JPH01116369A - バツクラツシユ除去装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分骨〕 この発明は、メネジにネジ軸が螺合された駆動ｆ！１ｒ
Ｉｔにおける精密ネジの精度向上とネジの耐久力向上の
ためのバックラッシュ除去装置に関Ｔるものである〇 〔従来の技術〕 従来この楓のネジ装置は、黄銅の材質のメネジと、ステ
ンレスの材質のオネジにて構成さｎており、オネジの左
右の回転頻度が高く、必然的に相互のネジの摩耗が発生
して、ミクロン単位の精度が維持できなくなった。

こ〜で従来の相互のネジの構造について説明Ｔる。第８
因に示Ｔように、モーターｌとギヤ２の駆動によって、
プーリー４を介してベルト３及びプーリー５に連動され
て軸受７に支承されたネジ軸６を回転させる。このネジ
軸６は左右（正逆）に回転してメネジ８を矢印ＢＯの方
向へ移動Ｔる。

そして、メネジ８の底に設置されているアンビルｌＯに
接触しているアームＵによって、ミクロンのアライメン
トを行なう◇なお、メネジ８にＧＳ回ｆ。

止めピン９が設置さｎており、メネジ８の回転を防止し
ている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来のアライメント機構では、ネジ軸６の左右への回転
による摩耗が生じて、第４図イに示Ｔ如く、メネジ８と
ネジ軸６のガタ（隙間）２が発生し、６か月はどでアラ
イメントが困難になるという問題点があった。

この発明は以上のよ″うな問題点を解決Ｔるためになさ
れたもので、メネジとネジ軸の摩耗によるガタをなくＴ
ことを目的とＴる〇 〔問題点を解決Ｔるための手段〕 この発明に係るバックラッシュ除去装置は、メネジを大
ナツトと小ナツトに分割するとともに、こｎらの間に複
数の圧縮バネとスライドビンを交互にわたしたものであ
る。

〔作用〕

この発明における圧縮バネは、ネジ軸に螺合する大ナツ
トと小ナツトとをそれぞｎ反対方向（外方）に押しつけ
、ネジ軸とのガタをなくＴる。

〔実施例〕

以下この発明の一実施例を！１！ｉＬ第２図について説
明Ｔる０従来例との違いはメネジ部のみであり、メネジ
部８を大ナツト８ａと小ナツト８ｂに分割し、こｎらの
間に８個の圧縮バネνと８個のニードルビン化をわたＴ
ことにより、ネジ軸６に常に一定の荷重をかけるように
したものである。即ち、小ナツト８ｂ６Ｉ：は硬度の高
いニードルビン１３が６０度等分で８か所圧入さｎてお
り、大ナツ）　８ａ側にはこのニードルビンｎかスライ
ドできる穴な設け、さらに圧縮バネνか６０度等分で８
か所埋め込！ｌ″ｎている。なお、大ナツ）　８＆の回
転を防止Ｔるために回転止めビン９を取付けである。そ
して大ナツト′８＆に取付けらｎたアンビル１０面にア
ーム１１の突起が接触していて、このアーム■に連動さ
ｎて露光装置のウニへ面の角度アライメントの微調整を
行なうものである。

次にその作用について説明する。圧縮バネレの反発力か
ネジ軸６のネジ山にか−り、第４肉口に示すよう°な状
態で大ナツ）　８ａと小ナツト８ｂの隙間２ができる。

よってネジ軸６に一定の回転荷重１００１１／が掛り、
メネジ側とネジ軸のガタは０となり、アライメント精度
の向上となる。なお従来の構造では相互のネジの摩耗で
約６か月で使用不能となっていたのが、この発明によれ
ば、数年の耐久力を有Ｔるものとなった。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、ネジの精度維持の耐久
力が半永久的になって度々の交換を要せず、かつ高価な
ネジを使用しなくてすむので安価に製作し得る効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示Ｔもので、イは衝面正
面図、口はそのＡ−Ａ断面図、第２図は分解斜視図、第
３１１！１は従来装置を示ＴＪｒ面正面図、第４図は従
来のものイと本発明の実施例によるもの口との比較作用
図である。 図中、６はネジ軸、８はメネジ、１５ａは大ナツト、８
ｂは小ナツト、νは圧縮バネ、１３はスライドビンであ
る。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）メネジに螺合されたネジ軸を正逆回転させること
   により、メネジを左右に移動させるようにしたものにお
   いて、上記メネジを大ナットと小ナットに分割するとと
   もに、これらの分割面間に複数の圧縮バネとスライドピ
   ンとを交互にわたしてなるバックラッシュ除去装置。
2. （２）圧縮バネとスライドピンはそれぞれ円周上６０度
   等分に配置されている特許請求の範囲第１項記載のバッ
   クラッシュ除去装置。