JP7702787B2 - パッド原反研磨装置 - Google Patents

Description

本発明は、パッド原反を高精度かつ効率的に研磨するこが可能なパッド原反研磨装置に関する。

周知のように、ウェーハ等の基板を研磨する基板研磨装置においては、定盤に貼着した研磨パッドに対して基板を押圧、相対移動させることによって基板を研磨することが広く行われている（例えば、特許文献１参照。）。

このような基板研磨で用いられる研磨パッドは、パッド原反を裁断して製造されており、高い平面度を確保する必要がある。そのため、パッド原反は高精度に研磨することが必要である。

そこで、パッド原反を高精度に研磨する種々の研磨装置が開示されている（例えば、特許文献２参照。）。

特開平９－１５５７２１号公報 特開２０００－１５８３０３号公報

しかしながら、ウェーハ等の基板をより高精度に研磨するために、より高精度なパッド原反を製造することが望まれている。

本発明は、上記事情に鑑み、パッド原反を高精度に研磨することが可能なパッド原反研磨装置を提供することを目的の一つとする。

この発明は、上記課題を解決するため以下の手段を提案している。
（１）本発明のパッド原反研磨装置の一つの態様は、円筒形状に形成され、第１軸線周りに回転可能に支持された送りロールと、円筒形状に形成され、前記第1軸線と平行な第２軸線周りに回転可能に支持されるとともに、前記送りロールと協働してパッド原反を研磨する研磨ロールと、前記送りロールを回転駆動する送りロール駆動部と、前記研磨ロールを回転駆動する研磨ロール駆動部と、パッド原反が搬送されるパッド原反搬送方向における前記研磨ロールの後方側に配置され、パッド原反が前記研磨ロールで研磨される研磨領域からパッド原反搬送方向後方側に向かう引張力をパッド原反に付与する第１の引張力付与手段と、パッド原反搬送方向における前記研磨ロールの前方側に配置され、前記研磨領域から搬送方向前方側に向かう引張力をパッド原反に付与する第２の引張力付与手段と、を備えることを特徴とする。

本発明のパッド原反研磨装置によれば、第1軸線周りに回転可能に支持された送りロールと、第２軸線に支持され送りロールと協働してパッド原反を研磨する研磨ロールと、送りロールを回転駆動する送りロール駆動部と、研磨ロールを回転駆動する研磨ロール駆動部と、を備えているので、送りロールに送られたパッド原反は、パッド原反が送りロール上を移動している間に、研磨領域において、第２軸線周りに回転可能に支持された研磨ロールと送りロールとが協働してパッド原反を研磨する。
具体的には、送りロールと研磨ロールの間に所定の間隙（間隔、ギャップ）を形成して、この間隙（間隔）にパッド原反を通過させることでパッド原反を研磨する。
また、パッド原反研磨装置は、第１の引張力付与手段を備えているので、研磨ロールがパッド原反を研磨している研磨領域からパッド原反搬送方向における後方側に向かって引張力が付与されることで、パッド原反は研磨領域後方側に向かって引張されて、研磨領域においてパッド原反に伸び縮みの差が発生するのを抑制することが可能となり、パッド原反の厚さにばらつきが生じるのが抑制される。
また、パッド原反研磨装置は、第２の引張力付与手段を備えているので、パッド原反にパッド原反搬送方向における前方側に向かう引張力が付与されることになり、研磨されるパッド原反に均等な引張力が付与されるので、パッド原反を均一な厚さに研磨することができる。
その結果、パッド原反を高精度（均一な厚さ）に研磨することができる。
ここで、研磨領域とは、研磨ロールがパッド原反を研磨する領域を概念的に示すために用いている。

（２）上記（１）に記載のパッド原反研磨装置は、前記第１の引張力付与手段は、前記研磨領域からパッド原反搬送方向後方側に向かってパッド原反に生じた引張力を検出する第１の引張力検出手段と、前記第１の引張力検出手段が検出した引張力に基づいて、パッド原反搬送方向後方側に向かってパッド原反に生じる引張力を所定の範囲に調整する第１の引張力調整手段と、を備えていてもよい。

本発明のパッド原反研磨装置によれば、第１の引張力付与手段が、第１の引張力検出手段と、第１の引張力調整手段と、を備えていて、第１の引張力検出手段によって、パッド原反に生じる搬送方向における後方側に向かう引張力を検出し、第１の引張力検出手段が検出した引張力に基づいて、第１の引張力調整手段によって、パッド原反に研磨領域から搬送方向における後方側に向かう引張力が所定の範囲となるように調整するので、送りロールに搬送されるパッド原反に厚さにばらつきが生じるのを抑制して、パッド原反の厚さを安定させることができる。
その結果、パッド原反を安定した厚さで研磨して高品質な研磨パッドを製造することができる。

（３）上記（１）又は（２）に記載のパッド原反研磨装置は、前記第２の引張力付与手段が、前記研磨領域からパッド原反搬送方向における前方側に向かってパッド原反に生じた引張力を検出する第２の引張力検出手段と、前記第２の引張力検出手段が検出した引張力に基づいて、パッド原反搬送方向における前方側に向かってパッド原反に生じる引張力を所定の範囲に調整する第２の引張力調整手段と、を備えていてもよい。

本発明のパッド原反研磨装置によれば、第２の引張力付与手段が、第２の引張力検出手段と、第２の引張力調整手段と、を備えていて、第２の引張力検出手段によって、パッド原反に生じる研磨領域から搬送方向における前方側に向かう引張力を検出し、第２の引張力調整手段は、この引張力に基づいて、パッド原反に生じるパッド原反搬送方向における前方側に向かう引張力が所定の範囲となるように調整するので、送りロールに搬送されたパッド原反に厚さにばらつきが生じるのを抑制して、パッド原反の厚さを安定させることができる。
その結果、パッド原反を安定した厚さで研磨して高品質な研磨パッドを製造することができる。

この発明に係るパッド原反研磨装置によれば、パッド原反を高精度に研磨することができる。

本発明の第１実施形態に係るパッド原反研磨装置のロールレイアウトの概略構成の一例を説明する側面図である。 第１実施形態に係るパッド原反研磨装置のゴムロール（送りロール）の概略構成を説明するパッド原反搬送方向に沿って見た部分断面図である。 第１実施形態に係るパッド原反研磨装置の研磨ロールの概略構成を説明するパッド原反搬送方向に沿って見た図である。 第１実施形態に係る第１の引張力検出手段の概略構成を説明する側面図である。 第１実施形態に係るパッド原反研磨装置の第１の引張力検出手段の概略構成を説明する側面から見た図である。 第１実施形態に係るパッド原反研磨装置の第１の引張力検出手段の概略構成を説明するパッド原反搬送方向に沿って見た図である。 第１実施形態に係るパッド原反研磨装置の第１の引張力調整手段の概略構成を説明するピンチロールがピンチロール受台に載置された状態を側面から見た図である。 第１実施形態に係るパッド原反研磨装置の第１の引張力調整手段の概略構成を説明するピンチロールがピンチロール受台に載置された状態を側面から見た図である。 第１実施形態に係るパッド原反研磨装置の第１の引張力調整手段の作用を説明する側面から見た図である。 第１実施形態に係る第２の引張力検出手段の概略構成を説明する側面図である。 第１実施形態に係るパッド原反研磨装置の第２の引張力検出手段の概略構成を説明する側面から見た図である。

＜第１実施形態＞
以下、図１～図８を参照して、本発明の第１実施形態について説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係るパッド原反研磨装置のロールレイアウトの概略構成を説明する側面図である。

図において、符号１００はパッド原反研磨装置を、符号１１０はパッド原反繰り出し機（パッド原反繰り出し部）を、符号１２０はパッド原反研磨装置本体を、符号１２２はゴムロール（送りロール）を、符号１２５は研磨ロールを、符号１５０は第１の引張力付与手段を、符号１６０は第２の引張力付与手段を、符号Ｓはパッド原反を示している。

パッド原反研磨装置１００は、図１に示すように、例えば、パッド原反繰り出し機（パッド原反繰り出し部）１１０と、パッド原反研磨装置本体１２０と、第１の引張力付与手段１５０と、第２の引張力付与手段１６０と、制御部（不図示）と、を備えている。

また、パッド原反Ｓは、例えば、パッド原反繰り出し機（パッド原反繰り出し部）１１０、第１の引張力付与手段１５０、パッド原反研磨装置本体１２０、第２の引張力付与手段１６０の順に搬送されるようになっている。

パッド原反研磨装置本体１２０は、図１、図２に示すように、例えば、ゴムロール（送りロール）１２２と、研磨ロール１２５と、ゴムロール（送りロール）１２２を回転駆動するゴムロール駆動モータ１２２Ｍと、研磨ロール１２５を回転駆動する研磨ロール駆動モータ（研磨ロール駆動部）１２５Ｍと、温調用流体供給部（不図示）と、ブラシユニット１３０と、ロール間隔調整機構（不図示）と、を備えている。

第１の引張力付与手段１５０は、この実施形態において、パッド原反繰り出し機１１０に配置されている。具体的には、パッド原反繰り出し機（パッド原反繰り出し部）１１０とパッド原反研磨装置本体１２０の間に配置されている。
そして、第１の引張力付与手段１５０は、研磨前のパッド原反Ｓに、研磨領域から原反搬送方向後方側に向かう引張力を付与するように構成されている。

第２の引張力付与手段１６０は、この実施形態において、パッド原反搬送方向におけるパッド原反研磨装置本体１２０の前方側に配置されている。
そして、第２の引張力付与手段１６０は、研磨された後のパッド原反Ｓにパッド原反搬送方向前方側に向かう引張力を付与するように構成されている。
なお、第１の引張力付与手段１５０、第２の引張力付与手段１６０の詳細については後述する。

パッド原反繰り出し機（パッド原反繰り出し部）１１０は、図１に示すように、例えば、パッド原反Ｓが巻回されたる原反ロール１１１と、原反ロール１１１を支持する原反ロール支持台（不図示）と、原反ロール１１１からパッド原反Ｓを引き剥がす引き剥がしロール１１４と、ダンシングロール１１６と、搬送ロール１１７を備えている。

そして、パッド原反繰り出し機１１０は、引き剥がしロール１１４によって原反ロール１１１から引き剥がしたパッド原反Ｓを、ダンシングロール１１６、搬送ロール１１７を介してパッド原反研磨装置本体１２０に送るように構成されている。

原反ロール１１１は、原反ロール軸１１１Jにパッド原反Ｓが巻回され、円筒形状に形成されている。
そして、パッド原反Ｓは、原反ロール１１１の外周面の上部から引き出されるようになっている。

引き剥がしロール１１４は、例えば、図１に示すように、駆動ロール１１４Ａと、駆動ロール１１４Ａと対向配置されるとともに自重でグリップ力を付与するピンチロール１１４Ｂとを備えている。
そして、駆動ロール１１４Ａとピンチロール１１４Ｂによってパッド原反Ｓを挟んで、駆動ロール１１４Ａが回転することにより、原反ロール１１１からパッド原反Ｓを引き出すようになっている。
搬送ロール１１７は、例えば、モータ（不図示）により回転駆動される駆動ロールにより構成されている。
そして、搬送ロール１１７が回転駆動されることによってパッド原反Ｓをパッド原反研磨装置本体１２０に向かって送り出す構成とされている。

ダンシングロール１１６は、図１に示すように、引き剥がしロール１１４と搬送ロール１１７の間に配置されていて、矢印Ｆで示すように上下方向に移動可能とされている。
そして、ダンシングロール１１６は、上下方向に移動することにより、引き剥がしロール１１４と搬送ロール１１７の間において、パッド原反Ｓの長さに変化が生じた場合に、パッド原反Ｓにたわみが生じるのを抑制する。

ゴムロール（送りロール）１２２は、円筒形状に形成され、第1軸線Ｏ１の周りに回転可能に研磨装置本体フレーム１２１に支持されている。
研磨ロール１２５は、円筒形状に形成され、第２軸線Ｏ２の周りに回転可能に研磨装置本体フレーム１２１に支持されている。

研磨装置本体フレーム１２１は、例えば、側面視略矩形に形成され床面から上方に向かって立設された左右で一対のフレーム本体１２１Ｌ、１２１Ｒを備えている。
左右のフレーム本体１２１Ｌ、フレーム本体１２１Ｒには、ゴムロール（送りロール）１２２の左右端を支持する軸受けブロック１２２Ｊと、研磨ロール１２５の左右端を支持する軸受けブロック１２５Ｊが設けられている。

また、第1軸線Ｏ１と第２軸線Ｏ２は平行に配置されており、ゴムロール（送りロール）１２２と研磨ロール１２５とは、ロール間隔調整機構（不図示）により、第１軸線Ｏ１と第２軸線Ｏ２の軸間距整を調整することが可能とされている。

次に、図２を参照して、ゴムロール（送りロール）１２２について説明する。図２は、第１実施形態に係るゴムロール１２２の概略構成の一例を説明するパッド原反搬送方向に沿って見た部分断面図である。

ゴムロール（送りロール）１２２は、図２に示すように、例えば、第１軸線Ｏ１を中心とする円筒形状に形成された金属製のロール本体１２２Ａと、ロール本体１２２Ａの外周面に形成されたゴムライニング１２２Ｂと、ロール本体１２２Ａの左右両端に形成された回転軸１２２Ｐとを備えている。

また、ゴムロール（送りロール）１２２は、図２に示すように、左右の回転軸１２２Ｐが軸受けブロック１２２Ｊに回転可能に支持されるとともに、伝達部材（例えば、タイミングベルト）１２２Ｖを介してゴムロール駆動モータ（送りロール駆動部）１２２Ｍに接続されている。
そして、ゴムロール１２２は、ゴムロール駆動モータ１２２Ｍによって回転駆動されるようになっている。

また、ゴムロール（送りロール）１２２は、パッド原反繰り出し機（パッド原反繰り出し部）１１０から送られてきたパッド原反Ｓをパッド原反搬送方向前方側に搬送するように構成されている。
具体的には、ゴムライニング１２２Ｂの外周面がパッド原反Ｓに密着することによりパッド原反Ｓをグリップして搬送し、研磨される間パッド原反Ｓを保持するとともに研磨されたパッド原反Ｓを送り出すようになっている。

次に、図３を参照して、研磨ロール１２５について説明する。図３は、第１実施形態に係る研磨ロールの概略構成の一例を説明するパッド原反搬送方向に沿って見た部分断面図である。
研磨ロール１２５は、図３に示すように、例えば、第２軸線Ｏ２を中心とする円筒形状に形成されたロール胴部１２６と、ロール胴部１２６の内部を通過してロール胴部１２６の左側（第１端側）Ｌ及び右側（第２端側）Ｒに向かって延在する回転軸１２７と、ロール胴部１２６の左側Ｌの端部に配置される端部材１２８Ｌと、ロール胴部１２６の右側（第２端側）Ｒの端部に配置される端部材１２８Ｒと、スクリュー状部材１２９と、を備えている。
また、胴部１２６の表面には、例えば、サンドペーパー（不図示）が装着（例えば、貼着）可能とされている。

回転軸１２７は、端部材１２８Ｌ及び端部材１２８Ｒを貫通してロール胴部１２６の左右に延在している。
また、回転軸１２７は、ロール胴部１２６内において、両端部分よりも大径に形成された回転軸本体１２７Ａを有している。
スクリュー状部材１２９は、らせん状に形成され回転軸本体１２７Ａの外周面に沿って配置されている。

研磨ロール１２５の内部には、図３に示すように、スクリュー状部材１２９に沿って、らせん状の温調用流体通路１２５Ｐが形成されている。具体的には、温調用流体通路１２５Ｐは、研磨ロール１２５内におけるロール胴部１２６と回転軸本体１２７Ａの間に第２軸線Ｏ２周りに旋回するらせん状に形成されている。

また、研磨ロール１２５は、回転軸１２７が軸受けブロック１２５Ｊに回転可能に支持されるとともに、伝達部材（例えば、Ｖベルト）１２５Ｖを介して研磨ロール駆動モータ（研磨ロール駆動部）１２５Ｍに接続されている。
そして、研磨ロール１２５は、研磨ロール駆動モータ（研磨ロール駆動部）１２５Ｍによって回転駆動される。

また、回転軸１２７は、図３に示すように、第２軸線Ｏ２方向における端部材１２８Ｌ及び端部材１２８Ｒの間に、それぞれ温調用流体流入孔１２７Ｄ及び温調用流体流出孔１２７Ｅが形成されている。

そして、温調用流体流入孔１２７Ｄから流入した温調用流体は、温調用流体通路１２５Ｐを流通して、温調用流体流出孔１２７Ｅから流出するようになっており、温調用流体が温調用流体通路１２５Ｐを流通する間にロール胴部１２６と熱交換して、ロール胴部１２６の外周面を温度調節する。
そして、温調用流体流出孔１２７Ｅから流出された温調用流体は系外に排出されるようになっている。
なお、温調用流体供給手段としては、温調用流体は系外に排出する形式に限定されず、例えば、温調用流体を還流させる形式等、周知の種々の温調用流体供給ユニット（不図示）を用いることが可能である。

このように、温調用流体供給部（不図示）から温調用流体通路１２５Ｐに温調用流体（例えば、冷却水）を流通させることで、パッド原反Ｓを研磨する際に研磨ロール１２５で発生する熱を下げて所定の範囲に調整可能とされている。

ゴムロール（送りロール）１２２と研磨ロール１２５は、例えば、上述のように、ロール間隔調整機構（不図示）により、軸間距離を調整可能とされている。

ブラシユニット１３０は、図１に示すように、例えば、ゴムロール用ブラシ１３１と、パッド原反用ブラシ１３５と、駆動モータ１３０Ｍと、駆動モータ１３０Ｍの回転をゴムロール用ブラシ１３１、パッド原反用ブラシ１３５に伝達するタイミングベルト（伝達部材）１３０Ｖ、１３５Ｖとを備えている。

ゴムロール用ブラシ１３１は、例えば、第１軸線Ｏ１と平行に配置された軸線に沿って伸び、外周面にシート状部材が巻回され、このシート状部材に多数の毛が植毛された軸部材とされている。
そして、ゴムロール用ブラシ１３１は、回転することで多数の毛が放射状に延在する構成とされている。
なお、ゴムロール用ブラシ１３１に用いる毛としては、除塵及びゴムロール１２２に対するダメージを抑制するうえで腰が弱くて柔らかい毛を用いることが好適である。具体的には、例えば、柔らかいヤギ（山羊）の毛を用いることがより好適である。

パッド原反用ブラシ１３５は、例えば、第１軸線Ｏ１及びゴムロール用ブラシ１３１の軸線と平行に配置された軸線に沿って伸び、外周面に巻回されるシート状部材に多数の毛が植毛された軸部材とされている。
そして、パッド原反用ブラシ１３５は、回転することで多数の毛が放射状に延在する構成とされている。
なお、パッド原反用ブラシ１３５に用いる毛としては、例えば、馬の毛を用いることが除塵及び除電のうえで好適である。

駆動モータ１３０Ｍは、例えば、Ｖベルト等の伝動手段１３０Ｖ、１３５Ｖによりゴムロール用ブラシ１３１及びパッド原反用ブラシ１３５と接続されている。そして、ゴムロール用ブラシ１３１及びパッド原反用ブラシ１３５を回転駆動するように構成されている。

次に、図１、図４、図５Ａ～図６Ｂを参照して、第１の引張力付与手段１５０について説明する。図において、符号１５１は第１の引張力検出手段を、符号１５５は第１の引張力調整手段を示している。
第１の引張力付与手段１５０は、この実施形態において、図１、図４に示すように、例えば、パッド原反Ｓの引張力を検出する第１の引張力検出手段１５１と、パッド原反Ｓの引張力を調整する第１の引張力調整手段１５５と、を備えている。

第１の引張力検出手段１５１は、図４、図５Ａに示すように、例えば、第１ガイドロール１５２Ａと、第２ガイドロール１５２Ｂと、第３ガイドロール１５２Ｃと、これら第１～第３ガイドロール１５２Ａ、１５２Ｂ、１５２Ｃを回転可能に支持する軸受ユニット１５３と、第２ガイドロール１５２Ｂを支持する軸受ユニット１５３の下方に配置されたロードセル１５４と、を備えている。

また、第１ガイドロール１５２Ａ、第２ガイドロール１５２Ｂ、第３ガイドロール１５２Ｃは、パッド原反Ｓの搬送方向に沿ってこの順に配置されている。
また、図５Ｂに示すように、第１～第３ガイドロール１５２Ａ、１５２Ｂ、１５２Ｃは、パッド原反Ｓよりも幅広に形成されている。なお、図５Ｂにおいて、第１～第３ガイドロール１５２Ａ、１５２Ｂ、１５２Ｃとパッド原反Ｓとの隙間は強調して図示している。

そして、例えば、第１ガイドロール１５２Ａは、第２ガイドロール１５２Ｂとは反対側に位置される横方向の外周面でパッド原反Ｓと接し、第２ガイドロール１５２Ｂは上側の外周面でパッド原反Ｓと接し、第３ガイドロール１５２Ｃは下側の外周面でパッド原反Ｓと接するようになっている。

その結果、第２ガイドロール１５２Ｂは、パッド原反Ｓにより上方から下方に押圧される。そして、パッド原反Ｓが第２ガイドロール１５２Ｂを押圧することにより付加された荷重は、軸受けユニット１５３を介してロードセル１５４に付加される。
そして、ロードセル１５４に付加された荷重によって発生した荷重計測信号は、制御部（不図示）に送られる。そして、制御部（不図示）において、パッド原反Ｓの搬送方向に沿って作用する引張力が算出される。

なお、パッド原反Ｓが第２ガイドロール１５２Ｂに付加する荷重の方向（ベクトル）が、ロードセル１５４の荷重受面の法線に対して傾いている場合には、制御部（不図示）において、パッド原反Ｓの引張力が補正されるように構成されている。

第１の引張力調整手段１５５は、図６、図７Ａ、図７Ｂに示すように、例えば、搬送ロール（駆動ロール）１１７と、搬送ロール１１７と対向配置されるとともに自重でグリップ力を付与するピンチロール１５６と、ピンチロール１５６を仮置きすることが可能とされたピンチロール受台１５７と、を備えている。

ピンチロール１５６は、例えば、搬送ロール１１７との間にパッド原反Ｓを通して、パッド原反Ｓをパッド原反研磨装置１００にセットする場合は、図７Ａに示すように、ピンチロール１５６をピンチロール受台１５７の円弧状凹部に仮置きして、ピンチロール１５６を搬送ロール１１７から離間して、ピンチロール１５６と搬送ロール１１７の間に間隙を形成する。

また、搬送ロール１１７とピンチロール１５６の間にパッド原反Ｓを通し終わったら、図７Ｂに示すように、ピンチロール受台１５７からピンチロール１５６を搬送ロール１１７に向かって移動させて、ピンチロール１５６と搬送ロール１１７によりパッド原反Ｓを挟むようにする。
そして、ピンチロール１５６は、自重によって搬送ロール１１７と協働してパッド原反Ｓにグリップ力を付与する。

その結果、パッド原反Ｓの送り速度が変化すると、パッド原反Ｓに生じる搬送方向後方側に向かう引張力が所定の範囲内に調整される。
また、第１の引張力調整手段１５５によってパッド原反Ｓの送り速度が変化して生じる搬送ロール（駆動ロール）１１７よりも搬送方向後方側で生じるパッド原反Ｓの長さの変化は、ダンシングロール１１６が上下方向に移動することにより吸収され、パッド原反Ｓにたわみが生じるのが抑制される。

次に、図１、図８、図９を参照して、第２の引張力付与手段１６０について説明する。図において、符号１６１は第２の引張力検出手段を、符号１６５は第２の引張力調整手段を示している。
第２の引張力付与手段１６０は、この実施形態において、図１、図８に示すように、例えば、パッド原反Ｓの引張力を検出する第２の引張力検出手段１６１と、パッド原反Ｓの引張力を調整する第２の引張力調整手段１６５と、を備えている。

第２の引張力検出手段１６１は、図９に示すように、例えば、第１ガイドロール１６２Ａと、第２ガイドロール１６２Ｂと、第３ガイドロール１６２Ｃと、これら第１～第３ガイドロール１６２Ａ、１６２Ｂ、１６２Ｃを回転可能に支持する軸受ユニット１６３と、第２ガイドロール１６２Ｂを支持している軸受ユニット１６３の下方に配置されたロードセル１６４と、を備えている。

また、第１ガイドロール１６２Ａ、第２ガイドロール１６２Ｂ、第３ガイドロール１６２Ｃは、パッド原反Ｓの搬送方向に沿ってこの順に配置されている。
また、第１～第３ガイドロール１６２Ａ、１６２Ｂ、１６２Ｃは、パッド原反Ｓよりも幅広に形成されている。

そして、例えば、第１ガイドロール１６２Ａは外周面の下側でパッド原反Ｓと接し、第２ガイドロール１６２Ｂは外周面の上側でパッド原反Ｓと接し、第３ガイドロール１６２Ｃは外周面の下側でパッド原反Ｓと接するようになっている。

その結果、第２ガイドロール１６２Ｂは、パッド原反Ｓにより上方から下方に押圧される。また、パッド原反Ｓが第２ガイドロール１６２Ｂを押圧することにより付加された荷重は、軸受けユニット１６３を介してロードセル１６４に付加される。
そして、ロードセル１６４に付加された荷重によって発生した荷重計測信号は、制御部（不図示）に送られる。そして、制御部（不図示）において、パッド原反Ｓの搬送方向に沿って作用する引張力が算出される。

なお、パッド原反Ｓが第２ガイドロール１６２Ｂに付加する荷重の方向（ベクトル）が、ロードセル１６４の荷重受面の法線に対して傾いている場合には、第１の引張力検出手段１５１の場合と同様にパッド原反Ｓの引張力が補正されるように構成されている。

第２の引張力調整手段１６５は、図１、図８に示すように、例えば、搬送ロール（駆動ロール）１６６と、搬送ロール１６６と対向配置されるとともに自重でグリップ力を付与するピンチロール１６７と、搬送ロール１６６に対するピンチロール１６７の位置を設定するピンチロールレバー（不図示）と、を備えて構成されている。

そして、第１の引張力調整手段１５５の場合と同様に、例えば、ピンチロールレバー（不図示）が姿勢を変化させて、ピンチロール１６６が搬送ロール１１７に接触した場合に、ピンチロール１６７と搬送ロール１６６が協働してパッド原反Ｓを挟むように構成されている。

その結果、パッド原反Ｓの送り速度が変化するとともに、パッド原反Ｓに生じる搬送方向後方側に向かう引張力が所定の範囲内に調整される。

制御部（不図示）は、例えば、パッド原反繰り出し機（パッド原反繰り出し部）１１０、パッド原反研磨装置本体１２０、ブラシユニット１３０、第１の引張力付与手段１５０、第２の引張力付与手段１６０と、電気的に接続されている。そして、制御部（不図示）は、これらを同期して制御する。

まず、制御部（不図示）は、原反繰り出し機（原反繰り出し部）１１０において、原反ロール１１１からパッド原反Ｓを繰り出して、パッド原反研磨装置本体１２０に搬送させる。
制御部（不図示）は、このとき、ダンシングロール１１６の高さに応じて、パッド原反Ｓの繰り出し量を調整する。具体的には、ダンシングロール１１６が設定された位置よりも高い場合には、引き剥がしロール１１４の回転数を増加させ、ダンシングロール１１６が設定位置よりも低い場合には、引き剥がしロール１１４の回転数を減少させる。

そして、原反繰り出し機（原反繰り出し部）１１０から繰り出されたパッド原反Ｓが、ゴムロール（送りロール）１２２により搬送されている間に、研磨ロール１２５によってパッド原反Ｓを研磨する。

具体的には、制御部（不図示）は、ゴムロール１２２に対して所定の間隔で配置された研磨ロール１２５を回転させることにより、ゴムロール１２２で搬送されているパッド原反Ｓの表面を均一に研磨する。
このとき、研磨ロール１２５がパッド原反Ｓの表面と接触する部分は、パッド原反Ｓが研磨される研磨領域とされる。

また、制御部（不図示）は、ブラシユニット１３０を回転駆動させてゴムロール１２２及び研磨されたパッド原反Ｓを除塵する。
研磨されたパッド原反Ｓは、例えば、集塵装置（不図示）を介して、パッド原反巻き取り機（不図示）に送られる。
また、制御部（不図示）は、集塵装置によりパッド原反Ｓがたわまないように調整するとともに、パッド原反巻き取り機により送られてきたパッド原反Ｓを巻き取りロール（不図示）に巻き取らせる。

また、制御部（不図示）は、第１の引張力付与手段１５０によって、パッド原反研磨装置本体１２０に送られたパッド原反Ｓに対して、搬送方向後方側に向かって、設定された所定範囲内の引張力を付与する。

具体的には、制御部（不図示）は、第１の引張力検出手段１５１から送られてきた荷重計測信号（ロードセル１５４が計測した荷重）に基づいて、パッド原反Ｓの搬送方向に沿って作用する引張力を算出する。

なお、パッド原反Ｓが第２ガイドロール１５２Ｂに付加する荷重の方向（ベクトル）が、ロードセル１５４の荷重受面の法線に対して傾いている場合には、荷重の方向と荷重受面の法線との傾き（交差角度）を明らかにして、パッド原反Ｓに生じる引張力を算出する際にこの傾きによる影響を補正する。

そして、制御部（不図示）は、第１の引張力検出手段１５１が計測したパッド原反Ｓの引張力に基づいて、パッド原反搬送方向後方側において、パッド原反Ｓに生じる引張力が所定範囲内となるように、搬送ロール（駆動ロール）１１７の回転数を調整する。
具体的には、例えば、引張力が低い場合には、搬送ロール（駆動ロール）１１７の回転数を減少させ、引張力が高い場合には、搬送ロール（駆動ロール）１１７の回転数を増加させる。
なお、搬送ロール（駆動ロール）１１７の回転数の調整では、例えば、ＰＩＤ制御によって算出する。

また、制御部（不図示）は、第２の引張力付与手段１６０によって、パッド原反研磨装置本体１２０で研磨されたパッド原反Ｓに対して、搬送方向前方側に向かって、設定された所定範囲内の引張力を付与する。

具体的には、制御部（不図示）は、第２の引張力検出手段１６１から送られてきた荷重計測信号（ロードセル１６４が計測した荷重）に基づいて、パッド原反Ｓの搬送方向に沿って作用する引張力を算出する。
このとき、第１の引張力検出手段１５１の場合と同様に、パッド原反Ｓに生じる引張力を補正する。

そして、制御部（不図示）は、第２の引張力検出手段１６１が計測したパッド原反Ｓの引張力に基づいて、パッド原反搬送方向前方側において、パッド原反Ｓに生じる引張力が所定範囲内となるように、搬送ロール（駆動ロール）１６６の回転数を増減して調整する。
具体的には、例えば、引張力が低い場合には、搬送ロール（駆動ロール）１６６の回転数を増加させ、引張力が高い場合には、搬送ロール（駆動ロール）１６６の回転数を減少させる。
なお、搬送ロール（駆動ロール）１６６の回転数の調整では、例えば、ＰＩＤ制御によって算出する。

第１実施形態に係るパッド原反研磨装置１００によれば、第１の引張力検出手段１５１によりパッド原反に生じる引張力を検出し、第１の引張力検出手段１５１が検出した引張力に基づいて、第１の引張力調整手段１５５がパッド原反Ｓに研磨領域からパッド原反Ｓの搬送方向後方側に向かう引張力を所定の範囲となるように調整するので、研磨領域においてパッド原反Ｓに伸び縮みの差が発生するのを抑制され、パッド原反Ｓの厚さにばらつきが生じるのが抑制される。
また、第２の引張力検出手段１６１によりパッド原反搬送方向前方側においてパッド原反に生じる引張力を検出し、パッド原反Ｓにパッド原反搬送方向前方側に向かう引張力が付与されて、研磨前後のパッド原反Ｓに均等な引張力が付与されるので、パッド原反Ｓを均一に研磨することができる。
具体的には、第２の引張力付与手段１６０が、パッド原反Ｓに生じるパッド原反搬送方向前方側に向かう引張力を所定の範囲となるように調整するので、研磨されたパッド原反Ｓに厚さにばらつきが生じるのが抑制されて、パッド原反Ｓの厚さを安定させることができる。
その結果、パッド原反Ｓを安定した厚さで研磨して高品質な研磨パッドを製造することができる。
また、例えば、パッド原反を交換したとき等に、短時間で効率的に安定した厚さに調整することができる。

なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変更をすることが可能である。すなわち、パッド原反研磨装置の構成については、本発明の目的の範囲内で任意に設定することができる。

例えば、上記実施の形態においては、第１の引張力付与手段１５０が第１の引張力検出手段１５１と第１の引張力調整手段１５５とを備え、第２の引張力付与手段１６０が第２の引張力検出手段１６１と第２の引張力調整手段１６５５とを備えている場合について説明したが、第１の引張力付与手段１５０、第２の引張力付与手段１６０の構成については任意に設定することが可能であり、例えば、第１の引張力検出手段１５１、第２の引張力検出手段１６１を備えることなく、パッド原反搬送方向における後方側、前方側の引張力を付加するように構成してもよい。
また、第１の引張力付与手段１５０、第２の引張力付与手段１６０を配置する位置については任意に設定してもよい。

また、上記実施の形態においては、第１の引張力付与手段１５０における第１の引張力検出手段１５１が、パッド原反Ｓを送る第１～第３ガイドロール１５２Ａ、１５２Ｂ、１５２Ｃと、軸受ユニット１５３と、ロードセル１５４とを備え、ロードセル１５４に付加された荷重を検出することにより引張力を測定する場合について説明したが、他の測定方法によって引張力を測定してもよい。
また、第２の引張力付与手段１６０における第２の引張力検出手段１６１についても同様である。

また、上記実施の形態においては、第１の引張力付与手段１５０における第１の引張力調整手段１５５が、ピンチロール１５６と搬送ロール（駆動ロール）１１７が協働してパッド原反Ｓを挟んでパッド原反Ｓの搬送速度を変化させることにより、バフ原反Ｓに作用する引張力を調整する場合について説明したが、他の手段によってバフ原反Ｓに生じる引張力を調整してもよい。
また、第２の引張力付与手段１６０における第２の引張力調整手段１６５についても同様である。

また、上記実施の形態においては、研磨ロール１２５に形成した温調用流体通路（不図示）に温調用流体を流通させたり、ヒーター等（不図示）を用いて研磨ロール１２５を温度調整可能とする構成としてもよい。

また、上記実施形態においては、送りロールが外周面にゴムライニングが形成されたゴムロール１２２とされている場合について説明したが、送りロールを他の構成としてもよい。

また、上記実施の形態においては、研磨ロール１２５が、外周面にサンドペーパ（シート状研磨材）が装着されて構成されている場合について説明したが、例えば、ロールの外周面にダイヤモンド砥粒や他の砥粒が電着等の手段で直接的に形成された構成とされてもよい。

この発明に係るパッド原反研磨装置によれば、パッド原反を高精度に研磨することができるので産業上利用可能である。

Ｏ１ 第１軸線（送りロール）
Ｏ２ 第２軸線（研磨ロール）
Ｓ パッド原反
１００ パッド原反研磨装置
１１０ 原反繰り出し機（原反繰り出し部）
１１１ 原反ロール
１２０ パッド原反研磨装置本体
１２２Ｍ ゴムロール駆動モータ（送りロール駆動部）
１２５ 研磨ロール
１２５Ｍ 研磨ロール駆動モータ（研磨ロール駆動部）
１３０ ブラシユニット
１５０ 第１の引張力付与手段
１５１ 第１の引張力検出手段
１５５ 第１の引張力調整手段
１６０ 第２の引張力付与手段
１６１ 第２の引張力検出手段
１６５ 第２の引張力調整手段

Claims (1)

1. 円筒形状に形成され、第１軸線周りに回転可能に支持された送りロールと、
   円筒形状に形成され、前記第１軸線と平行な第２軸線周りに回転可能に支持されるとともに、前記送りロールと協働して、研磨パッドの原反であるパッド原反を研磨する研磨ロールと、
   前記送りロールを回転駆動する送りロール駆動部と、
   前記研磨ロールを回転駆動する研磨ロール駆動部と、
   パッド原反が搬送されるパッド原反搬送方向における前記研磨ロールの後方側に配置され、パッド原反が前記研磨ロールで研磨される研磨領域からパッド原反搬送方向後方側に向かう引張力をパッド原反に付与する第１の引張力付与手段と、
   パッド原反搬送方向における前記研磨ロールの前方側に配置され、前記研磨領域から搬送方向前方側に向かう引張力をパッド原反に付与する第２の引張力付与手段と、
   を備え、
   前記第１の引張力付与手段は、
   前記研磨領域からパッド原反搬送方向後方側に向かってパッド原反に生じた引張力を検出する第１の引張力検出手段と、
   前記第１の引張力検出手段が検出した引張力に基づいて、パッド原反搬送方向後方側に向かってパッド原反に生じる引張力を調整する第１の引張力調整手段と、を備え、
   前記第２の引張力付与手段は、
   前記研磨領域からパッド原反搬送方向前方側に向かってパッド原反に生じた引張力を検出する第２の引張力検出手段と、
   前記第２の引張力検出手段が検出した引張力に基づいて、パッド原反搬送方向前方側に向かってパッド原反に生じる引張力を調整する第２の引張力調整手段と、を備えることを特徴とするパッド原反研磨装置。

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