JPS6359200A

JPS6359200A - 超音波探触子の製造方法

Info

Publication number: JPS6359200A
Application number: JP61202178A
Authority: JP
Inventors: Yoshio Yokogawa; 横川　芳夫
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 1986-08-28
Filing date: 1986-08-28
Publication date: 1988-03-15

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（イ）産業上の利用分野本発明は、超音波診断を行う際に用いられる超音波探触
子の製造方法に係り、特には、コンベックス型超音波探
触子やコーンケープ超音波探触子等のように湾曲形状を
何する超音波探触子の製造方法に関する。

（ロ）従来技術とその問題点」１泌のような湾曲形状を呈する超音波探触子を製造す
る場合、従来一般に下記ようにな製造方法をとっていた
。第１の方法は、裁断分離前のセラミックパネル自身を
湾曲状に焼結成形し、これを湾曲したバッキング材に接
着した後、セラミックパネルを裁断分離していた。第２
の方法は、セラミックパネルの片面にシートを貼り、そ
のソートを残す状態にセラミックパネルを裁断分離し、
このセラミックパネルをシート利用して湾曲さけバッキ
ング材に貼り付けていた。

しかしながら、上記第１の方法で製造する場合、湾曲状
のパネルの裁断分離のためのグイノングツ−として、通
常の＝ｐ而面ネル裁断用の乙のが使用でき干、特殊な大
形のらのが必要となり、製造コストが高くなるとと乙に
、製造のための広いスペースを要するという欠点があっ
た。

第２の方法で製造する場合は、通常のグイシングツ−が
使用できるので、第１の方法のように製造上の問題は無
いが、製品に湾曲取り付けのためのシートが一体に貼り
付けられているので、その音響的影響を無視するわけに
はいかなかった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、通常のダイシングソーを用いて製造が容易に行え、
しかも音響的性能に優れるコンベックス型等の湾曲形状
の超音波探触子を得られるようにすることを目的とする
。

（ハ）問題点を解決するための手段　。

本発明は、このような目的を達成するために、超音波探
触子の製造方法を、分極処理のなされた平面状のセラミ
ックパネルを、連結部により一体に連結した状態で、多
数のセラミック片に裁断分離するセラミックパネルの裁
断分離工程と、前記セラミック片間に、固化時に可撓性
質を呈する接着剤を充填固化させる接着剤の充填固化工
程と、前記連結部を除去して、前記セラミック片どおし
を前記接着剤により連結した湾曲可能な複合パネルを得
る連結部の除去工作と、前記複合パネルに、電極を付設
する電極の付設工程とから成る構成とし　ノこ。

（ニ）作用本発明は、上記構成によって、平面状のセラミックパネ
ルを、通常のグイシングツ−によって切断でき、得られ
る超音波探触子は、フレキシブルな接骨剤の存在により
湾曲できるので、取り付は用シートが無くともバッキン
グ材に湾曲状に取り付けられる。

（ホ）実施例以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。第１図は、本発明の製造方法によって得られる超
音波探触子を構成する超音波送受用圧電体ｌを示す斜視
図であり、第２図はその部分拡大断面図である。

圧電体１は、多数のセラミック片２・・・と、それらの
間に充填されて固化された接着剤３とからなるパネルの
両面に、複数組の電極４が付設されて構成されている。

それぞれのセラミック片２・・・は、圧電性能を発揮す
るように分極処理が行なわれている。接着剤３部分は、
可撓性を有して変形自在であり、その接着剤３部分が少
しづつ湾曲されることにより、圧電体ｌは全体が湾曲可
能となっている。

以下、第３図の製造工程図によって、上記圧電体ｌの製
造工程を順次説明する。

まず、予め分極処理のなされたセラミックパネル５の下
面に、次工程の裁断分離時におけるセラミック片２・・
・のバラは防止及び位置決めのための連結部としての固
定用シート６を貼る（第３図　、へ　）。

このように固定用シート６を貼ったセラミックパネル５
を、グイシングツ−により、垂直方向に縦横に同ピツチ
で固定用シート６を残すようにして裁断分離し［裁断分
離工程コ、さらに、その裁断分離した部分に、絶縁性を
有し、かつ、固化状態において可撓性質を呈する軟質の
エポキシ樹脂やポリウレタン樹脂等の接着剤３を充填固
化させる（第３図Ｂ）［充填固化工程コ。

上記の工程において、実際には、セラミックの欠けを防
止するため、例えば縦方向の裁断を行った後にその部分
に接着剤３を充填固化させ、さらに横方向の裁断を行な
って接着剤３を充填固化させる。また、裁断分離によっ
て形成されるセラミック片２・・・は、その平面形状に
おいて、−辺の寸法が超音波の波長に比べて十分少さな
値に設定される。

そして、接着剤３の充填固化後、上記固定用シート６を
剥離し、セラミック片２・・・と接着剤３とからなり、
可撓性の接、４剤３の存在により湾曲可能な複合パネル
を得る（第３図Ｃ）［除去工程］。

次に、この睨合パネルの両面に、ポリイミド樹１偕に金
属粉を混入したフィルムや、金属コーティングしたフィ
ルム等の、電極４形成用の導電性の高分子フィルム７を
導電性接着剤を用いて貼り（第３図Ｄ）、この高分子フ
ィルム７の所定位置を裁断して、第１図に示す両面に複
数の電極４が付設された圧電体ｌを得る［電極付設工程
〕。

このようにして得られた圧電体１両面の電極４に、フレ
キシブルプリントサーキット（ＲＰＣ）を用いてリード
配線がなされた後、湾曲さイｔながら湾曲形状のバッキ
ング材に接着固定され、さらに、そのバッキング材の取
り付けられた面と逆側の面に、整合層とレンズが順次積
層状態に設けられて超音波探触子が完成される。

上記のバッキング材に接着固定する際、圧電体１は、接
着剤３部分が可撓性であるので、バッキング材の湾曲面
に沿って、簡単に取り付けられろ。

上記工程において、第３図Ｃに示す除去工程に至るまで
の工程は、固定用シート６を用いず、セラミックパネル
５として厚みのあるものを使用し、裁断分離をその底部
分（連結部）を残すように行い、接着剤３を充填固化し
た後、底部分を切除するようにしてもよい。

また、上記実施例に示すように、圧電体ｌを、セラミッ
クパネル５を縦横に裁断分離してそれぞれのセラミック
片２・・・を小片とする構成とすれば、音響的性能をよ
り高いものにできるが、セラミックパネル５を一方向の
みにおいて裁断分離し、細長いセラミック片２・・・が
−列に並ぶ構成としてもよい。

（へ）効果以上のように、本発明によれば、通常のグインングソー
を使用してのセラミックパネルの裁断分離が行えるので
、安価に、広い製造スペース要することなく、湾曲型の
超音波探触子の製造が行えるようになっｆこ。また、得
られる超音波探触子は、可撓性の接着剤部の存在により
湾曲可能で、・従来のように湾曲のためのシートが用い
られていないので、音響的性能も向上できた。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明によって得られる超音波探触子を＋１
１４成するための超音波送受用圧電体の実施例の斜視図
、第２図は同要部を示す拡大縦断面図、第３図の各図は
、本発明の製造工程を示す説明図である。 ■は超音波送受用圧電体、２はセラミック片、３は接着
剤、４は電極である。第１図第２図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）分極処理のなされた平面状のセラミックパネルを
、連結部により一体に連結した状態で、多数のセラミッ
ク片に裁断分離するセラミックパネルの裁断分離工程と
、前記セラミック片間に、固化時に可撓性質を呈する接着
剤を充填固化させる接着剤の充填固化工程と、前記連結部を除去して、前記セラミックどおしを前記接
着剤により連結した湾曲可能な複合パネルを得る連結部
の除去工程と、前記複合パネルに、電極を付設する電極の付設工程とか
ら成る超音波探触子の製造方法。