JPH01107841A - 真空容器大気側開口部用ドア - Google Patents

真空容器大気側開口部用ドア

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Publication number
JPH01107841A
JPH01107841A JP26432287A JP26432287A JPH01107841A JP H01107841 A JPH01107841 A JP H01107841A JP 26432287 A JP26432287 A JP 26432287A JP 26432287 A JP26432287 A JP 26432287A JP H01107841 A JPH01107841 A JP H01107841A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plate
vessel
rotating plate
door
sealant
Prior art date
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Pending
Application number
JP26432287A
Other languages
English (en)
Inventor
Shinji Koyano
小谷野　真次
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Instruments Inc filed Critical Seiko Instruments Inc
Priority to JP26432287A priority Critical patent/JPH01107841A/ja
Publication of JPH01107841A publication Critical patent/JPH01107841A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
    • B01J3/03—Pressure vessels, or vacuum vessels, having closure members or seals specially adapted therefor

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、真空容器大気側開口部用ドアに関する。
〔発明の概要〕
この発明は、真空容器大気側開口部用ドアにおいて、シ
ール材の付いた板を伸縮材でドア部に連結したもので、
高い気密性を有するドアを実現するものである。
〔従来の技術〕
従来、真空容器大気側開口部用ドアにおいて第４図に示
すように、大気側開口部１０を密閉させるシール材１１
は、回転Ｆｉ１２に直接付けられていた。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかし、従来の構造ではドアを閉じる時、回転軸１３に
近いシール材上側１５が上側１６より先に真空容器面１
７に接し、均等に接することができず、リークの可能性
がある。また、容器内が真空になった場合、大気圧によ
りシール材１１がつぶれ回転板１２が回転軸１３を中心
に回転し、シール材のつぶれ量がシール材上側、下側で
異なり、さらにシールの接触位置が移動するという欠点
がある。
〔問題点を解決するための手段〕
上記問題点を解決するために、この発明は、シール材の
付いた仮を伸縮材で回転板に連結した。
〔作用〕
上記の様に構成することにより、シール材の上側と下側
とのつぶれ量が均一になり、高い気密性を有するドアを
得ることが可能になる。
〔実施例〕
以下に、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図はこの発明の側面図、第２図は伸縮材の変化を示
す側面図、第３図は真空容器内が真空になった時の側面
図である。
第１図において、開口部１のある真空容器２に回転軸３
の付いた固定ブロック４が固定され回転板５と回転軸３
は連結されている。回転板５とシール材６を付けた仮７
は伸縮材８により連結されている。回転板５には、回転
板５の回転を規正するストッパ９が付けられている。
次に動作について説明する。第２図の［ａｌに示すよう
に、ドアが開いている時、回転板５とシール材６の付い
た板７は伸縮材８の自由長ａの間隔を保っている。第２
図の山）に示すように、ドアが閉じはじめ、シール材６
の下側が真空容器２に接し、さらに回転板５が回転する
と、回転板５と板７の距離は、シール下側で縮まりｂと
なり、シール上側では伸びＣとなる。さらに第２図の（
Ｃ）に示すように回転板５が回転し、ストッパ９が真空
容器２に接し、回転板５が真空容器２と平行になったと
き、伸縮材８の長さはｄとなり回転板５．板７及び真空
容器２が平行となる。そして第３図に示すように、最終
的に真空容器内が真空になったとき、伸縮材８は大気圧
により均等に伸び長さｅとなり、シール材６は全面に渡
り均等に真空容器２に押し付けられる。
〔発明の効果〕
この発明は、以上説明したように、シール材の付いた板
を伸縮材で回転板に連結したことにより、シール材を均
等に真空容器に押しつけることができ、また、容器内が
真空になった場合、大気圧をシール材が均等に受けられ
るという効果がある。
化を示す側面図、第３図は真空容器内が真空になった時
の側面図、第４図は従来の方式を示す側面図である。
１・・・開口部 ２・・・真空容器 ３・・・回転軸 ４・・・固定ブロックＣ ５・・・回転板Ｂ ６・・・シール材 ７・・・仮Ａ ８・・・伸縮材 ９・・・ストッパ １０・・・大気側開口部 １１・・・シール Ｉ２・・・回転板 １３・・・回転軸 １４・・・固定ブロック １５・・・シール下側 １６・・・シール上側 １７・・・真空容器 以上 出願人　セイコー電子工業株式会社 ｘ１図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 　真空容器に固定した固定ブロックと回転軸により連結
    された回転板と真空容器大気側開口部を密閉させるシー
    ル材の付いた板を伸縮材で連結したことを特徴とする真
    空容器大気側開口部用ドア。
JP26432287A 1987-10-20 1987-10-20 真空容器大気側開口部用ドア Pending JPH01107841A (ja)

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JPH01107841A true JPH01107841A (ja) 1989-04-25

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013007064A (ja) * 2011-06-22 2013-01-10 Ulvac Japan Ltd 真空容器

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013007064A (ja) * 2011-06-22 2013-01-10 Ulvac Japan Ltd 真空容器

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