CN101813471B - 接触式测量装置 - Google Patents

接触式测量装置 Download PDF

Info

Publication number
CN101813471B
CN101813471B CN200910300541.5A CN200910300541A CN101813471B CN 101813471 B CN101813471 B CN 101813471B CN 200910300541 A CN200910300541 A CN 200910300541A CN 101813471 B CN101813471 B CN 101813471B
Authority
CN
China
Prior art keywords
guide rail
guide
described guide
side plates
side plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN200910300541.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101813471A (zh
Inventor
夏发平
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jincheng Fulian Hongren Technology Co ltd
Original Assignee
Hongfujin Precision Industry Shenzhen Co Ltd
Hon Hai Precision Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hongfujin Precision Industry Shenzhen Co Ltd, Hon Hai Precision Industry Co Ltd filed Critical Hongfujin Precision Industry Shenzhen Co Ltd
Priority to CN200910300541.5A priority Critical patent/CN101813471B/zh
Priority to US12/648,474 priority patent/US7913412B2/en
Priority to JP2010021226A priority patent/JP2010197384A/ja
Publication of CN101813471A publication Critical patent/CN101813471A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101813471B publication Critical patent/CN101813471B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/20—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring contours or curvatures

Abstract

一种接触式测量装置，包括导轨、导向件、测量尺、传感器、连接件以及与导向件一端固定连接的测头，该导轨具有供导向件穿过的导向孔，导向件与其轴线垂直的截面轮廓为非圆形，导轨的导向孔为正方形，以使导向件仅有一个沿导轨导向孔的轴线方向的自由度。导向件通过连接件与测量尺和传感器其中之一固定连接，且导向件与测量尺平行设置，所述导向件、测量尺和传感器均位于所述连接件的同侧。本发明的接触式测量装置具有可保证测量精度且体积较小的优点。

Description

接触式测量装置
技术领域
本发明涉及一种测量装置，特别涉及一种接触式测量装置。
背景技术
在工件加工过程中，通常会采用接触式或者非接触式测量装置来对工件的平面度、粗糙度等进行测量。接触式测量装置需要在被测工件的表面施加一定的压力。为了保证测量精度，常见的接触式测量装置一般会采用气体导轨，通过空气的压力使导芯在导轨中基本处于悬浮状态来减少导芯与导轨之间的摩擦。
一种接触式测量装置，包括底座、测量尺、传感器、测量头、两个导芯、两个固定板以及气体导轨，其中传感器和气体导轨均固定于底座上。该气体导轨上并排开设有两个通孔，该两个导芯为圆柱体，且可分别穿过气体导轨的两个通孔并相对气体导轨滑动。两个固定板与两个导芯呈矩形连接，其中两个导芯互相平行，两个固定板互相平行。测量尺固定连接于其中一个固定板上，测量头固定连接于另一个固定板上。因为导芯为圆柱体，所以其在导轨中运动时，除了可相对导轨上下滑动外，还可转动，采用两个导芯平行设置并通过固定板将两个导芯连接起来的方式，可以避免导芯在滑动的过程中转动，增加了测量的精准度。但是因为增加了导芯的数量，相应地需要增大导轨的宽度，这样既增大该测量装置的体积，又增加了制造成本。
发明内容
鉴于上述状况，有必要提供一种可保证测量精度且体积较小的接触式测量装置。
一种接触式测量装置，包括导轨、导向件、测量尺、传感器、连接件以及与导向件一端固定连接的测头，该导轨具有供导向件穿过的导向孔，导向件与其轴线垂直的截面轮廓为非圆形，导轨的导向孔为正方形孔，以使导向件仅有一个沿导轨导向孔的轴线方向的自由度。所述导轨包括两个第一侧板及两个第二侧板，所述两个第一侧板和所述两个第二侧板围成所述导向孔，两个第一侧板相对设置，两个第二侧板相对设置，每个所述第一侧板开设有进气口、与所述进气口相通的导气孔及与所述导气孔及所述导向孔连通的出气口，每个所述第二侧板开设有与所述第一侧板的所述导气孔相通的气道及与所述气道连通的出气口，所述出气口与所述导向孔相通。导向件通过连接件与测量尺和传感器其中之一固定连接，且导向件与测量尺平行设置，所述导向件、测量尺和传感器均位于所述连接件的同侧。
一种接触式测量装置，包括导轨、穿过导轨的导向件、测量尺、传感器、连接件以及与导向件一端固定连接的测头，该导向件包括多个依次连接的侧面，导轨具有多个依次连接且与导向件的侧面对应的侧板，以使导向件仅能于导轨内滑动。所述导轨包括两个第一侧板及两个第二侧板，所述两个第一侧板和所述两个第二侧板围成正方形的导向孔，两个第一侧板相对设置，两个第二侧板相对设置，每个所述第一侧板开设有进气口、与所述进气口相通的导气孔及与所述导气孔及所述导向孔连通的出气口，每个所述第二侧板开设有与所述第一侧板的所述导气孔相通的气道及与所述气道连通的出气口，所述出气口与所述导向孔相通。导向件通过连接件与测量尺和传感器其中之一固定连接，且导向件与测量尺平行设置，所述导向件、测量尺和传感器均位于所述连接件的同侧。
上述接触式测量装置中通过将导向件上与其轴线垂直的截面轮廓和气体导轨的导向孔均设置为非圆形，使导向件相对于导轨只有一个自由度，可避免导向件于导轨内转动，以保证测量精度。采用此种接触式测量装置仅用一个导向件和导轨即可，节省了成本且减小了体积。
附图说明
图1是本发明实施例的接触式测量装置的立体分解图。
图2是图1所示接触式测量装置去掉外壳后的立体分解图。
图3是图2所示接触式测量装置另一视角的立体分解图。
图4是图1所示气体导轨的立体剖面图。
具体实施方式
下面结合附图及实施方式对本发明提供的接触式测量装置作进一步详细说明。
请参阅图1，本发明实施例提供的接触式测量装置100包括底座10、固定于底座10上的传感器20、气体导轨30和抵持件40、与抵持件40连接的连接件50、平行连接于连接件50同侧的导向件60和测量尺70、与导向件60固定连接的测头80以及盖于底座10上的外壳90。导向件60穿过气体导轨30并可相对气体导轨30滑动。
请同时参阅图2，底座10具有第一基板11以及从第一基板11相对两边缘垂直延伸的第二基板13和第三基板15。第一基板11上开设有安装孔111。第二基板13的中部设置有连接头131，以与数控机床（图未示）连接。第三基板15上开设有通孔151，可供测头80穿过。
传感器20固定于第一基板11上，用于读取测量尺70的刻度。
请同时参阅图1和图4，气体导轨30固定于第一基板11上，与传感器20并排。气体导轨30大致为长方体结构，包括两个第一侧板31、两个第二侧板33、由该两个第一侧板31和两个第二侧板33围成的正方形的导向孔35以及依次连接并围成该导向孔35的内侧面37。该两个第一侧板31相对设置，该两个第二侧板33相对设置，第一侧板31和第二侧板33可采用螺钉连接、铆接、焊接或胶粘等方式连接，本实施例中，第一侧板31和第二侧板33通过螺钉连接。导向件60可滑动地容纳于导向孔35中。
第一侧板31上自外表面向内部开设有一个进气口311，其内部还开设有与进气口311相通的导气孔313以及与导气孔313连通的多个出气口315，出气口315延伸至气体导轨30的内侧面37与气体导轨30的导向孔35相通。
第二侧板33的内部开设有与第一侧板31的导气孔313相通的气道（图未示）以及与气道连通的出气口331，该出气口331延伸至气体导轨30的内侧面37且与气体导轨30的导向孔35相通。
气体导轨30的内侧面37上向气体导轨30内部凹陷形成有导槽371，导槽371沿气体导轨30的内侧面37延伸并使第一侧板31上的各出气口315连通以及使第二侧板33上的各出气口331连通。
请同时参阅图2和图3，抵持件40一端与第二基板13固定连接，用于提供测量压力，其可为弹簧、气泵等能够提供变化测量压力的装置，本实施例中，抵持件40为弹簧。
连接件50为板状结构，与抵持件40的另一端固定连接。
导向件60为中空结构，所以导向件60具有重量轻且制造方便的优点。导向件60上与其轴线垂直的截面轮廓为非圆形，本实施例中为正方形，即导向件60包括四个依次垂直连接的侧面。导向件60通过螺钉与连接件50固定连接，穿过气体导轨30的导向孔35并可相对气体导轨30滑动。导向件60与抵持件40分别位于连接件50的相对两侧。
测量尺70通过螺钉固定于连接件50上，紧靠气体导轨30。测量尺70与导向件60平行，且位于连接件50的同侧。导向件60和测量尺70均垂直于连接件50，当导向件60运动时，测量尺70与导向件60一同运动。
测头80与导向件60固定连接，测头80的端部从底座10的第三基板15的通孔151穿过，以对外部的待测工件（图未示）进行测量。
请参阅图1，外壳90盖于底座10的外部以保护固定于底座10上的各个元件，同时可以防尘，外壳90上开设有一个安装孔91。
请同时参阅图1至图4，气体导轨30的其中一个进气口311与外壳90的安装孔91相连通，另一个进气口311与第一基板11的安装孔111相连通。可以选择从外壳90的安装孔91或者底座10的安装孔111其中之一或者两者一起给气体导轨30通气。气体从进气口311进入后，可经过导气孔313流向出气口315以及导槽371，并最终流入气体导轨30的导向孔35内，从而可以使导向件60悬浮于气体导轨30内，减小其相对气体导轨30滑动时的摩擦。
因为导向件60的截面为正方形，气体导轨30的导向孔35也为正方形孔，所以可使导向件60仅相对气体导轨30滑动而不会在其中转动，使用一个导向件60便可保证测量精度，同时也降低了成本，减小了接触式测量装置100的整体体积。此外，因为仅使用了一个导向件60，气体导轨30的体积也较小，可以将传感器20与气体导轨30并排设置，从而使导向件60与测量尺70平行，并通过尽可能地减少测量尺70与导向件60之间的距离的方法来减少平行度的误差，从而可以减少该接触式测量装置100的长度。
可以理解，导向件60与其轴线垂直的截面轮廓还可以为除正方形以外的其余形状，如六边形、三角形等，优选正多边形等对称图形，这可使导向件60各向受力对称。
另外，导向件60与其轴线垂直的截面轮廓形状与气体导轨30的导向孔35的形状也可以不同。如导向件60与其轴线垂直的截面轮廓为三角形，气体导轨30的导向孔35为正方形，只要能避免导向件60在气体导轨30内转动，仅能相对气体导轨30滑动即可。另，为避免导向件60出现晃动，此种情况需要在气体导轨30上设置三个进气口，使导向件60的三个面能受力均匀。
当然，还可以使传感器20与连接件50连接，而将测量尺70固定于底座10上，只要传感器20与测量尺70其中之一能与导向件60运动即可。
本领域技术人员还可在本发明精神内做其它变化，当然，这些依据本发明精神所做的变化，都应包含在本发明所要求保护的范围内。

Claims (8)

1.一种接触式测量装置，包括导轨、导向件、测量尺、传感器、连接件以及与所述导向件一端固定连接的测头，所述导轨具有供所述导向件穿过的导向孔，其特征在于：所述导向件与其轴线垂直的截面轮廓为非圆形，所述导轨的导向孔为正方形孔，以使所述导向件仅有一个沿所述导轨导向孔的轴线方向的自由度，所述导轨包括两个第一侧板及两个第二侧板，所述两个第一侧板和所述两个第二侧板围成所述导向孔，两个第一侧板相对设置，两个第二侧板相对设置，每个所述第一侧板开设有进气口、与所述进气口相通的导气孔及与所述导气孔及所述导向孔连通的出气口，每个所述第二侧板开设有与所述第一侧板的所述导气孔相通的气道及与所述气道连通的出气口，所述出气口与所述导向孔相通，所述导向件通过所述连接件与所述测量尺和传感器其中之一固定连接，且所述导向件与所述测量尺平行设置，所述导向件、测量尺和传感器均位于所述连接件的同侧。
2.如权利要求1所述的接触式测量装置，其特征在于：所述导向件通过所述连接件与所述测量尺固定连接，所述导向件和测量尺平行。
3.如权利要求1所述的接触式测量装置，其特征在于：所述导轨为气体导轨。
4.如权利要求3所述的接触式测量装置，其特征在于：所述出气口朝向所述导向件，所述导轨具有朝向所述导向件的内侧面，所述内侧面上还开设有与所述导轨的出气口连通的导槽。
5.如权利要求1所述的接触式测量装置，其特征在于：所述导向件上与其轴线垂直的截面轮廓为正四边形。
6.一种接触式测量装置，包括导轨、穿过所述导轨的导向件、测量尺、传感器、连接件以及与所述导向件一端固定连接的测头，其特征在于：所述导向件包括多个依次连接的侧面，所述导轨具有多个依次连接且与所述导向件的侧面对应的侧板，以使所述导向件仅能于所述导轨内滑动，所述导轨包括两个第一侧板及两个第二侧板，所述两个第一侧板和所述两个第二侧板围成正方形的导向孔，两个第一侧板相对设置，两个第二侧板相对设置，每个所述第一侧板开设有进气口、与所述进气口相通的导气孔及与所述导气孔及所述导向孔连通的出气口，每个所述第二侧板开设有与所述第一侧板的所述导气孔相通的气道及与所述气道连通的出气口，所述出气口与所述导向孔相通，所述导向件通过所述连接件与所述测量尺和传感器其中之一固定连接，且所述导向件与所述测量尺平行设置，所述导向件、测量尺和传感器均位于所述连接件的同侧。
7.如权利要求6所述的接触式测量装置，其特征在于：所述导轨为气体导轨。
8.如权利要求7所述的接触式测量装置，其特征在于：所述出气口朝向所述导向件，导轨的第一侧板及第二侧板均具有朝向所述导向件的内侧面，所述第一侧板的内侧面及所述第二侧板的内侧面上还开设有与所述导轨的出气口连通的导槽。
CN200910300541.5A 2009-02-25 2009-02-25 接触式测量装置 Active CN101813471B (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN200910300541.5A CN101813471B (zh) 2009-02-25 2009-02-25 接触式测量装置
US12/648,474 US7913412B2 (en) 2009-02-25 2009-12-29 Contour measuring probe
JP2010021226A JP2010197384A (ja) 2009-02-25 2010-02-02 接触式測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN200910300541.5A CN101813471B (zh) 2009-02-25 2009-02-25 接触式测量装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101813471A CN101813471A (zh) 2010-08-25
CN101813471B true CN101813471B (zh) 2014-03-26

Family

ID=42620787

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN200910300541.5A Active CN101813471B (zh) 2009-02-25 2009-02-25 接触式测量装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US7913412B2 (zh)
JP (1) JP2010197384A (zh)
CN (1) CN101813471B (zh)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101806573B (zh) * 2009-02-16 2013-04-10 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 接触式测量装置
DE102009020294A1 (de) * 2009-05-07 2010-11-18 Mahr Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Messung eines Oberflächenprofils
JP5523995B2 (ja) * 2010-09-03 2014-06-18 株式会社ミツトヨ 測定装置
CN102901438A (zh) * 2012-11-08 2013-01-30 昆山允可精密工业技术有限公司 一种smt网板厚度测量用接触式测头
CN102901439A (zh) * 2012-11-08 2013-01-30 昆山允可精密工业技术有限公司 一种smt网板测厚用接触式测头
CN103398663A (zh) * 2013-08-09 2013-11-20 昆山允可精密工业技术有限公司 一种单测头自动薄板厚度测量装置
CN108168898B (zh) * 2017-12-21 2019-07-30 重庆厚全科技发展有限公司 发动机检测用对中调节设备
CN111851179B (zh) * 2020-07-10 2022-01-28 中铁物总运维科技有限公司 一种便携式钢轨廓形测量装置
CN113324511B (zh) * 2021-05-14 2023-04-07 江苏徐工工程机械研究院有限公司 钻杆直线度检测装置及方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1494407A (zh) * 2001-03-07 2004-05-05 ŷ�Ķ� 用于连接器皿与容器的装置以及含有该装置的即用组件
US7065893B2 (en) * 2003-12-24 2006-06-27 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Measurement probe and using method for the same
CN101339084A (zh) * 2007-07-06 2009-01-07 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 接触式测量装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS646802A (en) * 1987-06-30 1989-01-11 Tokyo Seimitsu Co Ltd Length measuring instrument
JP2519823B2 (ja) * 1990-08-17 1996-07-31 株式会社東芝 変位測定装置
JPH07128049A (ja) * 1993-11-05 1995-05-19 Sony Magnescale Inc 変位検出装置
IT1299902B1 (it) * 1998-03-13 2000-04-04 Marposs Spa Testa, apparecchiatura e metodo per il controllo di dimensioni lineari di pezzi meccanici.
US6539642B1 (en) * 1999-03-03 2003-04-01 Riken Probe type shape measuring sensor, and NC processing equipment and shape measuring method using the sensor
JP2002243402A (ja) * 2001-02-22 2002-08-28 Juki Corp 直動軸の位置検出構造及び電子部品搭載用ヘッド
JP2005249710A (ja) * 2004-03-08 2005-09-15 Olympus Corp 形状測定機
JP2007170951A (ja) * 2005-12-21 2007-07-05 Fine Tech Corp 極低測定圧接触式測長装置
CN101339083B (zh) * 2007-07-06 2010-09-29 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 接触式测量装置
CN101354245B (zh) * 2007-07-26 2010-11-10 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 承载台及采用该承载台的测量设备
CN101408418B (zh) * 2007-10-12 2011-03-30 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 接触式测量装置
JP2010105063A (ja) * 2008-10-28 2010-05-13 Fanuc Ltd 温度ドリフト補正を行う機上計測装置を用いるワークの形状計測方法および機上計測装置を備えた工作機械

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1494407A (zh) * 2001-03-07 2004-05-05 ŷ�Ķ� 用于连接器皿与容器的装置以及含有该装置的即用组件
US7065893B2 (en) * 2003-12-24 2006-06-27 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Measurement probe and using method for the same
CN101339084A (zh) * 2007-07-06 2009-01-07 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 接触式测量装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2010197384A (ja) 2010-09-09
US7913412B2 (en) 2011-03-29
CN101813471A (zh) 2010-08-25
US20100212174A1 (en) 2010-08-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101813471B (zh) 接触式测量装置
CN203964850U (zh) 检测平面阶差与波纹度的测量工具
CN101806573B (zh) 接触式测量装置
CN203148401U (zh) 接触式薄板材尺寸自动测量仪
CN107255453B (zh) 一种工业机器人关节减速器偏心轴轴径测量装置及方法
CN202066469U (zh) 等速驱动轴球笼内轮同心度和等分度的专用量具
CN104111014A (zh) 尺寸测量装置
CN102901438A (zh) 一种smt网板厚度测量用接触式测头
CN105423869A (zh) 一种斜向通孔深度检具
CN202928521U (zh) 一种smt网板厚度测量用接触式测头
CN207717287U (zh) 一种陶瓷电容式压力传感器的测试夹具
CN102003928B (zh) 活塞桥部内壁二侧圆弧中心距的检测装置及使用方法
CN101354245B (zh) 承载台及采用该承载台的测量设备
CN103245279A (zh) 一种轴类零件对称度检查仪
CN204128505U (zh) 一种产品高度角度一体检测装置
TWI443678B (zh) 接觸式測量裝置
CN101408418B (zh) 接触式测量装置
CN203298707U (zh) 一种轴类零件对称度检查仪
CN204730792U (zh) 一种手持式内径导轨锥面测量装置
CN205245952U (zh) 弹性测量机构
CN110006544B (zh) 一种可伸缩的温度传感器
CN201569390U (zh) 一种测量叶片型线弦宽的装置
CN102116601B (zh) 摇摆式叶片半径的检测方法和装置
CN201615055U (zh) 一种压缩机端盖的测量检具
CN215261505U (zh) 一种多功能通用卡尺

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
ASS Succession or assignment of patent right

Free format text: FORMER OWNER: HONGFUJIN PRECISE INDUSTRY CO., LTD.

Effective date: 20150421

Owner name: JIZHUN PRECISION INDUSTRY (HUIZHOU) CO., LTD.

Free format text: FORMER OWNER: HONGFUJIN PRECISE INDUSTRY (SHENZHEN) CO., LTD.

Effective date: 20150421

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
COR Change of bibliographic data

Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 518109 SHENZHEN, GUANGDONG PROVINCE TO: 516100 HUIZHOU, GUANGDONG PROVINCE

TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20150421

Address after: 516100 Guangdong County of Boluo Province town of Huizhou city dragon Xia Liao Village Gate Village Group Twelve ditch area

Patentee after: Benchmark Precision Industry (Huizhou) Co., Ltd.

Address before: 518109 Guangdong city of Shenzhen province Baoan District Longhua Town Industrial Zone tabulaeformis tenth East Ring Road No. 2 two

Patentee before: Hongfujin Precise Industry (Shenzhen) Co., Ltd.

Patentee before: Hon Hai Precision Industry Co., Ltd.

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20160113

Address after: 048026 No. 1216 orchid Road, Jincheng Economic Development Zone, Shanxi, China

Patentee after: JINCHENG HONGREN TECHNOLOGY CO., LTD.

Address before: 516100 Guangdong County of Boluo Province town of Huizhou city dragon Xia Liao Village Gate Village Group Twelve ditch area

Patentee before: Benchmark Precision Industry (Huizhou) Co., Ltd.

CP03 Change of name, title or address

Address after: 048000 No. 1216, Lanhua Road, Jincheng Development Zone, Shanxi Province

Patentee after: Jincheng Fulian Hongren Technology Co.,Ltd.

Address before: 048026 No. 1216 Lanhua Road, Jincheng Economic Development Zone, Shanxi Province

Patentee before: JINCHENG HONGREN TECHNOLOGY Co.,Ltd.

CP03 Change of name, title or address