JPH01120349A - ホトプロッタ - Google Patents
ホトプロッタInfo
- Publication number
- JPH01120349A JPH01120349A JP62279717A JP27971787A JPH01120349A JP H01120349 A JPH01120349 A JP H01120349A JP 62279717 A JP62279717 A JP 62279717A JP 27971787 A JP27971787 A JP 27971787A JP H01120349 A JPH01120349 A JP H01120349A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- moving table
- motion error
- photoplotter
- drawing time
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 1
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06K—GRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
- G06K15/00—Arrangements for producing a permanent visual presentation of the output data, e.g. computer output printers
- G06K15/22—Arrangements for producing a permanent visual presentation of the output data, e.g. computer output printers using plotters
- G06K15/225—Arrangements for producing a permanent visual presentation of the output data, e.g. computer output printers using plotters using optical plotters
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はホトプロッタ、特にフラットベツド型うスク走
査レーザホトプロッタに関する。
査レーザホトプロッタに関する。
従来の技術としては、例えば電子材料第２５巻第１０号
１０４頁から１０８頁に記載のホトプラッタがある。
１０４頁から１０８頁に記載のホトプラッタがある。
第４図は従来のホトプロッタの一例を示す斜視図である
。
。
第４図に示すホトプロッタはレーザ発振器１と電気光学
変調器２と回転多面体鏡４とｆθレンズ５と直線移動台
７と位置計測器８とを含んで構成される。
変調器２と回転多面体鏡４とｆθレンズ５と直線移動台
７と位置計測器８とを含んで構成される。
レーザ発振器１から出射したレーザ光は電気光学変調器
２でスイッチングされ、回転多面体鏡４とｆθレンズ５
を通して直線移動台７に載置された感光材上に微小スポ
ットを形成しかつ直線移動台７の移動方向と直角方向に
走査される。
２でスイッチングされ、回転多面体鏡４とｆθレンズ５
を通して直線移動台７に載置された感光材上に微小スポ
ットを形成しかつ直線移動台７の移動方向と直角方向に
走査される。
同時に、直線移動台７は一定速度で駆動されし−ザ光ス
ポット６は直線移動台７の移動方向にも走査される。こ
のように、レーザ光の２つの走査とレーザ光の断続によ
り、感光材上に印刷配線板の回路パターンを描画する構
造となっている。
ポット６は直線移動台７の移動方向にも走査される。こ
のように、レーザ光の２つの走査とレーザ光の断続によ
り、感光材上に印刷配線板の回路パターンを描画する構
造となっている。
上述した従来のホトプロッタは直線移動台の運動制御に
１つの位置計測器だけを用いており、１つの測定点が一
定の移動速度になるように制御されているので、直線移
動台の直線案内部のガタ、ぜい弱な剛性により発生する
直線移動台のヨーイング運動誤差に基づく描画の誤差が
生じ、特に直線移動台周辺部の描画精度が劣化するとい
う欠点があった。
１つの位置計測器だけを用いており、１つの測定点が一
定の移動速度になるように制御されているので、直線移
動台の直線案内部のガタ、ぜい弱な剛性により発生する
直線移動台のヨーイング運動誤差に基づく描画の誤差が
生じ、特に直線移動台周辺部の描画精度が劣化するとい
う欠点があった。
本発明のホトプロッタは直線移動台と回転多面体鏡によ
りレーザ光を前記直線移動台上に載置された感光材上で
走査し印刷配線板の回路パターンを描画するホトプロッ
タであって、前記直線移動台のヨーイング運動誤差検出
手段と、前記直線移動台の移動方向にレーザ光スポット
を移動させるレーザ光偏向手段と、回転多面鏡による走
査において、レーザ光断続のタイミング即ち描画時刻を
調整して等測的にレーザ光スポットを移動させる描画時
刻調整手段と、前記直線移動台のヨーイング運動誤差か
らレーザ光偏向角と、描画時刻調整時間を演算し前記レ
ーザ光偏向手段と前記描画時刻調整手段とを制御する演
算処理部とを含んで構成される。
りレーザ光を前記直線移動台上に載置された感光材上で
走査し印刷配線板の回路パターンを描画するホトプロッ
タであって、前記直線移動台のヨーイング運動誤差検出
手段と、前記直線移動台の移動方向にレーザ光スポット
を移動させるレーザ光偏向手段と、回転多面鏡による走
査において、レーザ光断続のタイミング即ち描画時刻を
調整して等測的にレーザ光スポットを移動させる描画時
刻調整手段と、前記直線移動台のヨーイング運動誤差か
らレーザ光偏向角と、描画時刻調整時間を演算し前記レ
ーザ光偏向手段と前記描画時刻調整手段とを制御する演
算処理部とを含んで構成される。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は本発
明のホトプロッタの制御ブロック図、第３図は直線移動
台のヨーイング運動誤差の描画点の関係を示す説明図で
ある。
明のホトプロッタの制御ブロック図、第３図は直線移動
台のヨーイング運動誤差の描画点の関係を示す説明図で
ある。
第１図と第２図で示されるホトプロッタは直線移動台７
の両側に配置された２つの光電式リニアエンコーダ８と
光路中回転多面体鏡４と、描画信号発生部１０と、電気
光学変調器２との開に配置され直線移動台の移動方向に
レーザ光を偏向させる音響光学偏向器３と、、描画タイ
ミングを調整する描画時刻制御部１２と、前記２つの光
電式リニアケンコーダ８に接続されて前記直線移動台の
ヨーイング運動誤差に起因する描画点の移動量と等しく
レーザ光スポット６移動させるレーザ偏向角と描画時刻
調整時間を演算して前記音響光学偏向器３と描画時刻制
御部１２とを制御する演算処理部１１とを含んで構成さ
れる。
の両側に配置された２つの光電式リニアエンコーダ８と
光路中回転多面体鏡４と、描画信号発生部１０と、電気
光学変調器２との開に配置され直線移動台の移動方向に
レーザ光を偏向させる音響光学偏向器３と、、描画タイ
ミングを調整する描画時刻制御部１２と、前記２つの光
電式リニアケンコーダ８に接続されて前記直線移動台の
ヨーイング運動誤差に起因する描画点の移動量と等しく
レーザ光スポット６移動させるレーザ偏向角と描画時刻
調整時間を演算して前記音響光学偏向器３と描画時刻制
御部１２とを制御する演算処理部１１とを含んで構成さ
れる。
第３図は直線移動台のヨーイング運動誤差と描画点位置
を示す説明図である。直線移動台にヨーイング運動誤差
θが発生すると、描画されるべき点は（Ｘｏ ＋ ３１
０ ）から（ｘ、ｙ）へ移動する。
を示す説明図である。直線移動台にヨーイング運動誤差
θが発生すると、描画されるべき点は（Ｘｏ ＋ ３１
０ ）から（ｘ、ｙ）へ移動する。
このとき以下の関係がある。
ｘ＝ｘＯｃｏｓθ−ｙＯ５ＩＩｌθ
３’ ＝ Ｘ ＯＳｌｎ θ＋ｙＯＣＯｓ θまた、
同時にこの直線移動台のヨーイング運動誤差θは前記直
線移動第の両端の移動量ｙｔ＋ｙ２とその間隔Ｌｏから
求めることができる。
同時にこの直線移動台のヨーイング運動誤差θは前記直
線移動第の両端の移動量ｙｔ＋ｙ２とその間隔Ｌｏから
求めることができる。
θ ＝ く ｙ２− ｙ １ ） ／Ｌ。
従って、直線移動台両端の移動量ｙｔ ｌ ３’２を計
測することにより、ヨーイング運動誤差θと、それによ
り移動した描画点の座標（ｘ、ｙ）を求めることかでき
る。
測することにより、ヨーイング運動誤差θと、それによ
り移動した描画点の座標（ｘ、ｙ）を求めることかでき
る。
演算処理部１１は互いに距離り。を隔てて配置された２
の光電式リニアエンコーダ８から得られる直線移動台上
に２点の移動量ｙｌ ＋ ３’ ２から直線移動台のヨ
ーイング運動誤差θとそれにより移動した描画点の座標
（ｘ、ｙ）を演算する。
の光電式リニアエンコーダ８から得られる直線移動台上
に２点の移動量ｙｌ ＋ ３’ ２から直線移動台のヨ
ーイング運動誤差θとそれにより移動した描画点の座標
（ｘ、ｙ）を演算する。
さらに、ヨーイング運動誤差θは１ｒａｄより十分小さ
いので位置補正量（△Ｘ、△ｙ）は次のように表わされ
る。
いので位置補正量（△Ｘ、△ｙ）は次のように表わされ
る。
ΔＸ＝Ｘ Ｘｏ＝ ３’ｏθ
△’ｐ’＝’！−ｙｏ＝ Ｘｏθ
従って演算処理部１１は、位置補正量Ｘ。θを前記音響
光学偏向器３に伝え、描画点までの光路長とから決定さ
れる偏向角を生じさせ機会走査方向の描画位置補正を行
なう。同時に位置補正量−ｙ。θを前記描画時刻制御部
１２に伝え、光走査速度とから決定される描画時刻調整
時間だけ描画信号を調整して光走査方向の描画位置補正
を行なう。
光学偏向器３に伝え、描画点までの光路長とから決定さ
れる偏向角を生じさせ機会走査方向の描画位置補正を行
なう。同時に位置補正量−ｙ。θを前記描画時刻制御部
１２に伝え、光走査速度とから決定される描画時刻調整
時間だけ描画信号を調整して光走査方向の描画位置補正
を行なう。
本発明のホトプロッタは、−軸移動台のヨーイング運動
誤差出手段と、レーザ光を機会走査方向に偏向させる手
段と、光走査における描画開始時刻調整手段とを追加す
ることにより、−軸移動台のヨーイング運動誤差により
生ずる描画点の機会走査方向および光走査方向へのずれ
に対してレーザ光スポット位置を補正するので高精度に
描画できるという効果がある。
誤差出手段と、レーザ光を機会走査方向に偏向させる手
段と、光走査における描画開始時刻調整手段とを追加す
ることにより、−軸移動台のヨーイング運動誤差により
生ずる描画点の機会走査方向および光走査方向へのずれ
に対してレーザ光スポット位置を補正するので高精度に
描画できるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は本発
明のホトプロッタの描画制御のブロック図、第３図は一
軸移動台と描画点を示す説明図、第４図は従来の一例を
示す斜視図である。 １・・・レーザ発振器、２・・・電気光学変調器、３・
・・音響光学偏向器、４・・・回転多面体鏡、５・・・
ｆθレンズ、６・・・レーザ光スポット、７・・・−軸
移動台、８・・・光電式リニアエンコーダ、１０・・・
描画信号発生部、１１・・・演算処理部、１２・・・描
画時刻制御部。
明のホトプロッタの描画制御のブロック図、第３図は一
軸移動台と描画点を示す説明図、第４図は従来の一例を
示す斜視図である。 １・・・レーザ発振器、２・・・電気光学変調器、３・
・・音響光学偏向器、４・・・回転多面体鏡、５・・・
ｆθレンズ、６・・・レーザ光スポット、７・・・−軸
移動台、８・・・光電式リニアエンコーダ、１０・・・
描画信号発生部、１１・・・演算処理部、１２・・・描
画時刻制御部。
Claims (1)
- 直線移動台と回転多面体鏡によりレーザ光を前記直線
移動台上に載置された感光材上で走査し印刷配線板の回
路パターンを描画するホトプロッタにおいて、直線移動
台のヨーイング運動誤差検出手段と、前記直線移動台の
移動方向にレーザ光スポットを移動させるレーザ光偏向
手段と、回転多面鏡による走査において描画時刻を調整
して等価的にレーザ光スポットを移動させる描画時刻調
整手段と、前記直線移動台のヨーイング運動誤差からレ
ーザ光偏向角と描画時刻調整時間を演算し前記レーザ光
偏向手段と前記描画時刻調整手段とを制御する演算処理
部とを含むことを特徴とするホトプロッタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62279717A JPH01120349A (ja) | 1987-11-04 | 1987-11-04 | ホトプロッタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62279717A JPH01120349A (ja) | 1987-11-04 | 1987-11-04 | ホトプロッタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01120349A true JPH01120349A (ja) | 1989-05-12 |
Family
ID=17614900
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62279717A Pending JPH01120349A (ja) | 1987-11-04 | 1987-11-04 | ホトプロッタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01120349A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6061081A (en) * | 1993-12-03 | 2000-05-09 | Keyence Corporation | Scan type laser marking device including a scanning speed setting device |
-
1987
- 1987-11-04 JP JP62279717A patent/JPH01120349A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6061081A (en) * | 1993-12-03 | 2000-05-09 | Keyence Corporation | Scan type laser marking device including a scanning speed setting device |
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