CN215470438U - 衬垫原料研磨装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种能够高精度地研磨衬垫原料的衬垫原料研磨装置。一种衬垫原料研磨装置(100)，具备：衬垫原料送出部(110)，用于送出衬垫原料(S)；橡胶辊(122)，形成为圆筒形状且绕第一轴线(O1)旋转；研磨辊(125)，绕第二轴线(O2)旋转并通过与所述橡胶辊(122)协作来研磨衬垫原料(S)；衬垫原料卷取机(180)，用于卷取研磨后的衬垫原料(S)；和第一拉力施加机构(150)，配置在衬垫原料运送方向上的所述研磨辊(125)的后方侧，并且对衬垫原料(S)施加从衬垫原料(S)被所述研磨辊(125)研磨的研磨区域朝向衬垫原料运送方向后方侧的拉力。

Description

衬垫原料研磨装置

技术领域

本实用新型涉及一种能够高精度而高效地研磨衬垫原料的衬垫原料研磨装置。

背景技术

众所周知，在对晶片等基板进行研磨的基板研磨装置中，广泛执行通过对贴合在平板上的研磨衬垫按压基板并使之相对移动来研磨基板的方法(例如，参照专利文献 1)。

在这种基板研磨中使用的研磨衬垫是通过裁剪衬垫原料而制造的，需要确保较高的平面度。因此，需要高精度地研磨衬垫原料。

因此，公开了高精度地研磨衬垫原料的各种研磨装置(例如，参照专利文献2)。

专利文献1：日本专利公开平9-155721号公报

专利文献2：日本专利公开2000-158303号公报

然而，为了进一步高精度地研磨晶片等基板，期待制造更高精度的衬垫原料。

实用新型内容

本实用新型是鉴于上述情况而提出的，其目的之一是提供一种能够高精度地研磨衬垫原料的衬垫原料研磨装置。

本实用新型为了解决上述问题而提出了以下方案。

关于本实用新型的衬垫原料研磨装置的一方式，具备：进给辊，形成为圆筒形状，并且以能够绕第一轴线旋转的方式被支撑；研磨辊，形成为圆筒形状，所述研磨辊以能够绕与所述第一轴线平行的第二轴线旋转的方式被支撑，并且通过与所述进给辊协作来研磨衬垫原料；进给辊驱动部，用于旋转驱动所述进给辊；研磨辊驱动部，用于旋转驱动所述研磨辊；和第一拉力施加机构，配置在运送衬垫原料的衬垫原料运送方向上的所述研磨辊的后方侧，并且对衬垫原料施加从衬垫原料被所述研磨辊研磨的研磨区域朝向衬垫原料运送方向后方侧的拉力。

根据本实用新型的衬垫原料研磨装置，由于具备形成为圆筒形状且以能够绕第一轴线旋转的方式被支撑的进给辊、形成为圆筒形状且以能够绕第二轴线旋转的方式被支撑的研磨辊、用于旋转驱动进给辊的进给辊驱动部、用于旋转驱动研磨辊的研磨辊驱动部和第一拉力施加机构，因此例如对于从衬垫原料送出部(原料辊)送出并被送到进给辊的衬垫原料来说，当衬垫原料在进给辊上移动的期间，在研磨区域中，绕第二轴线旋转的研磨辊与进给辊协作来研磨衬垫原料。

具体而言，在进给辊与研磨辊之间形成规定的间隙(间隔；Gap)，通过使衬垫原料经过该间隙(间隔)来研磨衬垫原料。

此时，通过第一拉力施加机构从由研磨辊研磨衬垫原料的研磨区域朝向衬垫原料运送方向上的后方侧对衬垫原料施加拉力，从而朝向研磨区域后方侧拉伸衬垫原料，在研磨区域中能够抑制衬垫原料产生伸缩差，从而抑制衬垫原料厚度产生偏差。

其结果，能够稳定且以高精度(均匀的厚度)研磨衬垫原料。

在此，研磨区域是为了概念性地表示由研磨辊研磨衬垫原料的区域而使用的。

另外，在本实用新型的衬垫原料研磨装置中，所述第一拉力施加机构也可以具备：第一拉力检测机构，用于检测从所述研磨区域朝向衬垫原料运送方向后方侧对衬垫原料产生的拉力；和第一拉力调整机构，基于由所述第一拉力检测机构检测出的拉力，将朝向衬垫原料运送方向后方侧对衬垫原料产生的拉力调整为规定的范围。

根据本实用新型的衬垫原料研磨装置，由于第一拉力施加机构具备第一拉力检测机构和第一拉力调整机构，通过第一拉力检测机构，检测衬垫原料中产生的朝向运送方向上的后方侧的拉力，并且基于由第一拉力检测机构检测出的拉力，通过第一拉力调整机构，以将衬垫原料中产生的从研磨区域朝向运送方向上的后方侧的拉力设为规定的范围的方式进行调整，因此能够抑制运送到进给辊的衬垫原料的厚度产生偏差，能够使衬垫原料的厚度稳定。

其结果，能够以稳定的厚度研磨衬垫原料并制造高质量的研磨衬垫。

另外，本实用新型的衬垫原料研磨装置也可以具备：第二拉力施加机构，配置在衬垫原料运送方向上的所述研磨辊的前方侧，并且对衬垫原料施加从所述研磨区域朝向衬垫原料运送方向前方侧的拉力。

根据本实用新型的衬垫原料研磨装置，由于具备第二拉力施加机构，对衬垫原料施加朝向衬垫原料运送方向上的前方侧的拉力，并且对待研磨的衬垫原料施加均等的拉力，因此能够将衬垫原料研磨成均匀的厚度。

其结果，能够进一步高精度且稳定地研磨衬垫原料。

另外，在本实用新型的衬垫原料研磨装置中，所述第二拉力施加机构也可以具备：第二拉力检测机构，用于检测从所述研磨区域朝向衬垫原料运送方向前方侧对衬垫原料产生的拉力；和第二拉力调整机构，基于由所述第二拉力检测机构检测出的拉力，将朝向衬垫原料运送方向前方侧对衬垫原料产生的拉力调整为规定的范围。

根据本实用新型的衬垫原料研磨装置，由于第二拉力施加机构具备第二拉力检测机构和第二拉力调整机构，通过第二拉力检测机构，检测衬垫原料中产生的朝向运送方向上的前方侧的拉力，第二拉力调整机构基于该拉力，以将衬垫原料中产生的朝向衬垫原料运送方向上的前方侧的拉力设为规定的范围的方式进行调整，因此能够抑制运送到进给辊的衬垫原料的厚度产生偏差，能够使衬垫原料的厚度稳定。

其结果，能够以稳定的厚度研磨衬垫原料并制造高质量的研磨衬垫。

另外，在本实用新型的衬垫原料研磨装置中，在所述研磨辊的内部形成有能够供调温用流体流通的调温用流体通道，能够通过使调温用流体在所述调温用流体通道中流通来调整对衬垫原料进行研磨时的研磨温度。

根据本实用新型的衬垫原料研磨装置，由于在研磨辊的内部形成有能够供调温用流体流通的调温用流体通道，能够通过使调温用流体在调温用流体通道中流通来调整对衬垫原料进行研磨时的研磨温度，因此能够因研磨时的温度而以高精度研磨衬垫原料。

根据本实用新型所涉及的衬垫原料研磨装置，能够高精度地研磨衬垫原料。

附图说明

图1是用于说明本实用新型的第一实施方式所涉及的衬垫原料研磨装置的大致结构的从侧面观察的示意性结构图。

图2是用于说明第一实施方式所涉及的衬垫原料研磨装置的详细内容的从侧面观察的图。

图3是用于说明第一实施方式所涉及的衬垫原料研磨装置的辊布局的大致结构的侧视图。

图4是用于说明第一实施方式所涉及的衬垫原料研磨装置的橡胶辊(进给辊) 的大致结构的沿衬垫原料运送方向观察的图。

图5是用于说明第一实施方式所涉及的衬垫原料研磨装置的研磨辊的大致结构的沿衬垫原料运送方向观察的图。

图6是用于说明第一实施方式所涉及的衬垫原料研磨装置的电刷单元的大致结构的沿衬垫原料运送方向观察的图。

图7A及图7B是用于说明第一实施方式所涉及的衬垫原料研磨装置的辊间隔调整机构的大致结构的从侧面观察的图，上侧表示研磨辊与橡胶辊(进给辊)的间隔调整前的状态，下侧表示间隔调整后的状态。

图8A是用于说明第一实施方式所涉及的衬垫原料研磨装置的第一拉力检测机构的大致结构的从侧面观察的图。

图8B是用于说明第一实施方式所涉及的衬垫原料研磨装置的第一拉力检测机构的大致结构的沿衬垫原料运送方向观察的图。

图9A是用于说明第一实施方式所涉及的衬垫原料研磨装置的第一拉力调整机构的大致结构的从侧面观察夹紧辊载置在夹紧辊承受台上的状态的图。

图9B是用于说明第一实施方式所涉及的衬垫原料研磨装置的第一拉力调整机构的作用的从侧面观察的图。

图10是用于说明第一实施方式所涉及的衬垫原料研磨装置的第二拉力检测机构的大致结构的从侧面观察的图。

图11是用于说明本实用新型的第二实施方式所涉及的衬垫原料研磨装置的辊布局的大致结构的从侧面观察的示意图。

具体实施方式

<第一实施方式>

下面，参照图1～图9B，对本实用新型的第一实施方式进行说明。

图1是用于说明本实用新型的第一实施方式所涉及的衬垫原料研磨装置的大致结构的从侧面观察的示意性结构图，图2是用于说明衬垫原料研磨装置的详细内容的从侧面观察的示意性结构图。另外，图3是表示衬垫原料研磨装置的辊布局的从侧面观察的图。另外，图4是用于说明衬垫原料研磨装置的橡胶辊(进给辊)的大致结构的沿衬垫原料运送方向观察的图，图5是用于说明研磨辊的大致结构的沿衬垫原料运送方向观察的图，图6是用于说明电刷单元的大致结构的沿衬垫原料运送方向观察的图。

在图中，附图标记100表示衬垫原料研磨装置，附图标记110表示衬垫原料送出机(衬垫原料送出部)，附图标记120表示衬垫原料研磨装置主体，附图标记122表示橡胶辊(进给辊)，附图标记125表示研磨辊，附图标记140表示辊间隔调整机构，附图标记150表示第一拉力施加机构，附图标记160表示第二拉力施加机构，附图标记180表示衬垫原料卷取机(衬垫原料卷取部)，附图标记S 表示衬垫原料。

如图1～图3所示，衬垫原料研磨装置100例如具备：衬垫原料送出机(衬垫原料送出部)110、衬垫原料研磨装置主体120、第一拉力施加机构150、第二拉力施加机构160、集尘装置170、衬垫原料卷取机(衬垫原料卷取部)180和控制部(未图示)。

另外，例如按衬垫原料送出机(衬垫原料送出部)110、衬垫原料研磨装置主体120、集尘装置170及衬垫原料卷取机(衬垫原料卷取部)180的顺序运送衬垫原料S。

在该实施方式中，第一拉力施加机构150被配置于衬垫原料送出机110。具体而言，第一拉力施加机构150被配置在衬垫原料送出机(衬垫原料送出部)110与衬垫原料研磨装置主体120之间。

而且，第一拉力施加机构150被构造为对研磨前的衬垫原料S施加从研磨区域朝向衬垫原料运送方向后方侧的拉力。

在该实施方式中，第二拉力施加机构160被配置在衬垫原料研磨装置主体120 与集尘装置170之间。

而且，第二拉力施加机构160被构造为对研磨后的衬垫原料S施加朝向衬垫原料运送方向前方侧的拉力。

此外，关于第一拉力施加机构150及第二拉力施加机构160的详细内容将在后面描述。

如图1～图3所示，衬垫原料送出机(衬垫原料送出部)110例如具备：卷绕有衬垫原料S的原料辊111；用于支撑原料辊111的原料辊支撑台112；用于从原料辊111剥离衬垫原料S的剥离辊114；升降辊116；和运送辊117。

而且，衬垫原料送出机110被构造为将通过剥离辊114从原料辊111剥离出的衬垫原料S经由升降辊116及运送辊117送到衬垫原料研磨装置主体120。

在原料辊111的原料辊轴111J上卷绕有衬垫原料S，原料辊111被形成为圆筒形状。

另外，原料辊111例如能够旋转地支撑到配置于原料辊支撑台112的轴台(轴承部件)112J。

而且，衬垫原料S从原料辊111的外周面的上部被抽出。

如图2及图3所示，剥离辊114例如具备驱动辊114A和夹紧辊114B，该夹紧辊114B与驱动辊114A相对配置并且因自重而施加夹持力。

而且，通过驱动辊114A和夹紧辊114B夹住衬垫原料S，并且使驱动辊114A 旋转，从而从原料辊111抽出衬垫原料S。

运送辊117例如由通过电动机(未图示)旋转驱动的驱动辊构造。

而且，通过运送辊117的旋转驱动而朝向衬垫原料研磨装置主体120送出衬垫原料S。

如图1～图3所示，升降辊116被配置在剥离辊114与运送辊117之间，如箭头F所示，升降辊116能够沿上下方向移动。而且，通过升降辊116沿上下方向移动，从而当在剥离辊114与运送辊117之间衬垫原料S的长度发生变化的情况下，抑制衬垫原料S产生挠曲。

如图1及图2所示，衬垫原料研磨装置主体120例如具备橡胶辊(进给辊) 122、研磨辊125、用于旋转驱动橡胶辊(进给辊)122的橡胶辊驱动电动机(进给辊驱动部、未图示)、用于旋转驱动研磨辊125的研磨辊驱动电动机(研磨辊驱动部)125M、调温用流体供给部(未图示)、电刷单元130和辊间隔调整机构 140。此外，在图2中，为了明确橡胶辊(进给辊)122与研磨辊125的位置关系，用双点划线表示辊间隔调整机构140。

橡胶辊(进给辊)122被形成为圆筒形状，并且以能够绕第一轴线O1旋转的方式被支撑。

研磨辊125被形成为圆筒形状，并且以能够绕第二轴线O2旋转的方式被支撑。

另外，第一轴线O1和第二轴线O2平行配置，对于橡胶辊(进给辊)122和研磨辊125来说，能够通过辊间隔调整机构140来调整轴间距离。

研磨装置主体框架121例如具备左右一对的框架主体121L、121R，该左右一对的框架主体121L、121R被形成为侧视大致矩形，并且从地面朝向上方竖立设置。

在左右的框架主体121L、框架主体121R上，设置有用于支撑橡胶辊(进给辊)122的左右端的轴承块122J和用于支撑研磨辊125的左右端的轴承块125J。

接着，参照图4，对橡胶辊(进给辊)122进行说明。图4是用于说明第一实施方式所涉及的橡胶辊122的大致结构的一例的主视图。在此，主视图是指从衬垫原料送出机(衬垫原料送出部)110侧观察的图(下同)。

如图4所示，橡胶辊(进给辊)122例如具备：金属制的辊主体122A，形成为以第一轴线O1为中心的圆筒形状；橡胶衬套122B，形成在辊主体122A的外周面上；和旋转轴122P，形成在辊主体122A的左右两端。

另外，如图4所示，橡胶辊(进给辊)122的左右旋转轴122P能够旋转地支撑于轴承块122J，并且经由传递部件(例如，正时皮带)122V与橡胶辊驱动电动机(进给辊驱动部)122M连接。

而且，橡胶辊122被橡胶辊驱动电动机122M旋转驱动。

另外，橡胶辊(进给辊)122被构造为将从衬垫原料送出机(衬垫原料送出部) 110送来的衬垫原料S保持于外周面并使之旋转，在研磨之后，经由集尘装置170，朝向衬垫原料卷取机(衬垫原料卷取部)180送出衬垫原料S。

具体而言，通过使橡胶衬套122B的外周面与衬垫原料S密合来夹持衬垫原料 S并运送，在研磨期间保持衬垫原料S并且送出研磨后的衬垫原料S。

接着，参照图5，对研磨辊125进行说明。图5是用于说明第一实施方式所涉及的研磨辊的大致结构的一例的主视图。

如图5所示，研磨辊125例如具备：辊身部126，形成为以第二轴线O2为中心的圆筒形状；旋转轴127，经过辊身部126的内部朝向辊身部126的左侧(第一端侧)L及右侧(第二端侧)R延伸；端部件128L，配置在辊身部126的左侧L 的端部；端部件128R，配置在辊身部126的右侧(第二端侧)R的端部；和螺旋状部件129。

另外，在辊身部126的表面上，例如可安装(例如，贴合)有砂纸(未图示)。

旋转轴127贯穿端部件128L及端部件128R沿辊身部126的左右延伸。

另外，旋转轴127在辊身部126内具有旋转轴主体127A，该旋转轴主体127A 被形成为直径比两端部分的直径大。

螺旋状部件129被形成为螺旋状，并且沿着旋转轴主体127A的外周面配置。

如图5所示，在研磨辊125的内部，沿螺旋状部件129形成有螺旋状的调温用流体通道125P。具体而言，调温用流体通道125P被形成为在研磨辊125内的辊身部126与旋转轴主体127A之间绕第二轴线O2回旋的螺旋状。

另外，研磨辊125的旋转轴127能够旋转地支撑于轴承块125J，并且经由传递部件(例如，V带)125V与研磨辊驱动电动机(研磨辊驱动部)125M连接。

而且，研磨辊125被研磨辊驱动电动机(研磨辊驱动部)125M旋转驱动。

另外，如图5所示，旋转轴127在第二轴线O2方向上的端部件128L及端部件128R之间分别形成有调温用流体流入孔127D及调温用流体流出孔127E。

而且，从调温用流体流入孔127D流入的调温用流体在调温用流体通道125P 中流通，并且从调温用流体流出孔127E流出，调温用流体在调温用流体通道125P 中流通的期间与辊身部126进行热交换，调节辊身部126的外周面的温度。

然后，从调温用流体流出孔127E流出的调温用流体被排出到系统外。

此外，作为调温用流体供给机构，并不限定于调温用流体排出到系统外的形式，可使用众所周知的各种调温用流体供给单元(未图示)，例如可使用使调温用流体回流的形式等。

如此，通过使调温用流体(例如，冷却水)从调温用流体供给部(未图示) 向调温用流体通道125P流通，从而能够在研磨衬垫原料S时降低由研磨辊125产生的热量并调整为规定的范围。

接着，参照图6，对电刷单元130进行说明。图6是用于说明第一实施方式所涉及的电刷单元130的大致结构的一例的主视图。

如图6所示，电刷单元130例如具备橡胶辊用电刷131、衬垫原料用电刷135、驱动电动机130M和用于将驱动电动机130M的旋转传递到橡胶辊用电刷131及衬垫原料用电刷135的正时皮带(传递部件)。

另外，电刷单元130例如配置于研磨装置主体框架121。

橡胶辊用电刷131具备：旋转轴132；轴台132J，能够旋转地支撑旋转轴132 的左右端；和电刷主体133，形成在旋转轴132的外周面上。

旋转轴132例如是沿与第一轴线O1平行配置的轴线O132延伸的轴部件。

电刷主体133例如具备卷绕到旋转轴132的外周面上的片状部件133A和植入到该片状部件133A的多根毛(线状部件)133B。

而且，电刷主体133为通过片状部件133A卷绕到旋转轴132而使多根毛(线状部件)133B从旋转轴132的外周面向径向外方以放射状延伸的结构。

此外，作为在橡胶辊用电刷131中使用的毛(线状部件)133，在除尘及抑制橡胶辊122的损坏的方面适合使用缺乏韧性而柔软的毛。具体而言，例如更适合使用柔软的山羊毛。

衬垫原料用电刷135具备旋转轴136、能够旋转地支撑旋转轴136的左右端的轴台136J和形成在旋转轴136的外周面上的电刷主体137。

旋转轴136例如为沿与第一轴线O1平行配置的轴线O136延伸的轴部件。

电刷主体137例如具备卷绕到旋转轴136的外周面上的片状部件137A和植入到该片状部件137A的多根毛(线状部件)137B。

而且，电刷主体137为通过片状部件137A卷绕到旋转轴136而使多根毛(线状部件)137B从旋转轴136的外周面向径向外方以放射状延伸的结构。

此外，作为在衬垫原料用电刷135中使用的毛(线状部件)137B，例如在除尘及除电方面适合使用马毛。

驱动电动机130M例如通过V带等传动机构(未图示)与橡胶辊用电刷131 及衬垫原料用电刷135连接。而且，驱动电动机130M被构造为使橡胶辊用电刷 131及衬垫原料用电刷135旋转驱动。

接着，参照图7A及图7B，对衬垫原料研磨装置的辊间隔调整机构140的大致结构进行说明。图7A及图7B是用于说明第一实施方式所涉及的衬垫原料研磨装置的辊间隔调整机构的大致结构的从侧面观察的图，图7A表示研磨辊与橡胶辊 (进给辊)的间隔调整前的状态，图7B表示间隔调整后的状态。在图7A及图7B 中，附图标记A表示前方侧(相对于研磨辊为橡胶辊侧)，附图标记B表示后方侧。

如图1及图2所示，衬垫原料研磨装置100中的辊间隔调整机构140例如配置于衬垫原料研磨装置主体120。

如图7A及图7B所示，辊间隔调整机构140例如具备：固定基座部141，能够旋转地配置橡胶辊122；可动基座部142，能够旋转地配置研磨辊125；位置调整部件143，设置于固定基座部141；止动部144，形成于可动基座部142；和驱动缸体146，配置在固定基座部141与可动基座部142之间。

固定基座部141例如与衬垫原料研磨装置主体120的研磨装置主体框架121 一体形成。

可动基座部142被构造为相对于固定基座部141能够在前后AB方向上进退。具体而言，例如被构造为形成于固定基座部141的下表面上的槽部(未图示)收容形成于可动基座部142的上表面且沿前后AB方向延伸的导轨(例如，直线导轨) 142G，可动基座部142沿导轨142G而在前后AB方向上滑动。

位置调整部件143例如由具备螺纹机构(未图示)的所谓的千斤顶构造，具备千斤顶主体143A和配置于图7A及图7B中的千斤顶主体143A的后方侧B的抵接部143T。而且，位置调整部件143被构造为通过将千斤顶主体143A进行驱动而使抵接部143T在前后AB方向上进退。

此外，可以任意设定千斤顶主体143A的结构，例如可由手摇柄来构造或由与电动机等驱动源连接的蜗杆齿轮和蜗轮等来构造。在该情况下，即使对抵接部143T 施加抵接时的载荷，设定值也不会发生变化，因此有利。

止动部144例如形成于可动基座部142的下部的前方侧A。具体而言，止动部144由与位置调整部件143的抵接部143T相对配置的平坦面构造。

驱动缸体146被构造为使活塞杆位于前方侧A且与固定基座部141的托架 141B连接，该驱动缸体146的后方侧B安装在配置于可动基座部142的下侧的托架145上，并且活塞杆沿箭头P方向在前后方向AB上进退。

利用辊间隔调整机构140的辊间隔设定例如以如下方式实施。

(1)首先，在如图7A所示的状态下，通过位置调整部件143的千斤顶主体 143A来调整抵接部143T的位置。

(2)接着，如图7B所示，使驱动缸体146的活塞杆向后方侧B后退。

如果活塞杆向后方侧B后退，则可动基座部142沿箭头PA方向移动，位置调整部件143与可动基座部142一同向后方侧B移动。

而且，可动基座部142直至抵接部143T与止动部144抵接为止向后方侧B移动，橡胶辊(进给辊)121与研磨辊125被调整为已设定的间隔(以及轴间距离)。

接着，参照图1～图3、图8A、图8B、图9A及图9B，对第一拉力施加机构 150进行说明。在图中，附图标记151表示第一拉力检测机构，附图标记155表示第一拉力调整机构。

在该实施方式中，如图1～图3所示，第一拉力施加机构150例如具备：第一拉力检测机构151，用于检测衬垫原料S的拉力；和第一拉力调整机构155，用于调整衬垫原料S的拉力。

如图8A所示，第一拉力检测机构151例如具备：第一导向辊152A；第二导向辊152B；第三导向辊152C；轴承单元153，能够旋转地支撑这些第一导向辊～第三导向辊152A、152B、152C；和负载传感器154，配置在支撑第二导向辊152B 的轴承单元153的下方。

另外，第一导向辊152A、第二导向辊152B及第三导向辊152C沿衬垫原料S 的运送方向按此顺序配置。

另外，如图8B所示，第一导向辊～第三导向辊152A、152B、152C被形成为宽度比衬垫原料S的宽度宽。此外，在图8B中，突出显示第一导向辊～第三导向辊152A、152B、152C与衬垫原料S之间的间隙。

而且，例如，第一导向辊152A在位于与第二导向辊152B相反侧的横向的外周面处与衬垫原料S接触，第二导向辊152B在上侧的外周面处与衬垫原料S接触，第三导向辊152C在下侧的外周面处与衬垫原料S接触。

其结果，第二导向辊152B被衬垫原料S从上方向下方按压。而且，通过衬垫原料S按压第二导向辊152B而施加的载荷经由轴承单元153被施加到负载传感器 154。

而且，由施加到负载传感器154的载荷产生的载荷计测信号被发送给控制部 (未图示)。而且，在控制部(未图示)中，算出沿衬垫原料S的运送方向作用的拉力。

此外，在衬垫原料S对第二导向辊152B施加的载荷的方向(矢量)相对于负载传感器154的载荷接受面的法线倾斜的情况下，在控制部(未图示)中，衬垫原料S的拉力会被修正。

如图9A所示，第一拉力调整机构155例如具备：运送辊(驱动辊)117；夹紧辊156，与运送辊117相对配置，并且因自重而施加夹持力；和夹紧辊承受台 157，能够临时放置夹紧辊156。

如图9A所示，例如在夹紧辊156与运送辊117之间经过衬垫原料S并将衬垫原料S设置于衬垫原料研磨装置100的情况下，将夹紧辊156临时放置在夹紧辊承受台157的圆弧状凹部，并且使夹紧辊156远离运送辊117，在夹紧辊156与运送辊117之间形成间隙。

另外，如果完成运送辊117与夹紧辊156之间的衬垫原料S的经过，则如图 9B所示，使夹紧辊156从夹紧辊承受台157朝向运送辊117移动，利用夹紧辊156 和运送辊117来夹住衬垫原料S。

而且，夹紧辊156通过自重与运送辊117协作来对衬垫原料S施加夹持力。

其结果，当衬垫原料S的进给速度发生变化时，在衬垫原料S中产生的朝向衬垫原料运送方向后方侧的拉力被调整为规定的范围内。

另外，通过升降辊116沿上下方向移动而吸收衬垫原料S的长度变化，抑制衬垫原料S产生挠曲，其中，该衬垫原料S的长度变化为通过第一拉力调整机构 155改变衬垫原料S的进给速度而产生且在比运送辊(驱动辊)117更靠衬垫原料运送方向后方侧产生的长度变化。

接着，参照图1～图3及图10，对第二拉力施加机构160进行说明。在图中，附图标记161表示第二拉力检测机构，附图标记165表示第二拉力调整机构。

在该实施方式中，如图1～图3所示，第二拉力施加机构160例如具备：第二拉力检测机构161，用于检测衬垫原料S的拉力；和第二拉力调整机构165，用于调整衬垫原料S的拉力。

如图10所示，第二拉力检测机构161例如具备：第一导向辊162A；第二导向辊162B；第三导向辊162C；轴承单元163，能够旋转地支撑这些第一导向辊～第三导向辊162A、162B、162C；和负载传感器164，配置在支撑第二导向辊162B 的轴承单元163的下方。

另外，第一导向辊162A、第二导向辊162B及第三导向辊162C沿衬垫原料S 的运送方向按此顺序配置。

另外，第一导向辊～第三导向辊162A、162B、162C被形成为宽度比衬垫原料S的宽度宽。

而且，例如，第一导向辊162A在外周面的下侧与衬垫原料S接触，第二导向辊162B在外周面的上侧与衬垫原料S接触，第三导向辊162C在外周面的下侧与衬垫原料S接触。

其结果，第二导向辊162B被衬垫原料S从上方向下方按压。另外，通过衬垫原料S按压第二导向辊162B而施加的载荷经由轴承单元163被施加到负载传感器164。

而且，由施加到负载传感器164的载荷产生的载荷计测信号被发送给控制部 (未图示)。而且，在控制部(未图示)中，算出沿衬垫原料S的运送方向作用的拉力。

此外，在衬垫原料S对第二导向辊162B施加的载荷的方向(矢量)相对于负载传感器164的载荷接受面的法线倾斜的情况下，与第一拉力检测机构151的情况同样，衬垫原料S的拉力会被修正。

如图1～图3所示，第二拉力调整机构165例如具备：运送辊(驱动辊)166；夹紧辊167，与运送辊166相对配置，并且因自重而施加夹持力；和夹紧辊杆(未图示)，用于设定夹紧辊167相对于运送辊166的位置。

而且，与第一拉力调整机构155的情况同样，例如，被构造为在通过改变夹紧辊杆(未图示)的姿势而使夹紧辊166与运送辊117接触的情况下，夹紧辊167 与运送辊166协作来夹住衬垫原料S。

其结果，衬垫原料S的进给速度发生变化，并且在衬垫原料S中产生的朝向衬垫原料运送方向后方侧的拉力被调整为规定的范围内。

此外，经过第二拉力调整机构165的衬垫原料S通过导向辊168被送到集尘装置170。

如图1及图3所示，集尘装置170例如具备除尘刷171、导向辊172、除尘刷173、导向辊174、运送辊175、夹紧辊176和导向辊177，它们沿衬垫原料S的运送方向按此顺序配置。

除尘刷171、除尘刷173及运送辊175例如由通过电动机(未图示)旋转驱动的驱动辊来构造。

而且，设为通过旋转驱动除尘刷171、除尘刷173及运送辊175而朝向衬垫原料卷取机(衬垫原料卷取部)180送出衬垫原料S的结构。

如图1及图3所示，导向辊172被配置在除尘刷171与除尘刷173之间，以在除尘刷171及除尘刷173调整衬垫原料S的卡量(係量)。

运送辊175与夹紧辊176相对配置，能够使夹紧辊176与运送辊175靠近或远离。而且，被构造为通过夹紧辊176与运送辊175靠近而夹住衬垫原料S并能够改变衬垫原料S的运送速度。

由运送辊175送出的衬垫原料S经由导向辊177被送出到衬垫原料卷取机180。

如图1及图3所示，衬垫原料卷取机(衬垫原料卷取部)180例如具备：衬垫原料卷取辊181，能够绕旋转轴181J旋转；支撑部件182，用于载置衬垫原料卷取辊181；和轴台182J，配置于支撑部件182且能够旋转地支撑衬垫原料卷取辊181。

而且，衬垫原料卷取机180被构造为通过驱动电动机(未图示)使衬垫原料卷取辊181旋转，并且将研磨后的衬垫原料S卷绕到衬垫原料卷取辊181上。

控制部(未图示)例如与衬垫原料送出机(衬垫原料送出部)110、衬垫原料研磨装置主体120、电刷单元130、第一拉力施加机构150、第二拉力施加机构160、集尘装置170及衬垫原料卷取机(衬垫原料卷取部)180电连接。而且，控制部(未图示)对它们进行同步控制。

首先，控制部(未图示)通过原料送出机(原料送出部)110从原料辊111送出衬垫原料S，并且将该衬垫原料S运送到衬垫原料研磨装置主体120。

此时，控制部(未图示)根据升降辊116的高度来调整衬垫原料S的送出量。具体而言，在升降辊116比设定位置高的情况下，增加剥离辊114的转数，在升降辊116比设定位置低的情况下，减少剥离辊114的转数。

而且，在从原料送出机(原料送出部)110送出的衬垫原料S被橡胶辊(进给辊)122运送的期间，通过研磨辊125来研磨衬垫原料S。

具体而言，控制部(未图示)通过使相对于橡胶辊122以规定的间隔配置的研磨辊125旋转，从而均匀地研磨由橡胶辊122运送的衬垫原料S的表面。

此时，研磨辊125与衬垫原料S的表面接触的部分为衬垫原料S被研磨的研磨区域。

另外，控制部(未图示)通过使电刷单元130旋转驱动而对橡胶辊122及研磨后的衬垫原料S进行除尘。

研磨后的衬垫原料S经由集尘装置170被送到衬垫原料卷取机180。

另外，控制部(未图示)以衬垫原料S不会因集尘装置170而挠曲的方式进行调整，并且使通过衬垫原料卷取机180送来的衬垫原料S卷绕到卷取辊181上。

另外，控制部(未图示)通过第一拉力施加机构150朝向衬垫原料运送方向后方侧对送到衬垫原料研磨装置主体120的衬垫原料S施加已设定的规定范围内的拉力。

具体而言，控制部(未图示)基于从第一拉力检测机构151发送来的载荷计测信号(由负载传感器154计测的载荷)，算出沿衬垫原料S的运送方向作用的拉力。

此外，在衬垫原料S对第二导向辊152B施加的载荷的方向(矢量)相对于负载传感器154的载荷接受面的法线倾斜的情况下，明确载荷方向与载荷接受面的法线的倾角(交叉角度)，算出衬垫原料S中产生的拉力，此时修正由该倾角带来的影响。

另外，控制部(未图示)基于衬垫原料S的拉力，调整运送辊(驱动辊)117 的转数，以使衬垫原料S中产生的拉力在规定范围内。

具体而言，例如在拉力较小的情况下，减少运送辊(驱动辊)117的转数，在拉力较大的情况下，增加运送辊(驱动辊)117的转数。

此外，关于运送辊(驱动辊)117的转数的调整，例如通过PID控制算出。

另外，控制部(未图示)通过第二拉力施加机构160朝向衬垫原料运送方向前方侧对由衬垫原料研磨装置主体120研磨的衬垫原料S施加已设定的规定范围内的拉力。

具体而言，控制部(未图示)基于从第二拉力检测机构161发送来的载荷计测信号(由负载传感器164计测的载荷)，算出沿衬垫原料S的运送方向作用的拉力。

此时，与第一拉力检测机构151的情况同样，修正衬垫原料S中产生的拉力。

另外，控制部(未图示)基于衬垫原料S的拉力来调整运送辊(驱动辊)166 的转数，以使衬垫原料S中产生的拉力在规定范围内。

具体而言，例如在当拉力较小的情况下，增加运送辊(驱动辊)166的转数，在拉力较大的情况下，减少运送辊(驱动辊)166的转数。

此外，关于运送辊(驱动辊)166的转数的调整，例如通过PID控制算出。

根据第一实施方式所涉及的衬垫原料研磨装置100，由于通过第一拉力检测机构151检测衬垫原料中产生的拉力，并且基于由第一拉力检测机构151检测出的拉力，第一拉力调整机构155以将衬垫原料S的从研磨区域朝向衬垫原料S的运送方向后方侧的拉力设为规定范围的方式进行调整，因此在研磨区域中抑制衬垫原料S产生伸缩差，从而抑制衬垫原料S的厚度产生偏差。

其结果，能够稳定且以高精度(均匀的厚度)研磨衬垫原料S。

另外，根据衬垫原料研磨装置100，由于具备第二拉力施加机构160，对衬垫原料S施加朝向衬垫原料运送方向前方侧的拉力，从而对研磨前后的衬垫原料S 施加均等的拉力，因此能够均匀地研磨衬垫原料S。

具体而言，由于第二拉力施加机构160以将衬垫原料S中产生的朝向衬垫原料运送方向前方侧的拉力设为规定范围的方式进行调整，因此能够抑制研磨后的衬垫原料S的厚度产生偏差，并且使衬垫原料S的厚度稳定。

其结果，能够以稳定的厚度研磨衬垫原料S而制造高质量的研磨衬垫。

<第二实施方式>

接着，参照图11，对本实用新型的第二实施方式所涉及的衬垫原料研磨装置进行说明。

图11是用于说明本实用新型的第二实施方式所涉及的衬垫原料研磨装置的辊布局的大致结构的从侧面观察的示意图。在图11中，附图标记200表示衬垫原料研磨装置。

如图11所示，衬垫原料研磨装置200例如具备：衬垫原料送出机(衬垫原料送出部)110、衬垫原料研磨装置主体120、第一拉力施加机构150、蓄电池装置 (未图示)、衬垫原料卷取机(衬垫原料卷取部)(未图示)和控制部(未图示)。

另外，衬垫原料送出机(衬垫原料送出部)110、衬垫原料研磨装置主体120、蓄电池装置(未图示)及衬垫原料卷取机(衬垫原料卷取部)(未图示)沿衬垫原料S的运送方向按此顺序配置。

衬垫原料研磨装置200与衬垫原料研磨装置100的不同点在于，衬垫原料研磨装置200不具备第二拉力施加机构160。由于其他部分与第一实施方式同样，因此使用相同的附图标记并省略说明。

此外，本实用新型并不限定于上述实施方式，在不脱离实用新型的主旨的范围内可进行各种变更。即，在本实用新型的目的范围内可任意设定衬垫原料研磨装置的结构。

例如，在上述实施方式中，对衬垫原料研磨装置100具备第一拉力施加机构 150和第二拉力施加机构160且衬垫原料研磨装置200具备第一拉力施加机构150 的情况进行了说明，但对于衬垫原料研磨装置是否具备第二拉力施加机构，可任意进行设定。另外，对于第一拉力施加机构150及第二拉力施加机构160的配置位置，也可以任意进行设定。

例如，在上述实施方式中，对第一拉力施加机构150具备第一拉力检测机构 151和第一拉力调整机构155且第二拉力施加机构160具备第二拉力检测机构161 和第二拉力调整机构165的情况进行了说明，但对于第一拉力施加机构150及第二拉力施加机构160的结构，可任意进行设定，例如，还可以是在不用设置第一拉力检测机构151及第二拉力检测机构161的情况下，对衬垫原料S施加运送方向上的后方侧及前方侧的拉力的结构。

另外，在上述实施方式中，对第一拉力施加机构150中的第一拉力检测机构 151具备用于送出衬垫原料S的第一导向辊～第三导向辊152A、152B、152C、轴承单元153和负载传感器154且通过检测施加到负载传感器154的载荷来测量拉力的情况进行了说明，但也可以通过其他测量方法来测量拉力。

另外，对于第二拉力施加机构160中的第二拉力检测机构161也同样。

另外，在上述实施方式中，对第一拉力施加机构150中的第一拉力调整机构 155通过夹紧辊156与运送辊(驱动辊)117协作来夹住衬垫原料S来改变衬垫原料S的运送速度从而调整作用于衬垫原料S的拉力的情况进行了说明，但也可以通过其他方式来调整衬垫原料S中产生的拉力。

另外，对于第二拉力施加机构160中的第二拉力调整机构165也同样。

另外，在上述实施方式中，对通过在研磨辊125上形成调温用流体通道125P 并使调温用流体在调温用流体通道125P中流通而能够进行温度调整的情况进行了说明，但对于是否能够对研磨辊125进行温度调整，可任意进行设定，也可以是不具备温度调整功能的结构。另外，也可以通过不依赖于调温用流体的方法来进行研磨辊125的温度调节。

另外，在上述实施方式中，对在进给辊的外周面上形成有橡胶衬套的橡胶辊 122的情况进行了说明，但也可以将进给辊设为其他结构。

另外，在上述实施方式中，对在研磨辊125的外周面上安装有砂纸(片状研磨材)的情况进行了说明，但例如还可以是在辊的外周面上通过电镀等方法直接形成有金刚石磨砂粒或其他磨砂粒的结构。

另外，在上述实施方式中，对衬垫原料研磨装置100具备集尘装置170的情况进行了说明，但对于是否具备集尘装置170，可任意进行设定，也可以是不具备集尘装置170的结构，还可以是除了集尘装置170之外还具备与衬垫原料S有关的其他处理装置的结构。另外，可任意设定集尘装置170的具体结构。

产业上的可利用性

根据本实用新型所涉及的衬垫原料研磨装置，由于能够高精度地研磨衬垫原料，因此实现产业上的利用。

附图标记说明

O1 第一轴线(进给辊)

O2 第二轴线(研磨辊)

S 衬垫原料

100、200 衬垫原料研磨装置

110 原料送出机(原料送出部)

111 原料辊

120 衬垫原料研磨装置主体

121 研磨装置主体框架

122 橡胶辊(进给辊)

122M 橡胶辊驱动电动机(进给辊驱动部)

125 研磨辊

125M 研磨辊驱动电动机(研磨辊驱动部)

125P 调温用流体通道

130 电刷单元

140 辊间隔调整机构

150 第一拉伸力施加机构

151 第一拉伸力检测机构

155 第一拉伸力调整机构

160 第二拉伸力施加机构

161 第二拉伸力检测机构

165 第二拉伸力调整机构

180 衬垫原料卷取机(衬垫原料卷取部)。

Claims (5)

1.一种衬垫原料研磨装置，其特征在于，具备：

进给辊，形成为圆筒形状，并且以能够绕第一轴线旋转的方式被支撑；

研磨辊，形成为圆筒形状，所述研磨辊以能够绕与所述第一轴线平行的第二轴线旋转的方式被支撑，并且通过与所述进给辊协作来研磨衬垫原料；

进给辊驱动部，用于旋转驱动所述进给辊；

研磨辊驱动部，用于旋转驱动所述研磨辊；和

第一拉力施加机构，配置在运送衬垫原料的衬垫原料运送方向上的所述研磨辊的后方侧，并且对衬垫原料施加从衬垫原料被所述研磨辊研磨的研磨区域朝向衬垫原料运送方向后方侧的拉力。

2.根据权利要求1所述的衬垫原料研磨装置，其特征在于，

所述第一拉力施加机构具备：

第一拉力检测机构，用于检测从所述研磨区域朝向衬垫原料运送方向后方侧对衬垫原料产生的拉力；和

第一拉力调整机构，基于由所述第一拉力检测机构检测出的拉力，将朝向衬垫原料运送方向后方侧对衬垫原料产生的拉力调整为规定的范围。

3.根据权利要求2所述的衬垫原料研磨装置，其特征在于，具备：

第二拉力施加机构，配置在衬垫原料运送方向上的所述研磨辊的前方侧，并且对衬垫原料施加从所述研磨区域朝向衬垫原料运送方向前方侧的拉力。

4.根据权利要求3所述的衬垫原料研磨装置，其特征在于，

所述第二拉力施加机构具备：

第二拉力检测机构，用于检测从所述研磨区域朝向衬垫原料运送方向前方侧对衬垫原料产生的拉力；和

第二拉力调整机构，基于由所述第二拉力检测机构检测出的拉力，将朝向衬垫原料运送方向前方侧对衬垫原料产生的拉力调整为规定的范围。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的衬垫原料研磨装置，其特征在于，

在所述研磨辊的内部形成有能够供调温用流体流通的调温用流体通道，

通过使调温用流体在所述调温用流体通道中流通，从而能够调整对衬垫原料进行研磨时的研磨温度。

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