JP7645472B2 - 部品供給装置、部品実装装置、および、部品供給方法 - Google Patents

Description

本開示は、部品供給装置、部品実装装置、および、部品供給方法に関する。

特許文献１には、部品中継室から供給された部品を取出位置まで供給する部品供給レールを備える電子部品供給装置が開示されている。当該電子部品供給装置では、部品供給レールが加振機構により加振されることにより、部品を取出位置まで供給する。

特開２０１１－１１４０８４号公報

しかしながら、部品供給レールが加振機構により加振されることで、部品が取出位置へ搬送されるときに、部品供給レール上の部品同士が接触（例えば、衝突）し部品の黒化が進むという課題がある。

そこで、本開示は、部品の搬送時における部品の黒化を抑制することができる部品供給装置、部品実装装置、および、部品供給方法を提供する。

本開示の一態様に係る部品供給装置は、バラ積み状態で部品収納部に収納された部品を、前記部品を保持する保持部により取り出される取出位置まで供給する部品供給装置であって、前記部品収納部から供給された前記部品を整列させて搬送する搬送部と、一端が前記搬送部と接続され、前記搬送部から搬送された前記部品を前記取出位置に供給する供給部と、前記搬送部における前記部品の搬送、および、前記供給部における前記部品の搬送を互いに独立して制御する制御部と、を備える。

本開示の一態様に係る部品実装装置は、上記の部品供給装置と、前記部品供給装置により供給された前記部品を保持するためのヘッドと、前記ヘッドを移動する駆動部と、前記ヘッドにより保持された前記部品が実装される基板を保持する基板保持部と、を備える。

本開示の一態様に係る部品供給方法は、バラ積み状態で部品収納部に収納された部品を、前記部品を保持する保持部により取り出される取出位置まで供給する部品供給装置の部品供給方法であって、前記部品供給装置は、前記部品収納部から供給された前記部品を整列させて搬送する搬送部と、一端が前記搬送部と接続され、前記搬送部から搬送された前記部品を前記取出位置に供給する供給部と、を備え、前記部品供給方法は、前記搬送部における前記部品の搬送、および、前記供給部における前記部品の搬送を互いに独立して制御することを含む。

本開示の一態様によれば、部品の搬送時における部品の黒化を抑制することができる部品供給装置等を実現することができる。

図１は、実施の形態に係る供給ユニットを模式的に示す図である。 図２は、実施の形態に係るフィーダの一部を模式的に示す斜視図である。 図３は、実施の形態に係る部品供給装置を示す斜視図である。 図４は、実施の形態に係る部品供給装置を示す平面図である。 図５Ａは、図４の（ａ）に示すＶａ－Ｖａ断面を示す断面図である。 図５Ｂは、図４の（ａ）に示すＶｂ－Ｖｂ断面を示す断面図である。 図６Ａは、図４の（ａ）に示すＶＩａ－ＶＩａ断面を示す断面図である。 図６Ｂは、図４の（ａ）に示す破線枠の部分を示す斜視図である。 図７は、実施の形態に係る部品供給装置の機能構成を示すブロック図である。 図８は、実施の形態に係る部品供給装置の動作を示すフローチャートである。 図９Ａは、図８に示すステップＳ２０の第１例を示す図である。 図９Ｂは、図８に示すステップＳ２０の第２例を示す図である。 図９Ｃは、図８に示すステップＳ２０の第３例を示す図である。 図９Ｄは、図８に示すステップＳ２０の第４例を示す図である。 図１０は、実施の形態に係る部品実装装置の構成を示す図である。 図１１は、その他の実施の形態に係る部品供給装置の機能構成を示すブロック図である。

以下、実施の形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。

なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、構成要素、構成要素の配置位置および接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本開示を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。

また、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。したがって、例えば、各図において縮尺などは必ずしも一致しない。また、各図において、実質的に同一の構成については同一の符号を付しており、重複する説明は省略または簡略化する。

また、本明細書および図面において、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸は、三次元直交座標系の三軸を示している。各実施の形態では、Ｘ軸方向は、部品の搬送方向を示しており、Ｚ軸方向は部品供給装置の上下方向を示している。平面視とは、Ｚ軸方向から見ることを意味し、断面視とは、Ｙ軸およびＺ軸で規定される断面をＸ軸方向から見ることを意味する。

また、本明細書において、垂直、平行などの要素間の関係性を示す用語、および、円形などの要素の形状を示す用語、並びに、数値、および、数値範囲は、厳格な意味のみを表す表現ではなく、実質的に同等な範囲、例えば数％程度（例えば、１０％未満）の差異をも含むことを意味する表現である。

（実施の形態）
以下、本実施の形態に係る部品供給装置等について、図１～図１０を参照しながら説明する。

［１．部品供給装置の構成］
まず、本実施の形態に係る部品供給装置を有する供給ユニットの構成について、図１を参照しながら説明する。図１は、本実施の形態に係る供給ユニット８０を模式的に示す図である。供給ユニット８０は、後述する部品実装装置（例えば、図１０に示す部品実装装置１００）で使用される部品（例えば、電子部品）を供給するための装置である。なお、図１では、供給ユニット８０が部品実装装置に取り付けられたときに、フィーダ２０から部品を保持して取り出す実装ヘッド１０７も図示している。保持は、吸着または把持の少なくとも１つを含む。また、図１では、ケース１０のカバー１１は開いている状態を示す。

図１に示すように、供給ユニット８０は、ケース１０と、フィーダ２０と、台車７０とを備える。供給ユニット８０は、移動可能であり、部品実装装置に取り外し可能に取り付けられる。

ケース１０は、中空の箱体であり、内部にバラ積み状態で部品を収容する。ケース１０は、例えば、バルク状態の部品を収容する。ケース１０は、フィーダ２０に着脱自在に取り付けられ、収容する部品をフィーダ２０に供給する。例えば、ケース１０は、フィーダ２０に装着された状態で、振動等により揺らされることで収容する部品をフィーダ２０に供給する。ケース１０は、部品収納部の一例である。また、部品は、例えば、抵抗器、コンデンサなどの電子部品であるが、これに限定されず、基板等の対象物に実装可能な物体であればよい。また、部品は、少なくとも一部が金属であってもよいし、帯電性または磁性を有していてもよい。金属部分、または、帯電性もしくは磁性を有する部分は、例えば、露出して設けられてもよい。金属部分は、例えば、金属層（めっき層）であってもよい。

ケース１０は、カバー１１を有する。カバー１１は、ケース１０の内部からフィーダ２０に部品を供給するための開口に設けられる。カバー１１は、ケース１０がフィーダ２０に取り付けられていない状態では、開口を覆っている。また、カバー１１は、ケース１０がフィーダ２０に取り付けられた場合に開けられる。例えば、カバー１１は、フィーダ２０の被装着部３２にケース１０が装着されたときに、被装着部３２に設けられた棒体（図示しない）によりＸ軸マイナス側に押し込まれることで、Ｙ軸方向を回転軸として回転する。

フィーダ２０は、バラ積み状態でケース１０に収容された部品を、部品を保持する実装ヘッド１０７により取り出される取出位置まで供給する。本実施の形態では、フィーダ２０は、振動ではなく、エアにより部品を搬送する構成を有する。

台車７０は、フィーダ２０が着脱自在に取り付けられ、フィーダ２０を部品実装装置の所定位置まで移動させる。なお、台車７０は、必須の構成ではない。

ここで、フィーダ２０について、さらに図２～図６Ｂを参照しながら説明する。図２は、本実施の形態に係るフィーダ２０の一部を模式的に示す斜視図である。

図１および図２に示すように、フィーダ２０は、部品供給装置３０と本体部６０とを有する。

部品供給装置３０は、ケース１０が着脱自在に装着され、ケース１０から供給された部品を搬送する。

部品供給装置３０は、搬送部４０と、供給部５０とを有する。また、部品供給装置３０は、ケース１０が装着される被装着部３２と、部品を固定するための真空吸引に用いられるチューブ３６とを有する。

搬送部４０は、ケース１０から部品供給位置４２に供給された複数の部品を整列させて供給部５０まで搬送するための搬送機構である。搬送部４０は、例えば、搬送部４０に収容される部品の量を検出する第２のセンサ４１を有する。第２のセンサ４１は、搬送部４０における部品の貯留状態（例えば、部品の量）を検出するとも言える。第２のセンサ４１は、例えば、後述する第１の搬送部分（例えば、図４に示す第１の搬送部分４０ａ１）における部品の貯留状態を検出してもよい。第２のセンサ４１は、例えば、搬送部４０の所定の位置における部品の有無を検出してもよい。第２のセンサ４１は、部品を検出可能なセンサであれば特に限定されない。第２のセンサ４１は、光を用いて部品を検出するセンサであってもよい。第２のセンサ４１は、第２の検出部の一例である。

なお、整列とは、複数の部品の向きを揃え、かつ、一列に並べることを意味する。部品が直方体である場合、整列とは、例えば、部品の長辺を部品供給位置４２から供給部５０へ向かう第１の方向（Ｘ軸プラス方向）とし、かつ、第１の方向を向いた部品を一列に並べることである。なお、一列に並べるとは、完全な一列であることに限定されず、実質的に一列であればよく、例えば、ジグザグ状であってもよい。なお、以下では、方向（例えば、Ｘ軸方向）、および、向き（例えば、Ｘ軸プラス方向）を、単に方向（例えば、第１の方向）と記載する。

供給部５０は、一端が搬送部４０と接続され、搬送部４０から搬送された複数の部品を実装ヘッド１０７により部品が取り出される取出位置に供給するための搬送機構である。供給部５０は、供給部５０に収容される部品の量を検出する第１のセンサ５１を有する。第１のセンサ５１は、例えば、供給部５０の所定の位置における部品の有無を検出する。第１のセンサ５１は、例えば、搬送部４０と供給部５０との接続位置である供給部入口５２付近に設けられ、当該供給部入口５２を通過した部品を検出する。第１のセンサ５１は、部品を検出可能なセンサであれば特に限定されない。第１のセンサ５１は、光を用いて部品を検出するセンサであってもよい。

被装着部３２は、ケース１０が着脱される部分であり、ケース１０を固定し、かつ、ケース１０のカバー１１の開閉を行う。

チューブ３６は、取出位置まで搬送された部品を真空吸引により固定するための真空経路を形成する。チューブ３６は、供給部５０に設けられる部品を吸着するための吸着孔（図６Ｂに示す吸着孔５５ａ）と連通する。当該吸着孔は、取出位置に設けられる。

本体部６０は、部品供給装置３０が着脱自在に取り付けられる。本体部６０は、第１のエア供給部６２（第１の供給部６２）、第２のエア供給部６３（第１の供給部６３）および第３のセンサ６４等を収容する収容体であり、例えば、箱体である。また、本体部６０は、制御部６１を収容していてもよい。

第１のエア供給部６２は、搬送部４０に開口する複数のエア噴出孔に連通し、当該複数のエア噴出孔から噴出されるエアを供給する。

第２のエア供給部６３は、供給部５０に開口する複数のエア噴出孔に連通し、当該複数のエア噴出孔から噴出されるエアを供給する。

第１のエア供給部６２および第２のエア供給部６３は、例えば、部品を浮上搬送可能な程度の圧縮空気を供給する。圧縮空気の圧力は、レギュレータ等により制御される。また、第１のエア供給部６２と搬送部４０の複数のエア噴出孔とは、チューブ等により第１のエア通路（例えば、図２に示す第１のエア供給部６２と接続される破線の経路）が形成されており、当該第１のエア通路上にはエアの供給の有無を切り替える弁（例えば、電磁弁）が設けられる。第２のエア供給部６３と供給部５０の複数のエア噴出孔とは、チューブ等により第２エア通路（例えば、図２に示す第２のエア供給部６３と接続される破線の経路）が形成されており、当該第２エア通路上にはエアの供給の有無を切り替える弁（例えば、電磁弁）が設けられる。なお、第１のエア供給部６２および第２のエア供給部６３が供給する気体は、空気であることに限定されず、他の気体であってもよい。

第３のセンサ６４は、供給部５０に設けられる部品を吸着するための吸着孔と接続される真空経路における空気の流量または真空度を計測することで取出位置に部品があるか否かを検出する。第３のセンサ６４は、空気の流量が所定値以下、または、真空度が所定値以上である場合、取出位置に部品があることを検出する。実装ヘッド１０７は、第３のセンサ６４における検出結果に基づいて、取出位置にある部品を吸着して保持する。真空経路は、エア経路の一例である。第３のセンサ６４は、第３の検出部の一例である。

制御部６１は、部品供給装置３０における部品の搬送を制御する制御装置である。制御部６１は、搬送部４０における部品の搬送、および、供給部５０における部品の搬送を互いに独立して制御する。制御部６１は、例えば、搬送部４０の複数のエア噴出孔から噴出させるエア、および、供給部５０の複数のエア噴出孔から噴出させるエアを、エア供給機構を介して互いに独立して制御する。エアを制御とは、エアのＯＮおよびＯＦＦ、エアの圧力、エアの噴出方向、エアの流量等の少なくとも１つの制御を含む。

制御部６１は、エア供給機構を制御するとも言える。エア供給機構は、例えば、第１のエア供給部６２および第２のエア供給部６３、レギュレータ、弁、エア経路および各エア噴出孔等の少なくとも１つを含んで構成される。エア供給機構は、例えば、搬送部４０における部品が支持される支持面４３ａ（第１の支持面の一例）に開口する複数のエア噴出孔４３ｂ、および、供給部５０における部品が支持される支持面５３ａ（第２の支持面の一例）に開口する複数のエア噴出孔５３ｂのそれぞれから、部品を搬送するためのエアを噴出するための機構である。

制御部６１は、部品を浮上搬送させることで、第１の方向のみ（前方であり、Ｘ軸プラス方向）に推力を発生させる。制御部６１は、第１のエア供給部６２および第２のエア供給部６３等を制御し、エアの吹き出しのＯＮおよびＯＦＦを所定期間ごとに繰り返すことでパルスエアを供給させてもよい。つまり、部品は、Ｚ軸方向に上下しながら搬送されてもよい。なお、浮上搬送させるためのエアの吹き出し条件は、上記に限定されない。

なお、制御部６１は、本体部６０に設けられる例について説明したがこれに限定されず、例えば、部品供給装置３０に設けられてもよい。

また、本体部６０は、吸着孔およびチューブ３６と連通し、吸着孔からエアを吸引することで取出位置にある部品を固定するエア吸引装置を収容していてもよい。

図３は、本実施の形態に係る部品供給装置３０を示す斜視図である。図４は、本実施の形態に係る部品供給装置３０を示す平面図である。具体的には、図４の（ａ）は、本実施の形態に係る部品供給装置３０の平面図を示しており、図４の（ｂ）は、図４の（ａ）に示す本体部４０ａにおける破線領域を拡大して示しており、図４の（ｃ）は、図４の（ａ）に示す本体部５０ａにおける破線領域を拡大して示している。図５Ａは、図４の（ａ）に示すＶａ－Ｖａ断面を示す断面図である。図５Ｂは、図４の（ａ）に示すＶｂ－Ｖｂ断面を示す断面図である。なお、図３および図４では、第１のセンサ５１および第２のセンサ４１の図示を省略している。また、本実施の形態では、部品供給装置３０における部品の推進力は全てエアである。言い換えると、本実施の形態では、部品供給装置３０における部品の推進力の発生に振動は用いられていない。

図３に示すように、部品供給装置３０の搬送部４０は、本体部４０ａと蓋部４０ｂとを有する。蓋部４０ｂは、本体部４０ａを覆い、例えば、ネジ等の締結部材３８により本体部４０ａに固定される。蓋部４０ｂには、ケース１０からの部品が通過する貫通孔４０ｂ１が形成されている。部品は、当該貫通孔４０ｂ１を通過し、部品供給位置４２に供給される。

なお、蓋部４０ｂのＺ軸マイナス側の面には、ゴム性のシート部材が設けられてもよい。蓋部４０ｂが本体部４０ａに固定された状態で、シート部材は、平面視において、部品供給位置４２内に設けられてもよいし、部品供給位置４２と部品整列部４３および第１の傾斜面４４との境界に設けられてもよい。また、蓋部４０ｂが本体部４０ａに固定された状態で、シート部材は、部品供給位置４２から所定の間隔をあけて設けられる。所定の間隔は、例えば、部品が直方体である場合、部品の最も短い辺の長さより大きく、かつ、部品の最も長い辺の長さより小さい。シート部材は、立っている部品（長辺が上下方向となっている部材）のみと接触し、当該接触した部材をねかす機能を有する。これにより、立ったままの状態の部品が部品整列部４３又は第１の傾斜面４４に搬送されることを抑制することができる。

図３および図４に示すように、本体部４０ａは、第２のセンサ４１（図２を参照）と、部品供給位置４２と、部品整列部４３と、第１の傾斜面４４と、第２の傾斜面４５と、カバー４６と、旋回部４７と、戻り搬送部４８と、側壁４９ａおよび４９ｃと、仕切り壁４９ｂとを有する。搬送部４０の複数のエア噴出孔は、部品供給位置４２と、部品整列部４３と、第１の傾斜面４４と、第２の傾斜面４５と、旋回部４７と、戻り搬送部４８とに形成されている。

部品供給位置４２は、ケース１０から部品が供給される部分（領域）である。また、部品供給位置４２には、部品整列部４３に整列されずに戻り搬送部４８を介して戻ってきた部品も存在する。部品供給位置４２には、ケース１０から供給された部品、および、戻り搬送部４８を介して戻ってきた部品のそれぞれを部品整列部４３に供給するための複数のエア噴出孔（図示しない）が形成されている。なお、部品供給位置４２は、平坦な面であるが、例えば、少なくとも一部が傾斜していてもよい。

部品供給位置４２は、部品整列部４３および第１の傾斜面４４のそれぞれと接続されている。つまり、部品供給位置４２にある部品は、部品供給位置４２に形成された複数のエア噴出孔（図示しない）からのエアにより、部品整列部４３および第１の傾斜面４４のいずれかに供給される。

部品整列部４３は、部品を整列させて供給部５０に搬送する。部品整列部４３は、第１の方向に延在して設けられる。

図４の（ｂ）に示すように、部品整列部４３の支持面４３ａには、複数のエア噴出孔４３ｂが形成されている。部品整列部４３は、複数の部品を複数のエア噴出孔４３ｂから噴出されるエアにより順次搬送する。部品整列部４３は、複数のエア噴出孔４３ｂにより同時に複数の部品を搬送可能である。なお、図４の（ｂ）におけるＸ軸プラス側のエア噴出孔４３ｂには、第１のエア供給部６２とエア噴出孔４３ｂとを連通するためのエア通路の一部を破線で図示している。

図５Ａに示すように、部品整列部４３は、第１の方向に延在する凹状の溝である。支持面４３ａは、溝の底面により構成される。支持面４３ａは、第１の傾斜面４４よりＺ軸マイナス側に位置する。支持面４３ａには、部品を第１の方向に浮上搬送するための開口であるエア噴出孔４３ｂが形成複数されている。支持面４３ａに形成される複数のエア噴出孔４４ｂは、第１の方向かつ上方にエアを噴出可能に形成される。つまり、支持面に形成される複数のエア噴出孔４３ｂは、Ｙ軸方向から見ると、第１の方向側の斜め上方にエアを噴出させる。また、支持面４３ａに形成される複数のエア噴出孔４３ｂは、Ｘ軸方向から見ると、支持面４３ａに対して垂直方向にエアを噴出させる。

部品が直方体である場合、部品整列部４３のＹ軸方向の幅は、部品のうち最も短い辺の長さより大きく、部品のうち最も長い辺の長さより小さいがこれに限定されない。また、部品が直方体である場合、部品整列部４３のＹ軸方向の幅は、部品のうち最も短い辺の長さの２倍より小さくてもよい。また、部品整列部４３のＹ軸方向の幅は、部品の寸法公差を含んで決定されてもよい。

なお、部品整列部４３は、溝であることに限定されず、例えば、第１の傾斜面４４の下端部（Ｙ軸プラス側の端部）につながる平坦面であってもよいし、第１の傾斜面４４と反対方向に傾斜する傾斜面であってもよい。

第１の傾斜面４４は、部品整列部４３に沿って設けられ、部品整列部４３に向けて下方に傾斜する。第１の傾斜面４４は、部品整列部４３に隣接して設けられるとも言える。第１の傾斜面４４は、部品供給位置４２から第１の傾斜面４４に供給された部品を、部品整列部４３に向けて移動させるために設けられる。第１の傾斜面４４は、例えば、第１の方向に延在して設けられる平坦な斜面である。

第１の傾斜面４４には、第１の傾斜面４４上の部品を部品整列部４３に浮上搬送するための開口であるエア噴出孔４４ｂが複数形成されている。第１の傾斜面４４に形成される複数のエア噴出孔４４ｂは、第１の方向かつ上方にエアを噴出可能に形成される。第１の傾斜面４４に形成される複数のエア噴出孔４４ｂは、Ｘ軸方向から見ると、第１の傾斜面４４に対して垂直方向にエアを噴出させる。なお、図４の（ｂ）に示すように、第１の傾斜面４４には、複数のエア噴出孔４４ｂが形成されている。なお、図４の（ｂ）におけるＸ軸プラス側のエア噴出孔４４ｂには、第１のエア供給部６２とエア噴出孔４４ｂとを連通するためのエア通路の一部を破線で図示している。

第１の傾斜面４４の傾斜角は、特に限定されないが、例えば、第１の傾斜面４４の複数のエア噴出孔４４ｂからエアが噴出していない状態で、第１の傾斜面４４上の部品が部品整列部４３に移動しない（例えば、滑らないまたは回転しない）程度の角度であってもよい。これにより、第１の傾斜面４４の複数のエア噴出孔４４ｂからエアが噴出していない状態で第１の傾斜面４４上にある部品が部品整列部４３に移動することで、第１の傾斜面４４と部品との間で摩擦が発生すること、つまり、部品が黒化することを抑制することができる。

また、第１の傾斜面４４の傾斜角は、例えば、第１の傾斜面４４の複数のエア噴出孔４４ｂからエアが噴出している状態で、第１の傾斜面４４上の部品が部品整列部４３に移動する程度の角度であってもよい。第１の傾斜面４４の傾斜角は、例えば、１０度以下であってもよく、５度以下であってもよい。なお、傾斜角は、図５Ａにおいて部品整列部４３の支持面４３ａの方向（Ｙ軸方向）と、第１の傾斜面４４を延長した延長線とが交差するときの角度であって、９０度以下の角度である。

また、第１の傾斜面４４において、エアがパルスエアであることで、第１の傾斜面４４にある部品は、第１の傾斜面４４の傾斜の影響を受けやすくなり、部品整列部４３に移動しやすくなり得る。

図４を再び参照して、第２の傾斜面４５は、第１の方向における第１の傾斜面４４の下流側（Ｘ軸プラス側）において、部品整列部４３に沿って設けられ、第１の傾斜面４４から第２の傾斜面４５に移動してきた部品が部品整列部４３に移動することを抑制する。第２の傾斜面４５は、例えば、少なくとも一部が部品整列部４３とは逆方向に向かって下方に傾斜する。なお、第２の傾斜面４５は、傾斜していることに限定されない。

図５Ｂに示すように、第２の傾斜面４５は、部品整列部４３の支持面４３ａよりＺ軸プラス側に配置された当該支持面４３ａと平行な面であってもよい。この場合、第２の傾斜面４５には、図５Ｂに示す断面において、部品整列部４３と反対側（Ｙ軸マイナス側）の上方に向けてエアを噴出可能なように複数のエア噴出孔が設けられてもよい。

第２の傾斜面４５のＹ軸方向の長さは、例えば、部品整列部４３のＹ軸方向の長さより長い。第２の傾斜面４５のＹ軸方向の長さは、例えば、部品の長辺の長さより長い。

また、図４では、第１の傾斜面４４と第２の傾斜面４５とが直接接続されている例を示しているが、例えば、第１の傾斜面４４と第２の傾斜面４５との間に、部品供給位置４２側（上流側）から供給部５０側（下流側）へ向けて第１の傾斜面４４から第２の傾斜面４５に徐々に傾斜角度を切換える切換部が設けられてもよい。

なお、第１の搬送部分４０ａ１は、少なくとも第１の傾斜面４４を含んで構成される。第１の搬送部分４０ａ１は、さらに、第２の傾斜面４５を含んで構成されてもよい。

カバー４６は、第１の搬送部分４０ａ１（例えば、第２の傾斜面４５）の第１の方向における取出位置側の端部（Ｘ軸プラス側の端部）に対応する位置に、部品整列部４３の支持面４３ａからＺ軸方向に所定の隙間をあけて配置され、部品整列部４３の上方を覆う。カバー４６は、部品整列部４３および部品直進部５３の一部を覆うとも言える。カバー４６は、例えば、部品整列部４３において上下方向（Ｚ軸方向）に重なっている部品がある場合、重なった状態で部品が供給部５０に搬送されることを抑制するために設けられる。所定の隙間は、例えば、部品整列部４３において上下方向に重なっている部品がある場合、カバー４６が、下側の部材とは接触せず、かつ、上側の部材と接触可能な間隔である。

カバー４６は、上側の部品を旋回部４７に移動させることが可能な形状を有する。カバー４６は、例えば、カバー４６のＸ軸マイナス側の端面が当該上側の部品と当接することで、当該上側の部品を旋回部４７に移動させる。カバー４６のＸ軸マイナス側の面は、例えば、平面視において、Ｙ軸プラス側からＹ軸マイナス側に向かう（部品整列部４３から離れる）につれ、Ｘ軸プラス方向に傾斜する傾斜面であってもよい。また、当該傾斜面には、Ｙ軸マイナス方向側にエアを噴出する複数のエア噴出孔が形成されていてもよい。

カバー４６によりトンネル状となった部品整列部４３を通過することで、部品は搬送部４０から供給部５０へ搬送される。

旋回部４７は、第２の傾斜面４５およびカバー４６からの部品を、戻り搬送部４８へ移動させるための部分（領域）であり、第２の傾斜面４５および戻り搬送部４８のそれぞれと接続されている。旋回部４７には、部品の移動のための複数のエア噴出孔が形成されている。なお、旋回部４７は、平坦な面であるが、例えば、少なくとも一部が傾斜していてもよい。

戻り搬送部４８は、第２の傾斜面４５と接続し、かつ、第１の搬送部分４０ａ１に沿って設けられ、第１の方向とは逆方向の第２の方向（Ｘ軸マイナス方向）に部品を搬送する。戻り搬送部４８は、部品整列部４３により整列されなかった部品を、部品供給位置４２に戻すために設けられる。戻り搬送部４８は、戻り搬送部４８の部品を支持する支持面に開口する複数のエア噴出孔（図示しない）が形成されており、複数のエア噴出孔から第２の方向かつ上方にエアを噴出させることで、部品供給位置４２に部品を搬送する。戻り搬送部４８の複数のエア噴出孔から噴出されるエアの圧力または流量は、部品整列部４３、第１の傾斜面４４および第２の傾斜面４５の複数のエア噴出孔から噴出されるエアの圧力または流量より高くてもよいし、同じでもよい。戻り搬送部４８の支持面に形成されるエア噴出孔は、第２のエア噴出孔の一例である。

戻り搬送部４８の支持面は、例えば、旋回部４７から部品供給位置４２に向かうにつれ上方（Ｚ軸プラス方向）に傾斜する傾斜面であってもよい。つまり、部品は、旋回部４７から当該旋回部４７より高い位置にある部品供給位置４２に、戻り搬送部４８により搬送されてもよい。

なお、第２の搬送部分４０ａ２は、戻り搬送部４８を含んで構成される。第２の搬送部分４０ａ２は、第２の搬送部分４０ａ２の部品が支持される支持面（第３の支持面の一例）に開口し、第２の方向かつ上方にエアを噴出可能に構成される複数のエア噴出孔（第２のエア噴出孔の一例）を有するとも言える。

側壁４９ａおよび４９ｃと、仕切り壁４９ｂとは、第１の方向に延在し、第１の搬送部分４０ａ１および第２の搬送部分４０ａ２を形成するための壁部である。側壁４９ａと仕切り壁４９ｂとにより第１の搬送部分４０ａ１が形成され、仕切り壁４９ｂと側壁４９ｃとにより第２の搬送部分４０ａ２が形成される。また、仕切り壁４９ｂは、第１の搬送部分４０ａ１および第２の搬送部分４０ａ２の一方から噴出されるエアが他方に流れるのを防ぐ仕切りとして機能する。

なお、側壁４９ａおよび４９ｃと、仕切り壁４９ｂとは、例えば、一体形成されてもよい。つまり、第１の搬送部分４０ａ１および第２の搬送部分４０ａ２の間に隙間は形成されていなくてもよい。

また、例えば、第１の搬送部分４０ａ１と第２の搬送部分４０ａ２とにおいて振動により部品を搬送する場合、互いの振動条件が異なるので、第１の搬送部分４０ａ１と第２の搬送部分４０ａ２との間に隙間が形成される。これにより、搬送部の幅方向が大型化する、隙間に部品がひっかかる等の課題が生じ得る。

一方、本実施の形態に係る搬送部４０は、上記のように、第１の搬送部分４０ａ１および第２の搬送部分４０ａ２の間に隙間が形成されていないので、第１の搬送部分４０ａ１および第２の搬送部分４０ａ２の位置を近づけることができ、搬送部４０の幅（Ｙ軸方向の長さ）を小さくすることができる。つまり、部品供給装置３０を小型化することができる。また、隙間に部品がひっかかることを抑制することができる。例えば、旋回部４７における部品の旋回をスムーズに行うことができる。

上記のように、搬送部４０は、供給部５０へ向かう第１の方向に部品を搬送する第１の搬送部分４０ａ１と、第１の搬送部分４０ａ１に沿って設けられ、第１の搬送部分４０ａ１から第１の方向とは逆方向の第２の方向へ部品を搬送する第２の搬送部分４０ａ２とを含んで構成される。第１の搬送部分４０ａ１と第２の搬送部分４０ａ２とで環状の経路が形成される。

なお、第１の搬送部分４０ａ１は、供給部５０には形成されていない。つまり、第１の搬送部分４０ａ１の第１の方向における長さは、部品整列部４３および部品直進部５３の第１の方向における合計長さ（整列部の第１の方向における長さの一例）より短い。

続いて、供給部５０について、さらに図６Ａおよび図６Ｂを参照しながら説明する。図６Ａは、図４の（ａ）に示すＶＩａ－ＶＩａ断面を示す断面図である。図６Ｂは、図４の（ａ）に示す破線枠ＶＩｂの部分を示す斜視図である。なお、図６Ａおよび図６Ｂでは、支持面（底面）に形成されている複数のエア噴出孔は、図示を省略している。また、図６Ｂにおいては、さらに、側壁５４ａの図示を省略している。

図３に示すように、部品供給装置３０の供給部５０は、本体部５０ａと蓋部５０ｂとを有する。蓋部５０ｂは、本体部５０ａを覆い、例えば、ネジ等の締結部材３８により本体部５０ａに固定される。

図３および図４に示すように、本体部５０ａは、第１のセンサ５１（図２を参照）と、部品直進部５３と、側壁５４ａおよび５４ｂとを有する。第１のセンサ５１は、例えば、部品直進部５３の入口付近（供給部入口５２付近）に設けられ、供給部入口５２を通過する部品を検出する。側壁５４ａおよび５４ｂは、側方部材の一例である。

部品直進部５３は、部品整列部４３と接続されており、搬送部４０からの整列された部品を取出位置まで搬送することで、取出位置に部品を供給する。部品直進部５３は、第１の方向に延在して設けられる。

図４の（ｃ）に示すように、部品直進部５３の支持面５３ａには、複数のエア噴出孔５３ｂが形成されている。部品直進部５３は、複数の部品を複数のエア噴出孔５３ｂから噴出されるエアにより順次搬送する。部品直進部５３は、複数のエア噴出孔５３ｂにより同時に複数の部品を搬送可能である。なお、図４の（ｃ）におけるＸ軸プラス側のエア噴出孔５３ｂには、第２のエア供給部６３とエア噴出孔５３ｂとを連通するためのエア通路の一部を破線で図示している。

図６Ａに示すように、部品直進部５３は、第１の方向に延在する凹状の溝である。部品直進部５３の支持面５３ａは、溝の底面により構成され、部品を支持する。支持面５３ａは、部品整列部４３の支持面４３ａと接続されており、支持面４３ａと同一平面上の面である。支持面５３ａには、部品を第１の方向に浮上搬送するための複数のエア噴出孔５３ｂが形成される。支持面５３ａに形成される複数のエア噴出孔５３ｂは、第１の方向かつ上方にエアを噴出可能に形成される。つまり、支持面に５３ａ形成される複数のエア噴出孔５３ｂは、Ｙ軸方向から見ると、第１の方向側の斜め上方にエアを噴出させる。また、支持面５３ａに形成される複数のエア噴出孔５３ｂは、Ｘ軸方向から見ると、支持面５３ａに対して垂直方向にエアを噴出させる。

部品が直方体である場合、部品直進部５３の幅（Ｙ軸方向の長さ）は、部品のうち最も短い辺の長さより大きく、部品のうち最も長い辺の長さより小さい。部品直進部５３の幅は、部品整列部４３の幅と同じであってもよい。これにより、部品直進部５３と部品整列部４３との境界（接続箇所）において、部品が壁面等に接触することが抑制され、部品の黒化抑制に効果を奏する。

部品直進部５３は、支持面５３ａの幅方向に間隔をあけて対向するように配置された２つの側壁５４ａおよび５４ｂを有する。そして、２つの側壁５４ａおよび５４ｂのうち一方の側壁（図６Ａおよび図６Ｂの例では、側壁５４ｂ）は、２つの側壁５４ａおよび５４ｂのうち他方の側壁（図６Ａおよび図６Ｂの例では、側壁５４ａ）に向けてエアを噴出する複数のエア噴出孔５４ｂ２を有する。部品直進部５３が溝である場合、複数のエア噴出孔５４ｂ２は、当該溝を形成するための一対の側壁における、互いに対向する壁面５４ａ１および５４ｂ１の一方（図６Ａおよび図６Ｂの例では、壁面５４ｂ１）に形成される。複数のエア噴出孔５４ｂ２は、壁面５４ｂ１において、第１の方向に沿って複数設けられる。部品直進部５３の支持面５３ａの複数のエア噴出孔５３ｂからエアが噴出している期間、複数のエア噴出孔５４ｂ２からもエアが噴出される。

複数のエア噴出孔５４ｂ２は、部品直進部５３により浮上搬送されている部品にエアを噴出可能に設けられる。複数のエア噴出孔５４ｂ２は、例えば、当該部品にエアを噴出可能な高さに設けられる。なお、エア噴出孔５４ｂ２から噴出されるエアの圧力または流量は、エア噴出孔５３ｂから噴出されるエアの圧力または流量より小さくてもよい。エア噴出孔５４ｂ２は、第３のエア噴出孔の一例である。

また、図６Ｂに示すように、部品直進部５３は、部品直進部５３の第１の方向の終端に部品の第１の方向の端面と当接する壁部５５を有する。壁部５５は、部品と当接することで、部品の第１の方向への搬送を止める。壁部５５は、部品を取出位置５６に位置決めする機能を有する。

壁部５５には、エアを吸引する吸着孔５５ａが形成される。取出位置５６まで搬送された部品の第１の方向側の面が吸着孔５５ａにより吸着されることで、当該部品は壁部５５にしっかりと位置決めされる。これにより、部品は、取出位置に固定される。また、吸着孔５５ａによるエアの吸引により、取出位置５６までの部品の搬送が補助されてよい。吸着孔５５ａによるエアの吸引により、部品が取出位置５６まで引き寄せられてもよい。このように、吸着孔５５ａは、部品を位置決めする機能に加えて、部品を搬送する機能を有していてもよい。

例えば、エア噴出孔５３ｂは、取出位置５６までにわたって形成される。つまり、部品直進部５３の支持面５３ａにおける取出位置には、部品を固定するための吸着孔を設けることができない。このような場合であって、吸着孔５５ａが壁部５５に設けられることで、部品の浮上搬送を阻害することなく、部品を所望の位置に固定させることができる。

吸着孔５５ａは、部品の第１の方向側の端面（Ｘ軸プラス側の端面）を吸着する吸着部の一例である。なお、吸着部は、エアの吸引により部品を吸着することに限定されず、静電気力、磁力、粘着力のいずれかにより部品を吸着するように構成されてもよい。静電気力、磁力、粘着力のいずれかにより部品を吸着するための構成は、既存のいかなる構成が用いられてもよい。例えば、静電気力により部品を吸着する場合、吸着部は、静電気力を発生させるための１以上の電極を含んで構成される。そして、制御部６１により１以上の電極への直流電圧の印加によって生じる当該１以上の電極と部品との間の静電気力により、部品を壁部５５に吸着（例えば、密着）させてもよい。

なお、部品直進部５３と部品整列部４３とにより、部品供給装置３０における整列部が形成される。整列部は、ケース１０から供給された部品を整列させ取出位置まで搬送する。例えば、複数のエア噴出孔は、整列部および第１の傾斜面４４のそれぞれにおいて、ケース１０から取出位置５６に向かう第１の方向かつ上方にエアを噴出可能に構成される。ここでの複数のエア噴出孔は、エア噴出孔４３ｂ、４４ｂおよび５３ｂを含む。例えば、エア噴出孔４３ｂおよび５３ｂは、第１のエア噴出孔の一例であり、エア噴出孔４４ｂは、第２のエア噴出孔の一例である。また、部品直進部５３は、整列部の第１の方向における取出位置５６側の下流部を構成する。

なお、制御部６１は、実装ヘッド１０７により部品が取り出されるタイミングで、吸着孔５５ａによるエアの吸引をＯＦＦにしてもよい。

図７は、本実施の形態に係る部品供給装置３０の機能構成を示すブロック図である。

図７に示すように、部品供給装置３０は、機能構成として、上記で説明した、第１のセンサ５１と、第２のセンサ４１と、制御部６１と、第１のエア供給部６２と、第２のエア供給部６３とを有する。

［２．部品供給装置の動作］
続いて、上記のように構成される部品供給装置３０における動作について、図８～図９Ｄを参照しながら説明する。図８は、本実施の形態に係る部品供給装置３０の動作を示すフローチャートである。

図８に示すように、制御部６１は、部品供給装置３０が動作必要な生産が開始されたか否かを判定する（Ｓ１０）。制御部６１は、例えば、部品供給装置３０が取付けられた実装システムの動作が開始したことにより、生産が開始されたと判定してもよいし、上位の制御装置から生産を開始したことを示す情報を取得することにより、生産が開始されたと判定してもよい。

次に、制御部６１は、生産が開始された場合（Ｓ１０でＹｅｓ）、搬送部４０における部品の搬送、および、供給部５０における部品の搬送を互いに独立して制御する（Ｓ２０）。つまり、制御部６１は、搬送部４０および供給部５０における部品の搬送を、一律に制御しない。本実施の形態では、制御部６１は、搬送部４０における部品のエアによる搬送、および、供給部５０における部品のエアによる搬送を互いに独立して制御する。

次に、制御部６１は、生産が終了したか否かを判定する（Ｓ３０）。制御部６１は、例えば、部品供給装置３０が取り付けられた部品実装装置の動作が終了したことにより、生産が終了したと判定してもよいし、上位の制御装置から生産を終了したことを示す情報を取得することにより、生産が終了したと判定してもよいし、第１のセンサ５１が検出した部品の数が所定数を超えたときに、生産が終了したと判定してもよい。

次に、制御部６１は、生産が終了した場合（Ｓ３０でＹｅｓ）、搬送部４０における部品の搬送、および、供給部５０における部品の搬送の制御を停止し（Ｓ４０）、生産が終了していない場合（Ｓ３０でＮｏ）、ステップＳ２０に戻りステップＳ２０の処理を継続する。

次に、制御部６１は、ステップＳ４０の処理を実行後、または、生産が開始されていない場合（Ｓ１０でＮｏ）、動作を終了する。

ここで、ステップＳ２０の制御について、図９Ａ～図９Ｄを参照しながら説明する。図９Ａは、図８に示すステップＳ２０の第１例を示す図である。図９Ａでは、搬送部４０におけるエアの供給が停止されている状態の動作を示す。なお、図９Ａに示す動作中、供給部５０には、エアが供給されていてもよい。

制御部６１は、第１のセンサ５１から供給部５０に部品があるか否かを示す検出結果を取得する（Ｓ２１）。制御部６１は、例えば、所定の時間間隔ごとに第１のセンサ５１から検出結果を取得する。

次に、制御部６１は、検出結果に基づいて供給部５０に部品がない場合（Ｓ２２でＮｏ）、搬送部４０にエアを供給する（Ｓ２３）。制御部６１は、例えば、ステップＳ２２でＮｏの場合、搬送部４０にエアの供給を開始するとも言える。具体的には、制御部６１は、第１のエア供給部６２等を制御して、搬送部４０のエア噴出孔からエアを噴出させる。制御部６１は、例えば、部品供給位置４２と、部品整列部４３と、第１の傾斜面４４と、第２の傾斜面４５と、旋回部４７と、戻り搬送部４８とのそれぞれにおけるエアの供給を一体的に制御する。例えば、制御部６１は、ステップＳ２３において、搬送部４０に形成された複数のエア噴出孔の全てからエアを噴出させる。

このように、制御部６１は、例えば、第１のセンサ５１の検出結果に基づいて、搬送部４０における部品の搬送を制御してもよい。制御部６１は、供給部５０に部品が無いことを示す検出結果（例えば、供給部５０の所定の位置に部品が無いことを示す検出結果）を第１のセンサ５１から取得した場合、搬送部４０に部品の搬送を行わせる。

図９Ｂは、図８に示すステップＳ２０の第２例を示す図である。

図９Ｂに示すように、制御部６１は、生産が開始されると（Ｓ１０でＹｅｓ）、供給部５０にエアを供給する（Ｓ２４）。具体的には、制御部６１は、第２のエア供給部６３等を制御して、少なくとも供給部５０のエア噴出孔５３ｂからエアを噴出させる。例えば、制御部６１は、ステップＳ２４において、エア噴出孔５３ｂおよび５４ｂ２のそれぞれからエアを噴出させる。制御部６１は、エア噴出孔５３ｂおよび５４ｂ２のそれぞれにおけるエアの供給を一体的に制御してもよい。また、制御部６１は、ステップＳ２４において、吸着孔５５ａによるエアの吸引を行わせてもよい。

このように、制御部６１は、例えば、第１のセンサ５１の検出結果によらずに供給部５０における部品の搬送を制御してもよい。制御部６１は、例えば、後述する部品実装装置１００が稼働しているときには、常に供給部５０の取出位置に部品を供給するための制御を行ってもよい。例えば、制御部６１は、部品実装装置１００が稼働しているときには、第２のエア供給部６３から複数のエア噴出孔５３ｂにエアを供給させる制御を行ってもよい。

図９Ｃは、図８に示すステップＳ２０の第３例を示す図である。

図９Ｃに示すように、制御部６１は、図９Ａに示す動作に加えて、ステップＳ２５～Ｓ２７の動作を行ってもよい。制御部６１は、供給部５０に部品がない場合（Ｓ２２でＮｏ）、所定期間、供給部５０にエアを供給する（Ｓ２５）。制御部６１は、例えば、ステップＳ２２でＮｏである場合、すぐに搬送部４０にエアを供給させずに、供給部５０へのエアの供給を所定期間継続させる。なお、このとき、搬送部４０には、エアは供給されていない。

次に、制御部６１は、第１のセンサ５１から供給部５０にエアを供給後の検出結果を取得する（Ｓ２６）。制御部６１は、ステップＳ２６で取得した検出結果に基づいて供給部５０に部品がない場合（Ｓ２７でＮｏ）、搬送部４０にエアを供給し（Ｓ２３）、供給部５０に部品がある場合（Ｓ２７でＹｅｓ）、搬送部４０にエアを供給しない。

このように、制御部６１は、例えば、供給部５０の所定の位置に部品が無い場合、供給部５０における部品の搬送を所定期間行わせ、当該所定期間の後にも所定の位置に部品が無い場合、搬送部４０に部品の搬送を行わせてもよい。

これにより、供給部５０により確実に部品がない場合のみ搬送部４０での部品の搬送が行われるので、搬送部４０における部品の接触等による当該部品の黒化をさらに抑制することができる。

図９Ｄは、図８に示すステップＳ２０の第４例を示す図である。

図９Ｄに示すように、制御部６１は、生産が開始される（Ｓ１０でＹｅｓ）と、整列部と第１の搬送部分４０ａ１とにエアを供給してもよい（Ｓ２８）。

また、制御部６１は、例えば、第２のセンサ４１の検出結果に基づいて、ケース１０から部品を供給させる制御を行ってもよい。制御部６１は、例えば、搬送部４０に部品が無いことを示す検出結果（例えば、搬送部４０の所定の位置に部品が無いことを示す検出結果）を第２のセンサ４１から取得した場合に、ケース１０を振動等させることで部品供給位置４２に部品を供給させる。また、制御部６１は、例えば、搬送部４０の所定の位置に部品が無い場合、搬送部４０における部品の搬送を所定期間行わせ、当該所定期間の後にも所定の位置に部品が無い場合、搬送部４０に部品がないので、ケース１０から部品供給位置４２に部品を供給させてもよい。

このように、制御部６１は、第２のセンサ４１の検出結果に基づいて、搬送部４０における部品の搬送を制御し、かつ、第２のセンサ４１の検出結果によらずに供給部５０における部品の搬送を制御してもよい。

［３．部品実装装置の構成］
次に、上記で説明した部品供給装置３０を有する供給ユニット８０が取り付けられる部品実装装置１００について、図１０を参照しながら説明する。図１０は、本実施の形態に係る部品実装装置１００の構成を示す図である。なお、部品実装装置１００は、基板１０３に部品を実装する装置である例について説明する。部品実装装置１００は、部品を供給するフィーダから部品を取り出して基板１０３に移送搭載する機能を有する。なお、基板１０３は、部品が実装される対象物の一例である。

図１０に示すように、部品実装装置１００は、供給ユニット８０と、基台１０１と、基板搬送機構１０２と、実装ヘッド１０７を含む部品実装機構１０８と、基板認識カメラ１０９と、部品認識カメラ１１０と、電源部（図示しない）とを備える。

基板搬送機構１０２は、基台１０１の中央付近にＸ軸に沿って（基板１０３の搬送方向）に配設されている。基板搬送機構１０２は、上流側から搬入された基板１０３をＸ軸に沿った方向に搬送し、部品実装作業を実行するために設定された実装ステージに位置決めして保持する。基板搬送機構１０２は、実装ヘッド１０７により保持された部品が実装される基板１０３を保持する基板保持部の一例である。

供給ユニット８０は、部品実装装置１００の本体部である基台１０１の供給ユニット装着部（図示せず）に着脱自在に装着されている。より具体的には供給ユニット８０を構成する台車７０が供給ユニット装着部に装着されている。本実施の形態において、供給ユニット装着部は基板搬送機構１０２の両側設けられており、供給ユニット８０も基板搬送機構１０２の両側に配置されている。それぞれの供給ユニット８０には複数のフィーダ２０がＹ軸に沿って並列に配置可能であり、少なくとも１つのフィーダ２０（バルクフィーダ）が並列に装着されている。また、供給ユニット８０が基台１０１に装着されることで、供給ユニット８０が有する各機能部（例えば、第１のエア供給部６２および第２のエア供給部６３等）と電源部とが電気的に接続され、電源部から供給ユニット８０の各機能部に電力が供給される。

供給ユニット８０に配置されたフィーダ２０は、部品実装機構１０８の実装ヘッド１０７による取出位置（図６Ｂに示す取出位置５６）に部品を供給する。なお、実装ヘッド１０７は、ヘッドの一例である。

基台１０１の上面においてＹ軸マイナス方向の端部には、リニア駆動機構を備えたＸ軸移動テーブル１０５がＸ軸方向に配設されており、Ｘ軸移動テーブル１０５には、同様にリニア駆動機構を備えた２基のＹ軸移動テーブル１０６が、Ｘ軸方向に移動自在に結合されている。２基のＹ軸移動テーブル１０６には、それぞれ実装ヘッド１０７がＹ軸方向に移動自在に装着されている。

実装ヘッド１０７は、供給ユニット８０に配置されたフィーダ２０により保持される部品を基板１０３に搭載（実装）する。実装ヘッド１０７は、例えば、第３のセンサ６４の検出結果に基づいて、部品を基板１０３に実装する。

実装ヘッド１０７には、部品を吸着して保持し個別に昇降可能な部品吸着ノズル１０７ａが装着されている。実装ヘッド１０７は、部品吸着ノズル１０７ａを昇降させるＺ軸昇降機構および部品吸着ノズル１０７ａをノズル軸廻りに回転させるθ軸回転機構を備えている。部品吸着ノズル１０７ａは、部品を保持する保持部の一例である。

Ｘ軸移動テーブル１０５、および、Ｙ軸移動テーブル１０６を駆動することにより、実装ヘッド１０７はＸ軸方向およびＹ軸方向に移動する。これにより２つの実装ヘッド１０７は、それぞれ対応した供給ユニット８０に配置されたフィーダ２０の取出位置から部品を部品吸着ノズル１０７ａによって取り出す。なお、基板搬送機構１０２、Ｘ軸移動テーブル１０５、Ｙ軸移動テーブル１０６および実装ヘッド１０７により、部品実装機構１０８が構成される。Ｘ軸移動テーブル１０５、および、Ｙ軸移動テーブル１０６は、実装ヘッド１０７を移動する駆動部の一例である。

上側および下側の台車７０のそれぞれと基板搬送機構１０２との間には、部品認識カメラ１１０が配設されている。供給ユニット８０に配置されたフィーダ２０から部品を取り出した実装ヘッド１０７が部品認識カメラ１１０の上方を移動する際に、部品認識カメラ１１０は実装ヘッド１０７に保持された状態の部品を撮像する。この撮像結果を処理部（図示しない）の画像認識によって認識処理することにより、部品の識別および位置検出が行われる。

実装ヘッド１０７にはＹ軸移動テーブル１０６の下面側に位置して、それぞれ実装ヘッド１０７と一体的に移動する基板認識カメラ１０９が装着されている。実装ヘッド１０７が移動することにより、基板認識カメラ１０９は基板搬送機構１０２に位置決めされた基板１０３の上方に移動し、基板１０３を撮像する。この撮像結果を同様に処理部の画像認識によって認識処理することにより基板１０３の位置が検出される。

電源部は、部品実装装置１００の各機能部に電力を供給する。電源部は、例えば、基板搬送機構１０２に配置された供給ユニット８０に電力を供給する。具体的には、電源部は、供給ユニット８０の第１のエア供給部６２および第２のエア供給部６３等に電力を供給する。また、電源部は、外部の電源と接続されていてもよい。

［４．効果など］
本開示の一態様に係る部品供給装置３０は、バラ積み状態でケース１０（部品収納部の一例）に収納された部品を、部品を保持する保持部により取り出される取出位置５６まで供給する部品供給装置である。部品供給装置３０は、ケース１０から供給された部品を整列させ取出位置５６まで搬送する部品整列部４３および部品直進部５３（整列部の一例）と、部品整列部４３および部品直進部５３に沿って設けられ、部品整列部４３および部品直進部５３に向けて下方に傾斜する第１の傾斜面４４を有する第１の搬送部分４０ａ１とを備える。部品整列部４３および部品直進部５３と、第１の搬送部分４０ａ１とは、部品整列部４３および部品直進部５３と、第１の搬送部分４０ａ１の部品が支持される第１の傾斜面４４とに開口する複数のエア噴出孔４３ｂ、４４ｂおよび５３ｂ（第１のエア噴出孔の一例）であって、エアを噴出することにより部品を浮上搬送させるための複数のエア噴出孔４３ｂ、４４ｂおよび５３ｂを有する。そして、複数のエア噴出孔４３ｂ、４４ｂおよび５３ｂは、部品整列部４３および部品直進部５３と第１の傾斜面４４とのそれぞれにおいて、ケース１０から取出位置５６に向かう第１の方向（Ｘ軸プラス方向）かつ上方にエアを噴出可能に構成されてもよい。

例えば、振動により部品に推進力を与える場合、Ｘ軸プラス方向に加えて、Ｘ軸マイナス方向、Ｙ軸方向等に推進力が与えられるので、前後の部品同士の接触、部品と壁部との接触等が起こり得る。また、整列用の壁部（例えば、平面視においてテーパ状の壁部）に部品を当接させることで当該部品を整列させる場合、部品と壁部との接触が起こり得る。つまり、振動又は整列用の壁部を用いて部品を搬送する場合、部品の搬送時に部品の黒化が起こり得る。

一方、本実施の形態に係る部品供給装置３０は、第１の方向（Ｘ軸プラス方向）かつ上方のエアにより部品が搬送されるので、部品に対して第１の方向（Ｘ軸プラス方向）のみにより確実に推進力を与えることができる。例えば、部品に対して振動により推進力を与える場合に比べてＸ軸マイナス方向等に部品が移動することを抑制することができるので、部品が接触することを抑制することができる。また、第１の傾斜面４４にもエアが噴出されるので、第１の傾斜面４４の部品を、部品と第１の傾斜面４４との間の摩擦を抑制しつつ、部品整列部４３に移動させ、整列させることができる。例えば、整列用の壁部を用いて部品を整列させる場合に比べて、部品が壁部等の構造物と接触することを抑制することができる。よって、本開示の一態様に係る部品供給装置３０は、部品の搬送時における部品の黒化を抑制することができる。

また、例えば、第１の搬送部分４０ａ１は、部品整列部４３および部品直進部５３とは逆方向に向かって下方に傾斜する第２の傾斜面４５をさらに有してもよい。そして、第２の傾斜面４５は、第１の方向における第１の傾斜面４４の下流側に設けられもよい。

これにより、部品整列部４３および部品直進部５３の下流側（例えば、部品直進部５３）において、部品がつまることを抑制することができる。

また、例えば、部品整列部４３および部品直進部５３の部品が支持される支持面４３ａおよび５３ａ（第１の支持面の一例）から所定の隙間をあけて部品整列部４３および部品直進部５３の上方の一部を覆うカバー４６をさらに備えてもよい。第１の搬送部分４０ａ１の第１の方向における長さは、部品整列部４３および部品直進部５３の第１の方向における長さより短く、カバー４６は、第１の搬送部分４０ａ１の第１の方向における取出位置５６側の端部に対応する位置に設けられてもよい。

これにより、部品が上下方向に重なって搬送されている場合に、カバー４６により部品の重なりを解除することができる。

また、例えば、第２の傾斜面４５と接続され、かつ、第１の搬送部分４０ａ１に沿って設けられ、第１の方向とは逆方向の第２の方向（Ｘ軸マイナス方向）に部品を搬送する第２の搬送部分４０ａ２をさらに備えてもよい。そして、第２の搬送部分４０ａ２は、第２の搬送部分４０ａ２の部品が支持される支持面（第３の支持面の一例）に開口し第２の方向かつ上方にエアを噴出可能に構成される複数のエア噴出孔（第２のエア噴出孔の一例）を有してもよい。

これにより、第２の搬送部分４０ａ２においてもエアにより部品を搬送できるので、部品整列部４３および部品直進部５３により搬送されなかった部品を、部品と第２の搬送部分４０ａ２の支持面と間の摩擦が生じることを抑制しつつ、部品整列部４３および部品直進部５３の上流側に戻すことができる。よって、部品の黒化を抑制しつつ、部品を上流側に戻すことができる。

また、例えば、部品整列部４３および部品直進部５３の第１の方向における取出位置５６側の下流部は、部品整列部４３および部品直進部５３の支持面４３ａおよび５３ａの幅方向（Ｙ軸方向）に間隔をあけて対向するように配置された２つの側壁５４ａおよび５４ｂ（側方部材の一例）を有してもよい。そして、２つの側壁５４ａおよび５４ｂのうち一方の側壁５４ｂは、２つの側壁５４ａおよび５４ｂのうち他方の側壁５４ａに向けてエアを噴出する複数のエア噴出孔５４ｂ２（第３のエア噴出孔の一例）を有してもよい。

これにより、部品整列部４３および部品直進部５３の下流部（例えば、部品直進部５３）において、エアにより部品を側壁５４ａに寄せる（位置決めする）ことができるので、壁部等の構造物により部品を側壁５４ａに寄せる場合に比べて、部品が他の物体に接触することを抑制することができる。よって、部品供給装置３０は、部品の搬送時に部品が黒化することを抑制しつつ、部品を側壁５４ａに寄せることができる。

また、例えば、部品整列部４３および部品直進部５３は、部品整列部４３および部品直進部５３の第１の方向の終端に部品の第１の方向側の端面と当接する壁部５５を有し、壁部５５は、当該部品の当該端面を吸着する吸着部（例えば、エアを吸引する吸着孔５５ａ）を有してもよい。

これにより、支持面４３ａおよび５３ａ（例えば、支持面５３ａ）に複数のエア噴出孔が形成されており吸着部を当該支持面５３ａに形成することができない場合であっても、壁部５５に形成された吸着部（例えば、吸着孔５５ａ）により部品を取出位置５６に固定することができる。

また、例えば、壁部５５にはエアを吸引する吸着孔５５ａが形成され、吸着孔５５ａと接続されるエア経路における流量または真空度を計測する第３のセンサ６４（センサの一例）をさらに備えてもよい。

これにより、エア経路における流量または真空度により取出位置５６に部品があるか否かを判定することができる。つまり、非接触で部品があるか否かを判定することができる。よって、接触式のセンサにより部品の有無を判定する場合に比べて、部品の黒化を抑制することができる。

また、例えば、部品整列部４３および部品直進部５３は、第１の方向に延在する溝であってもよい。

これにより、溝により効果的に部品を整列させることができる。

また、本開示の一態様に係る部品供給方法は、バラ積み状態でケース１０に収納された部品を、部品を保持する保持部により取り出される取出位置５６まで供給する部品供給装置３０における部品供給方法である。部品供給装置３０は、ケース１０から供給された部品を整列させ取出位置５６まで搬送する部品整列部４３および部品直進部５３と、部品整列部４３および部品直進部５３に沿って設けられ、部品整列部４３および部品直進部５３に向けて下方に傾斜する第１の傾斜面４４を有する第１の搬送部分４０ａ１とを備えてもよい。また、部品整列部４３および部品直進部５３と、第１の搬送部分４０ａ１とは、部品整列部４３および部品直進部５３と、第１の搬送部分４０ａ１の部品が支持される第１の傾斜面４４とに開口する複数のエア噴出孔４３ｂ、４４ｂおよび５３ｂ（第１のエア噴出孔の一例）であって、エアを噴出することにより部品を浮上搬送させるための複数のエア噴出孔４３ｂ、４４ｂおよび５３ｂを有する。そして、部品供給方法は、部品整列部４３および部品直進部５３と、第１の傾斜面４４とのそれぞれにおいて、ケース１０から取出位置５６に向かう第１の方向かつ上方にエアを噴出させることを含んでもよい。

これにより、上記の部品供給装置３０と同様の効果を奏する。

また、本開示の一態様に係る部品供給装置３０は、バラ積み状態でケース１０に収納された部品を、部品を保持する保持部により取り出される取出位置５６まで供給する部品供給装置である。部品供給装置３０は、ケース１０から供給された部品を整列させて搬送する搬送部４０と、一端が搬送部４０と接続され、搬送部４０から搬送された部品を取出位置５６に供給する供給部５０と、搬送部４０における部品の搬送、および、供給部５０における部品の搬送を互いに独立して制御する制御部６１と、を備えてもよい。

これにより、搬送部４０における部品の搬送、および、供給部５０における部品の搬送が互いに独立して制御されるので、当該２つの搬送を一体的に制御している場合に比べて、部品の接触を抑制することができる。よって、本開示の一態様に係る部品供給装置３０は、部品の搬送時における部品の黒化を抑制することができる。

また、例えば、供給部５０に収容される部品の量を検出する第１のセンサ５１（第１の検出部の一例）を備えてもよい。そして、制御部６１は、第１のセンサ５１の検出結果に基づいて、搬送部４０における部品の搬送を制御してもよい。

これにより、供給部５０における部品の量に応じて搬送部４０における部品の搬送が制御されるので、供給部５０における部品の量によらずに搬送部４０が制御される場合に比べて、搬送部４０における部品の搬送の回数または搬送時間を小さくすることができる。つまり、搬送部４０における部品の過剰な搬送が抑制されるので、搬送部４０での搬送時の部品の接触を抑制することができる。よって、本開示の一態様に係る部品供給装置３０は、部品の搬送時における部品の黒化をより抑制することができる。

また、例えば、第１のセンサ５１は、供給部５０の所定の位置における部品の有無を検出し、制御部６１は、第１のセンサ５１から所定の位置に部品が無いことを示す検出結果を得た場合に、搬送部４０に部品の搬送を行わせてもよい。

これにより、供給部５０の所定の位置に部品がない場合、つまり搬送部４０から供給部５０に部品の搬送が必要な場合に、搬送部４０による部品の搬送が行われる。言い換えると、供給部５０の所定の位置に部品がある場合、つまり搬送部４０から供給部５０に部品の搬送が必要ではない場合に、搬送部４０による部品の搬送が行われない。よって、搬送部４０による部品の搬送を、供給部５０の所定の位置に部品がない場合に限定することができるので、搬送部４０において部品が接触し当該部品の黒化が発生することを抑制することができる。

また、例えば、制御部６１は、所定の位置に部品が無い場合、さらに、供給部５０における部品の搬送を所定期間行わせ、所定期間の後にも所定の位置に部品が無い場合、搬送部４０に部品の搬送を行わせてもよい。

これにより、所定の位置により確実に部品が無い場合のみ、搬送部４０における部品の搬送を行わせることができる。よって、搬送部４０において部品の黒化が発生することをより抑制することができる。

また、例えば、制御部６１は、第１のセンサ５１の検出結果によらずに、供給部５０における部品の搬送を制御してもよい。

これにより、供給部５０は、第１のセンサ５１の検出結果によらず一定の条件で部品を搬送することができる。よって、供給部５０は、取出位置５６への部品の供給をより確実に行うことができる。

また、例えば、搬送部４０は、部品を支持する支持面４３ａ（第１の支持面の一例）に開口する複数のエア噴出孔４３ｂであって、エアを噴出することにより部品を浮上搬送させるための複数のエア噴出孔４３ｂを有し、供給部５０は、部品を支持する支持面５３ａ（第２の支持面の一例）に開口する複数のエア噴出孔５３ｂであって、エアを噴出することにより部品を浮上搬送させるための複数のエア噴出孔５３ｂを有してもよい。そして、制御部６１は、複数のエア噴出孔４３ｂから噴出させるエア、および、複数のエア噴出孔５３ｂから噴出させるエアを互いに独立して制御してもよい。

これにより、部品を浮上搬送させるので、部品と支持面４３ａおよび５３ａとの摩擦を抑制することができる。また、複数のエア噴出孔４３ｂから噴出させるエア、および、複数のエア噴出孔５３ｂから噴出させるエアを互いに独立して制御するので、２つのエアを一体的に制御する場合に比べて、いずれか一方のエアの供給を停止する等の柔軟な制御を行うことが可能となる。エアの供給を停止することで、当該構成要素における部品の接触を抑制することができる。よって、本開示の一態様に係る部品供給装置３０は、部品の搬送時における部品の黒化をさらに抑制することができる。

また、例えば、搬送部４０は、ケース１０から供給部５０へ向かう第１の方向に部品を搬送する第１の搬送部分４０ａ１と、第１の搬送部分４０ａ１と接続され、かつ、第１の搬送部分４０ａ１に沿って設けられ、第１の搬送部分４０ａ１から第１の方向とは逆方向の第２の方向へ部品を搬送する第２の搬送部分４０ａ２とを有してもよい。

これにより、搬送部４０から供給部５０に搬送されなかった部品を、搬送部４０の上流側（Ｘ軸マイナス側）に戻すことができる。

また、例えば、搬送部４０は、第１の搬送部分４０ａ１に沿って設けられ、第１の方向に搬送される部品を整列させる部品整列部４３をさらに有してもよい。

これにより、部品整列部４３により整列された部品を供給部５０に供給することができる。

また、例えば、第１の搬送部分４０ａ１における部品の量を検出する第２のセンサ４１（第２の検出部の一例）をさらに備えてもよい。そして、制御部６１は、第２のセンサ４１の検出結果に基づいて、ケース１０から部品を供給させるための制御を行ってもよい。

これにより、ケース１０から部品が供給される位置における部品の密度が高くなり、部品同士が接触することを抑制することができる。

また、本開示の一態様に係る部品供給方法は、バラ積み状態でケース１０に収納された部品を、部品を保持する保持部により取り出される取出位置５６まで供給する部品供給装置３０の部品供給方法である。部品供給装置３０は、ケース１０から供給された部品を整列させて搬送する搬送部４０と、一端が搬送部４０と接続され、搬送部４０から搬送された部品を取出位置５６に供給する供給部５０とを備えてもよい。そして、部品供給方法は、搬送部４０における部品の搬送、および、供給部５０における部品の搬送を互いに独立して制御することを含んでもよい。

これにより、上記の部品供給装置３０と同様の効果を奏する。

また、本開示の一態様に係る部品実装装置１００は、上記の部品供給装置３０と、部品供給装置３０により供給された部品を保持するための実装ヘッド１０７（ヘッドの一例）と、実装ヘッド１０７を移動するＸ軸移動テーブル１０５、および、Ｙ軸移動テーブル１０６（駆動部の一例）と、実装ヘッド１０７により保持された部品が実装される基板１０３を保持する基板搬送機構１０２（基板保持部の一例）とを備える。

これにより、部品実装装置１００は、黒化が抑制された部品を基板１０３に実装することができる。

（その他の実施の形態）
以上、一つまたは複数の態様に係る部品供給装置等について、実施の形態に基づいて説明したが、本開示は、この実施の形態に限定されるものではない。本開示の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したものや、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本開示に含まれてもよい。

例えば、上記実施の形態では、部品供給装置は、エアにより部品を搬送したが、搬送方法はエアに限定されない。部品供給装置は、例えば、エアに替えて振動により部品を搬送してもよい。図１１は、その他の実施の形態に係る部品供給装置３０ａの機能構成を示すブロック図である。

図１１に示すように、部品供給装置３０ａは、第１のセンサ５１と、第２のセンサ４１と、制御部６１と、第１の振動供給部６２ａと、第２の振動供給部６３ａとを有していてもよい。第１の振動供給部６２ａは、搬送部４０を振動させるための振動発生装置であり、例えば、Ｘ軸方向に沿って搬送部４０を振動させる。第２の振動供給部６３ａは、供給部５０を振動させるための振動発生装置であり、例えば、Ｘ軸方向に沿って供給部５０を振動させる。そして、制御部６１は、搬送部４０における振動による部品の搬送、および、供給部５０における振動による部品の搬送を互いに独立して制御する。

この場合、搬送部４０と供給部５０とは、例えば、隙間をあけて設けられてもよい。これにより、搬送部４０および供給部５０が１つの振動発生装置により一体的に振動されている場合に比べて、部品同士が接触することを抑制することが可能となる。例えば、制御部６１が供給部５０に部品がない場合のみ搬送部４０を振動させることで、搬送部４０における部品搬送時の部品の接触を抑制することができる。また、この場合、搬送部４０の第１の搬送部分４０ａ１と第２の搬送部分４０ａ２とは、例えば、隙間をあけて設けられてもよい。

なお、部品供給装置３０ａは、振動およびエアの両方を用いて部品を搬送してもよい。例えば、部品供給装置３０ａは、搬送部４０では振動により部品を搬送し、供給部５０ではエアにより部品を搬送してもよい。なお、搬送部４０が振動により部品を搬送する場合、第１の傾斜面および第２の傾斜面は設けられなくてもよい。

また、上記実施の形態における、エア噴出孔および吸着孔の形状は、例えば、円形状であるがこれに限定されず、いかなる形状であってもよい。また、エア噴出孔の配列は、上記実施の形態に限定されない。

また、上記実施の形態では、吸着孔は壁部に１つ設けられる例について説明したが、これに限定されず２以上設けられてもよい。

また、上記実施の形態では、第１のセンサおよび第２のセンサは、部品の量として部品の有無を検出したがこれに限定されず、部品の数量を検出してもよい。そして、制御部は、第１のセンサが検出した部品の数が所定数以下である場合に、搬送部にエアを供給してもよい。また、制御部は、第２のセンサが検出した部品の数が所定数以下である場合に、ケースから部品を供給させてもよい。また、部品の量は、部品の数であることに限定されず、例えば、部品の重さであってもよい。この場合、第１のセンサおよび第２のセンサは、部品の重さを検出可能なセンサにより実現される。

また、上記実施の形態に係る搬送部および供給部は、一体形成されていてもよいし、別々に形成され、接続されてもよい。

また、上記実施の形態では、部品供給装置は、搬送部および供給部により構成される例について説明したが、さらに本体部（例えば、本体部６０）を含んで構成されてもよい。つまり、部品供給装置は、上記実施の形態に係るフィーダにより実現されてもよい。

また、上記実施の形態では、部品供給装置は、バラ積み状態の部品を収納するケースから供給された部品を搬送する装置である例について説明したが、これに限定されない。部品供給装置は、例えば、内壁に部品が移動することができる螺旋状走路が設けられたボウルから供給される部品を搬送してもよい。例えば、フィーダは、ボウルフィーダであってもよい。

また、上記実施の形態において、各構成要素は、専用のハードウェアで構成されるか、各構成要素に適したソフトウェアプログラムを実行することによって実現されてもよい。各構成要素は、ＣＰＵまたはプロセッサなどのプログラム実行部が、ハードディスクまたは半導体メモリなどの記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現されてもよい。

また、フローチャートにおける各ステップが実行される順序は、本開示を具体的に説明するために例示するためのものであり、上記以外の順序であってもよい。また、上記ステップの一部が他のステップと同時（並列）に実行されてもよいし、上記ステップの一部は実行されなくてもよい。

また、ブロック図における機能ブロックの分割は一例であり、複数の機能ブロックを一つの機能ブロックとして実現したり、一つの機能ブロックを複数に分割したり、一部の機能を他の機能ブロックに移してもよい。また、類似する機能を有する複数の機能ブロックの機能を単一のハードウェアまたはソフトウェアが並列または時分割に処理してもよい。

また、これらの全般的または具体的な態様は、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムまたはコンピュータで読み取り可能なＣＤ－ＲＯＭ等の非一時的記録媒体で実現されてもよく、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムまたは記録媒体の任意な組み合わせで実現されてもよい。

また、上記実施の形態で説明した各構成要素は、ソフトウェアとして実現されても良いし、典型的には、集積回路であるＬＳＩとして実現されてもよい。これらは、個別に１チップ化されてもよいし、一部または全てを含むように１チップ化されてもよい。ここでは、ＬＳＩとしたが、集積度の違いにより、ＩＣ、システムＬＳＩ、スーパーＬＳＩ、ウルトラＬＳＩと呼称されることもある。また、集積回路化の手法はＬＳＩに限るものではなく、専用回路または汎用プロセッサで実現してもよい。ＬＳＩ製造後に、プログラムすることが可能なＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ）または、ＬＳＩ内部の回路セルの接続若しくは設定を再構成可能なリコンフィギュラブル・プロセッサを利用してもよい。更には、半導体技術の進歩または派生する別技術によりＬＳＩに置き換わる集積回路化の技術が登場すれば、当然、その技術を用いて構成要素の集積化を行ってもよい。

システムＬＳＩは、複数の処理部を１個のチップ上に集積して製造された超多機能ＬＳＩであり、具体的には、マイクロプロセッサ、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）などを含んで構成されるコンピュータシステムである。ＲＯＭには、コンピュータプログラムが記憶されている。マイクロプロセッサが、コンピュータプログラムに従って動作することにより、システムＬＳＩは、その機能を達成する。

また、本開示の一態様は、図８～図９Ｄのいずれかに示される部品供給方法に含まれる特徴的な各ステップをコンピュータに実行させるコンピュータプログラムであってもよい。

また、例えば、プログラムは、コンピュータに実行させるためのプログラムであってもよい。また、本開示の一態様は、そのようなプログラムが記録された、コンピュータ読み取り可能な非一時的な記録媒体であってもよい。例えば、そのようなプログラムを記録媒体に記録して頒布または流通させてもよい。例えば、頒布されたプログラムを、他のプロセッサを有する装置にインストールして、そのプログラムをそのプロセッサに実行させることで、その装置に、上記各処理を行わせることが可能となる。

本開示は、部品を基板に装着することによって実装基板を生産するための実装装置等に有用である。

１０ ケース
１１、４６ カバー
２０ フィーダ
３０、３０ａ 部品供給装置
３２ 被装着部
３６ チューブ
３８ 締結部材
４０ 搬送部
４０ａ、５０ａ、６０ 本体部
４０ａ１ 第１の搬送部分
４０ａ２ 第２の搬送部分
４０ｂ、５０ｂ 蓋部
４０ｂ１ 貫通孔
４１ 第２のセンサ（第２の検出部）
４２ 部品供給位置
４３ 部品整列部
４３ａ、５３ａ 支持面
４３ｂ、５３ｂ エア噴出孔（第１のエア噴出孔）
４４ 第１の傾斜面
４４ｂ エア噴出孔
４５ 第２の傾斜面
４７ 旋回部
４８ 戻し搬送部
４９ａ、４９ｃ、５４ａ、５４ｂ 側壁
４９ｂ 仕切り壁
５０ 供給部
５１ 第１のセンサ（第１の検出部）
５２ 供給部入口
５３ 部品直進部
５４ａ１、５４ｂ１ 壁面
５４ｂ２ エア噴出孔（第３のエア噴出孔）
５５ 壁部
５５ａ 吸着孔（吸着部）
５６ 取出位置
６１ 制御部
６２ 第１のエア供給部
６２ａ 第１の振動供給部
６３ 第２のエア供給部
６３ａ 第２の振動供給部
６４ 第３のセンサ（第３の検出部）
７０ 台車
８０ 供給ユニット
１００ 部品実装装置
１０１ 基台
１０２ 基板搬送機構
１０３ 基板
１０５ Ｘ軸移動テーブル
１０６ Ｙ軸移動テーブル
１０７ 実装ヘッド（ヘッド）
１０７ａ 部品吸着ノズル
１０８ 部品実装機構
１０９ 基板認識カメラ
１１０ 部品認識カメラ

Claims (10)

1. バラ積み状態で部品収納部に収納された部品を、前記部品を保持する保持部により取り出される取出位置まで供給する部品供給装置であって、
   前記部品収納部から供給された前記部品を整列させて搬送する搬送部と、
   一端が前記搬送部と接続され、前記搬送部から搬送された前記部品を前記取出位置に供給する供給部と、
   前記搬送部における前記部品の搬送、および、前記供給部における前記部品の搬送を互いに独立して制御する制御部と、
   前記供給部に収容される前記部品の量を検出する第１の検出部と、を備え、
   前記制御部は、前記第１の検出部の検出結果に基づいて、前記搬送部における前記部品の搬送を制御する、
   部品供給装置。
2. 前記第１の検出部は、前記供給部の所定の位置における前記部品の有無を検出し、
   前記制御部は、前記第１の検出部から前記所定の位置に前記部品が無いことを示す前記検出結果を得た場合に、前記搬送部に前記部品の搬送を行わせる、
   請求項１に記載の部品供給装置。
3. 前記制御部は、前記所定の位置に前記部品が無い場合、さらに、前記供給部における前記部品の搬送を所定期間行わせ、前記所定期間の後にも前記所定の位置に前記部品が無い場合、前記搬送部に前記部品の搬送を行わせる、
   請求項２に記載の部品供給装置。
4. 前記制御部は、前記第１の検出部の検出結果によらずに、前記供給部における前記部品の搬送を制御する、
   請求項１から３のいずれか１項に記載の部品供給装置。
5. 前記搬送部は、前記部品を支持する第１の支持面に開口する複数のエア噴出孔であって、エアを噴出することにより前記部品を浮上搬送させるための複数のエア噴出孔を有し、
   前記供給部は、前記部品を支持する第２の支持面に開口する複数のエア噴出孔であって、エアを噴出することにより前記部品を浮上搬送させるための複数のエア噴出孔を有し、
   前記制御部は、前記第１の支持面に開口する前記複数のエア噴出孔から噴出させるエア、および、前記第２の支持面に開口する前記複数のエア噴出孔から噴出させるエアを互いに独立して制御する、
   請求項１から４のいずれか１項に記載の部品供給装置。
6. 前記搬送部は、前記部品収納部から前記供給部へ向かう第１の方向に前記部品を搬送する第１の搬送部分と、前記第１の搬送部分と接続され、かつ、前記第１の搬送部分に沿って設けられ、前記第１の搬送部分から前記第１の方向とは逆方向の第２の方向へ前記部品を搬送する第２の搬送部分と、を有する、
   請求項１から５のいずれか１項に記載の部品供給装置。
7. 前記搬送部は、前記第１の搬送部分に沿って設けられ、前記第１の方向に搬送される前記部品を整列させる部品整列部をさらに有する、
   請求項６に記載の部品供給装置。
8. 前記第１の搬送部分における前記部品の量を検出する第２の検出部をさらに備え、
   前記制御部は、前記第２の検出部の検出結果に基づいて、前記部品収納部から前記部品を供給させるための制御を行う、
   請求項６または７に記載の部品供給装置。
9. 請求項１から８のいずれか１項に記載の部品供給装置と、
   前記部品供給装置により供給された前記部品を保持するためのヘッドと、
   前記ヘッドを移動する駆動部と、
   前記ヘッドにより保持された前記部品が実装される基板を保持する基板保持部と、を備える、
   部品実装装置。
10. バラ積み状態で部品収納部に収納された部品を、前記部品を保持する保持部により取り出される取出位置まで供給する部品供給装置の部品供給方法であって、
    前記部品供給装置は、
    前記部品収納部から供給された前記部品を整列させて搬送する搬送部と、
    一端が前記搬送部と接続され、前記搬送部から搬送された前記部品を前記取出位置に供給する供給部と、
    前記供給部に収容される前記部品の量を検出する第１の検出部と、を備え、
    前記部品供給方法は、
    前記搬送部における前記部品の搬送、および、前記供給部における前記部品の搬送を互いに独立して制御することを含み、
    前記第１の検出部の検出結果に基づいて、前記搬送部における前記部品の搬送を制御する、
    部品供給方法。

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