JPH01115872A - 窒化ケイ素セラミックス - Google Patents
窒化ケイ素セラミックスInfo
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- JPH01115872A JPH01115872A JP62274378A JP27437887A JPH01115872A JP H01115872 A JPH01115872 A JP H01115872A JP 62274378 A JP62274378 A JP 62274378A JP 27437887 A JP27437887 A JP 27437887A JP H01115872 A JPH01115872 A JP H01115872A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、高強度、高耐熱性、高耐熱衝撃性等の特性が
要求されるエンジン部品、例えばディーゼルエンジン、
ガスタービンエンジンにおけるピンストンキャップ、燃
焼副室、ターボチャージャ、静翼、動翼、または溶融金
属にぬれに〈<、耐食性が要求される溶融金属との接触
部品、例えばアルミニウム、亜鉛等のグイキャスト装置
のシリンダ、ピストン部品、金属および金属間化合物単
結晶の引上げジグ、るつぼ、または高周波加熱、プラズ
マアーク等、急激な温度上昇に耐えることが要求される
熱ジグ、工具部品、例えばサポートジグ、ホールドジグ
、または高強度で、高い破壊じん性が要求されるベアリ
ング、摺動部品等に使用する窒化ケイ素セラミックスに
関する。
要求されるエンジン部品、例えばディーゼルエンジン、
ガスタービンエンジンにおけるピンストンキャップ、燃
焼副室、ターボチャージャ、静翼、動翼、または溶融金
属にぬれに〈<、耐食性が要求される溶融金属との接触
部品、例えばアルミニウム、亜鉛等のグイキャスト装置
のシリンダ、ピストン部品、金属および金属間化合物単
結晶の引上げジグ、るつぼ、または高周波加熱、プラズ
マアーク等、急激な温度上昇に耐えることが要求される
熱ジグ、工具部品、例えばサポートジグ、ホールドジグ
、または高強度で、高い破壊じん性が要求されるベアリ
ング、摺動部品等に使用する窒化ケイ素セラミックスに
関する。
従来の技術
従来、窒化ケイ素(Si3N4)を主原料とするエンジ
ニアリング会セラミックスが高強度、耐熱性、耐食性、
耐摩耗性、高じん性に優れているので、工具等の各種用
途に実施されている。この窒化ケイ素の粉末は難焼結性
であるので、酸化イツトリウム(Y2O2) 、酸化ア
ルミニウム (A1203)、酸化マグネシウム(Mg
O)などの酸化物が焼結助剤として用いられている。そ
して、これらの焼結助剤の少量を窒化ケイ素の粉末に均
一に分散させて圧粉体を成型し、この圧粉体を焼結温度
に加熱する。この加熱により焼結助剤と、これに接触し
てい−る窒化ケイ素の粒子の表面が反応し、融点が低い
ガラス相を形成する。
ニアリング会セラミックスが高強度、耐熱性、耐食性、
耐摩耗性、高じん性に優れているので、工具等の各種用
途に実施されている。この窒化ケイ素の粉末は難焼結性
であるので、酸化イツトリウム(Y2O2) 、酸化ア
ルミニウム (A1203)、酸化マグネシウム(Mg
O)などの酸化物が焼結助剤として用いられている。そ
して、これらの焼結助剤の少量を窒化ケイ素の粉末に均
一に分散させて圧粉体を成型し、この圧粉体を焼結温度
に加熱する。この加熱により焼結助剤と、これに接触し
てい−る窒化ケイ素の粒子の表面が反応し、融点が低い
ガラス相を形成する。
このガラス相は全体、あるいは一部が溶融するなどして
窒化ケイ素粒子の間に染み込み、窒化ケイ素粒子を接合
する。
窒化ケイ素粒子の間に染み込み、窒化ケイ素粒子を接合
する。
しかし、上記のようにして焼結した窒化ケイ素からなる
セラミックスを単純に冷却すると。
セラミックスを単純に冷却すると。
粒子間に形成したガラス相は原子の配列がバラバラな状
態のガラス(非晶質)状のまま固まる。このため、この
セラミックスを高温に加熱すると、窒化ケイ素そのもの
は軟化しなくても窒化ケイ素の粒子同士を繋いでいる粒
界相であるガラス相が軟化してしまい、セラミックス全
体の強さを低下させてしまう、このように焼結体内に残
るガラス相をどのように強化するかが焼結体を製造する
際の重要な問題である。最も簡単な方法は焼結助剤を極
力減らせ1fよいが、焼結助剤を単純に減らすと、窒化
ケイ素の焼結が難しくなる。
態のガラス(非晶質)状のまま固まる。このため、この
セラミックスを高温に加熱すると、窒化ケイ素そのもの
は軟化しなくても窒化ケイ素の粒子同士を繋いでいる粒
界相であるガラス相が軟化してしまい、セラミックス全
体の強さを低下させてしまう、このように焼結体内に残
るガラス相をどのように強化するかが焼結体を製造する
際の重要な問題である。最も簡単な方法は焼結助剤を極
力減らせ1fよいが、焼結助剤を単純に減らすと、窒化
ケイ素の焼結が難しくなる。
近時、焼結助剤を減少させる方法として、ガス圧力焼結
法が開発された。窒化ケイ素の一般的な常圧焼結法では
、窒化ケイ素が高温になると固体が分解を始め、揮発し
てしまうので、加熱温度に限界があるが、ガス圧力焼結
法によれば、焼結中の圧力粉体の周囲を窒素ガス (N
2)で加圧することにより上記分解反応を抑えることが
できる。窒化ケイ素の分解が抑制されると、焼結温度を
高くすることができる。この焼結温度が高くなるほど原
子は拡散し易くなり、焼結の進み具合が速くなる。した
がって、焼結助剤の量を減らしても 密な焼結体を製造
することができる。そして、一般的に窒化ケイ素のガス
圧焼結法は圧力、約10MPa、温度、1800〜21
00℃の条件で行なわれる。
法が開発された。窒化ケイ素の一般的な常圧焼結法では
、窒化ケイ素が高温になると固体が分解を始め、揮発し
てしまうので、加熱温度に限界があるが、ガス圧力焼結
法によれば、焼結中の圧力粉体の周囲を窒素ガス (N
2)で加圧することにより上記分解反応を抑えることが
できる。窒化ケイ素の分解が抑制されると、焼結温度を
高くすることができる。この焼結温度が高くなるほど原
子は拡散し易くなり、焼結の進み具合が速くなる。した
がって、焼結助剤の量を減らしても 密な焼結体を製造
することができる。そして、一般的に窒化ケイ素のガス
圧焼結法は圧力、約10MPa、温度、1800〜21
00℃の条件で行なわれる。
発明が解決しようとする問題点
しかし、上記従来の窒化ケイ素を主原料とするセラミッ
クスはガス圧力焼結法により製造しても、なお、酸化イ
ツトリウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウムなど
のかなりの量の焼結助剤が用いられており、したがって
、高密度性、高硬度性、高耐熱性に不充分であるなどの
問題があった。
クスはガス圧力焼結法により製造しても、なお、酸化イ
ツトリウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウムなど
のかなりの量の焼結助剤が用いられており、したがって
、高密度性、高硬度性、高耐熱性に不充分であるなどの
問題があった。
本発明は、以上のような従来技術の問題を解決するもの
で、高密度性、高硬度性、高耐熱性を得ることができ、
したがって、広範な用途に使用することができるように
した窒化ケイ素セラミックスを提供することを目的とす
るものである。
で、高密度性、高硬度性、高耐熱性を得ることができ、
したがって、広範な用途に使用することができるように
した窒化ケイ素セラミックスを提供することを目的とす
るものである。
問題点を解決するための手段
本発明は上記目的を達成するため、窒化ケイ素に少なく
とも重量比で0.1〜25%のニオブおよびニオブ系物
質の一種、若しくは複数種が混合されて形成されたもの
である。
とも重量比で0.1〜25%のニオブおよびニオブ系物
質の一種、若しくは複数種が混合されて形成されたもの
である。
作用
上記技術的手段による作用は次のようになる。
窒化ケイ素にニオブおよびニオブ系物質の一種、若しく
は複数種を0.1〜25重量%混入して焼結することに
より、ニオブ、若しくはニオブ系物質が窒化ケイ素の粒
子間に存在してその結合を強固にし、高密度性、高硬度
性を向上させることができ、また、ニオブ、若しくはニ
オブ系物質自身が耐熱性に優れているので、焼結された
セラミックスの耐熱性を向上させることができる。また
、従来用いられていた焼結助剤は必要に応じて微量用い
ればよいので、上記物性の劣化を防止することができる
。
は複数種を0.1〜25重量%混入して焼結することに
より、ニオブ、若しくはニオブ系物質が窒化ケイ素の粒
子間に存在してその結合を強固にし、高密度性、高硬度
性を向上させることができ、また、ニオブ、若しくはニ
オブ系物質自身が耐熱性に優れているので、焼結された
セラミックスの耐熱性を向上させることができる。また
、従来用いられていた焼結助剤は必要に応じて微量用い
ればよいので、上記物性の劣化を防止することができる
。
実施例
以下、本発明の実施例について説明する。
本発明では、ニオブ、若しくは、ニオブ系物質として、
金属ニオブ(Nb) 、炭化ニオブ(NbC)、窒化ニ
オブ(NbN)、スズ化ニオブ(N b 3S n )
、ゲルマニウム化ニオブ(Nb+3Ge)、シリコン化
ニオブ(Nb Si)、アルミニウム化ニオブ(NbS
Al)、二酸化ニオブ(Nb0,2) 、五酸化ニオブ
(Nb205)、ニオブ酸リチウム (L+Nb03)
、二塩化ニオブ(sbc+ )、三塩化ニオブ(Nb
C13)、四塩化ニオブ(NbC1) 、五塩化ニオブ
(NbC15)、オキシ塩化ニオブ(NbOC:I )
、二弗化ニオブ(NbF2)、三部化ニオブ(NbF
)、四弗化ニオブ(NbF4)、三弗化ニオブ(Nb
F ) 、 オキシ弗化ニオブ(NbOF3)、三臭
化ニオブ(NbBr2)、三臭化ニオブ(N b B
r 3)、四臭化ニオブ(NbBra)、五臭化ニオブ
(NbBr5)、オキシ臭化ニオブ(NbOBr3)
、ニョウ化ニオブ(Nbl ) 、三ヨウ化ニオブ(N
b13) 、四ヨウ化ニオブ(NbI ) 、五ヨウ化
ニオブ(Nb15) 、オキショウ化ニオブ(Nb01
3)、ニオブアルコキシドにオブエトキシド) (Nb
(QC2H5)5)等を用いる。
金属ニオブ(Nb) 、炭化ニオブ(NbC)、窒化ニ
オブ(NbN)、スズ化ニオブ(N b 3S n )
、ゲルマニウム化ニオブ(Nb+3Ge)、シリコン化
ニオブ(Nb Si)、アルミニウム化ニオブ(NbS
Al)、二酸化ニオブ(Nb0,2) 、五酸化ニオブ
(Nb205)、ニオブ酸リチウム (L+Nb03)
、二塩化ニオブ(sbc+ )、三塩化ニオブ(Nb
C13)、四塩化ニオブ(NbC1) 、五塩化ニオブ
(NbC15)、オキシ塩化ニオブ(NbOC:I )
、二弗化ニオブ(NbF2)、三部化ニオブ(NbF
)、四弗化ニオブ(NbF4)、三弗化ニオブ(Nb
F ) 、 オキシ弗化ニオブ(NbOF3)、三臭
化ニオブ(NbBr2)、三臭化ニオブ(N b B
r 3)、四臭化ニオブ(NbBra)、五臭化ニオブ
(NbBr5)、オキシ臭化ニオブ(NbOBr3)
、ニョウ化ニオブ(Nbl ) 、三ヨウ化ニオブ(N
b13) 、四ヨウ化ニオブ(NbI ) 、五ヨウ化
ニオブ(Nb15) 、オキショウ化ニオブ(Nb01
3)、ニオブアルコキシドにオブエトキシド) (Nb
(QC2H5)5)等を用いる。
そして、窒化ケイ素(S13N4)に少なくとも重量比
でニオブおよびニオブ系物質の一種、若しくは複数種が
0.1〜25重量%混合され、エンジニアリング−セラ
ミックスである窒化ケイ素セラミックスが形成されたも
のである。
でニオブおよびニオブ系物質の一種、若しくは複数種が
0.1〜25重量%混合され、エンジニアリング−セラ
ミックスである窒化ケイ素セラミックスが形成されたも
のである。
次に本発明の具体的実施例の配合比および試験結果につ
いて説明する。
いて説明する。
シリコン (Si)の粉末に五酸化ニオブを下表の実施
例1〜24のように0.1〜25重量%の範囲で混合す
ると共に、焼結助剤として酸化マグネシウム(MgO)
を微量混合し、焼結中の圧粉体の周囲を窒素ガス(N2
)で加圧するガス圧焼結法により圧力、約10Mpa、
温度、1700°Cの条件で窒化ケイ素セラミックスを
製造した(ニオブ、若しくはニオブ系物質の融点が14
00℃〜1600℃であるので、1700℃で完全に焼
結することができた。)。
例1〜24のように0.1〜25重量%の範囲で混合す
ると共に、焼結助剤として酸化マグネシウム(MgO)
を微量混合し、焼結中の圧粉体の周囲を窒素ガス(N2
)で加圧するガス圧焼結法により圧力、約10Mpa、
温度、1700°Cの条件で窒化ケイ素セラミックスを
製造した(ニオブ、若しくはニオブ系物質の融点が14
00℃〜1600℃であるので、1700℃で完全に焼
結することができた。)。
上記実施例から明らかなように本発明のセラミックスは
1410℃以上の高温に耐えることでき、耐熱性に優れ
ていることがわかった。また、密度は29Kcal/m
、h、cであり、高密度性に優れていることがわかった
。更に、ヌープ硬さは1700〜2000kgf/mr
n’で、従来の窒化ケイ素セラミックスより20%向上
することができ、高硬度性に優れていることがわかった
。
1410℃以上の高温に耐えることでき、耐熱性に優れ
ていることがわかった。また、密度は29Kcal/m
、h、cであり、高密度性に優れていることがわかった
。更に、ヌープ硬さは1700〜2000kgf/mr
n’で、従来の窒化ケイ素セラミックスより20%向上
することができ、高硬度性に優れていることがわかった
。
なお、五酸化ニオブの窒化ケイ素に対する混合量が0.
1重量%未満では、耐熱性、高密度性、高硬度性に劣り
、25重量%を超えると、耐熱性、高密度性、高硬度性
が向上せず、高価となる。また、上記各具体的実施例で
は、五酸化ニオブを用いた場合について説明したが、五
酸化ニオブ以外のニオブ、若しくはニオブ系物質の一種
、若しくは二種以上を用いても同等の効果を得ることが
できることは容易に推測することができる。また、焼結
助剤としては酸化マグネシウム01g0)以外にも、例
えば酸化イツトリウム(Y2O2)、酸化アルミニウム
(A1203)などを用いることができ、また、これら
焼結助剤は上記ニオブ、若しくはニオブ系物質が焼結助
剤としての役割を果たすので、用いなくてもよく、用い
る場合でも従来の1/10〜1/15程度に抑えること
ができ、窒化ケイ素、二・オブ、若しくはニオブ系物質
の物性を劣化させるおそれはない。
1重量%未満では、耐熱性、高密度性、高硬度性に劣り
、25重量%を超えると、耐熱性、高密度性、高硬度性
が向上せず、高価となる。また、上記各具体的実施例で
は、五酸化ニオブを用いた場合について説明したが、五
酸化ニオブ以外のニオブ、若しくはニオブ系物質の一種
、若しくは二種以上を用いても同等の効果を得ることが
できることは容易に推測することができる。また、焼結
助剤としては酸化マグネシウム01g0)以外にも、例
えば酸化イツトリウム(Y2O2)、酸化アルミニウム
(A1203)などを用いることができ、また、これら
焼結助剤は上記ニオブ、若しくはニオブ系物質が焼結助
剤としての役割を果たすので、用いなくてもよく、用い
る場合でも従来の1/10〜1/15程度に抑えること
ができ、窒化ケイ素、二・オブ、若しくはニオブ系物質
の物性を劣化させるおそれはない。
発明の効果
以上要するに本発明によれば、窒化ケイ素に少なくとも
ニオブおよびニオブ系物質の一種、若しくは複数種を0
.1〜25重量%混入しているので、これを焼結するこ
とにより、ニオブ、若しくはニオブ系物質が窒化ケイ素
の粒子間に存在して高密度性、高硬度性を向上させるこ
とができ、また、ニオブ、若しくはニオブ系物質自身が
耐熱性に優れているので、耐熱性を向上させることがで
きる。また、従来用いられていた焼結助剤は必要に応じ
て微量用いればよいので、上記物性を劣化させるおそれ
はない、そして、本発明の窒化ケイ素セラミックスによ
れば、上記のように高密度性、高硬度性、耐熱性を向上
させることができるので、従来のセラミックスに比べて
上記用途の他、下記ように極めて広範囲の用途に用いる
ことができる。
ニオブおよびニオブ系物質の一種、若しくは複数種を0
.1〜25重量%混入しているので、これを焼結するこ
とにより、ニオブ、若しくはニオブ系物質が窒化ケイ素
の粒子間に存在して高密度性、高硬度性を向上させるこ
とができ、また、ニオブ、若しくはニオブ系物質自身が
耐熱性に優れているので、耐熱性を向上させることがで
きる。また、従来用いられていた焼結助剤は必要に応じ
て微量用いればよいので、上記物性を劣化させるおそれ
はない、そして、本発明の窒化ケイ素セラミックスによ
れば、上記のように高密度性、高硬度性、耐熱性を向上
させることができるので、従来のセラミックスに比べて
上記用途の他、下記ように極めて広範囲の用途に用いる
ことができる。
(1)ベアリング
内・外輪、ボール、コロ。
(2)自動車部品
グロープラグ、ロッカーアームチップ、ターボロータ、
チャンバー。
チャンバー。
(3)鉄鋼関連耐熱部品
加熱炉用スキッドボタン、加熱炉用ラジアントチューブ
、流動接触分解装置用高温移送ライン、合成ガス反応管
器燃焼用ノズル、連鋳ブレークリング、搬送ロール、非
鉄金属プロセス用各種部材。
、流動接触分解装置用高温移送ライン、合成ガス反応管
器燃焼用ノズル、連鋳ブレークリング、搬送ロール、非
鉄金属プロセス用各種部材。
(4)m械部品
ポンプ部品、バルブ部品、抄紙機用部品、粉砕機関連部
品、伸線機用部品、ケージミル用部品(ライナ、ブレー
ド)。
品、伸線機用部品、ケージミル用部品(ライナ、ブレー
ド)。
(5)工作機械部品
ワイヤカット放電加工機用部品(ローラ)、フライス盤
部品(スタイラス)、NC旋盤用部品(主軸、軸受)。
部品(スタイラス)、NC旋盤用部品(主軸、軸受)。
(θ)その他
ポールネジ、メカニカルシール、切削工具(スロー7ウ
エイチツプ)、石油ガス化燃焼バーナ、ノズル。
エイチツプ)、石油ガス化燃焼バーナ、ノズル。
Claims (1)
- 窒化ケイ素に少なくとも重量比で0.1〜25%のニ
オブおよびニオブ系物質の一種、若しくは複数種が混合
されて形成されたことを特徴とする窒化ケイ素セラミッ
クス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62274378A JPH01115872A (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 | 窒化ケイ素セラミックス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62274378A JPH01115872A (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 | 窒化ケイ素セラミックス |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01115872A true JPH01115872A (ja) | 1989-05-09 |
Family
ID=17540824
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62274378A Pending JPH01115872A (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 | 窒化ケイ素セラミックス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01115872A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02296770A (ja) * | 1989-05-12 | 1990-12-07 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 高温耐酸化性セラミックス複合材料 |
JP2002526374A (ja) * | 1998-10-02 | 2002-08-20 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 複合材料の製造方法およびこの複合材料の代表的材料 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57188465A (en) * | 1981-05-15 | 1982-11-19 | Daido Steel Co Ltd | Manufacture of high density silicon nitride reaction sintered body |
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JPH0192339A (ja) * | 1987-09-30 | 1989-04-11 | Kyocera Corp | 非酸化物セラミック焼結体及びその製法 |
-
1987
- 1987-10-29 JP JP62274378A patent/JPH01115872A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP4755342B2 (ja) * | 1998-10-02 | 2011-08-24 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 複合材料の製造方法およびこの複合材料の代表的材料 |
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