JPH01107841A - 真空容器大気側開口部用ドア - Google Patents
真空容器大気側開口部用ドアInfo
- Publication number
- JPH01107841A JPH01107841A JP26432287A JP26432287A JPH01107841A JP H01107841 A JPH01107841 A JP H01107841A JP 26432287 A JP26432287 A JP 26432287A JP 26432287 A JP26432287 A JP 26432287A JP H01107841 A JPH01107841 A JP H01107841A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- vessel
- rotating plate
- door
- sealant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 16
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 7
- 239000000565 sealant Substances 0.000 abstract 5
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/03—Pressure vessels, or vacuum vessels, having closure members or seals specially adapted therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、真空容器大気側開口部用ドアに関する。
この発明は、真空容器大気側開口部用ドアにおいて、シ
ール材の付いた板を伸縮材でドア部に連結したもので、
高い気密性を有するドアを実現するものである。
ール材の付いた板を伸縮材でドア部に連結したもので、
高い気密性を有するドアを実現するものである。
従来、真空容器大気側開口部用ドアにおいて第4図に示
すように、大気側開口部10を密閉させるシール材11
は、回転Fi12に直接付けられていた。
すように、大気側開口部10を密閉させるシール材11
は、回転Fi12に直接付けられていた。
しかし、従来の構造ではドアを閉じる時、回転軸13に
近いシール材上側15が上側16より先に真空容器面1
7に接し、均等に接することができず、リークの可能性
がある。また、容器内が真空になった場合、大気圧によ
りシール材11がつぶれ回転板12が回転軸13を中心
に回転し、シール材のつぶれ量がシール材上側、下側で
異なり、さらにシールの接触位置が移動するという欠点
がある。
近いシール材上側15が上側16より先に真空容器面1
7に接し、均等に接することができず、リークの可能性
がある。また、容器内が真空になった場合、大気圧によ
りシール材11がつぶれ回転板12が回転軸13を中心
に回転し、シール材のつぶれ量がシール材上側、下側で
異なり、さらにシールの接触位置が移動するという欠点
がある。
上記問題点を解決するために、この発明は、シール材の
付いた仮を伸縮材で回転板に連結した。
付いた仮を伸縮材で回転板に連結した。
上記の様に構成することにより、シール材の上側と下側
とのつぶれ量が均一になり、高い気密性を有するドアを
得ることが可能になる。
とのつぶれ量が均一になり、高い気密性を有するドアを
得ることが可能になる。
以下に、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第1図はこの発明の側面図、第2図は伸縮材の変化を示
す側面図、第3図は真空容器内が真空になった時の側面
図である。
す側面図、第3図は真空容器内が真空になった時の側面
図である。
第1図において、開口部1のある真空容器2に回転軸3
の付いた固定ブロック4が固定され回転板5と回転軸3
は連結されている。回転板5とシール材6を付けた仮7
は伸縮材8により連結されている。回転板5には、回転
板5の回転を規正するストッパ9が付けられている。
の付いた固定ブロック4が固定され回転板5と回転軸3
は連結されている。回転板5とシール材6を付けた仮7
は伸縮材8により連結されている。回転板5には、回転
板5の回転を規正するストッパ9が付けられている。
次に動作について説明する。第2図の[alに示すよう
に、ドアが開いている時、回転板5とシール材6の付い
た板7は伸縮材8の自由長aの間隔を保っている。第2
図の山)に示すように、ドアが閉じはじめ、シール材6
の下側が真空容器2に接し、さらに回転板5が回転する
と、回転板5と板7の距離は、シール下側で縮まりbと
なり、シール上側では伸びCとなる。さらに第2図の(
C)に示すように回転板5が回転し、ストッパ9が真空
容器2に接し、回転板5が真空容器2と平行になったと
き、伸縮材8の長さはdとなり回転板5.板7及び真空
容器2が平行となる。そして第3図に示すように、最終
的に真空容器内が真空になったとき、伸縮材8は大気圧
により均等に伸び長さeとなり、シール材6は全面に渡
り均等に真空容器2に押し付けられる。
に、ドアが開いている時、回転板5とシール材6の付い
た板7は伸縮材8の自由長aの間隔を保っている。第2
図の山)に示すように、ドアが閉じはじめ、シール材6
の下側が真空容器2に接し、さらに回転板5が回転する
と、回転板5と板7の距離は、シール下側で縮まりbと
なり、シール上側では伸びCとなる。さらに第2図の(
C)に示すように回転板5が回転し、ストッパ9が真空
容器2に接し、回転板5が真空容器2と平行になったと
き、伸縮材8の長さはdとなり回転板5.板7及び真空
容器2が平行となる。そして第3図に示すように、最終
的に真空容器内が真空になったとき、伸縮材8は大気圧
により均等に伸び長さeとなり、シール材6は全面に渡
り均等に真空容器2に押し付けられる。
この発明は、以上説明したように、シール材の付いた板
を伸縮材で回転板に連結したことにより、シール材を均
等に真空容器に押しつけることができ、また、容器内が
真空になった場合、大気圧をシール材が均等に受けられ
るという効果がある。
を伸縮材で回転板に連結したことにより、シール材を均
等に真空容器に押しつけることができ、また、容器内が
真空になった場合、大気圧をシール材が均等に受けられ
るという効果がある。
化を示す側面図、第3図は真空容器内が真空になった時
の側面図、第4図は従来の方式を示す側面図である。
の側面図、第4図は従来の方式を示す側面図である。
1・・・開口部
2・・・真空容器
3・・・回転軸
4・・・固定ブロックC
5・・・回転板B
6・・・シール材
7・・・仮A
8・・・伸縮材
9・・・ストッパ
10・・・大気側開口部
11・・・シール
I2・・・回転板
13・・・回転軸
14・・・固定ブロック
15・・・シール下側
16・・・シール上側
17・・・真空容器
以上
出願人 セイコー電子工業株式会社
x1図
Claims (1)
- 真空容器に固定した固定ブロックと回転軸により連結
された回転板と真空容器大気側開口部を密閉させるシー
ル材の付いた板を伸縮材で連結したことを特徴とする真
空容器大気側開口部用ドア。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26432287A JPH01107841A (ja) | 1987-10-20 | 1987-10-20 | 真空容器大気側開口部用ドア |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26432287A JPH01107841A (ja) | 1987-10-20 | 1987-10-20 | 真空容器大気側開口部用ドア |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01107841A true JPH01107841A (ja) | 1989-04-25 |
Family
ID=17401571
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26432287A Pending JPH01107841A (ja) | 1987-10-20 | 1987-10-20 | 真空容器大気側開口部用ドア |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01107841A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013007064A (ja) * | 2011-06-22 | 2013-01-10 | Ulvac Japan Ltd | 真空容器 |
-
1987
- 1987-10-20 JP JP26432287A patent/JPH01107841A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013007064A (ja) * | 2011-06-22 | 2013-01-10 | Ulvac Japan Ltd | 真空容器 |
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