JP7842617B2 - 位置測定装置 - Google Patents

Description

本発明は、請求項１の前提部分による位置測定装置に関する。

特許文献１は、位置測定装置、特に測長装置を開示する。位置測定装置は、スケールを収容するケーシング内にスケールを備え、スケールを走査する走査ユニットを備える。ケーシング又はケーシングの終端側のカバー要素は、スケールと走査ユニットとの間の間隙に対応する位置に間隙調整用の調整孔を有する。

２部分よりなるプロフイル・ケーシングを有する別の測長装置は特許文献２から知られている。

欧州特許出願公開第２７８１８９０号明細書 独国特許出願公告第２７２９７８号明細書

本発明の課題は、簡単で低コストに作製し、且つ位置計測装置のケーシング内に配置されているスケールの長手方向において精密な位置計測を可能とする、位置計測装置を提供することである。

本発明によれば、この課題は、請求項１の特徴を有する位置測定装置によって解決される。

本発明によって形成されている位置測定装置は、ベース本体と、長手方向に延在してベース本体に連結されている第１のケーシング部と、長手方向に延在してベース本体に連結されている第２のケーシング部とを備える。少なくとも第１のケーシング部及び第２のケーシング部によって、中空プロファイルが形成される。位置測定装置は、中空プロファイル内に配置されているスケールと、スケールを走査する走査ユニットとを有する。ベース本体とスケールは互いに直接接続されている。

特に、スケールは、ベース本体の取付け面と隣接する。取付け面は、スケールに対向する、特に横方向の、ベース本体（例えば、マシンベッド）の表面である。

好ましくは、ベース本体と第１のケーシング部及び／又はベース本体と第２のケーシング部は、それぞれ互いに直接接続されている。

ベース本体、第１ケーシング部及び第２ケーシング部によって中空プロファイルが形成されていれば有利である。

更に、走査ユニットを中空プロファイルに対して相対的に長手方向に、好ましくはスケールから独立して、及び／又は第１及び第２のケーシング部から独立して移動可能であれば有利である。

この場合、「独立して移動可能」とは、走査ユニットがスケールで、若しくは第１および第２のケーシング部で案内されない（いわゆる案内されないシステム）ことと理解される。非案内システムは、超精密機械で使用することができる。

好ましくは、位置測定装置が、走査ユニットを保持するための連行体を有する。走査ユニットは、例えば、ケーブルを備える。連行体は、特に、ケーブルが連行体の少なくとも一部分を通って導入することができるように形成されている。したがって、連行体は、走査ユニットのケーブルのためのケーブル貫通部を含む。

連行体は、好ましくは、走査ユニットを連行体と接続するためのアダプタピースを有する。アダプタピースによって、スケールに対して相対的に走査ユニットを位置合わせするか、若しくは調整することができる。この調整若しくは位置合わせは、複数の自由度（例えば、間隔／平行度、モアレ角度、及び／又は高さ）で行うことができる。

請求項１５には、本発明に係る位置測定装置用の部品セットが示されている。部品セットは、ベース本体に接続可能である第１のケーシング部と、本体に接続可能である第２のケーシング部とを備える。さらに、部品セットは、走査ユニットを保持するための連行体を有する。

本発明によって、スケールが、第１及び第２のケーシング部品によって形成され、特に２部式ケーシングの影響（例えば、熱膨張及び／又は振動）からの独立が達せられる。他方では、これは、スケールの長手方向での正確な位置測定が可能になる。この目的のために、特に、スケールは２部式ケーシングの代わりに直に（すなわち直接）ベース本体（例えばマシンベッド）と接続されている。そのため、スケールとベース本体との間だけに直接接続部が存在する。スケールと２つのケーシング部品の内の一つと、又は２つのケーシング部品との直接接続は存在しない。これにより、先述の影響による位置測定精度の低下を回避することができる。スケールが特に２部式ケーシング内に配置され、及びケーシングとスケールからなるユニットがベース本体（すなわちマシンベッド）上に配置されているか又はこのベース本体と接続されている既知の先行技術と対照的に、簡単で低コストの構造が達成される。これは、特に、カプセル化の簡単で低コストの実施によって可能となる。また、本発明は、ベース本体と直接接続したスケールとは独立して２部式ケーシングを解体することが可能である。その結果、スケールの位置決め又は位置合わせの位置の変更、ひいては位置測定装置のずれを回避することができる。これは、特に、位置測定装置をクリーニングする必要がある場合に有利である。

本発明の有利な発展形態は従属請求項で見られる。

本発明のさらに詳細な点及び利点が、図と併せて、本発明の可能な実施例に関する以下の説明に基づいて説明される。

例示的な位置測定装置の斜視図を示す。 図１に係る位置測定装置の断面図を示す。 図１に係る位置測定装置の終端側の斜視図を示す。 図１に係る位置測定装置の終端側の斜視分解図を示す。 第２（上側）のシールコードの領域における図１に係る位置測定装置の終端側の断面図を示す。 図１に係る位置測定装置の連行体の斜視図を示す。 閉鎖要素が連行体の相補的な部分から外された図５ａに係る連行体の斜視図を示す。 Ｌ字形状に形成されている部分を具体的に示すための図５ａに係る連行体の平面図を示す。 連行体の中央領域における図５ａに係る連行体の断面図を示す。 図５ｂに係る閉鎖要素の斜視図を示す。 図１に係る位置計測装置の斜視分解図を示す。

同一の要素又は機能的に同一の要素は、図中で同一の参照記号を付されている。

実施例は、図１～図８を参照して、以下に説明する。実施例による位置測定装置は、ベース本体１（例えば、機械ベッドまたは機械のベース本体）、長手方向Ｘに延在し且つベース本体１と接続されている第１ケーシング部１０．１、及び長手方向Ｘに延在し且つベース本体１と接続されている第２ケーシング部１０．２を備える（図８参照）。少なくとも第１のケーシング部及び第２のケーシング部によって、中空プロファイルが形成される（図２参照）。この位置計測装置は、中空プロファイル１０の内側に配置されているスケール１２と、スケール１２を走査するための、スケール１２に対向する走査ユニット１４とを有する。ベース本体１とスケール１２は、互いに直接接続されている。

図２に示すように、スケール１２は、ベース本体１の取付け面１．１と隣接する。取付け面１．１は、スケール１２に対向する、ベース本体１の表面である。

位置測定装置は、特に測長装置である。このため、スケール１２と走査ユニット１４は、長手方向Ｘ（すなわち測定方向）において、互いに相対的に移動可能である。位置測定の間、走査ユニット１４は、スケール１２の測定目盛を走査し、そこから位置測定値を形成する。測定目盛は、図に描画されていない。

ベース本体１と第１ケーシング部１０．１とは、固定ねじを介して互いに直接接続されている。これらの固定ねじ（固定ねじ４．１１）の内の一つは、図２で視認可能である。さらに、ベース本体１と第２ケーシング部１０．２とは、固定ねじ４．２を介して互いに直接接続されている。これらの固定ねじ４．２（固定ねじ４．２１）の内の一つは、図２で視認可能である。固定ねじ４．２１は、固定ねじ４．１１に割り当てられていて、即ち、固定ねじ４．１１、４．２１は、Ｚ方向に重なって配置されている。Ｚ方向は、ベース本体１の取付け面１．１．に対して平行に及び長手方向Ｘに対して垂直に延びる。以下では、Ｚ方向が「第１方向」とも呼ばれる。

互いに直接接続するとは、各々のエレメントが直接、即ち１つまたは複数の中間エレメントを介さずに互いに接続されていることを意味する。

図２を参照すると、中空プロファイル１０は、その全体がベース本体１、第１ケーシング部１０．１及び第２ケーシング部１０．２によって形成される。位置測定装置は、（長手方向Ｘに延びる）第１のシールリップ１８．１と第２のシールリップ１８．２（以下では、シールリップ１８）を有する。シールリップ１８は、中空プロファイル１０の下端に配置されている。走査ユニット１４を保持する連行体１６がシールリップ１８の間を通じて把持する。連行体１６の更なる詳細な点については、図５～図７（又は図８）に関連して後述する。

図２に示すように、シールリップ１８は、Ｙ方向において互いに対向する。Ｙ方向は、ベース本体１の取付け面１．１に対して垂直に延びる。以下では、Ｙ方向が「第２方向」とも呼ばれる。

図２に関して、第１のケーシング部１０．１は、第１のケーシング部１０．１をベース本体１に固定するための第１の部分１０．１１を有する。さらに、第２ケーシング部１０．２は、第２のケーシング部１０．２をベース本体１に固定するための、ベース本体１に対向する第２の部分１０．２１を有する。第１の部分１０．１１は、スケール１２の第１の（下方の）側に配置されている。第２の部分１０．２１は、第１の側と対向する、スケール１２の第２の（上方の）側に配置されている。第１の部分１０．１１と第２の部分１０．２１とは、第１の方向（すなわちＺ方向）で互いに対向して配置されている。図２に示すように、固定ネジ４．１１は、第１の部分１０．１１を通って延在する。さらに、固定ネジ４．２１は、第２の部分１０．２１を通って延在する。したがって、第１および第２のケーシング部１０．１、１０．２によって形成されている２部式ケーシングは、ベース本体１までスケール１２の両側に延在し、上側および下側でスケール１２を取り囲む。

位置計測装置は、第１～第４のシール要素２０．１～２０．４を有する（図２、図８参照）。図２に示すように、第１のケーシング部１０．１は、第１のシール要素２０．１を収容するための、ベース本体１に隣接する第１の凹部１１．１を有する。さらに、第２のケーシング部１０．２は、第２のシール要素２０．２を収容する為の、ベース本体１に隣接する第２の凹部１１．２を有する。第１の凹部１１．１および第２の凹部１１．２はそれぞれ長手方向Ｘに延在する。

例えば、第１のシール要素２０．１は、第１のシールコードである。さらに、第２シール要素２０．２は、例えば、第２シールコードである。第１のシール要素２０．１と第２のシール要素２０．２は、それぞれ長手方向Ｘに延在する。第１及び第２のシール要素２０．１，２０．２は、それぞれその全長にわたって第１と第２の凹部１１．１、１１．２によって収容されている。

第１と第２のシール要素２０．１、２０．２によって、第１と第２のケーシング部１０．１、１０．２によって形成されている２部式ケーシングは、ベース本体１に対して横方向に、すなわちＹ方向において密閉することができる。これを図２に示す。

この位置測定装置は、第１と第２のケーシング部１０．１，１０．２の第１の終端部Ａ、Ａ‘に配置されている第１のカバー要素１０．３、及び第１の終端部Ａ、Ａ‘に対向している、第１及び第の２ケーシング部１０．１，１０．２の第２の終端部Ｂ、Ｂ‘に配置されている第２のカバー要素１０．４（図８参照）を有する。図８から分かるように、第３のシール要素２０．３は、第１の終端部Ａ、Ａ‘と第１のカバー要素１０．３との間に配置されている。さらに、第４のシール要素２０．４は、第２の終端部Ｂ，Ｂ‘と第２のカバー要素１０．４との間に配置されている。特に、第３のシール要素２０．３及び第４のシール要素２０．４は、それぞれ板状に形成されている。さらに、第１および第２のカバー要素１０．３、１０．４は、それぞれ、固定ネジ４．４１、４．４２（固定ネジ４．４）を介してベース本体１と接続可能であることが図８から分かる。

第３のシール要素２０．３と第４のシール要素２０．４は、それぞれ、（圧縮性）シールプレートと呼ぶこともできる。

第１と第２のカバー要素１０．３、１０．４は、それぞれ第３と第４のケーシング部（終端部のケーシング部）を表す。これを図１に示す。第３及び第４のシール要素２０．３，２０．４によって、第１～第４のケーシング部１０．１～１０．４で形成されているケーシングが終端側で、すなわち第１終端部Ａ、Ａ‘に、若しくは第２終端部Ｂ、Ｂ‘で、密閉することができる。

図３ａは、図１による位置測定装置の一つの終端を示す。図３ａには、特に、第２のケーシング部１０．２の第１終端部Ａ‘と、第１のカバー要素１０．３（第３ケーシング部）とが示されている。図３ｂは、第２及び第３のケーシング部１０．２，１０．３の間に配置されている第３のシール要素２０．３を示す。第２及び第３のシール要素２０．２、２０．３は、図４の断面図から分かる。図４に示すように、第２及び第３のシール要素２０．２，２０．３は、ベース本体１の取付け面１．１とそれぞれ同一平面状に配置されている。その結果、ベース本体１に対するケーシングの横方向の密閉が達成される。これは、図３ａに示されている終端側について図４に示されている。この状況は、位置測定装置の、対向する終端側に類似している。

図２を参照すると、第１のケーシング部１０．１は、第１のシールリップ１８．１を収容するための第３の凹部１１．３を有する。さらに、第２のケーシング部１０．２は、ベース本体１とは反対の第３の部分１０．２２を有する。第１のケーシング部１０．１と第３の部分１０．２２は、第２の方向（Ｙ方向）に互いに対向して配置されている。図２に示すように、第２のケーシング部１０．２は、第２のシールリップ１８．２を収容するための、第３の部分１０．２２に配置されている第４の凹部１１．４を有する。第３の凹部１１．３と第４の凹部１１．４はそれぞれ長手方向Ｘに延在する。第１及び第２のシールリップ１８．１，１８．２は、それぞれその全長にわたって第３及び第４の凹部１１．３、１１．４によって収容されている。このシールリップ１８は、ベース本体１、第１のケーシング部１０．１及び第２のケーシング部１０．２により形成されている中空プロファイル１０を下方、すなわち（マイナス）Ｚ方向に密閉するために使用する（図２参照）。

シールリップ１８と第１～第４のシール要素２０．１～２０．４によって、実質的に位置測定装置の完全な密閉が達成される。従って、全体として、流体（例えば、冷却潤滑剤）に対してシールされているシステムをもたらす。

位置測定装置は、特に、カプセル化され、案内されないシステムを表す。この場合、走査ユニット１４は、中空プロファイル１０に対して相対的に、長手方向Ｘへ、特にスケール１２とは独立して、第１および第２のケーシング部品１０．１、１０．２とは独立して、移動可能である（図２参照）。図２に示すように、走査ユニット１４は、スケール１２との共通の案内面、又は第１及び第２のケーシング部品１０．１、１０．２との共通の案内面を有さない。

連行体１６のより詳細な点は、図５～図７（または図８）で説明される。図８によれば、連行体１６は組立領域１６．１を有する。組立領域１６．１は、連行体１６を測定対象物２と接続するために使用される。図８に示すように、連行体１６は、固定ネジ４．３を介して測定対象物２と接続可能である。更に、連行体１６は、刀剣形の中央ピース１６．２と、アダプタピース１６．３と、閉鎖要素１６．４とを有する。アダプタピース１６．３は、走査ユニット１４を、刀剣形の中央ピース１６．２と接続するために使用される。アダプタピース１６．３によって、スケール１２に対して相対的に走査ユニット１４を調整することを、複数の自由度（例えば、自由度Ｙ、ＲＹ、Ｚ）で、実施することができる。アダプタピース１６．３と組立領域１６．１とは、刀剣形の中央ピース１６．２によって互いに接続される。

図２に示すように、刀剣形の中央片１６．２は、中空プロファイル１０の内側からシールリップ１８を通って中空プロファイル１０の外側に配置されている組立領域１６．１まで延在している。走査ユニット１４は、ケーブル１４．１（図８参照）を備える。ケーブル１４．１は、上部分１４．１１と下部分１４．１２を有する。上部分１４．１１は、走査ユニット１４から、刀剣形の中央部分１６．２まで延在する。下部分１４．１２は、長手方向（Ｘ方向）において組立領域１６．１から外に出ている（図２および図８参照）。

連行体１６は、特に走査ユニット１４を保持するために使用する。図５ａを参照すると、連行体１６は、ケーブル１４．１を収容するため且つ貫通して案内するための開口部１７を有する。開口部１７は、連行体１６の少なくとも一部を通って延在する（図６ｂ参照）。その結果、ケーブル１４．１は、連行体１６の少なくとも一部、特に刀剣形の中央部分１６．２を貫通して案内することができる。

連行体１６の幾何学的形状に関して、長手方向（Ｘ方向）は、連行体１６の長手延長部に対して平行に延びる方向に対応する。また、第１の方向（Ｚ方向）は、連行体１６のベース面Ｇに対して垂直に延びる方向に対応する。また、第２の方向（Ｙ方向）は、連行体１６の長手延長部に対して垂直に、かつ連行体１６のベース面Ｇに平行に延びる方向に対応する。

図５ａおよび図６ｂを参照すると、連行体１６は、ケーブル１４．１が、第１の方向（Ｚ方向）に、刀剣形の中央部分１６．２を通って案内することができるように形成されている。さらに、連行体１６は、ケーブル１４．１が、長手方向（Ｘ方向）に、連行体１６の長手部分Ｌにおいて、組立領域１６．１を通って案内することができるように形成されている。

図６ａを参照すると、刀剣形の中央部分１６．２は、第２の方向（Ｙ方向）における第１の延長部Ｌ１を有する。例えば、第１の延長部Ｌ１は、ケーブル１４．１の直径Ｄの１．０倍～１．５倍の範囲、又は１．０倍～１．２５倍の範囲にある。したがって、第１延長部Ｌ１は、ケーブル１４．１の直径Ｄより大きく、特にケーブル１４．１の直径Ｄよりやや大きく、又はケーブル１４．１の直径Ｄに等しい。したがって、第１の延長部Ｌ１（すなわち、刀剣形の中央部分１６．２の幅）は、刀剣形の中央部分１６．２によってケーブル１４．１の断面を収容することができるように適合されている。

図５ｂには、連行体１６が、連行体１６にケーブル１４．１を横方向で嵌め込むために、連行体１６の長手部分Ｌに設けられている凹部１６．４‘を有することが示されている。図６ａを参照すると、凹部１６．４‘は、開口１７を含む第１のセクション２０．１（長穴）と、第１のセクション２０．１に隣接する第２のセクション２０．２とを有する。第１のセクション２０．１及び第２のセクション２０．２によって、連行体１６の平面視においてＬ字形状に形成された区間２０が形成される。第１のセクション２０．１は、長手方向（Ｘ方向）に延在する。第２のセクション２０．２は、第２の方向（Ｙ方向）に延在する。第１のセクション２０．１は、連行体１６の中央領域Ｑ内に配置されている。第２のセクション２０．２は、連行体１６の横方向の表面２４から連行体１６の中央領域Ｑまで延在する。

図６ａを参照すると、第１セクション２０．１は、第２の方向（Ｙ方向）に第２の延長部Ｌ２を有する。さらに、第２セクション２０．２は、長手方向（Ｘ方向）に第３延長部Ｌ３を有する。例えば、第２延長部Ｌ２及び／又は第３延長部Ｌ３は、それぞれ、ケーブル１４．１の直径Ｄの１．０倍～１．２５倍の範囲、又は１．０倍～１．１５倍の範囲である。したがって、第２及び第３の延長部Ｌ２、Ｌ３は、それぞれ、ケーブル１４．１の直径Ｄより大きく、特にケーブル１４．１の直径Ｄよりわずかに大きく、またはケーブル１４．１の直径Ｄに等しい。その結果、Ｌ字形状で形成されている部分２０を介して連行体１６にケーブル１４．１を横方向ではめ込むことが、可能となる。

図５ｂを参照すると、連行体１６は、凹部１６．４‘に対応する閉鎖要素１６．４を備える（図７も参照）。閉鎖要素１６．４は、閉鎖要素１６．４と連行体１６の相補的な部分Ｃと着脱可能に接続されている。図６ｂに示すように、連行体１６は、第１の内側輪郭１７．１を有する。さらに、閉鎖要素１６．４は、第１の内側輪郭１７．１に対向する第２の内側輪郭１７．２を有する。第１の内側輪郭１７．１及び第２の内側輪郭１７．２は、それぞれ連行体１６の長手部分Ｌを貫通して延在している。第１の内側輪郭１７．１と第２の内側輪郭１７．２によって、ケーブル１４．１を収容するため且つ貫通して案内するための開口部１７が形成される。

連行体１６の長手延長部に対して平行に且つ連行体１６のベース面Ｇに対して垂直に延びる断面平面Ｓ１が、図６ｂに示されている。加えて、断面平面Ｓ１は、ケーブル１４．１（又は開口部１７）を通って延びる。例えば、第１及び第２の内側輪郭１７．１，１７．２によって形成されている開口部１７は、弓形の推移又は角度をつけた推移を有する。図６ｂによれば、この推移は、基本的にはＬ字形状を有する。

図５ｂでは、閉鎖要素１６．４が、外された状態で示されている。閉鎖要素１６．４は、固定ねじ４．５を介して連行体１６の相補的な部分Ｃと接続可能である。

図５ｂを参照すると、凹部１６．４‘は、閉鎖要素１６．４が相補的な部分Ｃから外されているとき（すなわち外された状態）、ケーブル１４．１を第２の方向（Ｙ方向）に連行体１６に嵌め込むことができるように形成されている。

閉鎖要素１６．４は、特に二重機能を有する。一方、閉鎖要素１６．４は、ケーブル１４．１を連行体１６内に、横方向にはめ込んだ後、凹部１６．４‘（又は連行体１６）を再び閉じるために使用される。他方で、閉鎖要素１６．４は、接続された状態でケーブル１４．１のための張力緩和をもたらすように形成されている。図７では、閉鎖要素１６．４の内壁（第２の内側輪郭１７．２）が、明瞭に視認可能である。

開口部１７は、例えば、丸い断面、正方形の断面または長方形の断面を有する。図６ｂから分かるように、開口部１７は、平面Ｓ２において第４の長さＬ４を有する。この場合、平面Ｓ２は、連行体１６のベース面Ｇに対して平行に延びる。例えば、第４の長さＬ４は、ケーブル１４．１の直径Ｄの１．０倍～１．２５倍又は１．０倍～１．１５倍の範囲にある。有利には、開口部１７の断面は、ケーブル１４．１の断面に適合されている（図６ａ参照）。

好ましくは、第４の長さＬ４は、２ｍｍ～２０ｍｍの範囲、または５ｍｍ～１５ｍｍの範囲である。

連行体１６は、好ましくは、図１～図８で説明した位置測定装置（すなわち、２部式ケーシングを有するカプセル化した測長装置）の一部である。代替的には、連行体１６は、一体的なケーシングを有するカプセル化された測長装置での使用にも適している。

図１～図８で説明した位置計測装置用の部品セットは、ベース本体１と接続可能である第１ケーシング部１０．１と、ベース本体１と接続可能である第２ケーシング部１０．２とを備える。さらに、部品セットは、走査ユニット１４を保持するための連行体１６を有している。

さらに、部品セットは、追加の要素１０．１～１０．４、２０．１～２０．４および１８を備えることができる（部品セット全体）。部品セットを組み立てることによって、スケール１２と走査ユニット１４とからなる既に利用可能な開放型の測長システム（すなわち、カプセル化なしのシステム）をカプセル化することができる。

本発明は、特に以下の利点を有する。部品セットは、任意で開放型の長さ測定システム（汎用的な適用性）をカプセル化するためにふさわしい。この場合、開放型の測長システムの組立工程若しくは組立方法を変更したり又は再設計（例えば特殊ケーブルの組立）したりする必要はない。位置測定装置の単純化した構造によって、システムコストが低くなる。位置測定装置の再調整をすることなく、位置測定装置のケーシングの（例えば洗浄のための）分解を可能にする。

本発明は、部品セットが、これまでにカプセル化されていない、開放された全ての測長システムに対して互換性を生み出すという点で、特に有利である。

本発明は、測定目盛が光学的に走査可能に形成されていれば、特に高分解能の位置測定を可能にする。代替的には、測定目盛は、磁気的、誘導式に、又は容量式に走査可能に形成され得る。
なお、本願は、特許請求の範囲に記載の発明に関するものであるが、他の観点として以下も含む。
１．
ベース本体（１）、及び
長手方向（Ｘ）に延在し且つベース本体（１）と接続されている第１のケーシング部（１０．１）、及び
長手方向（Ｘ）に延在し且つベース本体（１）と接続されている第２のケーシング部（１０．２）を備える位置測定装置であって、
少なくとも第１のケーシング部（１０．１）と第２のケーシング部（１０．２）によって、中空プロファイル（１０）が形成され、位置測定装置が中空プロファイル（１０）の内側に配置されているスケール（１２）とスケール（１２）を走査するための走査ユニット（１４）を有する、当該位置測定装置において、
ベース本体（１）とスケール（１２）は、互いに直接接続されている、ことを特徴とする位置測定装置。
２．
スケール（１２）は、ベース本体（１）の取付け面（１．１）と隣接する、ことを特徴とする上記１に記載の位置測定装置。
３．
ベース本体（１）と第１ケーシング部（１０．１）及び／又はベース本体（１）と第２ケーシング部（１０．２）は、それぞれ互いに直接接続されている、ことを特徴とする上記１又は２に記載の位置測定装置。
４．
ベース本体（１）と、第１ケーシング部（１０．１）と、第２ケーシング部（１０．２）とによって中空プロファイル（１０）が形成される、ことを特徴とする上記１～３のいずれか一つに記載の位置測定装置。
５．
第１のケーシング部（１０．１）は第１のケーシング部（１０．１）をベース本体（１）に固定するための第１の部分（１０．１１）を有し、
第２のケーシング部（１０．２）は、第２のケーシング部（１０．２）をベース本体（１）に固定するための、ベース本体（１）に対向する第２の部分（１０．２１）を有し、
第１の部分（１０．１１）は、スケール（１２）の第１の側に配置されていて、
第２の部分（１０．２１）は、第１の側と対向する、スケール（１２）の第２の側に配置されていて、
第１の部分（１０．１１）と第２の部分（１０．２１）は、ベース本体（１）の取付け面（１．１）に対して平行に且つ長手方向（Ｘ）に対して垂直に延びる、第１の方向（Ｚ）に互いに対向して配置されている、ことを特徴とする上記１～４のいずれか一つに記載の位置測定装置。
６．
位置測定装置は少なくとも第１のシール要素（２０．１）と第２のシール要素（２０．２）を有し、
第１のケーシング部（１０．１）は、ベース本体（１）に隣接する、第１のシール要素（２０．１）を収容する為の第１の凹部（１１．１）を有し、
第２のケーシング部（１０．２）は、ベース本体（１）に隣接する、第２のシール要素（２０．２）を収容する為の第２の凹部（１１．２）を有し、
第１の凹部（１１．１）と第２の凹部（１１．２）は、各々長手方向（Ｘ）に延在する、ことを特徴とする請求項１～５のいずれか一項に記載の位置測定装置。
７．
第１シール要素（２０．１）は第１シールコードであり、
第２シール要素（２０．２）は第２シールコードであり、
第１シール要素（２０．１）と第２シール要素（２０．２）はそれぞれ長手方向（ｘ）に延在する、ことを特徴とする上記６に記載の位置測定装置。
８．
位置測定装置は、第１と第２のケーシング部（１０．１、１０．２）の第１の終端部（Ａ、Ａ‘）に配置されている第１のカバー要素（１０．３）及び第１終端部（Ａ、Ａ‘）に対向して第１と第２のケーシング部（１０．１、１０．２）の第２の終端部（Ｂ、Ｂ‘）に配置されている第２のカバー要素（１０．４）を有し、
位置測定装置は、第３のシール要素（２０．３）と第４のシール要素（２０．４）を有し、
第３のシール要素（２０．３）は第１の終端部（Ａ、Ａ‘）と第１のカバー要素（１０．３）の間に配置されていて、
第４のシール要素（２０．４）は第２の終端部（Ｂ、Ｂ‘）と第２のカバー要素（１０．４）の間に配置されていて、
第３のシール要素（２０．３）と第４のシール要素（２０．４）は、それぞれ板状に形成されている、ことを特徴とする上記１～７のいずれか一つに記載の位置測定装置。
９．
位置測定装置は、走査ユニット（１４）を保持するための連行体（１６）を有し、
走査ユニット（１４）は、ケーブル（１４．１）を備え、
連行体（１６）は、ケーブル（１４．１）が連行体（１６）の少なくとも一部分を貫通して案内することができるように形成されている、ことを特徴とする上記１～８のいずれか一つに記載の位置測定装置。
１０．
連行体（１６）は、刀剣形の中央部分（１６．２）を有し、
連行体（１６）は、ケーブル（１４．１）を、ベース本体（１）の取付け面（１．１）に対して平行に且つ長手方向（Ｘ）に対して垂直に延在する第１の方向（Ｚ）において、刀剣形の中央部分（１６．２）を貫通して案内することができるように形成されている、ことを特徴とする上記９に記載の位置測定装置。
１１．
連行体（１６）は、連行体（１６）の長手部分（Ｌ）に設けられている凹部（１６．４‘）を有し、
連行体（１６）は、凹部（１６．４‘）と対応し且つ連行体（１６）の相補的な部分（Ｃ）と着脱可能に接続されている閉鎖要素（１６．４）を有し、
連行体（１６）は第１の内側輪郭（１７．１）を有し、
閉鎖要素（１６．４）が第１の内側輪郭（１７．１）に対向する第２の内側輪郭（１７．２）を有し、
第１の内側輪郭（１７．１）と第２の内側輪郭（１７．２）によって、ケーブル（１４．１）を収容するため且つ貫通して案内するための開口部（１７）が形成され、
開口部（１７）は、連行体（１６）の長手部分（Ｌ）を貫通して延在する、ことを特徴とする上記９又は１０に記載の位置測定装置。
１２．
凹部（１６．４‘）は、閉鎖要素（１６．４）が連行体（１６）の相補的な部分（Ｃ）から外れたときに、ケーブル（１４．１）を連行体（１６）内に、横方向に嵌め込むことができるように形成されている、ことを特徴とする上記１１記載の位置測定装置。
１３．
第１のケーシング部（１０．１）は、第１のシールリップ（１８．１）を収容するための第３の凹部（１１．３）を有し、
第２のケーシング部（１０．２）は、ベース本体（１）とは反対側の第３の部分（１０．２２）を有し、
第１のケーシング部（１０．１）と第３の部分（１０．２２）は、ベース本体（１）の取付け面（１．１）に対して垂直に延びる第２の方向（Ｙ）に、互いに対向して配置され、第２のケーシング部（１０．２）は、第２のシールリップ（１８．２）を収容するための第３の部分（１０．２２）に配置されている第４の凹部（１１．４）を有し、
第３の凹部（１１．３）と第４の凹部（１１．４）は、それぞれ長手方向（Ｘ）に延在する、ことを特徴とする上記１～１２のいずれか一つに記載の位置計測装置。
１４．
走査ユニット（１４）は、長手方向（Ｘ）において中空プロファイル（１０）に対して相対的に移動可能であり、好ましくはスケール（１２）から独立して、および／または第１および第２のケーシング部（１０．１、１０．２）から独立して、移動可能である、ことを特徴とする上記１～１３のいずれか一つに記載の位置測定装置。
１５．
部品セットは、ベース部分（１）と接続可能である第１のケーシング部（１０．１）及びベース本体（１）と接続可能である第２のケーシング部（１０．２）を備え、
部品セットは、走査ユニット（１４）を保持するための連行体（１６）を有する、ことを特徴とする上記１～１４のいずれか１つに記載の位置測定装置用の部品セット。

Claims (13)

1. ベース本体（１）、及び
   長手方向（Ｘ）に延在し且つベース本体（１）と接続されている第１のケーシング部（１０．１）、及び
   長手方向（Ｘ）に延在し且つベース本体（１）と接続されている第２のケーシング部（１０．２）を備える位置測定装置であって、
   少なくとも第１のケーシング部（１０．１）と第２のケーシング部（１０．２）によって、中空プロファイル（１０）が形成され、位置測定装置が中空プロファイル（１０）の内側に配置されているスケール（１２）とスケール（１２）を走査するための走査ユニット（１４）を有し、
   ベース本体（１）とスケール（１２）は、互いに直接接続されおり、
   位置測定装置は、走査ユニット（１４）を保持するための連行体（１６）を有し、
   走査ユニット（１４）は、ケーブル（１４．１）を備え、
   連行体（１６）は、ケーブル（１４．１）が連行体（１６）の少なくとも一部分を貫通して案内することができるように形成されている、
   当該位置測定装置において、
   連行体（１６）は、連行体（１６）の長手部分（Ｌ）に設けられている凹部（１６．４‘）を有し、
   連行体（１６）は、凹部（１６．４‘）と対応し且つ連行体（１６）の相補的な部分（Ｃ）と着脱可能に接続されている閉鎖要素（１６．４）を有し、
   連行体（１６）は第１の内側輪郭（１７．１）を有し、
   閉鎖要素（１６．４）が第１の内側輪郭（１７．１）に対向する第２の内側輪郭（１７．２）を有し、
   第１の内側輪郭（１７．１）と第２の内側輪郭（１７．２）によって、ケーブル（１４．１）を収容するため且つ貫通して案内するための開口部（１７）が形成され、
   開口部（１７）は、連行体（１６）の長手部分（Ｌ）を貫通して延在する、
   ことを特徴とする位置測定装置。
2. スケール（１２）は、ベース本体（１）の取付け面（１．１）と隣接する、ことを特徴とする請求項１に記載の位置測定装置。
3. ベース本体（１）と第１ケーシング部（１０．１）及び／又はベース本体（１）と第２ケーシング部（１０．２）は、それぞれ互いに直接接続されている、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の位置測定装置。
4. ベース本体（１）と、第１ケーシング部（１０．１）と、第２ケーシング部（１０．２）とによって中空プロファイル（１０）が形成される、ことを特徴とする請求項１に記載の位置測定装置。
5. 第１のケーシング部（１０．１）は第１のケーシング部（１０．１）をベース本体（１）に固定するための第１の部分（１０．１１）を有し、
   第２のケーシング部（１０．２）は、第２のケーシング部（１０．２）をベース本体（１）に固定するための、ベース本体（１）に対向する第２の部分（１０．２１）を有し、
   第１の部分（１０．１１）は、スケール（１２）の第１の側に配置されていて、
   第２の部分（１０．２１）は、第１の側と対向する、スケール（１２）の第２の側に配置されていて、
   第１の部分（１０．１１）と第２の部分（１０．２１）は、ベース本体（１）の取付け面（１．１）に対して平行に且つ長手方向（Ｘ）に対して垂直に延びる、第１の方向（Ｚ）に互いに対向して配置されている、ことを特徴とする請求項１に記載の位置測定装置。
6. 位置測定装置は少なくとも第１のシール要素（２０．１）と第２のシール要素（２０．２）を有し、
   第１のケーシング部（１０．１）は、ベース本体（１）に隣接する、第１のシール要素（２０．１）を収容する為の第１の凹部（１１．１）を有し、
   第２のケーシング部（１０．２）は、ベース本体（１）に隣接する、第２のシール要素（２０．２）を収容する為の第２の凹部（１１．２）を有し、
   第１の凹部（１１．１）と第２の凹部（１１．２）は、各々長手方向（Ｘ）に延在する、ことを特徴とする請求項１に記載の位置測定装置。
7. 第１シール要素（２０．１）は第１シールコードであり、
   第２シール要素（２０．２）は第２シールコードであり、
   第１シール要素（２０．１）と第２シール要素（２０．２）はそれぞれ長手方向（ｘ）に延在する、ことを特徴とする請求項６に記載の位置測定装置。
8. 位置測定装置は、第１と第２のケーシング部（１０．１、１０．２）の第１の終端部（Ａ、Ａ‘）に配置されている第１のカバー要素（１０．３）及び第１終端部（Ａ、Ａ‘）に対向して第１と第２のケーシング部（１０．１、１０．２）の第２の終端部（Ｂ、Ｂ‘）に配置されている第２のカバー要素（１０．４）を有し、
   位置測定装置は、第３のシール要素（２０．３）と第４のシール要素（２０．４）を有し、
   第３のシール要素（２０．３）は第１の終端部（Ａ、Ａ‘）と第１のカバー要素（１０．３）の間に配置されていて、
   第４のシール要素（２０．４）は第２の終端部（Ｂ、Ｂ‘）と第２のカバー要素（１０．４）の間に配置されていて、
   第３のシール要素（２０．３）と第４のシール要素（２０．４）は、それぞれ板状に形成されている、ことを特徴とする請求項１に記載の位置測定装置。
9. 連行体（１６）は、刀剣形の中央部分（１６．２）を有し、
   連行体（１６）は、ケーブル（１４．１）を、ベース本体（１）の取付け面（１．１）に対して平行に且つ長手方向（Ｘ）に対して垂直に延在する第１の方向（Ｚ）において、刀剣形の中央部分（１６．２）を貫通して案内することができるように形成されている、ことを特徴とする請求項１に記載の位置測定装置。
10. 凹部（１６．４‘）は、閉鎖要素（１６．４）が連行体（１６）の相補的な部分（Ｃ）から外れたときに、ケーブル（１４．１）を連行体（１６）内に、横方向に嵌め込むことができるように形成されている、ことを特徴とする請求項１記載の位置測定装置。
11. 第１のケーシング部（１０．１）は、第１のシールリップ（１８．１）を収容するための第３の凹部（１１．３）を有し、
    第２のケーシング部（１０．２）は、ベース本体（１）とは反対側の第３の部分（１０．２２）を有し、
    第１のケーシング部（１０．１）と第３の部分（１０．２２）は、ベース本体（１）の取付け面（１．１）に対して垂直に延びる第２の方向（Ｙ）に、互いに対向して配置され、第２のケーシング部（１０．２）は、第２のシールリップ（１８．２）を収容するための第３の部分（１０．２２）に配置されている第４の凹部（１１．４）を有し、
    第３の凹部（１１．３）と第４の凹部（１１．４）は、それぞれ長手方向（Ｘ）に延在する、ことを特徴とする請求項１に記載の位置計測装置。
12. 走査ユニット（１４）は、長手方向（Ｘ）において中空プロファイル（１０）に対して相対的に移動可能である、ことを特徴とする請求項１に記載の位置測定装置。
13. 部品セットは、ベース部分（１）と接続可能である第１のケーシング部（１０．１）及びベース本体（１）と接続可能である第２のケーシング部（１０．２）を備え、
    部品セットは、走査ユニット（１４）を保持するための連行体（１６）を有する、ことを特徴とする請求項１に記載の位置測定装置用の部品セット。