JPH01121648U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01121648U JPH01121648U JP1641288U JP1641288U JPH01121648U JP H01121648 U JPH01121648 U JP H01121648U JP 1641288 U JP1641288 U JP 1641288U JP 1641288 U JP1641288 U JP 1641288U JP H01121648 U JPH01121648 U JP H01121648U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- flatness
- holding
- cutting tool
- rotating body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
第1図はこの考案に係わるスライシングマシン
の一実施例の構成を概略的に示す正面図;第2図
は保持機構の構成を概略的に示す正面図;第3図
は保持機構における吸引孔の配設状態を示す側面
図;第4図は検出機構の構成を概略的に示す正面
図;そして、第5図はドレス時期を現すドレス信
号を出力するための制御システムを示すブロツク
図である。 図中、10…スライシングマシン、12…基台
、14…スタンド、16…スライド台、18a,
18b…プーリ、20…ワイヤ、22…ウエイト
、24…リフト台、26…主軸、28…軸受機構
、30…第1の駆動モータ、30a…駆動軸、3
2…従動プーリ、34…駆動プーリ、36…エン
ドレスベルト、38…ボールねじ、40…第2の
駆動モータ、40a…駆動軸、42…テンシヨン
デイスク、44…ブレード、46…切刃、48…
スライドテーブル、49…スライドベース、50
…第3の駆動モータ、50a…駆動軸、52…ボ
ールねじ、54…保持機構、56…移動機構、5
8…シリンダ装置、60…ピストン、62…支点
、64…クランク部材、64a…支持片、64b
…保持片、66…検出機構、68…吸引孔、70
a,70b,70c…非接触式センサ、72…反
り演算装置、74…比較器、76a…第1の設定
器、76b…第2の設定器、78…制御装置、S
I…シリコンインゴツト、SW…シリコンウエハ
、SP…被加工物部分である。
の一実施例の構成を概略的に示す正面図;第2図
は保持機構の構成を概略的に示す正面図;第3図
は保持機構における吸引孔の配設状態を示す側面
図;第4図は検出機構の構成を概略的に示す正面
図;そして、第5図はドレス時期を現すドレス信
号を出力するための制御システムを示すブロツク
図である。 図中、10…スライシングマシン、12…基台
、14…スタンド、16…スライド台、18a,
18b…プーリ、20…ワイヤ、22…ウエイト
、24…リフト台、26…主軸、28…軸受機構
、30…第1の駆動モータ、30a…駆動軸、3
2…従動プーリ、34…駆動プーリ、36…エン
ドレスベルト、38…ボールねじ、40…第2の
駆動モータ、40a…駆動軸、42…テンシヨン
デイスク、44…ブレード、46…切刃、48…
スライドテーブル、49…スライドベース、50
…第3の駆動モータ、50a…駆動軸、52…ボ
ールねじ、54…保持機構、56…移動機構、5
8…シリンダ装置、60…ピストン、62…支点
、64…クランク部材、64a…支持片、64b
…保持片、66…検出機構、68…吸引孔、70
a,70b,70c…非接触式センサ、72…反
り演算装置、74…比較器、76a…第1の設定
器、76b…第2の設定器、78…制御装置、S
I…シリコンインゴツト、SW…シリコンウエハ
、SP…被加工物部分である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 回転駆動可能に支持された回転体と、 この回転体に装着されて回転し、切刃を有する
切断工具と、 この切断工具と交差する方向に沿つて被加工物
を相対的に進退動可能に保持する被加工物移動手
段と、 この被加工物移動手段に対向して配設され、上
記切断工具により被加工物から切断中の被加工物
部分を保持する保持手段と、 この保持手段に取り付けられ、これに保持され
た被加工物部分の端面に対向して配設され、この
端面の平面度を検出する検出手段と、 この検出手段により検出された平面度と、予め
設定された許容平面度とを比較し、この検出され
た平面度が許容平面度を越えた場合にドレス信号
を出力する比較手段とを具備する事を特徴とする
スライシングマシン。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1641288U JPH01121648U (ja) | 1988-02-12 | 1988-02-12 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1641288U JPH01121648U (ja) | 1988-02-12 | 1988-02-12 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01121648U true JPH01121648U (ja) | 1989-08-17 |
Family
ID=31229325
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1641288U Pending JPH01121648U (ja) | 1988-02-12 | 1988-02-12 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01121648U (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5039589A (ja) * | 1973-07-05 | 1975-04-11 | ||
JPS5285838A (en) * | 1976-01-09 | 1977-07-16 | Hitachi Ltd | Ingot cut-end-form measuring device |
JPS5319506U (ja) * | 1976-07-30 | 1978-02-20 |
-
1988
- 1988-02-12 JP JP1641288U patent/JPH01121648U/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5039589A (ja) * | 1973-07-05 | 1975-04-11 | ||
JPS5285838A (en) * | 1976-01-09 | 1977-07-16 | Hitachi Ltd | Ingot cut-end-form measuring device |
JPS5319506U (ja) * | 1976-07-30 | 1978-02-20 |
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