JPH01121930U - - Google Patents

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JPH01121930U
JPH01121930U JP1639688U JP1639688U JPH01121930U JP H01121930 U JPH01121930 U JP H01121930U JP 1639688 U JP1639688 U JP 1639688U JP 1639688 U JP1639688 U JP 1639688U JP H01121930 U JPH01121930 U JP H01121930U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の実施例の側面図（第２図にお
けるＡ矢視図）、第２図は第１図の正面図、第３
図は第１図のＢ矢視拡大図、第４図はウエハ取外
し工程図、第５図はウエハ取付工程図、第６図お
よび第７図は従来例の正面図および側面図を示す
。 １……ウエハ、２……ウエハ吸着用アーム、４
……空気噴出し用アーム、１１……ウエハ装着用
テーブル、１２……溝部。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 垂直面を形成し、かつ該垂直面に開設した溝部
    を有するウエハ装着用テーブルからなる露光装置
    に使用されるものであつて、 ウエハの裏面を真空吸着し、かつ前記溝部へ挿
    入かつ沈入可能のウエハ吸着用アームと、 該ウエハ吸着用アームのウエハ側でウエハと若
    干の間隔を有して対面し、かつウエハの露光表面
    に向け空気を噴出する空気噴出し用アームと、か
    らなるウエハ露光用ハンドリング装置。
JP1639688U 1988-02-12 1988-02-12 ウエハ露光用ハンドリング装置 Expired - Lifetime JPH062267Y2 (ja)

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JP1639688U JPH062267Y2 (ja) 1988-02-12 1988-02-12 ウエハ露光用ハンドリング装置

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JPH01121930U true JPH01121930U (ja) 1989-08-18
JPH062267Y2 JPH062267Y2 (ja) 1994-01-19

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0265341U (ja) * 1988-11-04 1990-05-16
JP2010264552A (ja) * 2009-05-15 2010-11-25 Lintec Corp 板状部材の搬送装置及び搬送方法
JP2010264550A (ja) * 2009-05-15 2010-11-25 Lintec Corp 板状部材の搬送装置及び搬送方法
WO2014109196A1 (ja) * 2013-01-09 2014-07-17 東京エレクトロン株式会社 プローブ装置及びウエハ搬送システム

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JP2010264552A (ja) * 2009-05-15 2010-11-25 Lintec Corp 板状部材の搬送装置及び搬送方法
JP2010264550A (ja) * 2009-05-15 2010-11-25 Lintec Corp 板状部材の搬送装置及び搬送方法
WO2014109196A1 (ja) * 2013-01-09 2014-07-17 東京エレクトロン株式会社 プローブ装置及びウエハ搬送システム

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JPH062267Y2 (ja) 1994-01-19

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