JPH01115507A - チャック用回転流体シリンダ装置 - Google Patents

チャック用回転流体シリンダ装置

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JPH01115507A
JPH01115507A JP19629788A JP19629788A JPH01115507A JP H01115507 A JPH01115507 A JP H01115507A JP 19629788 A JP19629788 A JP 19629788A JP 19629788 A JP19629788 A JP 19629788A JP H01115507 A JPH01115507 A JP H01115507A
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JP
Japan
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oil
pressure
piston
oil passage
fluid
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Application number
JP19629788A
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English (en)
Inventor
Akira Nobukawa
信川 明
Kotaro Ota
大田 康太郎
Tatsue Sawaguchi
沢口 達栄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kitagawa Iron Works Co Ltd
Original Assignee
Kitagawa Iron Works Co Ltd
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Publication date
Application filed by Kitagawa Iron Works Co Ltd filed Critical Kitagawa Iron Works Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は主として工作機械用のパワーチャックを操作す
るために用いられる回転流体シリンダの機能向上を図る
ための装置に関する。
近時、高速切削を目的とした旋盤主軸回転数の向上には
著しいものがあるが、高速化の芝点の1つにパワーチャ
ック作動用回転流体シリンダの発熱の問題がある。この
圧力媒体としては油圧又は空圧を用いるものが一般化し
ているが、特に油圧を用いるものに於いては回転するシ
リンダに油圧を供給するため、流体回転継手部での発熱
が大きい、この主原因の1つに回転流体シリンダは非回
転時、これと連結されたチャックを操作し被加工物を把
握するが、切削加工を行う回転中も把握力保持又は安全
の目的で常に回転流体シリンダに圧力媒体が供給されて
おり、この圧力媒体が粘性の大きい圧油の場合、流体回
転継手内の回転軸表面と固定ケーシング内壁面との微小
隙間内に漏出することにより充満している油が、軸面の
高い周速により粘性摩擦を受けるためで、この発熱は速
度の二乗に比例して増大することが知られている。
上記対策の一つに特開昭55−152991号の如く隙
間を形成する壁面の相対速度を低下させる方法が提案さ
れているが、微小隙間が二重に配置される構成から漏れ
損失が増大する欠陥がある。
この漏れ損失も前記粘性摩擦につぐ発熱原因の1つで微
小隙間を圧油が漏出することにより圧油自身の持ってい
たエネルギーが熱変換されることによる発熱で、やがて
は装置全体の温度を上昇させることによる。この対策と
しては5部品精度の向上を図ることによって更に隙間を
微小化することが考えられるが、微小隙間内に於いては
隙間の二乗に反比例して前記粘性摩擦が増大することが
判明しているので1発熱対策としての効果は期待できな
い。
これらの発熱は回転洗体シリンダの熱変形を生み、流体
効率の低下を招くばかりでなく、前記したように装置全
体の温度を上昇させて各種弊害の原因となさしめるので
あり1発生した熱の処理対策としてはシリンダ自身に冷
却ファンを取付けて放熱を促進させるもの、発熱部に熱
交換器部材としてのヒートパイプを埋込み各部に熱を導
出するもの、発熱部附近に外気を導入しこの熱の一部を
持去るものなどがあるが、何れも充分な効果が得られて
いない、このため回転流体シリンダ装置とは別に流体を
循環使用するものに於いては、特別な冷却機器を用いる
ものも少なくない。
省エネルギー的見地からは、これらの冷却エネルギー及
び発熱に要したエネルギーは全て無駄なものであり1本
発明者の実験によれば貫通穴径120圃の回転油圧シリ
ンダに油圧力25kg/−を加えて回転させたとき、粘
性摩擦による動力損失は1500r、P、−に於いて約
1.5K11/Hの機械エネルギーが熱に変換されるも
のとなっている。
本発明は如上の課題に対し、回転流体シリンダ内に送圧
した圧力媒体を密封する逆止弁手段と、密封した圧力媒
体が万一漏出して圧力低下を来たしたり、密封圧力媒体
の温度変化により圧力変化を来たしたりすることを緩和
する蓄圧器と、密封した圧力媒体の圧力を監視する検出
手段と、回転流体シリンダ内に圧力媒体を送圧する圧力
媒体供給油路とは別に、流体回転継手内の軸受部に潤滑
油を供給する潤滑用油路を供えたことを特徴とする。し
かして、チャックが工作物を把握後も依然圧力保持又は
安全のため引続き送圧していた圧力媒体を、工作物の把
握後は遮断可能となさしめるのであって回転中の粘性摩
擦及び油漏れ損失による発熱を一挙に解決できると共に
、圧力媒体の一部を前記軸受部の潤滑用に利用していた
従来の方法と異なり、軸受部の潤滑のための潤滑用油路
を専用に設けたことにより、最適な潤滑量を上記軸受部
に供給することが可能となることから、前記軸受部の発
熱を最少限に押え、且つ高速回転を可能にすることがで
きたものである。
以下1本発明実施の一例を添附図面にもとづいて説明す
る。第1図は本発明装置の紋所面図である。
1はシリンダ本体、2はピストンロット、3はピストン
である。ここにシリンダ本体内の油室は該ピストン3に
より左右の二重4a、4bに分割され、5はOリングで
ある。6は前記ピストンロット2に嵌挿される回転バル
ブであって、インロウ部には油の流れを制御するロック
する逆止弁手段7.7′が組込まれて、前記シリンダ本
体1に対しボルト8を使用して接合されてなる0図示例
でピストンロッド2の右端はドローチューブに連結され
、後述するピストン3の左右動でチャックのジヨウ(何
れも図示せず)を作動させて工作物の把持或は解放が行
われるようになされる。
回転バルブ6は外形が二段の錠状段部にユ、に2に構成
されてなり、下段にはスリーブボディ9が設けられる。
ここにスリーブボディ9内部にはスリーブ10が次の如
くして設けられる。即ち、スリーブ10の両端に嵌込ん
だベアリング11.11′の一方(図示例では11)は
直接に回転バルブの内側壁に当接され、他方のベアリン
グ(図示例では11′)はボルト12によりスリーブボ
ディ9に接合されるようになされる。また該下端部の端
縁部にはストッパ14をボルト15を使用して止着させ
てなり、前記スリーブボディ9と回転バルブ6の回転隙
間部及びスリーブボディ13とストッパ14との回転隙
間部にはラビリンスシール構造の凹凸eを形成してなる
。なお、17は排油管路と連結されるスリーブボディ9
内に設けたドレン受けである。
次にシリンダ本体1内でのピストン3の作動を説明すれ
ば、以下のようにして行われる6図示しない外部供給袋
!!!(油槽)からの作動油はスリーブボディ9の注油
口18を介し油路20を通り。
逆止弁手段7を経て油路21から油室4a八と導かれ、
ピストン3を図面で左側方向へ移動させる。
該ピストン3の移動に伴って油室4b内の圧油は油路2
2、逆止弁7′を経て油路20’ を通り。
排油口18′から外部供給装置へ回収されるのである。
以上によるピストンの往工程が終了し、復工程に移ると
きは前述の排油口18′は注油口に、また注油口18は
排油口となるように切換弁(図示せず)が切換えられる
ことによって変更されるのであり、且各油路も上記と逆
経路で復工程が行われる。
このさいの逆止弁手段7.7′について説明すると第2
図に示す通りであり、即ち本図に於いて71と71′は
円筒状の弁部であって内部の半径方向に突出した隔壁7
2.72′を設け、夫々2室に分割せしめると共に隔壁
中央部には円孔73゜73′ を穿設し、且つ各隔壁7
2.72’ を境にピストン側の室にはパイロット弁7
4.74’ を、左側の室にはパイロットスプール75
.75’ を収納させてなる。しかして突出した隔壁7
2.72′は弁部を形成させるためのもので各パイロッ
ト弁74.74′の円錐状をなした頭部先端をスプリン
グ76.76′の押圧作用で隔1172.72′のピス
トン側周端縁と接触させて円孔73.73′が封塞され
るようになっている。ここに77.77′は封塞バット
、78.78′は止着リングである。なお、隔!172
.72’内部には円孔73.73′に向う透孔79.7
9′が穿設されてなり、各透孔79.79’は前記回転
バルブ5側の油路20.20′と連通ずるようになされ
てあり、油路2oから圧油が流入するときはパイロット
弁74をスプリング76に抗し矢印(イ)方向に移動さ
せて油路21からシリンダ1の油室4a内に流入させる
のであり、このとき反対側の油室4bの油は油路22.
透孔79′、油路20′を経て排油口18′から排出さ
れるのである。
上記作用中パイロットスプール75.75′の背面側と
連通する油路は前者75が排油口18′側の油路20’
と、後者75′が注油口18側の油路20と夫々連通す
ることにより、前者75は矢印(ロ)方向に移動し、こ
れに対し後者75′は矢印(ハ)方向に移動して該突起
端Tでパイロット弁74′をスプリング76′に抗し同
方向に移動させるようになすのである。
上記作用はシリンダ本体1の油室4a内に圧油が流入し
、油室4b内の圧油は流出する場合の説明であるが、油
室4b内に圧油が流入し油室4a内の圧油が流出する場
合は注入018と排油口18′の油路が切換えられて逆
止弁手段7.7′の作用が逆に行われるものとなる。上
記ピストンの左右動は何れか片方が工作物の締め付は側
となり。
他方が解放側となるものである。
第3図は第1図の横断面図である0本図に於いて見られ
る通り上記構成装置にはピストン3を貫通し、その両端
がシリンダ本体1及び回転バルブ6に穿設した素置25
.25’ に嵌入支持させてなる1対の蓄圧器26.2
6′が設けられる。ここに素置25′は大径高置25′
 aと小径高置25’bとからなり、また各蓄圧器26
,26’は次の如き構成であって、以下その−っの蓄圧
器26 (26’ についても同様)について説明する
27は筒部本体であって内部には大小径fL、f2の筒
段を形成した突起体Mを備えた第1蓄圧ピストン28が
移動自在に設けられてなり、このさい小径f工の突起体
は水平方向に長く伸びて前記回転バルブ6の小径高置2
5′ b内に挿入されるようなさしめられるのほか、内
部に油流出用の透孔29が穿設され、且つ該第1蓄圧ピ
ストン28は次述する弾性部材によって常時回転バルブ
6の小径高置25′b内に向うようになさしめである。
30は大径高置25′a内の隅角部位置に嵌着させてな
る封塞パットであって、ピストン3側に向って小径とな
る段部gが形成されてなり、該段部gを介し上記筒部本
体27が高置25′側ではシリンダ本体1の油室4bと
連通ずる間隙31がこれに対し商家25個では間隙32
が形成されるようになされてあり、且つ封塞パット3o
内部には前記第1蓄圧ピストン28の突起体Mを摺動自
在となすための透孔33が穿設されてなる。
34はシリンダ本体1側の部属本体27内を移動自在に
設けてなるfA28圧ピストンであって。
該蓄圧ピストン34と前記第1蓄圧ピストン28との間
には弾性部材として皿バネ35が張圧されてなり、該皿
バネ35によって第1W圧ピストン28は封塞パット3
0側に、第2菩圧ピストン34はシリンダ本体1側の高
置25に向って押圧されているようになされる。
しかして、筒部本体27の前記封塞パット30に止着さ
れる附近には透孔36が穿設されてなり、該透孔36は
前記第1?7圧ピストン28の中段f、が形成するリン
グ状空間37内と連通ずるようになされ、また筒部本体
27の袋室25側端縁部附近には透孔38が穿設されて
なり、該透孔38は第2蓄圧ピストン34の灰皿バネ偏
に突出させてなる凸起体nが間室25内に形成するリン
グ状空間39内と連通ずるようになされている。これに
より、後述する操作時前者はシリンダの油圧4b内の圧
油が、後者は同室4a内の圧油が流入し。
夫々第1W圧ピストン28及び第2蓄圧ピストン34を
皿バネ35に抗して矢印(ニ)(ホ)方向へ移動させ、
部属本体27内に一定量の油が蓄積されるようになって
いる。なお図面でqは大小のシール用Oリングであって
接合部や摺動部などに於ける油の浸出入が阻止されるよ
うになされるが。
皿バネ35の位置する部属本体27内に浸入した油は透
孔29を経て小窩室25′bに至り、更に該室に於いて
スリーブ10側に向けて穿設した透孔41を経てドレン
受け17内に向けて排出されるようになっている。
一方1本発明装置ではシリンダ本体1内に於ける圧力媒
体が予め定められた一定加圧状態下となると自動的にそ
の供給停止を行うように作動する検出手段が設けである
。即ち、図面で42aは回転バルブ6の鍵段に1上に於
けるスリーブボディ9側の一定範囲に刻設させた雄ネジ
rと螺合するブラケット板、42bは雄ネジrの刻設さ
れない回転バルブ6の周面上を移動可能となされる摺動
板であって5両者間にはスプリング43を張在させスプ
リング43の弾攬力で該摺動板42bの反スプリング側
を次述するシリンダ本体側から突出する検出ピストンで
当接保持するようになさしめる。
44.44′はシリンダ本体1の外周面近くに穿設した
比較的小さな筒室、45及び45′は各小筒室44.4
4′内を往復移動する検出ピストンであって、このさい
各検出ピストン45.45′は水平方向に長く突出した
棒杆45a、45′aを備え、各棒杆45a、45’ 
aは回転バルブ6に穿設した水平透孔46.46′内を
摺動自在に嵌入される。47及び47′は上記各筒室4
4゜44′とピストン3で仕切られた油室4a、4bと
を連通させてなる油路である1本図示例では油室4a内
に圧油が流入するとき、その圧油の一部が油路47′ 
を経て筒室44′内に入り検出ピストン45′の背面部
iを押圧するようになっており、これに対し油室4b内
に圧油が流入するときはその圧油の一部が油路47を経
て筒室44に入り検出ピストン45の背面部iを押圧す
る。しかして、該抑圧作用で各検出ピストン45.45
’は矢印(へ)方向へ各筒室内を前進移動し、その移動
過程で各水平透孔46.46’ から突出される夫々の
棒杆45a、45’ a先端部で竪動板42bの背面部
tを当接保持するようになすのである。
上記は油室4a、または4bが夫々圧油の流入サイドと
なる場合について説明したが、圧油の排出サイドとなる
場合は摺動板42bに押されて各検出ピストン45.4
5′は夫々筒室44.44′内を矢印(ト)方向に後退
移動するのであり、この後退移動では各棒杆45a、j
5’a先端部は夫々水平透孔46.46′内に収納可能
となされるのである。しかして、斯かる作用は1つの油
室例えば油室4bが圧油の流入サイドとなる場合には他
の油室、即ち油室4aは圧油の排出サイドとなることか
ら、図示例の如く検出ピストン45の前進移動では検出
ピストン45′は後退移動している相反する関係にある
48は検知棒であってスリーブボディ9側に固定した軸
受架台49を介し水平状態に止着されてなり、且つ該検
知棒48の頭部Vが回転バルブ6上の摺動板42b側壁
面Wと対向するようになされてあり、且つ摺動板42b
の側壁面Wとは常時非接触の状態となされるが、その間
隙Sは軸受架台49側で摘み50の回動で適宜変えられ
るようになされである。
なお、図面で51は溝層油導入孔であって本発明装置で
は加工作業中、シリンダ本体内の油室に対する圧油の循
環供給を停止することから、ベアリング11.11’ 
に対する潤滑油の供給を該導入孔51及びスリーブ10
に穿設した油路52を介して行われるようになしである
本発明装置は以上の如く構成してなり、シリンダ本体1
内の油室4a成は同4b内に油が流入し、ピストン3が
左右動させられることにより図示しないチャックのジヨ
ウが作動させられて工作物の把持及び解放を行わしめる
ようになすのであって、今例えば油室4aに圧油が流入
しピストン3の左動で工作物の把持が行われるものとす
る。このさい油室4aに流入する圧油の一部は蓄圧器2
6.26′内に間隙32.32′、透孔38.38’を
経て流入し、第2M圧ピストン34.34’ を皿バネ
35.35’に抗して矢印(ホ)方向に押圧しながら移
動させ、内部に一定量の圧油を貯留するようになすので
あり、また筒室44′には透孔47′を経て同じく油室
4a内の圧油が流入し、検出ピストン45′を矢印(へ
)方向に移動させて油路46′から突出される棒杆45
′a先端部で摺動板42bの背面部tを抑圧保持するよ
うになすのであり、且つこのさい摺動板42bの側壁面
部Wと検知棒48の頭部Vとの間には一定の間隙、通常
1m程度の間隙Sが形成されるようになされるのであり
、これには摘み50を適宜回動させてその調整が行われ
る。
斯くして予め定められた規定間隙Sが1+Im程度に達
すると検知棒48より出力される信号により、流体回転
継手につながる前記注油口18及び排油口18′に対す
る油の供給及び排出を自動的に遮断させると共に、シリ
ンダ自体を回転させて工作物の加工作業を行うのである
。ところでシリンダ本体に内蔵させた蓄圧器26.26
′は加工作業中に於ける加圧流体の衝撃圧を緩和すると
共に、変圧時に皿バネを適宜変化させることにより1例
えば遮断操作後方−密封した圧力油の一部が漏出したり
或はチャックの工作物把握部の条件変化などでピストン
が微小変化して生ずる密封流体圧の低下などに対し、直
ちに対応して補正する作用を奏せしめるものとなるので
ある。
加えて、該シリンダ本体内に密封した加圧流体は回転中
の温度変化による熱影響を受けて体積膨張や収縮などを
起し密封圧力に変化を生じせしめることがあるが、この
問題も実用的に何ら差支えない範囲まで緩和させる作用
を奏せしめるものである。その他、密封範囲内で加圧流
体が操作や機能目的に反する原因などで規定圧力範囲外
となると、検知棒より出力される信号により警報を発生
させて運転条件の変更を行ったり、運転を中止させたり
するのほか、間隙Sが許容限度以下となって油圧が低下
する場合には再度圧油の流入が行おれるようにし、規定
圧力に復帰させると再び遮断するなどの操作が行われる
ようになすのである。
本発明装置は如上の如くシリンダ本体内に於ける封入流
体の圧力変動で作動する検出手段が設けであることによ
り、密封加圧媒体の自動監視が行われており、従って工
作作業中の安全運転及び作業を可能となすものである。
なお1本発明装置では圧力媒体導入部である回転バルブ
とスリーブボディ及びスリーブを支えるベアリング11
.11′に対し、従来装置とは異なり別に潤滑用油路5
2が設けてあり、このことはシリンダ本体内に対する作
動流体の遮断後に。
最適の潤滑油量を上記ベアリングに供給しつつ高速回転
を可能とし、スリーブやスリーブボディ部での発熱を最
小限に抑えることのできるものである。
上記実施例では蓄圧器を対称的に1対設けたものについ
て説明したが1箇のみであっても良い。
また、上記実施例では蓄圧器をシリンダ本体内のピスト
ン3と直交する状態に設けたものについて説明したが、
第4図に示す如くピストンを2枚プレート3.3′に形
成し2両者間に弾性バネ板53を介在させることにより
同様の作用効果が得られるように′しても良い、但し、
この場合にはピストンロッド2の自由な回動を阻止する
べくピストンロッド2に一部突出した鍔状リング54を
一体的に設け、該鍔状リング54に水平状態となしてビ
ン55を取付け、該ピン55をシリンダ本体側に穿設し
た水平透孔56内に嵌入させるようになしである。
なお、上記実施例では検出装置の検出ピストンと蓄圧器
とを夫々別体に設けしめたものについて説明したが、こ
れは次に示す如く一体化した構成で同様の作用効果を奏
せしめることができる。
第5図は検出ピストン45.45′を夫々の筒室44.
44’内でスプリング57を介し弾撹的に収納させ、各
検出ピストン45.45′の背面部iが油の流入する側
へ向けて常時押圧されているようになさしめるものであ
る。
第6図はスプリングを使用せず、しかも1つのピストン
で油室4a、4bの作動圧力を検出する場合であり、シ
リンダ本体側に油室4aと透孔58を介して連通させる
今1つの筒室59を設け。
該筒室内にボール弁60が往復動する弁体61を収蔵さ
せてなり、且つこのさいボール弁60は透孔58より大
なる径であって油室4bからの圧油が油路62を経て弁
体61内の背面側から流入するときは、弁体61の前面
側へ移動して透孔58を閉塞し油室4aからの油が流入
しないようにして圧油を油路62.透孔63及び油路6
4を経て筒室44内へ送り込むようになす、これに対し
油室4aから圧油が流入するときはボール弁60は弁体
61の後面側へ移動し油路62と連通する透孔63を閉
塞して油室4bからの圧油を遮断するようになすのであ
り、油室4a内の圧油は透孔58、油路64を経て筒室
44内に送り込まれるのである6本例では当初例で述べ
た如き蓄圧器を別に設けるようにするのであるが、前述
の如く検出ピストンにスプリングを弾攬させることによ
り同様の作用効果を奏せしめることができる。
本発明は以上の如く構成することにより、従来作業でチ
ャックが工作物を把握後も圧力保持や安全の目的のため
に引続き圧油を送給させていたことを、工作物の把握後
は遮断することができるようになすのであって、運転作
業中の粘性摩擦や油漏れ損失などによる発熱、及び軸受
部での発熱を最適潤滑により最少限に押えることができ
、その他の問題を一挙に解決することのできたものであ
る。なお、密封された圧力流体の圧力の増減で作動する
圧力検出手段が設けであることにより密封された圧力流
体の監視が常時行われており、安全運転と高速化に伴う
能率的な工作作業の遂行を可能となすものである。
【図面の簡単な説明】
添附図面は本発明装置実施の一例を示すものであって第
1図は装置の縦断面図、第2図は第1図に於ける逆止弁
手段の部分詳細図、第3図は装置の横断面図、第4図〜
第6図は他の例の部分説明図である。 1 ・・・・・11・・・・・シリンダ本体211−■
−111ピストンロンド 3 ・・・・・・・・・・・・・・ ピストン4a、4
b・・・・・・油室 6 ・・・・・・・・・・・・・・回転バルブ7.7′
 ・・・・・・・・逆止弁手段9 ・・・・・・・・・
・・・・・ スリーブボディ1o・・・・・・・・・・
・・スリーブ13 ・・・・・・・・・・・・スリーブ
ボディ14 ・・・・・・・・・・・・ ストッパ17
 ・・・・・・・・・・・・ ドレン受け18 ・・・
・・・・・・・・・注油口(排油口)18′ ・・・・
・・・・・・排油口(注油口)2o、21・・・・・・
油 路 22・・・・・・・・・・・・油 路 26、26’・・・・蓄圧器 27・・・・・・・・・・・・部属本体28 ・・11
目+11第1蓄圧ピストン29・・・・・・・・・・・
・透 孔 3o・・・・・・・・・・・・封塞パット33・・・・
・・・・・・・・透 孔 34 ・・・・・・・・・・・・第2蓄圧ピストン3S
・・・・・・・・・・・・皿バネ 41・・・・・・・・・・・・透 孔 42a  ・・・・・・・・・・ブラケット板42b・
・・・・・・・・・摺動板 43 ・・・・・・・自−・・・スプリング44.44
11・・筒 室 45.45’  ・・・・検出ピストン47.47′・
・・・油 路 48・・・・・・・・・・・・検知棒 51 ・・・・・・・・・・・・潤滑油導入孔52・・
・・・・・・・・・・油 路 55・・・・・・・・・・1ビ ン 57・・・・・・拳・・・・・スプリング71.71′
・・・・弁 匣 74.74′ ・・・・パイロット弁 75.75’  ・・・・パイロットスプール76.7
6’  ・・・・スプリング 79.79′・・・・透 孔 特許出願人  株式会社 北川鉄工所 第4図 第6図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)往復動可能なピストンを内蔵した回転体と、該回
    転体内のピストンに圧力媒体を供給する圧力媒体供給油
    路を備えた流体回転継手とからなる回転流体圧シリンダ
    に於いて、回転体内に圧力媒体を密封する逆止弁手段と
    、流体回転継手内の軸受部に対し、前記回転体内のピス
    トンに圧力媒体を供給する圧力媒体供給油路とは別に、
    前記流体回転継手内の軸受部に潤滑油を供給するための
    潤滑用油路を設けたことを特徴とするチャック用回転流
    体圧シリンダ装置。
  2. (2)潤滑用油路は、前記往復動可能なピストンを内蔵
    した回転体と同体を成す回転中心軸部にスリーブを外嵌
    させると共に該スリーブの各端部を前記回転中心軸部に
    外嵌された軸受に支承せしめてなる流体回転継手の前記
    スリーブ肉厚内に形成すると共に、該油路の出口を前記
    各軸受の対向面側に位置した前記スリーブの両側面に開
    口せしめてなることを特徴とした特許請求の範囲第1項
    記載のチャック用回転流体圧シリンダ装置。
  3. (3)密封した圧力媒体が万一漏出して圧力低下をきた
    したり或は密封圧力媒体の温度変化により圧力変化をき
    たしたりすることを緩和する蓄圧器と、密封した圧力媒
    体の圧力を検出する検出手段を備えたことを特徴とした
    特許請求の範囲第1項記載のチャック用回転流体圧シリ
    ンダ装置。
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