JP7757253B2 - 弁装置の製造方法 - Google Patents

Description

この明細書に開示される技術は、弁体が弁座のシート部から直角方向に移動する形式のポペット弁構造を有し、流体の流れを制御する弁装置の製造方法に関する。

従来、この種の技術として、例えば、下記の特許文献１に記載される「ＥＧＲ弁」が知られている。このＥＧＲ弁は、流路を有するハウジングと、流路に設けられた弁座と、弁座に対して着座可能に設けられた弁体と、弁体が設けられた弁軸と、弁軸は一端部と他端部を含み、その一端部に弁体が固定され、他端部に雄ねじが設けられることと、弁軸をその軸線方向へ往復動させるためのアクチュエータと、そのアクチュエータは、雄ねじに螺合される雌ねじを有するロータを含むことと、流路は、弁座を境としてロータに近い側と遠い側に分かれ、近い側の流路にて弁体が弁座に着座可能に配置されることとを備え、いわゆる内開式の二方ポペット弁の構造が開示されている。

特開２０２２-３２３７号公報

ところで、特許文献１には、内開式の二方ポペット弁の構造が開示されているが、弁軸上に複数（例えば二つ）の弁体を直列に配置し、流路にそれらの弁体に対応する複数（例えば二つ）の弁座を配置した多方（例えば三方）ポペット弁の構造を有する弁装置を想定することができる。ところが、特許文献１には、内開式の二方ポペット弁に適用可能な製造方法についても、多方ポペット弁の構造を有する弁装置の製造方法についても特に開示されていなかった。

この開示技術は、上記事情に鑑みてなされたものであって、その第１の目的は、いわゆる多方ポペット弁構造を有する弁装置につき、複数の弁座に対応した複数の弁体を一つの弁軸に自由度を確保しながら固定することを可能とした製造方法を提供することにある。また、この開示技術の第２の目的は、いわゆる二方ポペット弁構造を有する弁装置につき、一つの弁座に対応した一つの弁体を一つの弁軸に自由度を確保しながら固定することを可能とした製造方法を提供することにある。

上記目的を達成するために、請求項１に記載の技術は、流体の流路を有するハウジングと、流路にて同軸上に直列に設けられた複数の弁座と、複数の弁座それぞれに対して着座可能に設けられた複数の弁体と、複数の弁体が同軸上に直列に設けられた弁軸と、弁軸は一端側と他端側を含み、その一端側に複数の弁体が固定され、他端側に第１ねじが設けられることと、弁軸をその軸線方向へ往復動させるためのアクチュエータと、アクチュエータは、第１ねじに螺合される第２ねじを有するロータを含むことと、流路は、それぞれの弁座を境としてアクチュエータに近い側とアクチュエータから遠い側に分かれ、アクチュエータに近い側又はアクチュエータから遠い側にて対応する弁体が弁座に着座可能に配置されることとを備えた弁装置の製造方法において、ハウジングは、複数の弁座のうちアクチュエータに最も近い弁座の近傍にて、第１ハウジング部と第２ハウジング部とに分割されて構成されており、第１ハウジング部及び第２ハウジング部の少なくとも一方の流路に突出させた弁軸の一端側に複数の弁体を固定する工程と、弁体の固定後に、複数の弁座が同軸上に直列に配置されると共に、複数の弁体が対応する弁座に整合するように第１ハウジング部と第２ハウジング部とを結合する工程とを備えたことを趣旨とする。

上記技術の構成によれば、第１ハウジング部及び第２ハウジング部の少なくとも一方の流路に突出させた弁軸の一端側に複数の弁体を固定した後に、複数の弁座が同軸上に直列に配置されると共に、複数の弁体が対応する弁座に整合するように第１ハウジング部と第２ハウジング部とを結合する。従って、ハウジングの流路や弁座に制約されることなく弁軸上に複数の弁体を組み付けることが可能となる。

上記目的を達成するために、請求項２に記載の技術は、流体の流路を有するハウジングと、流路にて同軸上に直列に設けられた複数の弁座と、複数の弁座それぞれに対応して着座可能に設けられた複数の弁体と、複数の弁体が同軸上に直列に設けられた弁軸と、弁軸は一端側と他端側を含み、その一端側に複数の弁体が固定され、他端側に第１ねじが設けられることと、弁軸をその軸線方向へ往復動させるためのアクチュエータと、アクチュエータは、第１ねじに螺合される第２ねじを有するロータを含むことと、流路は、それぞれの弁座を境としてアクチュエータに近い側とアクチュエータから遠い側に分かれ、アクチュエータに近い側又はアクチュエータから遠い側にて対応する弁体が弁座に着座可能に配置されることとを備えた弁装置の製造方法において、ハウジングは、流路に、少なくとも最もアクチュエータに近い位置に組み付けられる弁体の直径より大きい径を有すると共に弁座を保持可能な組み付け孔を含み、ハウジングの流路に突出させた弁軸の一端側に、組み付け孔を介して少なくとも一つの弁体を固定する工程と、弁体の固定後に、組み付け孔に少なくとも一つの弁座を組み付ける工程とを備えたことを趣旨とする。

上記技術の構成によれば、ハウジングの流路に突出させた弁軸の一端側に、組み付け孔を介して少なくとも一つの弁体を固定した後に、組み付け孔に少なくとも一つの弁座を組み付ける。従って、ハウジングを分割することなく、流路や弁座に制約されることなく弁軸上に複数の弁体を組み付けることが可能となる。

上記目的を達成するために、請求項３に記載の技術は、請求項１又は２に記載の弁装置の製造方法において、複数の弁体が一体的に組み付けられた組み弁体を更に備え、複数の弁体を固定する工程では、組み弁体を弁軸の一端側に組み付け、その組み付け後に弁軸の一端側の端部にて組み弁体を弁軸に固定することを趣旨とする。

上記技術の構成によれば、請求項１又は２に記載の技術の作用に加え、複数の弁体を固定する工程では、組み弁体を弁軸の一端側に組み付けた後に弁軸の一端側の端部にて組み弁体を弁軸に固定する。従って、複数の弁体を個別に弁軸に固定するよりも工数が少なくなる。

上記目的を達成するために、請求項４に記載の技術は、請求項１又は２に記載の弁装置の製造方法において、弁軸上の複数の弁体のうちアクチュエータに最も近い弁体は、それに対応する弁座を境としてアクチュエータに最も近い側の流路又はその反対側の流路に配置されており、弁軸上の複数の弁体のうちアクチュエータから最も遠い弁体は、それに対応する弁座を境としてアクチュエータに近い側の流路又はその反対側の流路に配置されており、最も近い弁体と、それに対応する弁座に隣接するアクチュエータに最も近い側の流路の内壁との間において、弁軸上には、最も近い弁体をそれに対応する弁座へ着座させる方向へ付勢する又は最も遠い弁体をそれに対応する弁座へ着座させる方向へ付勢するために複数の弁体を弁軸と共にアクチュエータから遠ざかる方向へ付勢する流路スプリングが設けられることを趣旨とする。

上記技術の構成によれば、請求項１又は２に記載の技術の作用に加え、複数の弁体のうち、アクチュエータに最も近い弁体と、それに対応する弁座に隣接するアクチュエータに最も近い側の流路の内壁との間において、弁軸上に流路スプリングが設けられる。そして、この流路スプリングが、複数の弁体を弁軸と共にアクチュエータから遠ざかる方向へ付勢することにより、最も近い弁体をそれに対応する弁座へ着座させる方向へ付勢する又は最も遠い弁体をそれに対応する弁座へ着座させる方向へ付勢する。従って、弁軸への弁体の組み付け時に、弁体を安定した姿勢で組み付けることが可能となる。

上記目的を達成するために、請求項５に記載の技術は、請求項１又は２に記載の弁装置の製造方法において、アクチュエータには、複数の弁体を弁軸と共にアクチュエータに近付く方向へ付勢するためのアクチュエータスプリングが更に設けられることを趣旨とする。

上記技術の構成によれば、請求項１又は２に記載の技術の作用に加え、アクチュエータスプリングにより複数の弁体が弁軸と共にアクチュエータに近付く方向へ付勢される。従って、互いに螺合する弁軸の第１ねじとロータの第２ねじとの間のバックラッシ（あそび）が片寄せされ、弁軸がロータに結合する。

上記目的を達成するために、請求項６に記載の技術は、請求項３に記載の弁装置の製造方法において、アクチュエータには、複数の弁体を弁軸と共にアクチュエータに近付く方向へ付勢するためのアクチュエータスプリングが更に設けられることを趣旨とする。

上記技術の構成によれば、請求項３に記載の技術の作用に加え、アクチュエータスプリングにより複数の弁体が弁軸と共にアクチュエータに近付く方向へ付勢される。従って、互いに螺合する弁軸の第１ねじとロータの第２ねじとの間のバックラッシ（あそび）が片寄せされ、弁軸がロータに結合する。

上記目的を達成するために、請求項７に記載の技術は、請求項４に記載の弁装置の製造方法において、アクチュエータには、複数の弁体を弁軸と共にアクチュエータに近付く方向へ付勢するためのアクチュエータスプリングが更に設けられることを趣旨とする。

上記技術の構成によれば、請求項４に記載の技術の作用に加え、アクチュエータスプリングにより複数の弁体が弁軸と共にアクチュエータに近付く方向へ付勢される。従って、互いに螺合する弁軸の第１ねじとロータの第２ねじとの間のバックラッシ（あそび）が片寄せされ、弁軸がロータに結合する。

上記目的を達成するために、請求項８に記載の技術は、請求項１又は２に記載の弁装置の製造方法において、弁装置は、ハウジングに、流路に連通する一つの流入口と二つの流出口を含む三方弁を構成し、複数の弁座は、アクチュエータに最も近い第１弁座と第１弁座の次にアクチュエータに近い第２弁座とを含み、流路は、第１弁座を境としてアクチュエータに最も近い第１流路部と、第１弁座と第２弁座との間の第２流路部と、第２弁座を境としてアクチュエータから最も遠い第３流路部とを含み、二つの流出口の一方が第１流路部に連通すると共に他方が第３流路部に連通し、流入口が第２流路部に連通し、複数の弁体は、第１弁座に対応する第１弁体と、第２弁座に対応する第２弁体を含み、第１弁体と第２弁体が、第２流路部にて弁軸上に設けられ、第１弁体は、円錐形状をなし外周にテーパ状のシール面を有し、シール面が第１弁座に着座可能に設けられ、第２弁体は、平板状をなしその周縁部に平坦なシール面を有し、シール面が第２弁座に着座可能に設けられることを趣旨とする。

上記技術の構成によれば、請求項１又は２に記載の技術の作用に加え、二つの弁体のうち、第１弁体が、円錐形状をなし、外周のテーパ状のシール面が第１弁座に着座可能に設けられるが、第２弁体が、平板状をなし、その周縁部に設けられた平坦なシール面が第２弁座に着座可能に設けられる。従って、二つの弁体のうち、第２弁体の第２弁座に対する中心出しが緩和される。

上記目的を達成するために、請求項９に記載の技術は、流体の流路を有するハウジングと、流路に設けられた弁座と、弁座に対して着座可能に設けられた弁体と、弁体が設けられた弁軸と、弁軸は一端側と他端側を含み、その一端側に弁体が固定され、他端側に第１ねじが設けられることと、弁軸をその軸線方向へ往復動させるためのアクチュエータと、アクチュエータは、第１ねじに螺合される第２ねじを有するロータを含むことと、流路は、弁座を境としてアクチュエータに近い側とアクチュエータから遠い側に分かれ、アクチュエータに近い側又はアクチュエータから遠い側にて弁体が弁座に着座可能に配置されることとを備えた弁装置の製造方法において、ハウジングは、弁座の近傍にて、第１ハウジング部と第２ハウジング部とに分割されて構成されており、第１ハウジング部の流路に突出させた弁軸の一端側に弁体を固定する工程と、弁体の固定後に、弁体が弁座に整合するように第１ハウジング部と第２ハウジング部とを結合する工程とを備えたことを趣旨とする。

上記技術の構成によれば、第１ハウジング部の流路に突出させた弁軸の一端側に弁体を固定した後に、弁体が弁座に整合するように第１ハウジング部と第２ハウジング部とを結合する。従って、ハウジングの流路や弁座に制約されることなく弁軸上に弁体を組み付けることが可能となる。

請求項１に記載の技術によれば、多方ポペット弁構造を有する弁装置につき、複数の弁座に対応した複数の弁体を一つの弁軸に対し自由度を確保しながら固定することができる。

請求項２に記載の技術によれば、多方ポペット弁構造を有する弁装置につき、複数の弁座に対応した複数の弁体を一つの弁軸に対し自由度を確保しながら固定することができる。

請求項３に記載の技術によれば、請求項１又は２に記載の技術の効果に加え、工数が少なくなる分だけ弁装置の製造を簡易化することができる。

請求項４に記載の技術によれば、請求項１又は２に記載の技術の効果に加え、弁装置として、弁体の全閉時の密着性及びシール性を向上させることができる。

請求項５に記載の技術によれば、請求項１又は２に記載の技術の効果に加え、弁軸を安定させた状態で弁体を弁軸に固定することができる。

請求項６に記載の技術によれば、請求項３に記載の技術の効果に加え、弁軸を安定させた状態で弁体を弁軸に固定することができる。

請求項７に記載の技術によれば、請求項４に記載の技術の効果に加え、弁軸を安定させた状態で弁体を弁軸に固定することができる。

請求項８に記載の技術によれば、請求項１又は２に記載の技術の効果に加え、弁軸に対する弁体の同軸精度を緩和することができ、その意味で弁装置の製造を簡易化することができる。

請求項９に記載の技術によれば、二方ポペット弁構造を有する弁装置につき、弁体を一つの弁軸に自由度を確保しながら固定することができる。

第１実施形態に係り、弁装置の第１開閉状態を示す断面図。 第１実施形態に係り、弁装置の第２開閉状態を示す断面図。 第１実施形態に係り、弁装置につき、第１開閉状態におけるステップモータの一部を示す拡大断面図。 第１実施形態に係り、図３における雄ねじと雌ねじの螺合状態の一部を示す拡大断面図。 第１実施形態に係り、弁装置につき、第２開閉状態におけるステップモータの一部を示す拡大断面図。 第１実施形態に係り、図５における雄ねじと雌ねじの螺合状態の一部を示す拡大断面図。 第１実施形態に係り、第１及び第２の弁座に対する、第１及び第２の弁体と弁軸の動作状態と、それらの関連したハウジング（第１ハウジング部と第２ハウジング部）の一部を概略的に示す断面図。 第１実施形態に係り、第１及び第２の弁座に対する、第１及び第２の弁体と弁軸の動作状態と、それらの関連したハウジング（第１ハウジング部と第２ハウジング部）の一部を概略的に示す断面図。 第１実施形態に係り、第１及び第２の弁座に対する、第１及び第２の弁体と弁軸の動作状態と、それらの関連したハウジング（第１ハウジング部と第２ハウジング部）の一部を概略的に示す断面図。 第１実施形態に係り、弁装置の製造方法につき、部品組み付けの最終段階の一部の工程を示す断面図。 第１実施形態に係り、弁装置の製造方法につき、部品組み付けの最終段階の一部の工程を示す断面図。 第１実施形態に係り、弁装置の製造方法につき、部品組み付けの最終段階の一部の工程を示す断面図。 第２実施形態に係り、弁装置の製造方法につき、部品組み付けの最終段階の一部の工程を示す断面図。 第２実施形態に係り、弁装置の製造方法につき、部品組み付けの最終段階の一部の工程を示す断面図。 第２実施形態に係り、弁装置の製造方法につき、部品組み付けの最終段階の一部の工程を示す断面図。 第３実施形態に係り、弁装置の製造方法につき、部品組み付けの最終段階の一部の工程を示す断面図。 第３実施形態に係り、弁装置の製造方法につき、部品組み付けの最終段階の一部の工程を示す断面図。 第３実施形態に係り、弁装置の製造方法につき、部品組み付けの最終段階の一部の工程を示す断面図。 第４実施形態に係り、第１及び第２の弁座に対する第１及び第２の弁体と弁軸の動作状態と、それらに関連したハウジング（第１ハウジング部と第２ハウジング部）の一部を概略的に示す断面図。 第４実施形態に係り、第１及び第２の弁座に対する第１及び第２の弁体と弁軸の動作状態と、それらに関連したハウジング（第１ハウジング部と第２ハウジング部）の一部を概略的に示す断面図。 第４実施形態に係り、第１及び第２の弁座に対する第１及び第２の弁体と弁軸の動作状態と、それらに関連したハウジング（第１ハウジング部と第２ハウジング部）の一部を概略的に示す断面図。 第５実施形態に係り、弁装置の第２開閉状態を示す図７に準ずる断面図。 第５実施形態に係り、弁装置の第１開閉状態を示す図９に準ずる断面図。 第６実施形態に係り、弁装置の第１開閉状態を示す図２３に準ずる断面図。 第６実施形態に係り、弁装置の第２開閉状態を示す図２２に準ずる断面図。 第７実施形態に係り、第２弁座と第２弁体のみを示す断面図。 第７実施形態に係り、第２弁座と第２弁体のみを示す断面図。 第８実施形態に係り、弁装置の第２開閉状態を示す断面図。 第８実施形態に係り、弁装置の第２開閉状態を示す断面図。 第８実施形態に係り、弁装置の第１開閉状態を示す断面図。 第８実施形態に係り、弁装置を含む水流切替装置を示す概略構成図。 第８実施形態に係り、コイル異常時制御の内容を示すフローチャート。 第９実施形態に係り、弁開度位置記憶制御の内容を示すフローチャート。 第１０実施形態に係り、弁装置を示す断面図。 第１０実施形態に係り、弁装置を示す断面図。 第１１実施形態に係り、弁装置を示す断面図。 第１１実施形態に係り、弁装置を示す断面図。 第１実施形態に係り、弁装置の構成を示す概略図。 別の実施形態に係り、弁装置の構成を示す概略図。 別の実施形態に係り、二方ポペット弁構造を有する弁装置の構成を示す概略図。 第２実施形態に係り、弁装置の構成を示す概略図。 別の実施形態に係り、弁装置の構成を示す概略図。 別の実施形態に係り、二方ポペット弁構造を有する弁装置の構成を示す概略図。

以下、弁装置の製造方法を具体化した実施形態について説明する。

＜第１実施形態＞
先ず、第１実施形態について図面を参照して説明する。

［弁装置の構成について］
図１に、この実施形態の弁装置１の第１開閉状態を断面図により示す。図２に、同じく弁装置１の第２開閉状態を断面図により示す。図１、図２に示すように、この実施形態の弁装置１は、二つの弁体６，７が対応する弁座４，５のシート部４ａ，５ａから直角方向に移動する形式のポペット弁構造を有する三方弁として構成される。この弁装置１は、流路２を有するハウジング３と、流路２にて同軸上に直列に設けられた二つの弁座４，５と、二つの弁座４，５それぞれに対して着座可能に設けられた二つの弁体６，７と、二つの弁体６，７が同軸上に直列に設けられた弁軸８と、弁軸８をその軸線方向へ往復運動（ストローク運動）させるためのステップモータ９とを備える。この実施形態で、ステップモータ９は、この開示技術における「アクチュエータ」の一例に相当する。

弁軸８は、ハウジング３を垂直に貫通して配置される。弁軸８は一端側８ａ（図１、図２の下端側）と他端側８ｂ（図１、図２の上端側）を含み、その一端側８ａに二つの弁体６，７が固定され、他端側８ｂに雄ねじ１０が設けられる。弁軸８には、雄ねじ１０に隣接した下側にフランジ状のスプリング受け１１が設けられる。弁軸８のスプリング受け１１より下側には、横断面が略小判形状をなす二面幅部８ｃが設けられる。この実施形態で、雄ねじ１０は、この開示技術の「第１ねじ」の一例に相当する。

この実施形態において、弁装置１は、ハウジング３に、流路２に連通する一つの流入口１２と二つの流出口１３，１４を含む三方弁として構成される。流路２は、それぞれの弁座４，５を境としてステップモータ９に近い側とステップモータ９から遠い側に分かれ、ステップモータ９に近い側又はステップモータ９から遠い側に対応する弁体６，７がそれぞれ弁座４，５に着座可能に配置される。すなわち、二つの弁座４，５は、ステップモータ９に最も近い第１弁座４と第１弁座４の次にステップモータ９に近い第２弁座５とを含む。第１弁座４は流路２に連通する弁孔４ｂを有し、第２弁座５は、同じく流路２に連通する弁孔５ｂを有する。二つの弁体６，７は、第１弁座４に対応する第１弁体６と、第２弁座５に対応する第２弁体７を含む。流路２は、第１弁座４を境としてステップモータ９に最も近い第１流路部１５と、ステップモータ９から遠い第２流路部１６とに分かれる。そして、第１弁座４に対応する第１弁体６は、第２流路部１６にて第１弁座４に着座可能に配置される。一方、流路２は、第２弁座５を境としてステップモータ９に近い第２流路部１６と、ステップモータ９から最も遠い第３流路部１７とに分かれる。そして、第２弁座５に対応する第２弁体７は、第２流路部１６にて第２弁座５に着座可能に配置される。二つの流出口１３，１４の一方が第１流路部１５に連通する第１流出口１３であり、他方が第３流路部１７に連通する第２流出口１４である。流入口１２は第２流路部１６に連通する。

第１弁体６と第２弁体７は、第２流路部１６にて弁軸８上に設けられる。第１弁体６は、略円錐台形状をなし外周にテーパ状のシール面６ａを有し、そのシール面６ａが第１弁座４の稜線状のシート部４ａに着座可能に設けられる。第２弁体７は、円板状をなしその周縁部に平坦なシール面７ａを有し、そのシール面７ａが第２弁座５の平坦なシート部５ａに着座可能に設けられる。この実施形態では、図１、図２に示すように、第２弁座５のシート部５ａの内周縁には、そのシート部５ａよりも上方へ突出し、第２弁体７のシール面７ａに接触可能なゴムシート１８が設けられる。

図１に示す第１開閉状態では、第１弁体６が第１弁座４に着座し、第２弁体７が第２弁座５から上方へ離間する。この第１開閉状態では、図１に黒矢印で示すように、流入口１２から第２流路部１６に流入する流体が、第３流路部１７へ流れて第２流出口１４から流れ出る。一方、図２に示す第２開閉状態では、第１弁体６は第１弁座４から下方へ離間し、第２弁体７が第２弁座５に着座する。この第２開閉状態では、図２に黒矢印で示すように、流入口１２から第２流路部１６に流入する流体が、第１流路部１５へ流れて第１流出口１３から流れ出る。

ハウジング３には、弁軸８を軸線方向へストローク運動可能に支持するための、二つのスラスト軸受１９，２０が設けられる。スラスト軸受１９の内周には、横断面が略小判形状をなし弁軸８の二面幅部８ｃに係合可能な回転規制部１９ａが形成される。二面幅部８ｃと回転規制部１９ａとが整合することで、弁軸８のストローク運動が案内されると共に、弁軸８の回転が規制される。

ステップモータ９は、コイル２１を有するステータ２２と、ステータ２２の内側に設けられたマグネットロータ２３とを含む。これらの部材２１～２３等は、樹脂製のケーシング２４によりモールドされて覆われる。ケーシング２４には、横へ突出したコネクタ２５が形成される。コネクタ２５には、コイル２１から延びる端子２６が設けられる。

マグネットロータ２３は、ロータ本体２７と、ロータ本体２７の外側に一体的に設けられた円筒状のマグネット２８とを含む。ロータ本体２７の上端部外周には、ケーシング２４との間に第１ラジアル軸受２９が設けられる。マグネット２８の下端部内周には、スラスト軸受１９との間に第２ラジアル軸受３０が設けられる。これら第１及び第２ラジアル軸受２９，３０によりマグネットロータ２３がステータ２２の内側にて回転可能に支持される。ロータ本体２７の中心には、弁軸８の雄ねじ１０に螺合される雌ねじ３１が設けられる。この実施形態で、雌ねじ３１は、この開示技術の「第２ねじ」の一例に相当する。

図３に、弁装置１につき、第１開閉状態におけるステップモータ９の一部を拡大断面図により示す。図４に、図３における雄ねじ１０と雌ねじ３１の螺合状態の一部を拡大断面図により示す。図５に、弁装置１につき、第２開閉状態におけるステップモータ９の一部を拡大断面図により示す。図６に、図５における雄ねじ１０と雌ねじ３１の螺合状態の一部を拡大断面図により示す。図３～図６に示すように、雄ねじ１０は、弁軸８の軸線方向において螺旋状に連なる雄ねじ山１０ａを有する。この雄ねじ山１０ａは、第１弁座４の方（下方）へ向いた第１雄ねじ山面１０ａａと、その第１雄ねじ山面１０ａａの反対側（上側）に位置する第２雄ねじ山面１０ａｂを含む。また、雌ねじ３１は、弁軸８の軸線方向において螺旋状に連なる雌ねじ山３１ａを有する。この雌ねじ山３１ａは、第１弁座４の方（下方）へ向いた第１雌ねじ山面３１ａａと、その第１雌ねじ山面３１ａａの反対側（上側）に位置する第２雌ねじ山面３１ａｂを含む。そして、図４、図６に示すように、この雄ねじ１０と雌ねじ３１との間には、弁軸８の軸線方向において所定のバックラッシ３５（あそび）が設けられる。

ここで、弁軸８のスプリング受け１１と下側の第２ラジアル軸受３０との間、すなわち、スプリング受け１１とハウジング３との間には、二つの弁体６，７を弁軸８と共にステップモータ９に近付く方向（図１～図６の上方）へ付勢するための弁体スプリング３２が設けられる。弁体スプリング３２は、この開示技術の「アクチュエータスプリング」の一例に相当する。また、マグネットロータ２３（マグネット２８）と第２ラジアル軸受３０との間には、マグネットロータ２３を第１弁座４から遠ざかる方向へ付勢するためのロータスプリング３３が設けられる。

ハウジング３と弁軸８との間には、ハウジング３と弁軸８との間をシールするための略円筒形をなすリップシール３７が、スラスト軸受２０に隣接して設けられる。また、ハウジング３と弁軸８との間には、ハウジング３と弁軸８との間をデポジットからガードするための略円筒形をなすデポガードプラグ３８が、リップシール３７に隣接して設けられる。

［ハウジングについて］
この実施形態において、図１、図２に示すように、ハウジング３は、二つの弁座４，５のうちステップモータ９に最も近い第１弁座４の近傍にて、第１ハウジング部４１と第２ハウジング部４２とに分割されて構成される。第１ハウジング部４１及び第２ハウジング部４２は、それぞれ流路２の一部を含む。これら二つのハウジング部４１，４２が接合されることで、一つのハウジング３が構成されると共に、そのハウジング３の流路２が構成される。

[弁装置の動作について]
図７～図９に、第１及び第２の弁座４，５に対する、第１及び第２の弁体６，７と弁軸８の動作状態と、それらの関連したハウジング３（第１ハウジング部４１と第２ハウジング部４２）の一部を概略的に断面図により示す。この弁装置１は、ステップモータ９を駆動させてマグネットロータ２３を回転させることにより、その回転運動を雌ねじ３１と雄ねじ１０を介して弁軸８と二つの弁体６，７のストローク運動に変換し、二つの弁座４，５に対する弁体６，７の位置を調節するようになっている。

すなわち、この弁装置１は、マグネットロータ２３を一方向へ回転させて弁軸８を二つの弁体６，７と共に弁体スプリング３２の付勢力に抗してストローク運動させることにより、弁体６，７がステップモータ９から遠ざかる方向へ移動し、図２、図７に示す第２開閉状態となる。このとき、第２弁体７が第２弁座５に突き当たるようにステップモータ９を制御することにより、第２弁体７のシール面７ａが第２弁座５のシート部５ａに突き当たると共に、ゴムシート１８の先端がシール面７ａに押し当たり変形する。この突き当て状態では、第２弁座５が第２弁体７の閉弁ストッパとして機能することになり、ロータ本体２７の回転が規制されると共に、弁軸８及び弁体６，７のストローク運動が規制される。このときの弁軸８の位置を初期位置として規定することができる。

ここで、この突き当て状態では、ステップモータ９が脱調することがある。ステップモータ９が脱調すると、弁体スプリング３２の付勢力により、図８に示すように弁体６，７がステップモータ９へ近付く方向へ微小に移動し、第２弁体７が微小に開弁することになる。しかし、第２弁座５には、ゴムシート１８が設けられるので、第２弁体７が微小に開弁しても、ゴムシート１８の先端が弾性を伴って第２弁体７のシール面７ａに接するので、第２弁座４と第２弁体７との間の隙間をゴムシート１８によりシールすることができる。

このとき、弁体スプリング３２の付勢力により、図６に示すように、雌ねじ３１の第１雌ねじ山面３１ａａに雄ねじ１０の第２雄ねじ山面１０ａｂが係合した状態となる。この係合状態では、弁軸８が弁体スプリング３２の付勢力Ｆ１（黒矢印で示す）によりステップモータ９に近付く方向（図６の上方向）へ付勢されるので、バックラッシ３５を介することなく雄ねじ山１０ａが雌ねじ山３１ａに当接し、弁軸８の上方向への移動が阻止される。従って、ステップモータ９に近付く方向へ弁体６，７を引き上げたり、押し上げたりするように流体の圧力が作用しても、その弁体６，７の移動が阻止される。このため、ステップモータ９（アクチュエータ）を特に高出力化及び大型化することなく、弁体６，７を第２開閉状態に保持することができる。

一方、この第２開閉状態から、マグネットロータ２３を反対方向へ回転させて弁軸８を二つの弁体６，７と共に弁体スプリング３２の付勢力との協働によりストローク運動させることにより、弁体６，７がステップモータ９に近付く方向へ移動し、図１、図９に示す第１開閉状態となる。このとき、制御全閉の状態で、第１弁体６のシール面６ａが第１弁座４のシート部４ａに突き当り、マグネットロータ２３を更に閉弁制御すると、第１弁体６は第１弁座４で動きを制限されているので、第２雄ねじ山面１０ａｂが第１雌ねじ山面３１ａａから、離脱した状態になるが、弁体スプリング３２の付勢力により全閉を維持することができる。また、第１弁体６に作用する流体の圧力も閉弁方向に作用するので、全閉を維持することができる。

［弁装置の製造方法について］
次に、弁装置１の製造方法の一部について説明する。図１０～図１２に、弁装置１の製造方法につき、部品組み付けの最終段階の一部の工程を断面図により示す。この部品組み付け最終段階では、第１ハウジング部４１及び第２ハウジング部４２それぞれの流路２の一部に二つの弁座４，５を設ける工程を実施する。このとき、第２弁座５に、予めゴムシート１８を設けておく。

その後、第１ハウジング部４１にステップモータ９を固定すると共に、マグネットロータ２３にて雄ねじ１０が雌ねじ３１に螺合連結された弁軸８の一端側８ａを第１ハウジング部４１に設けられた第１弁座４を貫通させて突出させる工程を実施する。この工程では、先に製造されたステップモータ９（弁軸８を含む）と第１ハウジング部４１（第１弁座４、第１流路部１５及び第１流出口１３を含む）とが先に組み付けられる。このとき、ステップモータ９から伸びる弁軸８は、第１ハウジング部４１の各軸受１９，２０、リップシール３７、デポガードプラグ３８を貫通し、その一端側８ａが第１弁座４の第１弁孔４ｂを貫通している。

その後、第１弁座４から突出させた弁軸８の一端側８ａに二つの弁体６，７を固定する工程を実施する。この工程では、図１０に示すように、先ず、弁軸８の一端側８ａに第１弁体６を挿通し、その弁体６を第１弁座４に着座させた状態で溶接５１により弁軸８に固定する。続いて、図１１に示すように、弁軸８の一端側８ａの端に第２弁体７を挿通し、その弁体７を溶接５１により弁軸８に固定する。

そして、弁体６，７の固定後に、図１２に示すように、二つの弁座４，５が同軸上に直列に配置されると共に、二つの弁体６，７が対応する弁座４，５に整合するように第１ハウジング部４１と第２ハウジング部４２とを結合する工程を実施する。このようにして、部品組み付けの最終段階を終了する。図１１、図１２には、溶接５１の溶接痕５２を示す。

［弁装置とその製造方法の作用及び効果について］
以上説明したこの実施形態の弁装置１の製造方法の構成によれば、第１ハウジング部４１及び第２ハウジング部４２の少なくとも一方の流路２に突出させた弁軸８の一端側８ａに二つの弁体６，７を固定した後に、二つの弁座４，５が同軸上に直列に配置されると共に、二つの弁体６，７がそれぞれ対応する弁座４，５に整合するように第１ハウジング部４１と第２ハウジング部４２とを結合する。従って、ハウジング３の流路２や弁座４，５に制約されることなく弁軸８上に二つの弁体６，７を組み付けることが可能となる。このため、多方ポペット弁構造を有する弁装置１につき、二つの弁座４，５に対応した二つの弁体６，７を一つの弁軸８に対し自由度を確保しながら固定することができる。

この実施形態の弁装置１の構成によれば、弁体スプリング３２により二つの弁体６，７が弁軸８と共にステップモータ９に近付く方向へ付勢される。従って、互いに螺合する弁軸８の雄ねじ１０とロータ本体２７の雌ねじ３１との間のバックラッシ３５（あそび）が片寄せされ、弁軸８がロータ本体２７に結合する。このため、弁軸８を安定させた状態で弁体６，７を弁軸８に固定することができる。

この実施形態の弁装置１の構成によれば、二つの弁体のうち、第１弁体６が、円錐形状をなし、外周のテーパ状のシール面６ａが第１弁座４に着座可能に設けられるが、第２弁体７が、平板状をなし、その周縁部に設けられた平坦なシール面７ａが第２弁座５に着座可能に設けられる。従って、二つの弁体６，７のうち、第２弁体７の第２弁座５に対する中心出しが緩和される。すなわち、第２弁体７が平板状に形成され、そのシール面７ａを第２弁座５のシート部５ａに押し当てるように構成されるので、第２弁体７と第２弁座５との間の中心出しが緩和され、図１２に示すように、両者７，５の中心に多少のずれΔＣが生じても第２弁体７の閉弁時にシール性が問題にならない。このため、弁軸８に対する弁体６，７の同軸精度を緩和することができ、その意味で弁装置１の製造を簡易化することができる。

また、この実施形態弁装置１の構成によれば、第２弁体７がゴムシート１８を介して第２弁座５に押し当てられるので、第２弁座５に対する第２弁体７の直交性が緩和される。そのため、第２弁体７が多少傾いていても閉弁時にゴムシート１８によりシール性を確保することができる。また、ステップモータ９の脱調により第２弁体７が微小開弁しても、ゴムシート１８によりシール性を確保することができる。

＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の説明において第１実施形態と同等の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略し、以下には異なった点を中心に説明する。

［弁装置の製造方法について］
この実施形態では、弁装置の製造方法の点で第１実施形態と構成が異なる。その前提として、この実施形態のハウジング３は、二つに分割されておらず、予め全体が一体形成される。図１３～図１５に、この実施形態の弁装置１の製造方法につき、部品組み付けの最終段階の一部の工程を断面図により示す。この実施形態では、図１３～図１５に示すように、ハウジング３は、その流路２に、弁軸８に二つの弁体６，７を組み付けるために使用される組み付け孔３ａを有する。この組み付け孔３ａは、少なくとも最もステップモータ９に近い位置に組み付けられる第１弁体６の直径より大きい径を有すると共に第２弁座５を保持可能に設けられる。

この実施形態において、部品組み付け最終段階では、先ず、ハウジング３の流路２に第１弁座４（一部の弁座）を設ける工程を実施する。

その後、ハウジング３にステップモータ９を固定すると共に、マグネットロータ２３にて雄ねじ１０が雌ねじ３１に螺合連結された弁軸８の一端側８ａをハウジング３に設けられた第１弁座４を貫通させて突出させる工程を実施する。

その後、第１弁座４から突出させた弁軸８の一端側８ａに、組み付け孔３ａを通じて二つの弁体６，７を固定する工程を実施する。この工程では、先ず、図１３に示すように、弁軸８の一端側８ａに第１弁体６を挿通し、その弁体６を第１弁座４に着座させた状態で溶接５１により弁軸８に固定する。続いて、図１４に示すように、弁軸８の一端側８ａの端に第２弁体７を挿通し、その弁体７を溶接５１により弁軸８に固定する。

そして、二つの弁体６，７の固定後に、組み付け孔３ａに第２弁座５（残りの弁座）を組み付ける工程を実施する。この工程では、図１４、図１５に示すように、ゴムシート１８を設けた第２弁座５を組み付け孔３ａに圧入し、その第２弁座５を、流路２に連通する配管５３のフランジ５３ａで押さえてハウジング３に対し抜け止めする。このようにして、組み付けの最終段階を終了する。

［弁装置とその製造方法の作用及び効果について］
以上説明したこの実施形態の弁装置１の製造方法の構成によれば、ハウジング３の流路２に突出させた弁軸８の一端側８ａに、組み付け孔３ａを介して二つの弁体６，７を固定した後に、組み付け孔３ａに一つの弁座５を組み付ける。従って、ハウジング３を分割することなく、流路２や弁座４，５に制約されることなく弁軸８上に二つの弁体６，７を組み付けることが可能となる。このため、多方ポペット弁構造を有する弁装置１につき、二つの弁座４，５に対応した二つの弁体６，７を一つの弁軸８に対し自由度を確保しながら固定することができる。

この実施形態の弁装置１の作用及び効果は、第１実施形態のそれと同じである。

＜第３実施形態＞
次に、第３実施形態について図面を参照して説明する。

［弁装置の製造方法について］
この実施形態では、弁装置１の製造方法の点で第２実施形態と構成が異なる。図１６～図１８に、この実施形態の弁装置１の製造方法につき、組み付けの最終段階の一部の工程を断面図により示す。

この実施形態では、予め二つの弁体６，７を一体的な組み弁体４４として形成する工程を更に備える。この組み弁体４４は、弁軸８を挿通させる管材４５の両端に、第１弁体６と第２弁体７を固定することで二つの弁体６，７を一体的に組み付けておく。

そして、部品組み付け最終段階では、先ず、ハウジング３の流路２に第１弁座４（一部の弁座）を設ける工程を実施する。

その後、ハウジング３にステップモータ９を固定すると共に、マグネットロータ２３にて雄ねじ１０が雌ねじ３１に螺合連結された弁軸８の一端側８ａをハウジング３に設けられた第１弁座４を貫通させて突出させる工程を実施する。

その後、第１弁座４から突出させた弁軸８の一端側８ａに、二つの弁体６，７を固定する工程を実施する。この工程では、先ず、図１６に示すように、弁軸８の一端側８ａに組み弁体４４を組み付け、その組み付け後に、図１７に示すように、弁軸８の一端側８ａの端部にて組み弁体４４を弁軸８に溶接５１により固定する。

その後、組み付け孔３ａに第２弁座５を組み付ける工程を実施する。この工程では、図１８に示すように、ゴムシート１８を設けた第２弁座５を組み付け孔３ａに圧入し、その第２弁座５を、流路２に連通する配管５３のフランジ５３ａで押さえてハウジング３に対し抜け止めする。このようにして、組み付けの最終段階を終了する。

［弁装置の製造方法の作用及び効果について］
以上説明したこの実施形態の弁装置１の製造方法の構成によれば、二つの弁体６，７を固定する工程では、組み弁体４４を弁軸８の一端側８ａに組み付けた後に弁軸８の一端側８ａの端部にて組み弁体４４を弁軸８に固定する。従って、二つの弁体６，７を個別に弁軸８に固定するよりも工数が少なくなる。このため、工数が少なくなる分だけ弁装置１の製造を簡易化することができる。

この実施形態の弁装置１の作用及び効果は、第２実施形態のそれと同じである。

＜第４実施形態＞
次に、第４実施形態について図面を参照して説明する。

［弁装置の構成について］
この実施形態では、弁装置１が、第１弁座４と第１弁体６の構成の点で第１実施形態と異なる。図１９～図２１に、第１及び第２の弁座４，５に対する第１及び第２の弁体６，７と弁軸８の動作状態と、それらに関連したハウジング３（第１ハウジング部４１と第２ハウジング部４２）の一部を概略的に断面図により示す。この実施形態では、第１及び第２の弁座４，５の両方にゴムシート４８，１８が設けられる。また、第１及び第２の弁体６，７の両方が平板状をなしている。すなわち、第２弁体７と同様、第１弁体６も平板状をなし、その周縁部に平坦なシール面６ａを有し、そのシール面６ａが第１弁座４の平坦なシート部４ａに着座可能に設けられる。ただし、この実施形態では、第１弁座４に設けられるゴムシート４８の厚さ及び変位量Ｌ１（図１９参照）よりも第２弁座５に設けられるゴムシート４８の厚さ及び変位量Ｌ２（図２１参照）を大きく設定している。

[弁装置の動作について]
この実施形態の弁装置１の構成によれば、第１弁座４と第１弁体６との間の漏れ要求、並びに、第２弁座５と第２弁体７との間の漏れ要求の双方が厳しい場合に、両弁座４，５に設けられるゴムシート４８，１８がシール性の点で有効に作用する。

ここで、図１９に示すように二つの弁体６，７が第２開閉状態となるときは、第２弁体７のシール面７ａが第２弁座５のシート部５ａに突き当たると共に、ゴムシート１８の先端がシール面７ａに押し当たり変形する。この突き当て状態でステップモータ９が脱調すると、図２０に示すように弁体６，７がステップモータ９へ近付く方向へ微小に移動し、第２弁体７が微小に開弁することになる。このときは、ゴムシート１８の先端が弾性を伴って第２弁体７のシール面７ａに接するので、第２弁座４と第２弁体７との間の隙間をゴムシート１８によりシールすることができる。すなわち、脱調発生後は、第２弁体７は第２弁座５に非接地となるが、ゴムシート１８は第２弁体７に接地する。

一方、図２１に示すように、二つの弁体６，７が第１開閉状態となるときは、第１弁体６のシール面６ａが第１弁座４のシート部４ａに突き当たると共に、ゴムシート４８がシール面６ａに押し当たる。この突き当て状態でステップモータ９が脱調しても、弁体スプリング３２の付勢力により弁体６，７がステップモータ９へ近付く方向へ付勢されるので、第１弁体６を第１弁座４に突き当てたまま第１開閉状態を維持することができる。すなわち、脱調発生後は、第１弁体６は第１弁座４に接地し、ゴムシート４８も第１弁体６に接地する。

＜第５実施形態＞
次に、第５実施形態について図面を参照して説明する。

［弁装置の構成について］
この実施形態で、弁装置１の流路２にて、弁軸８の周囲に更に流路スプリング４６が設けられ、第１弁座４にゴムシート４８が設けられ、第２弁座５にゴムシート１８が設けられない点で第１実施形態と構成が異なる。図２２に、弁装置１の第２開閉状態を、図７に準ずる断面図により示す。図２３に、弁装置１の第１開閉状態を、図９に準ずる断面図により示す。図２２、図２３に示すように、弁軸８上の二つ弁体６，７のうちステップモータ９に最も近い第１弁体６は、それに対応する第１弁座４を境としてステップモータ９に最も近い側の流路２（第１流路部１５）の反対側の流路２（第２流路部１６）に配置される。そして、第１弁体６と、それに対応する第１弁座４に隣接するステップモータ９に最も近い側の流路２（第１流路部１５）の内壁１５ａとの間において、弁軸８上には、第２弁体７をそれに対応する第２弁座５へ着座させる方向へ付勢するために二つの弁体６，７を弁軸８と共にステップモータ９から遠ざかる方向へ付勢する流路スプリング４６が設けられる。ここで、流路スプリング４６の付勢力Ｆ２（白矢印で示す）は、ステップモータ９の弁体スプリング３２の付勢力Ｆ１（白矢印で示す）よりも大きく設定される。

[弁装置の動作について]
この実施形態の弁装置１の構成によれば、図２２に示すように、二つの弁体６，７が第２開閉状態となる場合に、第２弁体７が第２弁座５に突き当てられてステップモータ９が脱調しても、流路スプリング４６の付勢力Ｆ２により第２弁体７が第２弁座５に押し付けられる。このため、第２弁体７の第２弁座５に対する閉弁状態、すなわち第２開閉状態を維持することができる。

一方、図２３に示すように、二つの弁体６，７が第１開閉状態となる場合に、第１弁体６が第１弁座４に突き当てられてステップモータ９が脱調すると、流路スプリング４６の付勢力Ｆ２により微小開弁してしまう。そこで、第１弁座４にゴムシート４８を設けることで、微小開弁したとしてもシール性を確保することができる。

［弁装置の作用及び効果について］
以上説明したこの実施形態の弁装置１の構成によれば、第１実施形態と異なり、二つの弁体６，７のうち、ステップモータ９に最も近い第１弁体６と、それに対応する第１弁座４に隣接するステップモータ９に最も近い側の流路２（第１流路部１５）の内壁１５ａとの間において、弁軸８上に流路スプリング４６が設けられる。そして、この流路スプリング４６が、二つの弁体６，７を弁軸８と共にステップモータ９から遠ざかる方向へ付勢することにより、最も遠い第２弁体７をそれに対応する第２弁座５へ着座させる方向へ付勢する。従って、弁軸８への弁体６，７の組み付け時に、弁体６，７を安定した姿勢で組み付けることが可能となる。このため、弁装置１として、弁体６，７の全閉時の密着性及びシール性を向上させることができる。

＜第６実施形態＞
次に、第６実施形態について図面を参照して説明する。

［弁装置の構成について］
この実施形態で、第１弁座４及び第２弁座５の構成、第１弁座４に対する第１弁体６の配置、第２弁座５に対する第２弁体７の配置等の点で第５実施形態と構成が異なる。また、この実施形態では、第２弁座５にゴムシート１８が設けられる。第５実施形態では、弁軸８上に流路スプリング４６が設けられるので、両弁体６，７が第２開閉状態となるとき、すなわち第１弁体６が開弁し第２弁体７が閉弁するときに、流路スプリング４６が、第１弁孔４ｂを流れる流体の圧損を増加させるおそれがあった。この実施形態では、その課題を解決するために両弁体６，７の位置を変更している。図２４に、弁装置１の第１開閉状態を図２３に準ずる断面図により示す。図２５に、弁装置１の第２開閉状態を、図２２に準ずる断面図により示す。図２４、図２５に示すように、この実施形態では、第１弁体６は、それに対応する第１弁座４を境としてステップモータ９に最も近い側の流路２（第１流路部１５）に配置される。また、この実施形態の第２弁体７は、それに対応する第２弁座５を境としてステップモータ９に近い側の流路２（第２流路部１６）の反対側の流路２（第３流路部１７）に配置される。そして、第１弁体６と、それに対応する第１弁座４が対向する第１流路部１５の内壁１５ａとの間において、弁軸８上には、第１弁体６をそれに対応する第１弁座４へ着座させる方向へ付勢するために二つの弁体６，７を弁軸８と共にステップモータ９から遠ざかる方向へ付勢する流路スプリング４６が設けられる。ここで、流路スプリング４６の付勢力Ｆ２は、ステップモータ９の弁体スプリング３２の付勢力Ｆ１よりも大きく設定される。

[弁装置の動作について]
この実施形態の弁装置１の構成によれば、図２４に示すように、二つの弁体６，７が第１開閉状態となる場合に、第１弁体６が第１弁座４に突き当てられてステップモータ９が脱調しても、流路スプリング４６の付勢力Ｆ２により第１弁体６が第１弁座４に押し付けられる。このため、第１弁体６の第１弁座４に対する閉弁状態、すなわち第１開閉状態を維持することができる。

一方、図２５に示すように、二つの弁体６，７が第２開閉状態となる場合に、第２弁体７が第２弁座５に突き当てられてステップモータ９が脱調すると、流路スプリング４６の付勢力Ｆ２により微小開弁してしまう。そこで、第２弁座５にゴムシート１８を設けることで、微小開弁したとしてもシール性を確保することができる。

［弁装置の作用及び効果について］
以上説明したこの実施形態の弁装置１の構成によれば、第５実施形態と異なり、図２４、図２５に示すように、第１弁座４に対する第１弁体６の配置、第２弁座５に対する第２弁体７の配置を変更し、弁軸８上において、第１弁体６と第１流路部１５の内壁１５ａとの間に流路スプリング４６を設けた。従って、両弁体６，７が第２開閉状態となるとき、すなわち第１弁体６が開弁し第２弁体７が閉弁するときに、流路スプリング４６が、第１弁座４の第１弁孔４ｂを流れる流体の障害とならない。このため、両弁体６，７が第２開閉状態となるときの流体を圧損の増加を防止することができる。

＜第７実施形態＞
次に、第７実施形態について図面を参照して説明する。

この実施形態では、主として第２弁座５と第２弁体７の構成の点で前記第１～第４の実施形態と異なる。図２６、図２７に、この実施形態の第２弁座５と第２弁体７のみを断面図により示す。図２６、図２７に示すように、この実施形態の第２弁座５は、円錐台形状をなしている。また、第２弁座５に設けられるゴムシート１８は、第２弁体７の形状に合わせてリップ形状をなし、第２弁体７のテーパ形状をなすシール面７ａに接触しやすくなっている。

［弁装置の作用及び効果について］
以上説明したこの実施形態の弁装置１の構成によれば、図２６に示すように、第２弁体７が第２弁座５に突き当たり、閉弁するときは、ゴムシート１８がシール面７ａにも圧接してシール性が向上する。一方、第２弁体７が第２弁座５に突き当たり、ステップモータ９に脱調が生じて、第２弁体７と第２弁座５との間に隙間が生じても、図２７に示すように、第２弁体７とゴムシート１８との接地によりシール性を確保することができる。

＜第８実施形態＞
次に、第８実施形態について図面を参照して説明する。

［弁装置の構成について］
この実施形態では、弁装置１が、第２弁座５と第２弁体７の構成の点で第１実施形態と異なる。図２８及び図２９に、弁装置１の第２開閉状態を断面図により示す。図３０に、弁装置１の第１開閉状態を断面図により示す。図２８～図３０に示すように、この実施形態では、第２弁座５にゴムシート１８が設けられていない。また、第２弁体７が第１弁体６と同様に円錐台形状をなしている。

［水流切替装置の構成について］
図３１に、弁装置１を含む水流切替装置を概略構成図により示す。図３１に示すように、この水流切替装置は、弁装置１の他に、電動式の水ポンプ６１と電子制御装置（ＥＣＵ）６２とを備える。水流路を切り替えるために、弁装置１において、流入口１２には入口パイプ５６が接続され、第１流出口１３には第１出口パイプ５７が接続され、第２流出口１４には第２出口パイプ５８が接続される。水ポンプ６１は、入口パイプ５６に設けられる。ＥＣＵ６２は、弁装置１のステップモータ９と水ポンプ６１に電気的に接続され、それらを制御するようになっている。また、ＥＣＵ６２は、弁装置１のステップモータ９の制御状態からそのコイル２１の異常を判断するようになっている。

ここで、図２８は、ＥＣＵ６２が弁装置１と水ポンプ６１をオン（通電）し、コイル２１が異常となっている場合を示す。図２９は、図２８の状態から、ＥＣＵ６２が水ポンプ６１をオフ（非通電）した場合を示す。図３０は、図２９の状態から、ＥＣＵ６２が弁装置１をオフし、水ポンプ６１をオン復帰した場合を示す。この実施形態では、前提として、弁装置１のステップモータ９における雄ねじ１０及び雌ねじ３１のリード角が立っている（大きい）ことで、弁体スプリング３２の付勢力により、第１弁体６及び第２弁体７が、イニシャル位置である第１開閉状態に戻る設計となっている。この実施形態では、図２８に示すように弁装置１が第２開閉状態でコイル２１が異常となる場合は、水ポンプ６１から弁装置１へ圧送される水の圧力により第２弁体７が第２弁座５へ押し付けられる。この場合、両弁体６，７を第１開閉状態に戻す作用に逆らう方向に水圧Ｆ３が作用するので、両弁体６，７が第１開閉状態に戻らなくなるおそれがある。そこで、この実施形態では、ＥＣＵ６２が、次のようなコイル異常時制御を実行するようになっている。

［コイル異常時制御について］
図３２に、コイル異常時制御の内容をフローチャートにより示す。ＥＣＵ６２は、処理がこのルーチンへ移行すると、ステップ１００で、コイル異常か否かを判断する。ＥＣＵ６２は、例えば、コイル２１へ通電してもステップモータ９が動作しないとき、そのことを電気的に検知してコイル異常と判断するようになっている。ＥＣＵ６２は、この判断結果が肯定となる場合は処理をステップ１１０へ移行し、この判断結果が否定となる場合は処理をステップ１７０へ移行する。

ステップ１１０では、ＥＣＵ６２は、第２弁体７が閉か否かを判断する。ＥＣＵ６２は、この判断結果が肯定となる場合は処理をステップ１２０へ移行し、この判断結果が否定となる場合は処理をステップ１８０へ移行する。

ステップ１２０では、ＥＣＵ６２は、コイル異常処理フラグＸＣＦが「０」か否かを判断する。ＥＣＵ６２は、後述するように、このフラグＸＣＦを「１」又は「０」に設定するようになっている。ＥＣＵ６２は、この判断結果が肯定となる場合は処理をステップ１３０へ移行し、この判断結果が否定となる場合は処理をステップ１８０へ移行する。

ステップ１３０では、ＥＣＵ６２は、水ポンプ６１を停止（オフ）する。この場合、両弁体６，７に作用する圧力は、図２８に示す状態から図２９に示す状態となる。すなわち、この場合、図２９に示すように、第２弁体７には第２弁座５へ押し付ける水圧Ｆ３の作用がなくなり、両弁体６，７には、両弁体６，７をステップモータ９へ近付ける弁体スプリング３２の付勢力Ｆ１が作用し、両弁体６，７が図２９に示す状態から図３０に示す第１開閉状態へ復帰する。

次に、ステップ１４０では、ＥＣＵ６２は、水ポンプ停止後に所定時間Ａ１が経過したか否かを判断する。ＥＣＵ６２は、この判断結果が肯定となる場合は処理をステップ１５０へ移行し、この判断結果が否定となる場合は処理をステップ１００へ戻す。

ステップ１５０では、ＥＣＵ６２は、コイル異常処理フラグＸＣＦを「１」に設定する。

次に、ステップ１６０で、ＥＣＵ６２は、水ポンプ６１の作動を復帰する。すなわち、水ポンプ６１を改めてオンする。その後、ＥＣＵ６２は、処理をステップ１００へ戻す。この場合、図３０に示すように、第１弁体６には第１弁座４へ押し付ける水圧Ｆ３が作用し、両弁体６，７が第１開閉状態（イニシャル位置）に保たれる。

一方、ステップ１００から移行してステップ１７０では、ＥＣＵ６２は、コイル異常処理フラグＸＣＦを「０」に設定する。

次に、ステップ１８０で、ＥＣＵ６２は、水ポンプ６１の作動を係属する。すなわち、ＥＣＵ６２は、水ポンプ６１のオンを継続する。その後、ＥＣＵ６２は、処理をステップ１００へ戻す。

上記したコイル異常時制御によれば、ＥＣＵ６２は、コイル異常時に、両弁体６，７が第２開閉状態となる場合は、水ポンプ６１を停止することで第２弁体７に作用する水圧を解除するようになっている。これにより、両弁体６，７を、弁体スプリング３２の付勢力によりイニシャル位置である第１開閉状態へ戻し易くすることができる。

＜第９実施形態＞
次に、第９実施形態について図面を参照して説明する。

［弁装置及び水流切替装置の構成について］
この実施形態の弁装置１と水流切替装置は、基本的に第８実施形態と同様の構成を有する。ただし、この実施形態では、前提として、ステップモータ９における雄ねじ１０及び雌ねじ３１のリード角が寝ている（小さい）ことで、コイル２１への通電を停止しても、第１弁体６及び第２弁体７の位置を保持できるようになっている。また、この実施形態の弁装置１は、それら弁体６，７の開度位置を検出するセンサを持たないことから、ＥＣＵ６２は、ステップモータ９を制御するための指令値である制御ステップ数を弁体６，７の開度位置に置き換えて制御に使用している。ここで、ステップモータ９の作動中に何らかの原因によりコイル２１への通電が寸断された場合、弁体６，７の開度位置が不明となり、弁体６，７の開度位置に合わせた異常時制御が困難になる。そこで、この実施形態で、ＥＣＵ６２は、次のような弁開度位置記憶制御を実行するようになっている。

［弁開度位置記憶制御について］
図３３に、弁開度位置記憶制御の内容をフローチャートにより示す。ＥＣＵ６２は、処理がこのルーチンへ移行すると、ステップ２００で、コイル正常か否かを判断する。ＥＣＵ６２は、例えば、コイル２１へ通電してステップモータ９が動作するときは、そのことを電気的に検知してコイル正常と判断するようになっている。ＥＣＵ６２は、この判断結果が肯定となる場合は処理をステップ２１０へ移行し、この判断結果が否定となる場合は処理をステップ２３０へ移行する。

ステップ２１０では、ＥＣＵ６２は、正常時のステップモータ９につき、現在（そのとき）の制御ステップ数を取り込む。

次に、ステップ２２０で、ＥＣＵ６２は、正常時の制御ステップ数をメモリに記憶し、処理をステップ２００へ戻す。

一方、ステップ２００から移行してステップ２３０では、ＥＣＵ６２は、異常時のステップモータ９につき、現在（そのとき）の制御ステップ数を取り込む。

次に、ステップ２４０で、ＥＣＵ６２は、異常時の制御ステップ数をメモリに記憶し、処理をステップ２００へ戻す。

上記した弁開度位置記憶制御によれば、ＥＣＵ６２は、常に現在の制御ステップ数を記憶し、電源オフ時もそのステップ数を記憶しておく。これにより、ＥＣＵ６２は、コイル２１への通電が寸断されても、その記憶された制御ステップ数により弁体６，７の開閉位置を確認できるようにしている。このため、ＥＣＵ６２は、コイル異常時でも、弁体６，７の開閉位置に合わせた異常時制御を実行することができる。

＜第１０実施形態＞
次に、第１０実施形態について図面を参照して説明する。

［弁装置の構成について］
この実施形態で、ハウジング３、流路２、弁座７４及び弁体７６の構成の点で前記各実施形態と異なる。図３４、図３５に、この実施形態の弁装置７１を断面図により示す。この実施形態の弁装置７１は、ステップモータ９につき、前記各実施形態の弁装置１と同等の構成を有する。ハウジング３の流路２には、内径の大きい弁孔７４ａを有する一つの弁座７４が設けられる。その弁座７４に対応して、弁軸８には、外径の大きい一つの弁体７６が設けられる。弁体７６は円錐台形状をなし、外周にテーパ状のシール面７６ａを有する。この実施形態の流路２は、弁座７４を境に図下側の上流側流路２Ａと、図上側の下流側流路２Ｂに分けられる。そして、弁体７６は下流側流路２Ｂにて弁座７４に着座可能に配置される。また、下流側流路２Ｂにおいて、弁体７６と、弁座７４が対向する流路内壁２Ｂａとの間には、弁体７６を弁座７４に着座する方向へ付勢する流路スプリング７７が、弁軸８を囲繞するように設けられる。この実施形態では、流路スプリング７７の付勢力が、ステップモータ９に設けられる弁体スプリング３２の付勢力よりも大きく設定されている。

[弁装置の動作について]
この実施形態の弁装置７１の構成によれば、図３４に示すように、弁体７６が弁座７４に突き当てられてステップモータ９が脱調しても、流路スプリング７７の付勢力により弁体７６が弁座７４に押し付けられる。ここで、ステップモータ９のコイル２１への通電を停止しても、流路スプリング７７の付勢力により弁体７６が弁座７４に押し付けられる。このため、弁体７６の弁座７４に対する閉弁状態を維持することができる。

一方、図３５に示すように、ステップモータ９のコイル２１へ通電され、弁体７６を開弁する場合は、弁体７６が流路スプリング７７の付勢力に抗して開弁する。このとき、流路スプリング７７は、弁体７６と流路内壁２Ｂａとの間で収縮するが、弁座７４と弁体７６との間で露出しないので、流路スプリング７７が流体の流れの圧損となることがない。

＜第１１実施形態＞
次に、第１１実施形態について図面を参照して説明する。

［弁装置の構成について］
この実施形態で、主として弁座７４と弁体７６の構成の点で第１０実施形態と異なる。図３６、図３７に、この実施形態の弁装置７１を断面図により示す。すなわち、この実施形態の弁装置７１の弁体７６は、円板形状をなし、その下面周縁が、弁座７４のシート部７４ｂに接触可能なシール面７６ａとなっている。また、弁座７４のシート部７４ｂには、円環状のゴムシート７８が弁体７６のシール面７６ａに接触可能に設けられる。この実施形態では、流路スプリング７７の付勢力が、ステップモータ９の弁体スプリング３２の付勢力よりも大きく、かつ、ロータスプリング３３の付勢力よりも小さく設定されている。

[弁装置の動作について]
この実施形態の弁装置７１の構成によれば、図３６に示すように、弁体７６が弁座７４に突き当たりステップモータ９が脱調しても、流路スプリング７７の付勢力により弁体７６が弁座７４に押し付けられる。ここで、ステップモータ９のコイル２１への通電を停止しても、流路スプリング７７の付勢力により弁体７６が弁座７４に押し付けられる。このため、第１０実施形態と同様、弁体７６の弁座７４に対する閉弁状態を維持することができる。

一方、弁体７６の外径が大きいことで、弁体７６に上流側流路２Ａから流体の圧力が作用し、その圧力に流路スプリング７７の付勢力がうち負けると、弁体７６が弁座７４から押し上げられて開弁するおそれがある。しかし、この実施形態では、ゴムシート７８が設けられるので、図３７に示すように、弁体７６が多少開弁しても、ゴムシート７８が弁体７６のシール面７６ａに接する限りシール性を維持することができる。ここで、図３６に示すように、弁体７６を弁座７４に突き当てたときにステップモータ９が脱調しても、ステップモータ９のステップ数で最大でも４ステップの開弁位置で、雌ねじ３１に雄ねじ１０が接地し、弁軸８の移動、つまりは弁体７６の開弁が規制される。従って、ゴムシート７８の弁体７６に対する変形追従性を４ステップに合わせて設定することで、弁体７６の全閉シール性を維持することができる。

＜別の実施形態＞
なお、この開示技術は前記各実施形態に限定されるものではなく、開示技術の趣旨を逸脱することのない範囲で構成の一部を適宜変更して実施することもできる。

（１）前記第１実施形態の弁装置１では、図３８に示すように、ハウジング３を、二つの弁座４，５のうちステップモータ９に最も近い第１弁座４の近傍にて、第１ハウジング部４１と第２ハウジング部４２とに分割して構成し、ハウジング３の流路２を、第１弁座４を境としてステップモータ９に最も近い第１流路部１５と、第１弁座４と第２弁座５との間の第２流路部１６と、第２弁座５を境としてステップモータ９から最も遠い第３流路部１７とから構成した。そして、第２ハウジング部４２の第２流路部１６に突出させた弁軸８の一端側８ａに第１弁体６及び第２弁体７を固定し、その後に、二つの弁座４，５が同軸上に直列に配置されると共に、二つの弁体６，７が対応する弁座４，５に整合するように第１ハウジング部４１と第２ハウジング部４２とを結合した。これに対し、図３９に示すように、弁装置１のハウジング３を、同様に二つのハウジング部４１，４２に分割して構成すると共に、流路２を第１～第３の流路部１５～１７とから構成する。そして、二つのハウジング部４１，４２の全流路部１５～１７に弁軸８の一端側８ａを突出するようにし、第１流路部１５にて第１弁体６を一端側８ａに固定し、その後に、二つの弁座４，５が同軸上に直列に配置されると共に、二つの弁体６，７が対応する弁座４，５に整合するように二つのハウジング部４１，４２を結合し、第３流路部１７にて第２弁体７を一端側８ａに固定することもできる。図３８、図３９は、弁装置１の構成を示す概略図であり、それぞれハウジング３と弁座４，５のみ断面で示す。

（２）前記第１実施形態では、弁装置１を図３８に示すように構成したが、図４０に示すように、二方ポペット弁構造を有する弁装置８１を構成するハウジング３を、第１ハウジング部４１と第２ハウジング部４２とに分割して構成し、流路２を、第１弁座４を境としてステップモータ９に近い第１流路部１５と、その反対側の第２流路部１６とから構成する。そして、第１ハウジング部４１の第１流路部１５に突出させた弁軸８の一端側８ａに第１弁体６を固定し、その後に、弁体６が弁座４に整合するように第１ハウジング部４１と第２ハウジング部４２とを結合することもできる。この場合、第１ハウジング部４１の流路２（第１流路部１５）に突出させた弁軸８の一端側８ａに弁体６を固定した後に、弁体６が弁座４に整合するように第１ハウジング部４１と第２ハウジング部４２とを結合する。従って、ハウジング３の流路２や弁座４に制約されることなく弁軸８上に弁体６を組み付けることが可能となる。このため、二方ポペット弁構造を有する弁装置８１につき、弁体６を一つの弁軸８に自由度を確保しながら固定することができる。図４０は、二方ポペット弁構造を有する弁装置８１の構成を示す概略図であり、ハウジング３と弁座４のみ断面で示す。

（３）前記第２実施形態の弁装置１では、図４１に示すように、一つのハウジング３に設けられる流路２を、二つの弁座４，５それぞれを境としてステップモータ９に近い側とステップモータ９から遠い側に分けて構成し、ハウジング３の第２及び第３の流路部１６，１７に対応して二つの弁体６，７の直径より大きい径を有すると共に第２弁座５を保持可能な組み付け孔３ａを設ける。そして、ハウジング３の第２流路部１６に第１弁座４を設け、その第１弁座４を介して第２流路部１６に突出させた弁軸８の一端側８ａに、組み付け孔３ａを介して二つの弁体６，７を固定し、その後に、組み付け孔３ａに残りの第２弁座５を組み付けた。これに対し、図４２に示すように、一つのハウジング３に設けられる流路２を、二つの弁座４，５それぞれを境としてステップモータ９に近い側とステップモータ９から遠い側に分けて構成し、ハウジング３の全流路部１５～１７に対応して二つの弁体６，７の直径より大きい径を有すると共に第１弁座４を保持可能な組み付け孔３ｂ及び第２弁座５を保持可能な組み付け孔３ａをそれぞれ設ける。そして、ハウジング３の全流路部１５～１７に突出させた弁軸８の一端側８ａに、組み付け孔３ａ，３ｂを介して、第１流路部１５にて第１弁体６を固定し、組み付け孔３ｂに第１弁座４を組み付け、組み付け孔３ａに残りの第２弁座５を組み付け、その後に、第３流路部１７にて第２弁体７を固定することもできる。図４１、図４２は、弁装置１の構成を示す概略図であり、それぞれハウジング３と弁座４，５のみ断面で示す。

（４）前記第２実施形態では、弁装置１を図４１に示すように構成したが、図４３に示すように、二方ポペット弁構造を有する弁装置８２を構成するハウジング３の流路２を、第１弁座４を境としてステップモータ９に近い第１流路部１５と、その反対側の第２流路部１６とから構成し、第１流路部１５にて弁軸８に組み付けられる第１弁体６の直径より大きい径を有すると共に第１弁座４を保持可能な組み付け孔３ａをハウジング３に設ける。そして、ハウジング３の第１流路部１５に突出させた弁軸８の一端側８ａに、組み付け孔３ａ介して第１弁体６を固定し、その後に、組み付け孔３ａに第１弁座４を組み付けることもできる。図４３は、弁装置８２の構成を示す概略図であり、ハウジング３と弁座４のみ断面で示す。

（５）前記各実施形態では、弁軸８に設けられる第１ねじを雄ねじ１０により構成し、ロータ本体２７に設けられる第２ねじを雌ねじ３１により構成したが、第１ねじを雌ねじにより構成し、第２ねじを雌ねじに螺合される雄ねじにより構成することもできる。

（６）前記各実施形態では、複数の弁座及びそれに対応する複数の弁体として、二つの弁座４，５と二つの弁体６，７を設けたが、３つ以上の弁座及びそれに対応する３つ以上の弁体を設けることもできる。

この開示技術は、ポペット弁構造を有し、流体の流れを制御する弁装置に適用することができる。

１ 弁装置
２ 流路
３ ハウジング
３ａ 組み付け孔
３ｂ 組み付け孔
４ 第１弁座
５ 第２弁座
６ 第１弁体
６ａ シール面
７ 第２弁体
７ａ シール面
８ 弁軸
８ａ 一端側
８ｂ 他端側
９ ステップモータ（アクチュエータ）
１０ 雄ねじ(第１ねじ)
１２ 流入口
１３ 第１流出口
１４ 第２流出口
１５ 第１流路部
１５ａ 内壁
１６ 第２流路部
１７ 第３流路部
２３ マグネットロータ
３１ 雌ねじ（第２ねじ）
３２ 弁体スプリング（アクチュエータスプリング）
４１ 第１ハウジング部
４２ 第２ハウジング部
４４ 組み弁体
４６ 流路スプリング
７１ 弁装置
８１ 弁装置
８２ 弁装置

Claims (9)

1. 流体の流路を有するハウジングと、
   前記流路にて同軸上に直列に設けられた複数の弁座と、
   複数の前記弁座それぞれに対して着座可能に設けられた複数の弁体と、
   複数の前記弁体が同軸上に直列に設けられた弁軸と、
   前記弁軸は一端側と他端側を含み、その一端側に複数の前記弁体が固定され、前記他端側に第１ねじが設けられることと、
   前記弁軸をその軸線方向へ往復動させるためのアクチュエータと、
   前記アクチュエータは、前記第１ねじに螺合される第２ねじを有するロータを含むことと、
   前記流路は、それぞれの前記弁座を境として前記アクチュエータに近い側と前記アクチュエータから遠い側に分かれ、前記アクチュエータに近い側又は前記アクチュエータから遠い側にて対応する前記弁体が前記弁座に着座可能に配置されることと
   を備えた弁装置の製造方法において、
   前記ハウジングは、複数の前記弁座のうち前記アクチュエータに最も近い前記弁座の近傍にて、第１ハウジング部と第２ハウジング部とに分割されて構成されており、前記第１ハウジング部及び前記第２ハウジング部は、それぞれ前記流路の一部を含み、
   前記第１ハウジング部及び前記第２ハウジング部の少なくとも一方の前記流路に突出させた前記弁軸の前記一端側に複数の前記弁体を固定する工程と、
   前記弁体の固定後に、複数の前記弁座が同軸上に直列に配置されると共に、複数の前記弁体が対応する前記弁座に整合するように前記第１ハウジング部と前記第２ハウジング部とを結合する工程と
   を備えたことを特徴とする弁装置の製造方法。
2. 流体の流路を有するハウジングと、
   前記流路にて同軸上に直列に設けられた複数の弁座と、
   複数の前記弁座それぞれに対応して着座可能に設けられた複数の弁体と、
   複数の前記弁体が同軸上に直列に設けられた弁軸と、
   前記弁軸は一端側と他端側を含み、その一端側に複数の前記弁体が固定され、前記他端側に第１ねじが設けられることと、
   前記弁軸をその軸線方向へ往復動させるためのアクチュエータと、
   前記アクチュエータは、前記第１ねじに螺合される第２ねじを有するロータを含むことと、
   前記流路は、それぞれの前記弁座を境として前記アクチュエータに近い側と前記アクチュエータから遠い側に分かれ、前記アクチュエータに近い側又は前記アクチュエータから遠い側にて対応する前記弁体が前記弁座に着座可能に配置されることと
   を備えた弁装置の製造方法において、
   前記ハウジングは、前記流路に、少なくとも最も前記アクチュエータに近い位置に組み付けられる前記弁体の直径より大きい径を有すると共に前記弁座を保持可能な組み付け孔を含み、
   前記ハウジングの前記流路に突出させた前記弁軸の前記一端側に、前記組み付け孔を介して少なくとも一つの前記弁体を固定する工程と、
   前記弁体の固定後に、前記組み付け孔に少なくとも一つの前記弁座を組み付ける工程と
   を備えたことを特徴とする弁装置の製造方法。
3. 請求項１又は２に記載の弁装置の製造方法において、
   複数の前記弁体が一体的に組み付けられた組み弁体を更に備え、
   複数の前記弁体を固定する工程では、前記組み弁体を前記弁軸の前記一端側に組み付け、その組み付け後に前記弁軸の前記一端側の端部にて前記組み弁体を前記弁軸に固定する
   ことを特徴とする弁装置の製造方法。
4. 請求項１又は２に記載の弁装置の製造方法において、
   前記弁軸上の複数の前記弁体のうち前記アクチュエータに最も近い前記弁体は、それに対応する前記弁座を境として前記アクチュエータに最も近い側の前記流路又はその反対側の前記流路に配置されており、
   前記弁軸上の複数の前記弁体のうち前記アクチュエータから最も遠い前記弁体は、それに対応する前記弁座を境として前記アクチュエータに近い側の前記流路又はその反対側の前記流路に配置されており、
   前記最も近い前記弁体と、それに対応する前記弁座に隣接する前記アクチュエータに最も近い側の前記流路の内壁との間において、前記弁軸上には、前記最も近い前記弁体をそれに対応する前記弁座へ着座させる方向へ付勢する又は前記最も遠い前記弁体をそれに対応する前記弁座へ着座させる方向へ付勢するために複数の前記弁体を前記弁軸と共に前記アクチュエータから遠ざかる方向へ付勢する流路スプリングが設けられる
   ことを特徴とする弁装置の製造方法。
5. 請求項１又は２に記載の弁装置の製造方法において、
   前記アクチュエータには、複数の前記弁体を前記弁軸と共に前記アクチュエータに近付く方向へ付勢するためのアクチュエータスプリングが更に設けられる
   ことを特徴とする弁装置の製造方法。
6. 請求項３に記載の弁装置の製造方法において、
   前記アクチュエータには、複数の前記弁体を前記弁軸と共に前記アクチュエータに近付く方向へ付勢するためのアクチュエータスプリングが更に設けられる
   ことを特徴とする弁装置の製造方法。
7. 請求項４に記載の弁装置の製造方法において、
   前記アクチュエータには、複数の前記弁体を前記弁軸と共に前記アクチュエータに近付く方向へ付勢するためのアクチュエータスプリングが更に設けられる
   ことを特徴とする弁装置の製造方法。
8. 請求項１又は２に記載の弁装置の製造方法において、
   前記弁装置は、前記ハウジングに、前記流路に連通する一つの流入口と二つの流出口を含む三方弁を構成し、
   複数の前記弁座は、前記アクチュエータに最も近い第１弁座と前記第１弁座の次に前記アクチュエータに近い第２弁座とを含み、
   前記流路は、前記第１弁座を境として前記アクチュエータに最も近い第１流路部と、前記第１弁座と前記第２弁座との間の第２流路部と、前記第２弁座を境として前記アクチュエータから最も遠い第３流路部とを含み、
   二つの前記流出口の一方が前記第１流路部に連通すると共に他方が前記第３流路部に連通し、前記流入口が前記第２流路部に連通し、
   複数の前記弁体は、前記第１弁座に対応する第１弁体と、前記第２弁座に対応する第２弁体を含み、前記第１弁体と前記第２弁体が、前記第２流路部にて前記弁軸上に設けられ、
   前記第１弁体は、円錐形状をなし外周にテーパ状のシール面を有し、前記シール面が前記第１弁座に着座可能に設けられ、
   前記第２弁体は、平板状をなしその周縁部に平坦なシール面を有し、前記シール面が前記第２弁座に着座可能に設けられる
   ことを特徴とする弁装置の製造方法。
9. 流体の流路を有するハウジングと、
   前記流路に設けられた弁座と、
   前記弁座に対して着座可能に設けられた弁体と、
   前記弁体が設けられた弁軸と、
   前記弁軸は一端側と他端側を含み、その一端側に前記弁体が固定され、前記他端側に第１ねじが設けられることと、
   前記弁軸をその軸線方向へ往復動させるためのアクチュエータと、
   前記アクチュエータは、前記第１ねじに螺合される第２ねじを有するロータを含むことと、 前記流路は、前記弁座を境として前記アクチュエータに近い側と前記アクチュエータから遠い側に分かれ、前記アクチュエータに近い側又は前記アクチュエータから遠い側にて前記弁体が前記弁座に着座可能に配置されることと
   を備えた弁装置の製造方法において、
   前記ハウジングは、前記弁座の近傍にて、第１ハウジング部と第２ハウジング部とに分割されて構成されており、
   第１ハウジング部の前記流路に突出させた前記弁軸の前記一端側に前記弁体を固定する工程と、
   前記弁体の固定後に、前記弁体が前記弁座に整合するように前記第１ハウジング部と前記第２ハウジング部とを結合する工程と
   を備えたことを特徴とする弁装置の製造方法。