des Vakuumvolumens verwendet.
  • Die gegebene Lasergestaltung ist praktisch ausführbar, stellt einen hohen Grad der Gasstromkühlung bereit und läßt es folglich zu, den Wirkungsgrad des Lasers zu erhöhen.

Claims (2)

  1. Umwälzungsgaslaser, der ein Gehäuse (1), Wärmeaustauschventilatoren (3, 4, 5, 6), die als Rotoren mit Scheiben auf einer Hohlwelle ausgeführt sind, eine Gasentladungskammer (7), die eine Anode (8) und mindestens eine Kathode (9, 10) aufweist, ein System zum Zuführen eines Kühlmittels in die Wärmeaustauschventilatoren und Resonatoren und Elektromotoren der Wärmeaustauschventilatoren aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß der Laser zwei Wärmeaustauschgaszufuhrkanäle (11) mit einer gemeinsamen Gasentladungskammer (7) aufweist, die eine Anode (8) und zwei Kathoden (9, 10) aufweist, wobei jeder Wärmeaustauschgaszufuhrkanal (11) aufeinanderfolgend in einem Mantel (13, 14) angeordnete Wärmeaustauschventilatoren (3, 4, 5, 6) aufweist, die Achsen aufweisen, die parallel zur Anode (8) installiert sind, wobei einer der Ventilatoren das abgekühlte Gas in die Gasentladungskammer (7) bläst, und der nachfolgende Ventilator das heiße Gas aus der Gasentladungskammer (7) absaugt; wobei die Resonatoren und Elektromotoren der Wärmeaustauschventilatoren mit Zwangskühlung in einem gemeinsamen Vakuumvolumen angeordnet sind.
  2. Umwälzungsgaslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Wärmeaustauschgaszufuhrkanal ferner Zwischenwärmeaustauschventilatoren aufweist, die schrittweise die Gasstromtemperatur senken, wobei die Zwischenwärmeaustauschventilatoren zwischen den absaugenden und blasenden Wärmeaustauschventilatoren installiert sind.
DE200510023470 2004-05-21 2005-05-20 Umwälzungsgaslaser Expired - Fee Related DE102005023470B4 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2004115440/28A RU2270499C2 (ru) 2004-05-21 2004-05-21 Проточный газовый лазер
RU04115440 2004-05-21

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102005023470A1 DE102005023470A1 (de) 2006-02-09
DE102005023470B4 true DE102005023470B4 (de) 2009-01-08

Family

ID=34836929

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE200510023470 Expired - Fee Related DE102005023470B4 (de) 2004-05-21 2005-05-20 Umwälzungsgaslaser

Country Status (4)

Country Link
DE (1) DE102005023470B4 (de)
FR (1) FR2870649B1 (de)
GB (1) GB2415287B (de)
RU (1) RU2270499C2 (de)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102969645B (zh) * 2012-11-21 2015-07-15 中国科学院光电研究院 双电极放电腔的导流装置及应用其的放电腔、准分子激光器

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4635269A (en) * 1985-02-08 1987-01-06 Laser Corporation Of America Flowing gas laser having screening for smoothing low turbulence flow
WO1991007789A1 (en) * 1989-11-15 1991-05-30 Institut Teoreticheskoi I Prikladnoi Mekhaniki Sibirskogo Otdelenia Akademii Nauk Sssr Flow-type gas laser
SU1718314A1 (ru) * 1981-03-11 1992-03-07 Институт Теоретической И Прикладной Механики Со Ан Ссср Проточный газовый лазер

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3245958A1 (de) * 1982-12-11 1984-06-14 Battelle-Institut E.V., 6000 Frankfurt Laseranordnung
JPH0232579A (ja) * 1988-07-22 1990-02-02 Fanuc Ltd レーザ発振装置
GB8905937D0 (en) * 1989-03-15 1989-04-26 Atomic Energy Authority Uk High pressure gas laser
JPH07227688A (ja) * 1994-02-22 1995-08-29 Daihen Corp ガスレ−ザ加工機

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1718314A1 (ru) * 1981-03-11 1992-03-07 Институт Теоретической И Прикладной Механики Со Ан Ссср Проточный газовый лазер
US4635269A (en) * 1985-02-08 1987-01-06 Laser Corporation Of America Flowing gas laser having screening for smoothing low turbulence flow
WO1991007789A1 (en) * 1989-11-15 1991-05-30 Institut Teoreticheskoi I Prikladnoi Mekhaniki Sibirskogo Otdelenia Akademii Nauk Sssr Flow-type gas laser

Also Published As

Publication number Publication date
DE102005023470A1 (de) 2006-02-09
FR2870649A1 (fr) 2005-11-25
RU2270499C2 (ru) 2006-02-20
GB2415287A (en) 2005-12-21
GB2415287B (en) 2008-05-07
RU2004115440A (ru) 2005-11-10
FR2870649B1 (fr) 2007-02-09
GB0510264D0 (en) 2005-06-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8004839B2 (en) Cooling system for information device
DE60130984T2 (de) Mehrstufiger kompressor
DE19741750A1 (de) Röntgenstrahler mit zwangsgekühlter Drehanode
EP1006644A2 (de) Gasgekühlte elektrische Maschine mit einem Axialventilator
DE102005023470B4 (de) Umwälzungsgaslaser
EP0065761A2 (de) Laseranordnung
US4672622A (en) Gas transport laser apparatus with axial gas flow
CN117335249A (zh) 一种用于激光器的散热装置
DE102012204234A1 (de) Mikrowellen-Kombigerät mit einem Gebläse zur Kühlung
DE1628423A1 (de) Kompressoreinheit
EP0656479B1 (de) Einstufiger Flügelzellenverdichter
WO2008052735A1 (de) Kühlmodul, technisches gerät mit einem kühlmodul sowie verfahren zur innenkühlung eines technischen geräts
EP0664423A1 (de) Gebläsekonvektor
EP2192366B1 (de) Vorrichtung zum Bestrahlen eines Substrats
DE102011006075A1 (de) Gargerät mit Kühlluftführung
DE19906133A1 (de) Tauchpumpe
EP1544979A3 (de) Temperaturkontrolle von Rotorenwicklungsköpfen
CN219329657U (zh) 一种鼓风机电机冷却结构
CH222288A (de) Molekularpumpe.
JP7398125B2 (ja) 圧力差を利用して冷却させる圧縮ガスの圧力差活用冷却部が適用された二段ガス圧縮手段
DE10018895A1 (de) Luftschleiervorrichtung mit Luftkreislauf
JP7397148B1 (ja) エアカーテン分離機構を備えた交換型付加製造装置システム
CN210015327U (zh) 一种电路板加工用的曝光装置
SU868124A1 (ru) Турбомолекул рный вакуумный насос
KR20070039414A (ko) 제강설비용 모터의 쿨링장치

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: AVIAKOMPANIA "SIBIR", NOVOSBIRK, RU

Owner name: INSTITUT TEORETICESKOJ I PRIKLADNOJ MECHANIKI , RU

R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee

Effective date: 20111201