JPH0110931Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は、ウエハ移し替え位置決め装置に関
するもので、更に述べれば、ウエハをキヤリヤか
らウエハボートに移し替えたり又、逆にウエハボ
ートからキヤリヤに移し替える際、ウエハボート
等のウエハ溝にウエハが正確に収納される様に、
ウエハボートの位置を調整するものである。

従来の技術 ウエハの処理工程においてウエハは、キヤリヤ
からウエハボートに移し替えられるが、この移し
替えは、ウエハ移し替え装置のチヤツクでウエハ
をクランプして行なう。

ウエハの移し替えにおいては、ウエハボートの
各ウエハ構が、クランプされた各ウエハの真下に
正確に位置することが必要である。

従来、このウエハボートの位置決めは、ボート
ライナを駆動せしめるモータのパルス回数により
送り幅を推測する方法により行なつているが、こ
の方法では正確な位置決めは不可能である。

そこで、ボートライナのボート載置台の移動軌
跡内に位置決めのリミツトスイツチを設け、ボー
ト載置台が所定の位置に移動したときにスイツチ
を作動せしめボートライナのモータを停止せしめ
て、ウエハボートを停止せしめて、ウエハボート
をその位置に停止せしめるものがある。

考案が解決しようとする問題点 従来例では、ボート載置台を基準にしてウエハ
ボートの位置決めをしていたので、ボート載置台
上のウエハボートがずれたり、又は、ウエハボー
トの形状や、外形寸法が変わり、ウエハ溝の位置
が変化すると、ボート載置台が正確な位置に停止
しても、ウエハボートのウエハ溝は正常な位置と
はならない。

本考案は、上記事情に鑑み、ウエハボートを正
確に位置決めすることを目的とする。

問題点を解決するための手段 本考案は往復動可能なボート搬送装置にウエハ
ボートを載置し、該ウエハボートの端溝に突起部
を有する原点板を嵌挿すると共に、該突起部の移
動軌跡の外側に突起部を検知するセンサを設けた
ことを特徴とするウエハボートの位置決め装置で
ある。

作 用 ボート搬送装置を駆動させて、ウエハボートを
移動させると、ウエハボートの端溝に嵌挿された
原点板も同時に同方向に搬送される。

この原点板が光センサの発光部の位置まで移動
すると、発光部の光は、突起部により遮断され、
受光部の受光量は減少すると同時にスイツチが作
動してモータの回転を停止せしめるので、ウエハ
ボートはその位置に停止する。

実施例 本考案の一実施例を添附図面により説明する。
Ａは、ウエハ移し替え位置決め装置である。

１は、ボート搬送装置で、ウエハボート２を載
置するボート台３は、モータ４と連結した送りね
じ５により矢印Ａ１方向に移動する。

ウエハボート２には第２図に示すように、複数
のウエハ溝６が、長手方向に沿つて等間隔に配設
されている。

７は原点板９を収納する端溝、８はウエハボー
ト２の取手である。

原点板９は、第２図に示す様に、半円状の本体
１０と、ウエハボート２の１側に突出する突起部
１１とからなる。この突起部１１は、本体１０の
中心軸方向に形成した光曲穴１２を有する。

原点板９は、例えば、石英製で、その厚さｔ
は、端溝７に嵌挿した時にガタが生じない程度の
厚さである。

光センサ１３は、透過形センサで、突起部１１
の移動軌跡を挾んで、発光部１４と受光部１５が
対向して設けられている。受光部１５は、モータ
４の駆動を停止せしめるスイツチ（図示しない）
と電気的に接続している。

本実施例の作動につき説明すると、ウエハボー
ト２の端溝７が位置すべき場所に対応して発光部
１４と受光部１５を配設した後、ウエハボート２
の端溝７に原点板９を嵌挿し、該ウエハボート２
をボート台３に載置する。そしてモータ４を始動
させて送りねじ５を回転させ、ボート台３を移動
させると、ウエハボート２の原点板９も同方向に
移動し、その位置が変化する。

原点板９の突起部１１が光センサ１３の位置ま
で移動すると発光部１４の光は、突起部１１に当
つて反射すると共にその一部の光は、突起部１１
を透過せんとするが、光曲穴１２によりその方向
を変えられるので、受光部１５に入る光は、極く
少なくなり、受光量が極端に減少する。受光部１
５の受光量が減少すると、スイツチが作動し、モ
ータ４の回転は停止せしめられ、ウエハボート２
は、その位置に停止する。

次に、ウエハ移し替え機１６を駆動して、キヤ
リヤに収容されたウエハ１７を、チヤツク１８で
クランプした後、チヤツク１８を矢印Ａ１８方向
に移動させてウエハボート２の真上に搬送する
と、各ウエハ１７は、ウエハボート２の各ウエハ
溝６の真上に位置し、チヤツク１８を開くとウエ
ハ１７はウエハ溝６に正確に収納される。

他の実施例 本考案は、上記実施例に限定されるものではな
く、例えば、透過形センサの代わりに反射形セン
サを用いてもよい。この反射形センサは、突起部
の移動軌跡の１側に設けた発光部と受光部により
構成される。

考案の効果 本考案は、以上の様に構成したので、突起部は
センサにより確実に検知される。

従つて、突起部の位置、即ち、ウエハボートの
端溝の位置が確実に検出されるので、ウエハボー
トの位置決めが正確である。

又、突起部に、光曲穴を形成すると、透過形セ
ンサを用いる場合、発光部の光は、光曲穴により
折曲され、その進路方向が変化するので、受光部
に入りにくい。

従つて、受光部の受光量が極端に減少するので
より正確な検知をすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の実施例を示す正面図、第２
図は、前記実施例の平面図、第３図は、本考案の
使用状態を示す斜視図である。 １……ボート搬送装置、２……ウエハボート、
７……端溝、９……原点板、１１……突起部、１
２……光曲穴、１３……光センサ、１４……発光
部、１５……受光部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 往復動可能なボート搬送装置にウエハボート
   を載置し、該ウエハボートの端溝に突起部を有
   する原点板を嵌挿すると共に、該突起部の移動
   軌跡の外側に、突起部を検知するセンサを設け
   たことを特徴とするウエハ移し替え位置決め装
   置。 ２ センサは、発光部と受光部とからなる光セン
   サであることを特徴とする実用新案登録請求の
   範囲第１項記載のウエハ移し替え位置決め装
   置。 ３ 発光部と受光部は、突起部の移動軌跡を挾ん
   で対向して設けられていることを特徴とする実
   用新案登録請求の範囲第２項記載のウエハ移し
   替え位置決め装置。 ４ 発光部と受光部は、突起部の移動軌跡の１側
   に設けられていることを特徴とする実用新案登
   録請求の範囲第２項記載のウエハ移し替え位置
   決め装置。 ５ 突起部は、光曲穴を有することを特徴とする
   実用新案登録請求の範囲第１項記載のウエハ移
   し替え位置決め装置。