JP4630337B2 - リニアモーターのガイド装置 - Google Patents

リニアモーターのガイド装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4630337B2
JP4630337B2 JP2007525533A JP2007525533A JP4630337B2 JP 4630337 B2 JP4630337 B2 JP 4630337B2 JP 2007525533 A JP2007525533 A JP 2007525533A JP 2007525533 A JP2007525533 A JP 2007525533A JP 4630337 B2 JP4630337 B2 JP 4630337B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
main base
linear motor
main
block
cover
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2007525533A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2008509650A (ja
Inventor
ハン,ウォル−スク
Original Assignee
アルファ ロボティックス カンパニー リミティッド
ハン,ウォル−スク
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from KR20-2004-0022569U external-priority patent/KR200368400Y1/ko
Priority claimed from KR1020050060897A external-priority patent/KR100708006B1/ko
Application filed by アルファ ロボティックス カンパニー リミティッド, ハン,ウォル−スク filed Critical アルファ ロボティックス カンパニー リミティッド
Publication of JP2008509650A publication Critical patent/JP2008509650A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4630337B2 publication Critical patent/JP4630337B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02Linear motors; Sectional motors
    • H02K41/03Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
    • H02K41/031Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors of the permanent magnet type
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K5/00Casings; Enclosures; Supports
    • H02K5/04Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K5/00Casings; Enclosures; Supports
    • H02K5/26Means for adjusting casings relative to their supports

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Linear Motors (AREA)

Description

本発明は、リニアモーターのガイド装置に係り、特に、リニアモーターの固定子及び回転子と、メインベースに形成された上向き凸形仕切り部、LMレール及びLMブロックと、そして長手方向に弾設されたメインカバーとを含み、これにより装置を簡便に設置できることはもとより、装置を全体として安定的に所定距離を往復移動させることができるほか、メインベースに取り付けられたメインカバーを垂れ下がりのない非接触方式で構成することにより、移動距離を大幅に増やすとともに作動安定性を確保し、しかも、メインカバーを分離することなくLMレール及びLMブロックに潤滑油を提供できるようにしたリニアモーターのガイド装置に関する。
リニアモーターのガイド装置は、作業用ロボット(図示せず)に装着して精緻な往復移送を可能にする装置として多用されている。
しかし、従来のリニアモーターのガイド装置は、長距離移送が必要な場合、装置自体の荷重が原因で垂れ下がりなどが生じ、さらにリニアモーターガイド装置の作業用ロボットへの装着時に不便さを感じるという不具合があった。
本発明は、かかる従来のリニアモーターのガイド装置の上記問題を回避するために開発されたもので、従ってその目的は、従来の作業用ロボットに簡単に装着でき、かつ、使用中に装置の垂れ下がりが発生することを防止するために、装置の縦断面を拡大するとともに縦方向の強度を高めて装置の捻れ及び撓みを防げるようにした新たな形のリニアモーターのガイド装置を提供することにある。
本発明の他の目的は、メインベースに固定された支持体によってメインカバーの下側が支持される非接触方式で構成され、かつLMレール及びLMブロックにメインカバーを分離することなく潤滑油を供給する油供給用ニップルを含む、リニアモーターのガイド装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明によると、作業ロボットに装着されるリニアモーターのガイド装置が提供され、装置全体にわたって所定幅と所定長さを有することを可能にする寸法で、かつその上に装置の構成要素が装着されるメインベースと;前記メインベース上に配置される駆動手段と;前記メインベースに設けられ、前記駆動手段の駆動力によって装置の長手方向全長の範囲内で所定の距離を往復移動するための往復移動手段と;そして、前記往復移動手段上に設けられ、且つメインベースの両側面をカバーするために前記メインベースの両側面に結合された側面カバーと係合するメインカバーと、を含む。
本発明の特徴によると、その側面が夫々長手方向に沿って凹入するLMレールが所定の長さだけ前記メインベース内に設置される。
本発明の特徴によると、前記メインカバーが上部密閉型テーブルに形成された結合空間に取り付けられ、そして前記係合空間の下側に開口部を形成し、これによりその下側でメインベースに取り付けられ、メインカバーに係合するため前記開口部に少なくとも1つの支持体を内設する。
本発明の特徴によると、前記メインカバーの両側は、メインベースの本体部の外側を囲む下向き湾曲部を形成するため下を向き、前記湾曲部の両側は該湾曲部に対応する、外係合空間と連通する下向きの側面空間部を形成する。
本発明の特徴によると、前記駆動手段は、リニアモーターの固定子である。
本発明の特徴によると、前記メインカバーは、前記メインカバーの両側面から内方へ凹入した凹入部と、前記凹入部の両端付近に形成された細長い中空部と、そして弾性ブロックを介して固定手段によって前記凹入部に固定された側面カバーと、を含む。
本発明の特徴によると、前記メインベースは、中央部で所定幅を置いて対向形成され、そのどちらか一方の内面には移動距離の計測を可能にするスケールが取り付けられている上向き凸形仕切り部と、前記上向き凸形仕切り部とほぼ同じ形状を有する、前記上向き凸形仕切り部とそれぞれ対向形成されている上向き凸形部材と、を含む。
本発明の特徴によると、前記往復移動手段は、その形状及び位置が前記LMレールの凹部に対応する凹部を有し、これにより前記LMブロックは前記LMレールに沿って直線的に往復移動することが出来る前期テーブルの底面に取付けられた少なくとも一つのLMブロックを含み、そして該テーブルはリニアモーターの固定子と対向配置されたリニアモーターの回転子を有し、メインカバーのエッジ表面に沿って非接触式で移動し得るように位置し、これにより、前記リニアモーターの固定子とリニアモーターの回転子の相互作用により前記往復移動手段が往復移動する。
本発明の特徴によると、前記往復移動手段は、その一側面が前記メインベースの上向き凸形仕切り部とそれに取り付けられた所定形状のスケールに沿って摺動自在に移動し、これにより移動距離を計測するスケールヘッドと、前記スケールヘッドの頂部に一体に結合され、その一端に前記テーブルの一側面上に固定手段で固定されるスケールブロックと、を含む。
本発明の特徴によると、4個のストッパーブロックが前記メインベースのそれぞれの角部に位置し、 前記メインベースに固定手段によって固着され、さらにそれぞれの側面カバーに固定手段によって固着され、これにより互いに対向するそれぞれのストッパーブロックの端部に突出型クッション部が形成される。
本発明の特徴によると、前記往復手段の移動方向に沿って前記メインベースの所定の位置に一直線上に配列され、前記往復移動手段の位置を感知する複数のセンサーが前記LMブロックとともにメインベース上に配置される。
本発明の特徴によると、前記メインベースは、メインベースの底部に形成されたねじ穴部材と、LMブロックに形成されたボルト結合部材とを含む固定手段を備え、これにより前記部材が前記装置を外部装置に対し上方または下方に選択的に固定される。
本発明の特徴によると、前記メインカバーの両側端部には、階段状貫通穴が形成される。
本発明の特徴によると、前記テーブルの側面(side)には、メインベースに固定されたLMブロックと連結される油路が貫通形成され、該油路には油供給用ニップルを含む。
以下、本発明によるリニアモーターのガイド装置について添付図面を参照して詳しく説明する。
図1は、本発明によるリニアモーターのガイド装置の概略斜視図、図2は、本発明によるリニアモーターのガイド装置の平面図、図3は、 本発明によるリニアモーターのガイド装置の横側面図、図4は、本発明によるリニアモーターのガイド装置の縦側面図である。
添付図に示すように、リニアモーターのガイド装置100は、全体を平面からみると大略長方形の形をしている。前記リニアモーターのガイド装置100は多数の部品が組み立てられてなる。
符号140は、装置全体の底面をなすメインベースを示し、その上面に複数の部品が載置されている。前記メインベース140には、側面からみると(図4参照)、中央で互いに対向しており、後述するスケールブロック180に固定されたスケールヘッド187が当接して移動する上向き凸形仕切り部142が形成されている。前記上向き凸形仕切り部142は、メインベースの強度を高め、かつ、LMレール184とLMブロック190との間から濡出する油のスケール143の方への流入を防止し、しかも、異物の流入を防ぎ、なお、LMレール表面上のグリースの残量がテーブル130の高速往復移動時に飛散し、スケールブロック180に固定されたスケールヘッド187の表面、及び上向き凸形仕切り部142に取り付けられたスケール143の表面に散布されてエラーを引き起こすことを防止する役割を果す。前記上向き凸形仕切り部142のうちどちらか一方の内側に移動距離の計測を可能にする、目盛りが刻まれたスケール143が取り付けられている。
前記上向き凸形仕切り部142の間に後述するリニアモーターの固定子182とリニアモーターの回転子210が設置される。また、前記メインベース140は、前記上向き凸形仕切り部142とほぼ同じ形状を有する、前記上向き凸形仕切り部142とそれぞれ対向形成されている2つの鉤形(hook-shaped)本体側144と、前記上向き凸形仕切り部142と本体側144との間に配置されるLMレール184と噛み合っているLMブロック190と、前記LMブロック190に一体化されてLMレール184に沿って往復移動可能に設置されたテーブル130と、前記テーブル上130に位置し、メインベース140の上面をカバーするとともに、テーブル130の両側面と結合されてテーブル130の垂れ下がり(crooking down)を防止するメインカバー110と、メインベース140の両側面をカバーするためにメインベース140の横端両側面に固定された側面カバー122、124と、を含む。
前記メインカバー110は、側面カバー122、124と弾性的に結合される。
本発明の好適な実施形態を示す平面図を参照すると、前記メインカバーは、 凹入部(recesses)137が幅方向の両側面から内方へ凹入しており、細長い中空部が前記凹入部の両端の付近に形成されており、側面カバー122,124が側面カバー弾性ブロックを介して固定手段139によって前記凹入部137の付近に固定されている。
より具体的に、LMレール184は、側面視で中央部が凹入状をしており、メインベース140上に長手方向に沿って所定の長さ(テーブル130の往復移動距離(L))で設けられている。LMブロック190は、形状及び位置がLMレール184の凹部と対応する凹部193を有して、噛み合いながら揺れ動かず安定的に往復移動する。好適な実施形態では、4つのLMブロックが設けられているが、テーブル数によって変わることができる。
側面からみると、前記テーブル130の上部は、メインカバー110をほぼ取り囲んでいるが、当接していない状態とされている。前記テーブル130は、内方に突設された端部132,134を有し、前記端部の内側に斜面135を有する。前記斜面135は、メインカバー110の両端面112、113に近接している。また、前記テーブル130の上面は、メインカバー110の下面に近接して設置されている。
前記テーブル130の下面には、前記リニアモーターの回転子の上面が結合され、さらにLMブロック190がボルト192によって結合されている。符号131は、前記テーブル130の両端部(突出部分)に形成された上狭下広の階段状貫通穴を示す。すなわち、前記テーブル130の上面には他の部品が設置できるが、該部品はボルトで前記テーブル130の上面に固定しても、下面に固定しても良い。
平面図からみると(図2参照)、テーブル130の幅は、メインベース140の縦方向の幅よりも長い。もちろん,テーブル130の幅は、メインベース140の幅とほぼ等しくしても良いが、図2のように若干長くすると、テーブル130の役割を一層発揮することができる。
図2の平面図から、前記LMブロック190は、前記テーブル130のそれぞれの所定位置に取り付けられていることがわかる。
符号160は、ストッパーブロックを示す。4つのストッパーブロック160は、リニアモーターのガイド装置100のそれぞれの角部に位置し、 メインベース140上に固定手段163によって固着され、さらに それぞれの側面カバー122,124に固定手段162によって固着される。テーブル130と互いに対向するそれぞれのストッパーブロック160の端部に突出形クッション部170が形成され、テーブル130の側面に弾接されている。
符号150は、下方にLMブロック190が設置されたテーブル130の移動位置を感知するセンサーを示す。前記センサー150は、テーブル130の移動方向に沿ってメインベースの所定の位置に配列される。好適な実施形態では、3つのセンサーが設けられている。
符号180は、 テーブル130の一側面上に固定手段によって固定されるスケールブロックを示す。スケールブロックについての詳細は、図5乃至図7及び図8を参照して後述する。
符号240は、電源接続端子を示す。
符号263は、リニアモーターの回転子210の電源入力端子に接続される電線を示す。一方、リニアモーター回転子210の対応する右側部には、パルス出力端に接続される電線が示されている。これら電線についての詳細は、省略する。
図4に示す符号292は、作業ロボット(図示せず)に前記リニアモーターのガイド装置100を固定する固定手段を示す。前記固定手段292は、長手方向に沿ってメインベース140の底部に形成された中空部から下方に延在するねじ穴を示す。リニアモーターのガイド装置100は、固定手段292によって外部装置に設けられる。
符号293は、メインベース140を他の器具に固定させる固定手段であって、凸形ボルトを示す。
図5は、図2のスケールヘッドの正面図、図6は、図2のスケールヘッドの平面図、図7は、図2のスケールヘッドの側面図、図8は、図2のメインベース及びスケールヘッドの結合関係を示す側面図である。
図面に示すように、スケールブロック180は、テーブル130の一側面上に固定され、前記スケールブロック180の底部と一体化され、一側面がメインベース140の上向き凸形仕切り部142及びこれに固定されたスケール143に沿って移動するスケールヘッド187を有する。
符号145は、前記LMレール187が取り付けられる取り付け面を示し、符号147は、前記リニアモーターの固定子182が取り付けられる取り付け面を示す。
図9は、本発明の第2実施形態によるリニアモーターのガイド装置の斜視図、図10は、本発明の第2実施形態によるリニアモーターのガイド装置の平面図、図11は、本発明の第2実施形態によるリニアモーターのガイド装置の横断面図である。
該第2実施形態において、上部密閉型テーブル130の内側に結合空間を形成し、該結合空間300に、メインベース140の両端に結合されている側面カバー122,124によって支持されるメインカバー110を結合する。
結合空間300の下側には開口を形成し、メインベース140に下側が固定された支持本310の上部を前記開口に内設し、固定手段によってメインカバー110と結合させる。このため、メインカバー140が長くなる場合にもメインカバー110の垂れ下がりや撓みを防止する。
前記支持体310は、隣り合う支持体310から略1〜2Mの間隔をおいて設けることが好ましい。
前記支持体310と前記メインカバー110が互いに直接結合しても構わないが、メインカバー110の垂れ下がりや撓みを考慮に入れ、支持体310は、結合板を用いて結合することが好ましい。
前記メインカバー110としては、メインベース140と同様な長いものを用いても構わないが、メンテナンスなどの便利性を考慮に入れ、2〜3メートルで分割構成することが好ましい。
油路251は、前記テーブル130の側方に貫通形成され、メインベース140に固定されたLMブロックの上部と接続される。
そして、前記テーブル130には、往復移動手段を構成するLMレール184とLMブロック190に潤滑油の供給を可能にするために、メインベース140に固定されたLMブロックの上部と接続される油路251を貫通形成する。前記油路251に油供給用ニップル250を結合することにより、メインカバー110を分離することなくLMレール184及びLMブロック190に油を供給することができる。
図12は、本発明の第3実施形成によるリニアモーターのガイド装置を示す横断面図である。この第3実施形成において、メインカバー110の両端部には、メインベースのボディの外側に位置する下向き折曲げ側板144を一体化し、前記テーブルの両端部には、該側板114に対応する、結合空間300と連通する下向き折曲げ空間部303を延設する。これにより、各種異物(各種部品および埃など)の駆動手段への流入を効果的に遮断して駆動手段の作動精密性を保証することができる。
次に、本発明によるリニアモーターのガイド装置100の動作を説明する。
先ず、ユーザは、本発明のリニアモーターのガイド装置を固定手段を用いて作業ロボット(図示せず)に結合させる。
ユーザが電源入力端子240を介してリニアモーターのガイド装置に電源を供給して駆動装置(図示せず)を駆動すると、リニアモーターの固定子182に電源が供給され、リニアモーターの固定子182およびリニアモーターの回転子210が磁化されて、リニアモーターの回転子210が移動することになる。
この際、互いに一体化された移動手段、すなわちリニアモーターの回転子210、テーブル130及びLMブロック190を含む移動手段は、前記LMレール184に沿って移動する前記LMブロック190に従って移動される。このとき、前記テーブル130の一側面に取り付けられたスケールブロック130と一体化されたスケールヘッド187は、上向き凸形仕切り部142及びこれに結合されたスケール143に沿って往復移動される。ユーザは、どちらか一方の上向き凸形仕切り部142に設置されたスケール143を介して移動距離を計測し得る。
一方、テーブル130の往復移動の際、テーブル130の下方、すなわちメインベース140に結合されているテーブル130の移動経路に沿って設けられたセンサー150によってテーブル130の現在位置を感知することができる。このようにテーブル130の移動距離は、別途のディスプレイ装置(図示せず)を用いて表示しても良い。これについての詳細は、省略することにする。
また、テーブル130の移動方向を駆動装置(図示せず)を用いて制御することができる。
前記テーブル130が所定の距離を移動した後、前記テーブル130の一側面がストッパーブロック160のクッション部170に当接すると(図3参照)、テーブル130が停止される。
符号250は、潤滑油の注入口の役割をするニップルを示す。該ニップルに介してLMレール184及びLMブロック190に潤滑油が供給でき、円滑な移動が可能になる。
本発明によるリニアモーターのガイド装置100によれば、前記メインカバー110の縦断面を長くし、かつ両端部に形成された中空部と弾性ブロックを結合することにより、テーブル130の移動の際に発生するメインカバー110の垂れ下がりを防止し、耐ねじれ性及び縦方向の強度を高めることができる。
また、メインベース140の内部に上向き凸形仕切り部142を形成することにより、メインベースの断面の強度を高めてねじれや縦方向の撓みを防止し、かつ、LMレール184とLMブロック190との間から漏出する油のスケール140の方への流入を防止し、しかも、異物の流入を防ぎ、なお、 LMレール表面上のグリースの残量がテーブル130の高速往復移動時に飛散し、スケールブロック180に固定されたスケールヘッド187の表面、及び上向き凸形仕切り部142に取り付けられたスケール143の表面に散布されてエラーを引き起こすことを防止することができ、その結果、安定した作動性を確保することができる。
また、本発明の装置を作業ロボットの上部に組みつけ、メインフレームの上部または下部に組み付けることができることから、装置の取り付けを容易に行うことができる。
また、スケールヘッドをテーブル130の移動方向の側面外部に取り付けることから、取り付け、調整及びメンテナンスを容易に行うことができる。
また、本発明の第2実施形態及び第3実施形態によれば、メインカバー110の垂れ下がりや撓みを防止することから、メインベース140の長さを3〜50メートルの範囲内で選択可能であり、その結果、各種産業機械、自動化機械、半導体装備、LCD又はPDPの製造装備及び検査装備に対し、優れた精密移動装置を提供することができる。
また、メインカバー110とテーブル130が非接触式であるため、作動騒音が抑えられ、異物の発生を防ぎ、しかも揺動を防止することができ、その結果、テーブルの移動精度を向上させることができる。
また、メインカバー110を2〜3メートルで分割構成し得ることから、メンテナンスを簡単に行うことができる。
また、メインカバー110を分離することなくLMレール184に潤滑油を供給することができることから、機器のメンテナンスの利便性を高めることができる。
本発明によるリニアモーターのガイド装置の概略斜視図である。 本発明によるリニアモーターのガイド装置の平面図である。 本発明によるリニアモーターのガイド装置の縦側面図である。 本発明によるリニアモーターのガイド装置の横側面図である。 図2におけるスケールヘッドの正面図である。 図2におけるスケールヘッドの平面図である。 図2におけるスケールヘッドの側面図である。 図2におけるメインベース及びスケールヘッドの結合関係を示す側面図である。 本発明の第2実施形態によるリニアモーターのガイド装置の斜視図である。 本発明の第2実施形態によるリニアモーターのガイド装置の平面図である。 本発明の第2実施形態によるリニアモーターのガイド装置の横断面図である。 本発明の第3実施形態によるリニアモーターのガイド装置の横断面図である。
符号の説明
100 リニアモーターのガイド装置
110 メインカバー
112,113 メインカバー両端面
122,124 側面カバー
130 テーブル
135 斜面
137 凹入部(recess)
139 固定手段
140 メインベース
142 上向き凸形仕切り部
144 本体側
150 センサー
160 ストッパーブロック
170 クッション部
180 スケールブロック
182 リニアモーターの固定子
184 LMレール
190 LMブロック
193 凹部(concaved portion)
210 リニアモーターの回転子
250 油供給用ニップル
300 係合空間
310 支持体

Claims (12)

  1. 作業ロボットに装着されるリニアモーターのガイド装置であって、
    装置全体にわたって所定幅と所定長さを有することを可能にする寸法で、かつその上に装置の構成要素が装着されるメインベースと;
    前記メインベース上に配置される駆動手段と;
    前記メインベースに設けられ、前記駆動手段の駆動力によって装置の長手方向全長の範囲内で所定の距離を往復移動するための往復移動手段と;そして
    前記往復移動手段上に設けられ、且つ前記装置の長手方向両端面をカバーするために前記両端面に結合された側面カバーと係合するメインカバーと、を含み、
    前記メインカバーが上部密閉型テーブルに形成された結合空間に取り付けられ、そして前記結合空間の下側に開口部を形成し、これによりその下側でメインベースに取り付けられメインカバーに係合するため、前記開口部に少なくとも1つの支持体を内設し、
    前記メインカバーの長手方向に直交する方向の両縁部は、前記メインベースの長手方向に直交する方向の両側の外側を囲む下向き湾曲部を形成するため下を向き、前記テーブルの走行方向に直交する方向の両側は前記湾曲部に対応する、前記結合空間と連通する下向きの側面空間部を形成することを特徴とする装置。
  2. その側面が夫々長手方向に沿って凹入するリニアモーター(以下LM)レールが所定の長さだけ前記メインベース内に設置されることを特徴とする請求項1に記載の装置。
  3. 前記駆動手段は、リニアモーターの固定子であることを特徴とする請求項1に記載の装置。
  4. 前記メインカバーは、前記メインカバーの長手方向に直交する両側面から内方へ凹入した凹入部と、前記凹入部の両端付近に形成された細長い中空部と、そして弾性ブロックを介して固定手段によって前記凹入部に固定された側面カバーと、を含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
  5. 前記メインベースは、中央部で所定幅を置いて対向形成され、そのどちらか一方の内面には移動距離の計測を可能にするスケールが取り付けられている上向き凸形仕切り部と、前記上向き凸形仕切り部とほぼ同じ形状を有する、前記上向き凸形仕切り部とそれぞれ対向形成されている上向き凸形部材と、を含む請求項1に記載の装置。
  6. 前記往復移動手段は、その形状及び位置がLMレールの凹部に対応する凹部を有し、これによりLMブロックは前記LMレールに沿って直線的に往復移動することが出来る前記テーブルの底面に取付けられた少なくとも一つのLMブロックを含み、そして該テーブルはリニアモーターの固定子と対向配置されたリニアモーターの回転子を有し、メインカバーのエッジ表面に沿って非接触式で移動し得るように位置し、これにより、前記リニアモーターの固定子とリニアモーターの回転子の相互作用により前記往復移動手段が往復移動することを特徴とする請求項1に記載の装置。
  7. 前記往復移動手段は、その一側面が前記メインベースの上向き凸形仕切り部とそれに取り付けられた所定形状のスケールに沿って摺動自在に移動し、これにより移動距離を計測するスケールヘッドと、前記スケールヘッドの頂部に一体に結合され、その一端に前記テーブルの一側面上に固定手段で固定されるスケールブロックと、を含むことを特徴とする請求項6に記載の装置。
  8. 4個のストッパーブロックが前記メインベースのそれぞれの角部に位置し、 前記メインベースに固定手段によって固着され、さらにそれぞれの側面カバーに固定手段によって固着され、これにより互いに対向するそれぞれのストッパーブロックの端部に突出型クッション部が形成されることを特徴とする請求項1に記載の装置。
  9. 前記往復移動手段の移動方向に沿って前記メインベースの所定の位置に配列され、LMブロックを備える前記往復移動手段の位置を感知する複数のセンサーがメインベース上に配置されることを特徴とする請求項1に記載の装置。
  10. 前記メインベースは、底部に形成されたねじ穴部材とボルト結合部材と、を含む固定手段を備え、これにより前記部材が前記装置を外部装置に対し上方または下方に選択的に固定されることを特徴とする請求項1に記載の装置。
  11. 前記テーブルの両側端部には、階段状貫通穴が形成されることを特徴とする請求項1に記載の装置。
  12. 前記テーブルの側面には、前記テーブルに固定されたLMブロックと連結される油路が貫通形成され、該油路には油供給用ニップルを含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
JP2007525533A 2004-08-09 2005-08-05 リニアモーターのガイド装置 Active JP4630337B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20-2004-0022569U KR200368400Y1 (ko) 2004-08-09 2004-08-09 리니어모터 가이드 장치
KR1020050060897A KR100708006B1 (ko) 2005-07-06 2005-07-06 리니어모터 가이드 장치
PCT/KR2005/002549 WO2006016754A1 (en) 2004-08-09 2005-08-05 Linear motor guide apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008509650A JP2008509650A (ja) 2008-03-27
JP4630337B2 true JP4630337B2 (ja) 2011-02-09

Family

ID=35839487

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007525533A Active JP4630337B2 (ja) 2004-08-09 2005-08-05 リニアモーターのガイド装置

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP4630337B2 (ja)
CN (1) CN101002374B (ja)
DE (1) DE112005001932T5 (ja)
WO (1) WO2006016754A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101369223B1 (ko) 2012-11-15 2014-03-04 주식회사 로보스타 리니어 모션 가이드
KR101672761B1 (ko) * 2016-07-08 2016-11-04 (주) 아람시스템 정밀 주입 펌프

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6224380B2 (ja) * 2013-08-30 2017-11-01 ヤマハ発動機株式会社 リニアコンベア用のカバー部材及びリニアコンベア
DE102016203570A1 (de) * 2016-03-04 2017-09-07 Thyssenkrupp Ag Linearmotoranordnung für eine Aufzugsanlage
CN111137031B (zh) * 2018-11-06 2020-12-22 珠海市科迪电子科技有限公司 一种直线电机动子滑台

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2655335B2 (ja) * 1988-10-20 1997-09-17 株式会社ツバキ・ナカシマ 直動案内リニアモータ駆動テーブル
JPH03218249A (ja) * 1990-01-24 1991-09-25 Nippon Seiko Kk リニアモータ一体型直動案内ユニット
JP3287645B2 (ja) * 1993-04-23 2002-06-04 日本トムソン株式会社 直流リニアモータ及びこれを具備した駆動ユニット
US5565718A (en) * 1993-04-23 1996-10-15 Nippon Thompson Co., Ltd. Direct current linear motor and a guide unit on which it is equipped
JP2826465B2 (ja) * 1994-03-29 1998-11-18 群馬日本電気株式会社 リニアパルスモータの可動子案内機構
CN2192097Y (zh) * 1994-06-17 1995-03-15 中国科学院电工研究所 直流无刷直线电动机
DE19604642A1 (de) * 1996-02-08 1997-08-14 Krauss Maffei Ag Linearmotor
CN2311098Y (zh) * 1997-10-23 1999-03-17 叶云岳 直线电磁驱动装置
JP2000316269A (ja) * 1999-04-28 2000-11-14 Yaskawa Electric Corp リニアモータ
JP4094769B2 (ja) * 1999-05-18 2008-06-04 日本トムソン株式会社 可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置
JP2005094976A (ja) * 2003-09-19 2005-04-07 Miki Pulley Co Ltd 直動アクチュエータ

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101369223B1 (ko) 2012-11-15 2014-03-04 주식회사 로보스타 리니어 모션 가이드
KR101672761B1 (ko) * 2016-07-08 2016-11-04 (주) 아람시스템 정밀 주입 펌프
WO2018008877A1 (ko) * 2016-07-08 2018-01-11 (주) 아람시스템 정밀 주입 펌프

Also Published As

Publication number Publication date
CN101002374A (zh) 2007-07-18
WO2006016754A1 (en) 2006-02-16
DE112005001932T5 (de) 2007-10-25
JP2008509650A (ja) 2008-03-27
CN101002374B (zh) 2010-05-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4630337B2 (ja) リニアモーターのガイド装置
JP2001025229A (ja) 可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置
JP4094769B2 (ja) 可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置
US6769195B2 (en) Linear encoder and linear guide assembly with the linear encoder
JP5972223B2 (ja) エレベータシーブのシーブ溝測定装置及びシーブ溝の摩耗判定方法
US7466043B2 (en) Linear motor guide apparatus
CN101813471B (zh) 接触式测量装置
JP3985549B2 (ja) 電線切断長チューニング用治具
JP2004317243A (ja) 測定機
JP4268269B2 (ja) 直動案内ユニット
JP5172265B2 (ja) 駆動装置、これを用いた加工機械および測定機械
CN211042099U (zh) 一种光栅防护组件
CN104440899B (zh) 桌上机器人
KR200368400Y1 (ko) 리니어모터 가이드 장치
CN108393932B (zh) 涡轮盘水浸系统配套设备
KR100589760B1 (ko) 리니어모터 가이드 장치
US6412981B1 (en) Seal arrangement for a load-carrying bearing, particularly for coordinate measuring devices
JP4467351B2 (ja) スライダ装置および測定機
JP5269363B2 (ja) アクチュエータにおける原点出し方法およびアクチュエータにおける原点出しストッパ装置
KR100778063B1 (ko) 엔코더를 구비하는 리니어 가이드 및 리니어 모터
KR200398023Y1 (ko) 리니어모터 가이드 장치
CN210423617U (zh) 一种长行程拼接式模组
JP2005299784A (ja) スライダ装置および測定機
CN216657315U (zh) 机床用光栅尺
CN213543501U (zh) 一种三坐标测量装置

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090901

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20091130

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20091207

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20091209

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100223

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20100520

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20100527

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20100622

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20100629

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20100722

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100723

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20100729

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100831

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100909

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20101019

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20101112

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131119

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4630337

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250