JPH01115176A - 長尺膜状圧電素子の製造方法 - Google Patents
長尺膜状圧電素子の製造方法Info
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- JPH01115176A JPH01115176A JP62274005A JP27400587A JPH01115176A JP H01115176 A JPH01115176 A JP H01115176A JP 62274005 A JP62274005 A JP 62274005A JP 27400587 A JP27400587 A JP 27400587A JP H01115176 A JPH01115176 A JP H01115176A
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- electrode
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Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は圧力電気変換素子（荷重センサ）、振動センサ
等として利用することができる高分子膜状圧電体を用い
た長尺膜状圧電素子の製造方法に関する。
等として利用することができる高分子膜状圧電体を用い
た長尺膜状圧電素子の製造方法に関する。
従来の長尺膜状圧電素子は、長尺膜状圧電体の両面に膜
状電極を設け、この画電極にリード線を接続し、長尺膜
状圧電体の両面に電極保護フィルムを接着して製造され
ている。長尺膜状圧電体への分極付与は電極保護フィル
ムの接着前あるいは接着後に両電極間に直流電源により
直流電圧を印加することにより行われる。
状電極を設け、この画電極にリード線を接続し、長尺膜
状圧電体の両面に電極保護フィルムを接着して製造され
ている。長尺膜状圧電体への分極付与は電極保護フィル
ムの接着前あるいは接着後に両電極間に直流電源により
直流電圧を印加することにより行われる。
上記従来例は長尺膜状圧電素子を個別に製造しているの
で、製造に多くの時間と手間がかかり高価になるという
問題点があった。
で、製造に多くの時間と手間がかかり高価になるという
問題点があった。
本発明方法は上記の問題点を解決するため、第１図示の
ように可撓性膜状圧電体１の両面に対向して長尺の膜状
電極２．３を所定間隔ｄをおいて並べて設け、膜状圧電
体１の両面に電極２，３を被う電極保護層６を形成し、
しかる後、上記所定間隔ｄの中心線で膜状圧電体１及び
電極保護層６を切断することにより２本以上の長尺膜状
圧電素子７を得るものである。
ように可撓性膜状圧電体１の両面に対向して長尺の膜状
電極２．３を所定間隔ｄをおいて並べて設け、膜状圧電
体１の両面に電極２，３を被う電極保護層６を形成し、
しかる後、上記所定間隔ｄの中心線で膜状圧電体１及び
電極保護層６を切断することにより２本以上の長尺膜状
圧電素子７を得るものである。
このような方法をとることにより膜状電極２゜３の付与
分極の付与及び電極保護層６の付与を−括して行えるた
め、２本以上の長尺膜状圧電素子７を、迅速に容易に製
造することができ、価格の低減化を図ることができる。
分極の付与及び電極保護層６の付与を−括して行えるた
め、２本以上の長尺膜状圧電素子７を、迅速に容易に製
造することができ、価格の低減化を図ることができる。
以下図面に基づいて本発明方法の構成を説明する。
第１図（ａ）〜（ｆ）は本発明方法の一実施例により２
本以上の長尺膜状圧電素子を製造する場合の説明図であ
る。国側では３本の長尺膜状圧電素子を製造する場合を
示している。
本以上の長尺膜状圧電素子を製造する場合の説明図であ
る。国側では３本の長尺膜状圧電素子を製造する場合を
示している。
まず、希望する数２本例では３本の長尺膜状圧電体が得
られる大きさの可撓性膜状圧電体１を用意する（第１図
（ａ）参照）。この膜状圧電体１としては、ＰＶＤＦ
（ポリ弗化ビニリゾ：／）、 Ｐ（ＶＤＣＮ／ＶＡｃ）
（シアン化ビニリデンと酢酸ビニルの共重合体）。
られる大きさの可撓性膜状圧電体１を用意する（第１図
（ａ）参照）。この膜状圧電体１としては、ＰＶＤＦ
（ポリ弗化ビニリゾ：／）、 Ｐ（ＶＤＣＮ／ＶＡｃ）
（シアン化ビニリデンと酢酸ビニルの共重合体）。
シＤＦ−ＴｒＦＨ共重合体（フン化ビニリデン・３−フ
ン化エチレン共重合体）、圧電性セラミックスを含有す
るポリマー複合圧電体（ＰＺＴとポリアセタール、 Ｐ
ＺＴとゴム、 ＰＺＴとエポキシ樹脂）等の高分子圧電
体を用いることができる。圧電体１の厚さは１〜２００
μ、好ましくは４〜１００μ、更に好ましくは１０〜４
０μである。
ン化エチレン共重合体）、圧電性セラミックスを含有す
るポリマー複合圧電体（ＰＺＴとポリアセタール、 Ｐ
ＺＴとゴム、 ＰＺＴとエポキシ樹脂）等の高分子圧電
体を用いることができる。圧電体１の厚さは１〜２００
μ、好ましくは４〜１００μ、更に好ましくは１０〜４
０μである。
この可撓性膜状圧電体ｌの両面に、真空蒸着。
スパッタリング、塗布等の方法により対向して長尺の膜
状電極２，３を所定間隔ｄをおいて並べて形成する（第
１図（ｂ）参照）。間隔ｄは０．５〜５鰭。
状電極２，３を所定間隔ｄをおいて並べて形成する（第
１図（ｂ）参照）。間隔ｄは０．５〜５鰭。
好ましくは１〜３１１１１である。長尺の膜状電極２゜
３の幅は２〜５０ｍｍ、好ましくは３〜３０龍、更に好
ましくは４〜２５ｆｌである。
３の幅は２〜５０ｍｍ、好ましくは３〜３０龍、更に好
ましくは４〜２５ｆｌである。
この膜状電極２．３間に第１図（Ｃ）示のように直流電
源８により直流電圧を印加することにより膜状圧電体１
への分極付与を行う。分極条件は圧電体１の特性に合わ
せて分極電圧１時間及び温度を適宜選択する。この分極
付与は次の電極保ｇ１層の形成後に行ってもよい。また
、直流電界印加のために画電極２．３に接続したリード
線４，５を当該素子のリード線としてもよい。この方が
合理的で好ましい。リード！４ 、５の接続は電極保護
層の形成後に行ってもよいし、各素子に分割した後に行
ってもよい。
源８により直流電圧を印加することにより膜状圧電体１
への分極付与を行う。分極条件は圧電体１の特性に合わ
せて分極電圧１時間及び温度を適宜選択する。この分極
付与は次の電極保ｇ１層の形成後に行ってもよい。また
、直流電界印加のために画電極２．３に接続したリード
線４，５を当該素子のリード線としてもよい。この方が
合理的で好ましい。リード！４ 、５の接続は電極保護
層の形成後に行ってもよいし、各素子に分割した後に行
ってもよい。
次に第１図（ｄ）示のように膜状圧電体１の両面に電極
２．３を被う熱可塑性樹脂の電極保護フィルムを接着剤
により接着しあるいは保護塗料を塗布して電極保護層６
を形成する。電極保護層６の形成後あるいは各素子に分
割した後にリード線４゜５の接続を行う場合は電極２，
３の一部をリードＬ’！４．５の接続のために露出させ
ておくことになる（第１図（ｆ）参照）。
２．３を被う熱可塑性樹脂の電極保護フィルムを接着剤
により接着しあるいは保護塗料を塗布して電極保護層６
を形成する。電極保護層６の形成後あるいは各素子に分
割した後にリード線４゜５の接続を行う場合は電極２，
３の一部をリードＬ’！４．５の接続のために露出させ
ておくことになる（第１図（ｆ）参照）。
しかる後、所定間隔ｄの中心線で膜状圧電体１及び電極
保護層６を切断することにより２本以上、この例では３
本の長尺膜状圧電素子７を得ることができる（第１図（
１１１１参照）。
保護層６を切断することにより２本以上、この例では３
本の長尺膜状圧電素子７を得ることができる（第１図（
１１１１参照）。
上述のように本発明によれば、可撓性膜状圧電体１の両
面に対向して長尺の膜状電極２，３を所定間隔ｄをおい
て並べて設け、膜状圧電体１の両面に電極２，３を被う
電極保護層６を形成し、しかる後、上記所定間隔ｄの中
心線で膜状圧電体１及び電極保１ＩｉＩ６を切断するこ
とにより２本以上の長尺膜状圧電素子７を得る方法であ
るから、膜状電極２．３の付与、分極の付与及び電極保
護層６の付与を一括して行うことができるため、２本以
上の長尺膜状圧電素子７を、迅速に容易に製造すること
ができ、価格の低減を図ることができる。
面に対向して長尺の膜状電極２，３を所定間隔ｄをおい
て並べて設け、膜状圧電体１の両面に電極２，３を被う
電極保護層６を形成し、しかる後、上記所定間隔ｄの中
心線で膜状圧電体１及び電極保１ＩｉＩ６を切断するこ
とにより２本以上の長尺膜状圧電素子７を得る方法であ
るから、膜状電極２．３の付与、分極の付与及び電極保
護層６の付与を一括して行うことができるため、２本以
上の長尺膜状圧電素子７を、迅速に容易に製造すること
ができ、価格の低減を図ることができる。
第１図（ａｌ〜Ｉｎは本発明方法の一実施例により２本
以上の長尺膜状圧電素子を製造する場合の説明図である
。 １・・・・・・可撓性膜状圧電体、２，３・・・・・・
長尺の膜状電極、４，５・・・・・・リード線、６・・
・・・・電極保護層、７・・・・・・長尺膜状圧電素子
、ｄ・・・・・・所定間隔。 箋１目 （ｂ＞ （Ｃ） １荒型項・ 寡１目 （シン（、ン
以上の長尺膜状圧電素子を製造する場合の説明図である
。 １・・・・・・可撓性膜状圧電体、２，３・・・・・・
長尺の膜状電極、４，５・・・・・・リード線、６・・
・・・・電極保護層、７・・・・・・長尺膜状圧電素子
、ｄ・・・・・・所定間隔。 箋１目 （ｂ＞ （Ｃ） １荒型項・ 寡１目 （シン（、ン
Claims (1)
- 可撓性膜状圧電体の両面に対向して長尺の膜状電極を
所定間隔をおいて並べて設け、膜状圧電体の両面に電極
を被う電極保護層を形成し、しかる後、上記所定間隔の
中心線で膜状圧電体及び電極保護層を切断することによ
り２本以上の長尺膜状圧電素子を得ることを特徴とする
長尺膜状圧電素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62274005A JPH01115176A (ja) | 1987-10-28 | 1987-10-28 | 長尺膜状圧電素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62274005A JPH01115176A (ja) | 1987-10-28 | 1987-10-28 | 長尺膜状圧電素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01115176A true JPH01115176A (ja) | 1989-05-08 |
Family
ID=17535623
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62274005A Pending JPH01115176A (ja) | 1987-10-28 | 1987-10-28 | 長尺膜状圧電素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01115176A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1557168A2 (en) | 1999-07-26 | 2005-07-27 | Banyu Pharmaceutical Co., Ltd. | Biarylurea Derivatives |
| JP2008053527A (ja) * | 2006-08-25 | 2008-03-06 | Nsk Ltd | 誘電性ゴム積層体及びその製造方法 |
| JP2012001110A (ja) * | 2010-06-17 | 2012-01-05 | Aisin Seiki Co Ltd | 車両接近通報装置 |
| JPWO2017183708A1 (ja) * | 2016-04-22 | 2019-02-28 | 株式会社バルカー | 振動検出方法、振動センサー、振動検出装置、振動検出プログラムおよび振動検出システム |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61225880A (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-07 | Mitsubishi Petrochem Co Ltd | 圧電素子及びその製造方法 |
| JPS6258062B2 (ja) * | 1982-12-20 | 1987-12-03 | Hitachi Ltd |
-
1987
- 1987-10-28 JP JP62274005A patent/JPH01115176A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6258062B2 (ja) * | 1982-12-20 | 1987-12-03 | Hitachi Ltd | |
| JPS61225880A (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-07 | Mitsubishi Petrochem Co Ltd | 圧電素子及びその製造方法 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1557168A2 (en) | 1999-07-26 | 2005-07-27 | Banyu Pharmaceutical Co., Ltd. | Biarylurea Derivatives |
| JP2008053527A (ja) * | 2006-08-25 | 2008-03-06 | Nsk Ltd | 誘電性ゴム積層体及びその製造方法 |
| JP2012001110A (ja) * | 2010-06-17 | 2012-01-05 | Aisin Seiki Co Ltd | 車両接近通報装置 |
| JPWO2017183708A1 (ja) * | 2016-04-22 | 2019-02-28 | 株式会社バルカー | 振動検出方法、振動センサー、振動検出装置、振動検出プログラムおよび振動検出システム |
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