JP7635104B2 - レーザ照射装置のヘッド - Google Patents

レーザ照射装置のヘッド Download PDF

Info

Publication number
JP7635104B2
JP7635104B2 JP2021156484A JP2021156484A JP7635104B2 JP 7635104 B2 JP7635104 B2 JP 7635104B2 JP 2021156484 A JP2021156484 A JP 2021156484A JP 2021156484 A JP2021156484 A JP 2021156484A JP 7635104 B2 JP7635104 B2 JP 7635104B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
irradiation device
laser light
head
laser
flow path
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2021156484A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2023047520A (ja
Inventor
武司 山本
Original Assignee
フルサト工業株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by フルサト工業株式会社 filed Critical フルサト工業株式会社
Priority to JP2021156484A priority Critical patent/JP7635104B2/ja
Publication of JP2023047520A publication Critical patent/JP2023047520A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7635104B2 publication Critical patent/JP7635104B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Cleaning In General (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Description

本発明は、構造物の表面に付着した固着物を粉砕するためのレーザ光を射出するレーザ照射装置に備えられたレーザ照射装置のヘッドに関する。
構造物の表面に付着した固着物を除去するための装置が種々提供されている。例えば、特許文献1には、レーザ光を照射対象物の表面に照射することにより、照射対象物の表面に付着した塗膜や異物などを除去するレーザ照射装置が記載されている。
このレーザ照射装置は、光学系と流体供給部とを備えている。光学系は、集光光学系と偏向光学系とを含んでいる。集光光学系は、レーザ発振器が発生するレーザ光を所定の焦点位置において集光させる。偏向光学系は、レーザ光を偏向させ、焦点位置を照射対象物の表面に沿って所定の走査パターンで走査させる。
流体供給部は、カバー部とシールドガス供給筒と集塵機接続筒とを有している。カバー部は、照射箇所を覆うように照射対象物に宛がわれる(特許文献1では「取り付けられる」と記載)容器状の部材で、側面部や天面部などを有している。側面部は、4つの側壁によって枠状に形成されている。向き合った側壁には、シールドガス供給筒と集塵機接続筒とが接続される。天面部には、レーザ光を通過させるための開口が形成されている。
このレーザ照射装置は、不活性ガスを主成分とする流体(以下、「シールドガス」という。)がシールドガス供給筒からカバー部内に供給されて充満することにより、照射位置の照射対象物の表面に酸化物の被膜が形成されないようにする。また、このレーザ照射装置は、照射対象物に対してレーザ光が照射されることにより発生した塵埃を集塵機接続筒から吸引する。したがって、集塵機接続筒を備えたレーザ照射装置は、レーザ光の照射により発生した塵埃が照射対象物に再付着してレーザ加工の品質を損なわないようにすることができる。
特開2020-22978号公報
特許文献1に記載されたレーザ照射装置は、シールドガス供給筒からカバー部内にシールドガスを供給しながら、カバー部内で発生した塵埃を集塵機接続筒から吸引する。したがって、このレーザ照射装置は、シールドガス供給筒から供給されるシールドガスが集塵機接続筒から吸引される塵埃よりも少ないと、カバー部内がシールドガスで充満されず、照射対象物の表面に酸化物の被膜が形成される。逆に、シールドガス供給筒からカバー部内に供給されるシールドガスよりも集塵機接続筒から吸引される塵埃が少ないと、照射対象物の表面に塵埃が付着する。
このように、特許文献1に記載されたレーザ照射装置は、照射対象物の表面に酸化物の被膜が形成されないようにしつつ、レーザ光の照射により発生した塵埃が照射対象物の表面に再付着しないようにするため、シールドガスの供給量と発生した塵埃の吸引量とのバランスをとる必要がある。したがって、このレーザ照射装置は、このバランスの可否によって、照射対象物に付着した異物の除去ができたりできなかったりする。
本発明は、レーザ照射によって発生した塵埃がレーザ光通過の邪魔にならずに、照射対象物の表面の固着物を除去できるようにしたレーザ照射装置のヘッドを提供することを目的とする。
本発明に係るレーザ照射装置のヘッドは、
構造物の表面に付着した固着物を粉砕するためのレーザ光を射出するレーザ照射装置のレーザ光射出部に装着されるレーザ光照射装置のヘッドであって、
基端開口部、先端開口部及び排気部を有する変形筒状のケーシングと、
前記ケーシング内で前記先端開口部から前記排気部への流路を設けるセパレータと、
を備え、
前記基端開口部は、前記レーザ光が通過可能なように開口し、前記レーザ照射装置のレーザ光射出部に取り付け可能とされ、
前記先端開口部は、前記レーザ光が通過可能なように開口し、粉砕された前記固着物の吸引口ともされ、
前記セパレータは、前記レーザ光が前記基端開口部から前記先端開口部へ通過できる位置で前記ケーシング内を区切り、前記先端開口部から前記排気部への流路を設ける。
前記本発明に係るレーザ照射装置のヘッドにおいて、
前記ケーシングは、吸気部を有し、
前記セパレータは、前記吸気部から前記先端開口部への流路を上流部の流路とし,前記先端開口部から前記排気部への流路を下流部の流路とする。
前記本発明に係るレーザ照射装置のヘッドにおいて、
前記先端開口部は、前記レーザ光が走査する範囲で長方形状に開口している。
前記本発明に係るレーザ照射装置のヘッドにおいて、
前記ケーシングを補強するフレームを備えている。
前記本発明に係るレーザ照射装置のヘッドにおいて、
前記スペーサは、前記レーザ光の射出のスイッチ機能を有している。
本発明によれば、レーザ照射によって発生した塵埃がレーザ光通過の邪魔にならずに、照射対象物の表面の固着物を除去できるようにしたレーザ照射装置のヘッドを提供することができる。
本発明に係るレーザ照射装置のヘッドの一実施形態を示す断面正面図である。 本発明に係るレーザ照射装置のヘッドの一実施形態を示す斜視図である。 本発明に係るレーザ照射装置のヘッドの一実施形態を示す断面斜視図である。 本発明に係るレーザ照射装置のヘッドの一実施形態を示す側面図である。 本発明に係るレーザ照射装置のヘッドの一実施形態であって、使用状態を示す断面正面図である。
以下、本発明に係るレーザ照射装置のヘッドの一実施形態について、図1乃至図5を参照しながら説明する。図1は、本発明に係るレーザ照射装置のヘッドの一実施形態を示す断面正面図である。図2は、本発明に係るレーザ照射装置のヘッドの一実施形態を示す斜視図である。図3は、本発明に係るレーザ照射装置のヘッドの一実施形態を示す断面斜視図である。図4は、本発明に係るレーザ照射装置のヘッドの一実施形態を示す側面図である。図5は、本発明に係るレーザ照射装置のヘッドの一実施形態であって、使用状態を示す断面正面図である。
図5に示すように、このレーザ照射装置のヘッドは、レーザ光を射出するレーザ照射装置のレーザ光射出部Sに取り付け可能とされる。レーザ光は、構造物Aの表面に付着した固着物(図示せず)を粉砕する。構造物Aは、例えば、橋梁、建屋、船舶、配管などのように、大型構造物から小型構造物まで限定せず、また、固定構造物であるか移動構造物であるかも限定しない。固着物は、構造物Aの表面に付着したペンキのような塗膜であるか、錆であるか、汚染物質であるか、構造物Aの表面が酸化したり変色したり構造物自体であるかなど限定しない。レーザ照射装置は、このような固着物にレーザ光を照射ことで、固着物を粉砕し、除去物Cとして構造物Aの表面から除去する。
レーザ照射装置は、エジェクタ(図示せず)と本体ケーシンング(以下、「本体」という。)とを備えている。エジェクタは、レーザ発振器やスキャナ、光ファイバなどを備えている。レーザ発振器は、本体から離れて備えられる。スキャナは、本体に内蔵され、レーザ光を所定の幅で往復させ、焦点位置となる構造物Aの表面を走査させる。レーザ発振器とスキャナとは、光ファイバによって接続される。
本体は、作業者が手で持てる大きさや重さの変形箱型形状とされている。本体の一端側は、閉鎖部とされ、光ファイバの先端部が接続される。本体の他端側は、スキャナから射出されたレーザ光が通過できるように開口したレーザ光射出部Sとされている。レーザ光射出部Sは、例えば円筒形に開口した接続部(図示せず)を有している。本体は、閉鎖部とレーザ光射出部Sとを結ぶラインが基本的に水平向きで使用される。
この本体のレーザ光射出部Sの接続部にレーザ射出装置のヘッドが取り付けられる。図1に示すように、このヘッドは、ヘッド用ケーシング(以下、主として「ケーシンング」という。)1とセパレータ2とを備えている。ヘッドは、さらにフレーム3を備えている。
ケーシング1は、変形筒状で、基端開口部11、先端開口部12及び排気部13を有している。ケーシング1は、さらに吸気部14を有している。ケーシンングの基端開口部11は、本体のレーザ光射出部Sの接続部に嵌め合わされている。したがって、ここでは、ケーシング1の基端開口部11と先端開口部12とを結ぶラインが本体の向きと同じく水平向きで使用される場合について説明する。
図2に示すように、この向きにおいて、ケーシング1は、基端側筒状部101と、上側の天面部102と、下側の底面部103と、左右(基端開口部11から先端開口部12を見たときの左右)両側の側面部104と、を備えている。天面部102と底面部103は、左右に分割され、複数の係合爪105を備えている。係合爪105が噛み合うことによって左右の天面部102と底面部103とが分離可能に一体化される。天面部102及び底面部103は、下側に若干、膨らむように撓んだアーチ形状に成形されている。天面部102と底面部103との間隔は、基端開口部11側が広くされ、先端開口部12側が狭くされている。
ケーシング1の基端開口部11は、レーザ光射出装置から照射されたレーザ光が通過可能なように円筒形に形成されている。レーザ射出装置のレーザ光射出部Sが円筒形に形成されているため、ケーシング1の基端開口部11がレーザ光射出装置のレーザ光射出部Sに着脱可能とされている。
ケーシング1の先端開口部12は、レーザ光が通過可能なように開口し、粉砕された固着物を除去した除去物Cの吸い込み口ともされる。レーザ光は、所定の幅で往復するように走査するため、この先端開口部12は、レーザ光が走査可能な長方形状とされる。この開口部は、天面部102及び底面部103のエッジに設けられる長辺と、両側の側面部104のエッジに設けられる短辺とによって長方形状に形成される。天面部102の中心部には、吸気部14が設けられている。吸気部14は、長円形の貫通穴によって形成されている。ただし、吸気部14の形状は、限定されない。
底面部103の中心部には、排気部13が設けられている。排気部13は、底面部103から突出するような円筒状に形成されている。
フレーム3は、基本的にケーシング1の内側に配置される。フレーム3の基端側31は、厚肉で、円筒形とされている。フレーム3の中間部32から先端側33は、薄肉で、ケーシング1の各側面部104に沿うように先細り形状とされる。フレーム3は、底面部103の上面とセパレータ2の下面に沿わず、各側面部104の内面に密着する。フレーム3の基端側31と先端側33との境界部には、肉抜き部34が形成されている。図4に示すように、フレーム3の先端側33の最先端部は、二股形状とされている。
このヘッドは、先端開口部12の端面から突出した一対のスペーサ4を備えている。各スペーサ4は、回転軸41とローラ42とを備えている。回転軸41は、ローラ42の中心を貫通し、フレーム3の二股形状の最先端部に掛け渡される。ローラ42は、この回転軸41に支持され、フレーム3の二股形状の最先端部に隙間をもって挟まれる。ローラ42の外周部の一部は、ケーシング1の先端開口部12の端面から突出する。
スペーサ4は、レーザ光の射出のスイッチ機能を有している。スイッチ機能は、図示しないが、ローラ42が構造物Aの表面に押し当てられるとONし、ローラ42が構造物Aの表面から離れるとOFFするマイクロスイッチや、ローラ42が構造物Aの表面に当たったか当たっていないかを検知するタッチセンサーなどの電子部品を備えている。この電子部品とレーザ照射装置のレーザ発振器やスキャナなどとはケーブル(図示せず)によって接続される。
図1に示すように、セパレータ2は、ケーシング1内で先端開口部12から排気部13への下流部の流路22を設ける。このセパレータ2と天面部102との間は、レーザ光が基端開口部11から先端開口部12へ通過できる空間とされる。セパレータ2は、上側へ若干、膨らむように撓んだアーチ形状に形成されている。セパレータ2は、天面部102と底面部103と同じ幅で、両側縁が各側面部104の内面に密着している。セパレータ2と天面部102との間には、気流の流路である上流部の流路21が設けられる。上流部の流路21は、セパレータ2によって基端開口部11から先端開口部12へ次第に狭くなるように形成される。下流部の流路22では、セパレータ2によって先端開口部12から排気部13へのスムーズな気流が生じる。
図2に示すように、排気部13には、排気管Eの上流端が接続されている。排気管Eの下流端には、吸引装置(図示せず)が接続されている。レーザ照射装置がONされることにより、吸引装置がONされる。ただし、レーザ照射装置がOFFされた後も、吸引装置はしばらくONされ続けてからOFFされる。
ここで、このようなヘッドの基端開口部11がレーザ照射装置の本体のレーザ光射出部Sの接続部に取り付けられ、構造物Aの表面の固着物を除去する方法について説明する。
ヘッドは、水平向きとされ、スペーサ4のローラ42が構造物Aの表面に当てられる。こうすることで、ケーシング1の基端開口部11の端面が構造物のAの表面から一定の間隔、すなわち、ローラ42が基端開口部11の端面から突出している量だけ、基端開口部11の端面が構造物Aの表面から浮いた状態になる。そして、本体内のスキャナと構造物Aの表面との距離が所定の間隔に維持される。したがって、スキャナから照射されるレーザ光の焦点距離が構造物Aの表面に一致する。
また、スペーサ4が構造物Aの表面に当てられることで、レーザ照射装置のレーザ発振器やスキャナがONされ、吸引装置もONされる。レーザ発振器から射出されるレーザ光は、スキャナによって所定の幅で構造物Aの表面上を走査する。スペーサ4が構造物Aの表面に当てられることにより、スキャナと構造物Aの表面との距離の処置の間隔に維持される。レーザ光は、構造物Aの表面に焦点が合って走査される。このレーザ光は、構造物Aの表面の固着物を走査する幅で粉砕し、除去物Cとして除去する。
そして、スペーサ4のスイッチ機能によってONされた吸引装置によって排気管E内が吸気される。そうすると、吸気部14から上流部の流路21内に外気が流入する。この外気は、ヘッド内の上流部の流路21から先端開口部12を回って下流部の流路22へ流動する気流となる。すなわち、上流部の流路21内から流入した外気は、セパレータ2によって直接、排気部13へ流動せず、先端開口部12の方へ流動する。先端開口部12内では、レーザ光によって構造物Aの表面から除去された除去物Cがこの気流に流され、下流部の流路22から排気管Eへ排出される。
したがって、除去物Cは、先端開口部12内で浮遊することがなく、構造物Aの表面に再度、付着したり、基端開口部11から本体の方へ流動したりすることがない。このように、このヘッドを備えたレーザ照射装置は、セパレータ2によって上流部の流路21と下流部の流路22とが設けられ、外気がこの上流部の流路21と下流部の流路22とを流動することで、構造物Aの表面に付着した固着物を確実に除去しつつ、除去物Cは、上流部の流路21内を通過するレーザ光通過の邪魔にならないようにして、レーザ光が構造物Aの表面に付着した固着物を除去することができる。
そして、ヘッド及び本体は、上方向又は下方向へ1ピッチ移動する。スペーサ4がローラ42を備えているため、ヘッドは構造物Aの表面上をスムーズに移動する。このようにして構造物Aの表面の固着物は、レーザ光が照射されることで、粉砕され、除去物Cとして構造物Aの表面から除去される。スペーサ4が構造物Aの表面から離れると、スイッチ機能がOFFとなり、レーザ照射装置と吸引装置が切られる。
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は何ら上記した実施の形態に記載の構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載されている事項の範囲内で考えられるその他の実施の形態や変形例も含むものである。また本発明の要旨を逸脱しない範囲内であれば種々の変更や上記実施の形態の組み合わせを施してもよい。
前記実施の形態のレーザ光照射装置のヘッドでは、ケーシング1の基端開口部11と先端開口部12とを結ぶラインが水平方向とされることで、上側を天面部102、下側を底面部103という名称にした(名付けた)。しかし、ヘッドの使用状況によっては、名付けた天面部102や底面部103が側面側に位置することがある。
前記実施の形態のレーザ光照射装置のヘッドでは、ケーシング1の天面部102の中心部に吸気部14が設けられているとした。しかし、レーザ光照射装置のヘッドは、ケーシング1の側面部104で上流部の流路21内に通気するような位置に吸気部14を設けてもよい。さらには、レーザ光照射装置のヘッドは、吸気部14を設けないようにしてもよい。吸気部14を設けないレーザ光照射装置のヘッドは、先端開口部12が吸気部ともなる。また、吸気部14を設けないレーザ光照射装置のヘッドは、上流部の流路21が設けられず、先端開口部12から排気部13へ設けられた流路22によって除去物Cが排気部13へ排出される。
前記実施の形態のレーザ光照射装置のヘッドでは、先端開口部12が長方形状に開口しているとした。しかし、レーザ光が円形に走査するときは、先端開口部12は円形や楕円形に開口する。さらに先端開口部12は、正方形や菱形、三角形などの多角形に開口してもよい。また、レーザ照射装置がスキャナを備えず、レーザ光が所定の幅で往復しないときは、先端開口部12は小孔に形成されてもよい。
前記実施の形態のレーザ光照射装置のヘッドでは、ケーシング1をフレーム3によって補強するとした。しかし、ケーシング1が破損しにくい素材で成形されている場合は、ヘッドはフレーム3を備えなくてもよい。
前記実施の形態のレーザ光照射装置のヘッドでは、スペーサ4を回転軸41やローラ42によって備えるとした。しかし、スペーサ4は、ケーシング1の先端開口部12から突出する刷毛や2本以上の突起などによって形成してもよい。さらに、ヘッドは、スペーサ4を備えず、先端開口部12の先端面が構造物Aの表面に当てられるようにしてもよい。
前記実施の形態のレーザ光照射装置のヘッドでは、スイッチ機能を有するスペーサ4を備えているとした。しかし、ヘッドは、スイッチ機能を有さず、レーザ照射装置や吸引装置がそれぞれスイッチを備えてもよい。
前記実施の形態のレーザ光照射装置のヘッドでは、本体のレーザ光射出部Sとケーシンングの基端開口部11が円筒形に形成されているとした。しかし、レーザ光射出部Sと基端開口部11は、角筒形などに形成されてもよい。
前記実施の形態のレーザ光照射装置のヘッドでは、排気部13が底面部103から突出するように形成された。しかし、排気部13は、底面部103に形成した貫通穴とし、この貫通穴に排気管Eの上流端が接続されるようにしてもよい。
以上まとめると、本発明が適用されるレーザ照射装置のヘッドは、次のような構成を取れば足り、各種各様な実施形態をとることができる。
本発明に係るレーザ照射装置のヘッドは、
構造物の表面に付着した固着物を粉砕するためのレーザ光を射出するレーザ照射装置のレーザ光射出部Sに装着されるレーザ光照射装置のヘッドであって、
基端開口部11、先端開口部12及び排気部13を有する変形筒状のケーシング1と、
前記ケーシング1内で前記先端開口部12から前記排気部13への流路22を設けるセパレータ2と、
を備え、
前記基端開口部11は、前記レーザ光が通過可能なように開口し、前記レーザ照射装置のレーザ光射出部Sに取り付け可能とされ、
前記先端開口部12は、前記レーザ光が通過可能なように開口し、粉砕された前記固着物の吸引口ともされ、
前記セパレータ2は、前記レーザ光が前記基端開口部11から前記先端開口部12へ通過できる位置で前記ケーシング1内を区切り、前記先端開口部12から前記排気部13への流路を設ける。
このレーザ照射装置のヘッドは、レーザ照射装置から照射されたレーザ光をケーシング1の基端開口部11から先端開口部12へ通過させる。このレーザ光は、構造物Aの表面に付着した固着物を粉砕し、除去物Cとして先端開口部12内に吸引される。除去物Cは、先端開口部12内から下流部の流路22を通過して排気部13へ排出される。下流部の流路22は、セパレータ2によってケーシング1内が仕切られて設けられる。したがって、除去物Cが先端開口部12内で浮遊したり、基端開口部11の方へ流動したりすることがなく、レーザ光通過の邪魔にならない。
前記本発明に係るレーザ照射装置のヘッドにおいて、
前記ケーシング1は、吸気部14を有し、
前記セパレータ2は、前記吸気部14から前記先端開口部12への流路を上流部の流路21とし、前記先端開口部から前記排気部への流路を下流部の流路22とする。
このレーザ照射装置は、ケーシング1の吸気部14から先端開口部12への上流部の流路21が設けられることにより、外気がこの上流部の流路21から上流部の流路21内に流入する。この外気は、セパレータ2によって直ちに排気部13へ流動せず、先端開口部12の方へ流動する。この外気は、先端開口部12において除去物Cを含んだ気流として排気部13へ流動する。したがって、先端開口部12内に流入した除去物Cがこの気流に乗って排気部13へ排出される。
前記本発明に係るレーザ照射装置のヘッドにおいて、
前記先端開口部12は、前記レーザ光が走査する範囲で長方形状に開口している。
このレーザ照射装置のヘッドは、レーザ光が往復動するようにレーザ照射装置から照射されても、先端開口部12を首振りや往復動するように動かさなくても、レーザ光を構造物Aの表面に走査するができる。
前記本発明に係るレーザ照射装置のヘッドにおいて、
前記ケーシング1を補強するフレーム3を備えている。
このレーザ照射装置のヘッドは、ケーシング1がフレーム3によって補強されることにより、ケーシング1を薄肉として軽量化を図ることができる。
前記本発明に係るレーザ照射装置のヘッドにおいて、
前記スペーサ4は、前記レーザ光の射出のスイッチ機能を有している。
このレーザ照射装置のヘッドは、スイッチ機能を備えたスペーサ4が構造物Aの表面に当てられることで、レーザ光の照射のON・OFFが切り替えられ、操作性を向上させることができる。
1・・・・・ケーシング
11・・・・基端開口部
12・・・・先端開口部
13・・・・排気部
14・・・・吸気部
2・・・・・セパレータ
21・・・・上流部の流路
22・・・・下流部の流路
3・・・・・フレーム
4・・・・・スペーサ
C・・・・・除去物
S・・・・・レーザ光射出部

Claims (5)

  1. 構造物の表面に付着した固着物を粉砕するためのレーザ光を射出するレーザ照射装置のレーザ光射出部に装着されるレーザ光照射装置のヘッドであって、
    基端開口部、先端開口部及び排気部を有する変形筒状のケーシングと、
    前記ケーシング内で前記先端開口部から前記排気部への流路を設けるセパレータと、
    を備え、
    前記基端開口部は、前記レーザ光が通過可能なように開口し、前記レーザ照射装置のレーザ光射出部に取り付け可能とされ、
    前記先端開口部は、前記レーザ光が通過可能なように開口し、粉砕された前記固着物の吸引口ともされ、
    前記セパレータは、前記レーザ光が前記基端開口部から前記先端開口部へ通過できる位置で前記ケーシング内を区切り、前記先端開口部から前記排気部への流路を設け
    前記ケーシングは、吸気部を有し、
    前記セパレータは、前記吸気部から前記先端開口部への流路を上流部の流路とし,前記先端開口部から前記排気部への流路を下流部の流路とする、
    レーザ照射装置のヘッド。
  2. 前記先端開口部は、前記レーザ光が走査する範囲で長方形状に開口している、
    請求項1に記載のレーザ照射装置のヘッド。
  3. 前記ケーシングを補強するフレームを備えている、
    請求項1又は2のうちいずれか1項に記載のレーザ照射装置のヘッド。
  4. 前記先端開口部の端面よりも突出したスペーサを備えている、
    請求項1~3のうちいずれか1項に記載のレーザ照射装置のヘッド。
  5. 前記スペーサは、前記レーザ光の射出のスイッチ機能を有している、
    請求項に記載のレーザ照射装置のヘッド。
JP2021156484A 2021-09-27 2021-09-27 レーザ照射装置のヘッド Active JP7635104B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021156484A JP7635104B2 (ja) 2021-09-27 2021-09-27 レーザ照射装置のヘッド

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021156484A JP7635104B2 (ja) 2021-09-27 2021-09-27 レーザ照射装置のヘッド

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2023047520A JP2023047520A (ja) 2023-04-06
JP7635104B2 true JP7635104B2 (ja) 2025-02-25

Family

ID=85779423

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021156484A Active JP7635104B2 (ja) 2021-09-27 2021-09-27 レーザ照射装置のヘッド

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7635104B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7572756B1 (ja) 2024-03-15 2024-10-24 クリーンレーザージャパン株式会社 レーザー照射装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017127884A (ja) 2016-01-19 2017-07-27 日本電信電話株式会社 レーザーデブリ吸引・排気機構を有するレーザービームデリバリーノズル
JP2021030271A (ja) 2019-08-26 2021-03-01 フルサト工業株式会社 固着物除去装置
WO2021075534A1 (ja) 2019-10-18 2021-04-22 大松精機株式会社 レーザー処理装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017127884A (ja) 2016-01-19 2017-07-27 日本電信電話株式会社 レーザーデブリ吸引・排気機構を有するレーザービームデリバリーノズル
JP2021030271A (ja) 2019-08-26 2021-03-01 フルサト工業株式会社 固着物除去装置
WO2021075534A1 (ja) 2019-10-18 2021-04-22 大松精機株式会社 レーザー処理装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2023047520A (ja) 2023-04-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101526352B1 (ko) 건식 클리닝 하우징, 건식 클리닝 장치 및 건식 클리닝 방법
JP7635104B2 (ja) レーザ照射装置のヘッド
TW201021928A (en) Device for cleaning organic electro luminescence (EL) mask, device for manufacturing organic EL display, organic EL display, and method for cleaning organic EL mask
US20130326840A1 (en) Dry-type cleaning chassis, dry-type cleaning device, and dry-type cleaning system
EP2455192B1 (en) Dry-type cleaning chassis and dry-type cleaning device
JP5454999B2 (ja) 塵埃吸引方法及び塵埃吸引装置
JP2024035776A (ja) レーザー処理用回収装置、レーザー処理システム、及び、レーザー処理方法
JP7668521B2 (ja) 光学機器保護装置およびレーザ加工装置
US20110253687A1 (en) Mouth of a hood for sucking up fine particles, and laser device for ablating a surface layer of a wall comprising such a hood
JP5511843B2 (ja) 微粒子を吸い上げるためのフッド及び壁の表面層のレーザー・アブレーションを目的とする、当該フッドを含む装置
JPS6333649Y2 (ja)
KR20160051470A (ko) 분진 제거장치
JP7756335B2 (ja) レーザ出射装置及び光ファイバ着脱方法
CN222818185U (zh) 镜头保护结构及激光打标装置
JP7570157B1 (ja) レーザー照射装置
CN222842721U (zh) 一种气幕防尘式激光清洗头
JP2005324169A (ja) トナー清掃用チャンバー
JP5903867B2 (ja) 乾式クリーニング筐体及び乾式クリーニング装置
JP3360749B2 (ja) レーザ製版装置
CN205200799U (zh) 粉尘消除装置
JP2017144745A (ja) 液体収納容器及び液体収納容器を装着する記録装置
JP6069917B2 (ja) 乾式クリーニング筐体及び乾式クリーニング装置
JP6111685B2 (ja) 乾式クリーニング筐体及び乾式クリーニング装置
JP2001300371A (ja) 塗装ブース
JPH05224539A (ja) 液体現像装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20240620

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20241119

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20241120

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20250115

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20250128

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20250212

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7635104

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150