JP7629112B2 - 物理量検出装置 - Google Patents

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Description

本発明は、物理量検出装置に関する。
エンジンの吸気路に配置され、吸入される被計測気体(例えば空気)の流量、温度、湿度等の物理量を測定し検出する物理量検出装置が知られている。例えば、特許文献1には、ダクトの内部を流れる空気の一部を取り込むバイパス流路と、当該バイパス流路より分岐して設けられ当該バイパス流路を流れる空気の一部を取り込むサブバイパス流路とをハウジング内に形成し、当該サブバイパス流路に各種センサ(例えば、流量センサ、吸気温度センサ、湿度センサ)を配置した物理量検出装置(空気流量測定装置)が開示されている。
特開2015-87254号公報
近年、物理量検出装置の小型化が要請されており、ハウジング内のサブバイパス流路にセンサを配置するスペースの削減や、サブバイパス流路に配置されるセンサ数の低減が必要となっている。本発明の目的は、小型の物理量検出装置を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明は、一方向に被計測気体が流れる主流路に配置可能な物理量検出装置であって、回路基板を収容する回路室と、前記主流路と前記回路室を連通させ、前記主流路を流れる被計測気体を前記回路室に流入させる流入孔と、前記主流路と前記回路室を連通させ、前記回路室の被計測気体を前記主流路に流出させる流出孔と、前記流入孔から前記流出孔へ流れる被計測気体の経路上に少なくとも一部が位置するように前記回路室内に配置されたセンサとを備え、前記物理量検出装置が前記主流路に配置された状態において、前記主流路を一方向に流れる被計測気体の流れを基準にして上流側と下流側とを定義したとき、前記流入孔は、前記流出孔の下流側に位置する


本発明によれば、回路室にセンサを設けたので物理量検出装置を小型化できる。上記した以外の課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。
第1実施形態に係る物理量検出装置を用いた内燃機関制御システムの模式図である。 第1実施形態に係る物理量検出装置の正面図である。 第1実施形態に係る物理量検出装置の右側面図である。 第1実施形態に係る物理量検出装置の左側面図である。 第1実施形態に係る物理量検出装置の背面図である。 第1実施形態に係る物理量検出装置の平面図である。 第1実施形態に係る物理量検出装置の底面図である。 第1実施形態に係る物理量検出装置において、ハウジングからカバーを取り外した状態の物理量検出装置の左側面図である。 第1実施形態に係る物理量検出装置において、ハウジングから取り外されたカバーのハウジングに対向する面の正面図である。 図4のA-A断面斜視図である。 図10のB矢視図である。 図10のB矢視図である。 図4のC-C断面図である。 図4のC-C断面図である。 本発明の流入孔より上流側に流入孔を配置した比較例に係る物理量検出装置における流入孔から流入した被計測気体の挙動を示す解析図である。 第1実施形態に係る物理量検出装置の流入孔から流入した被計測気体の挙動を示す解析図である。 第2実施形態に係る物理量検出装置の図4に示すC-C断面図である。 第3実施形態に係る物理量検出装置の図4に示すC-C断面図である。
以下、図面を用いて、本発明の第1~第3の実施形態による物理量検出装置の構成及び動作について説明する。なお、各図において、同一符号は同一部分を示す。
(第1実施形態)
図1は、第1実施形態に係る物理量検出装置を用いた内燃機関制御システムの模式図である。内燃機関制御システム1は、エンジンシリンダ11とエンジンピストン12を備える内燃機関10の動作に基づき、被計測気体2である空気がエアクリーナ21から吸入される内燃機関の制御システムである。
エアクリーナ21から吸入された被計測気体2は、吸気ボディ22と、スロットルボディ23と、吸気マニホールド24を介してエンジンシリンダ11の燃焼室11aに導かれる。
燃焼室11aに導かれる被計測気体2は、主流路22aにおいて物理量検出装置20で物理量が検出され、その物理量に基づいて燃料噴射弁14より供給された燃料と混合し、混合気となって燃焼室11aに導かれる。
燃焼室11aに導かれた混合気は、点火プラグ13の火花着火により、爆発的に燃焼し、機械エネルギを発生させる。そして、燃焼後の気体は排気弁16から排気管16aに導かれ、排気ガス3として排気管16aから車外に排出される。
燃焼室11aに導かれる被計測気体2の流量は、アクセルペダルの操作に基づいて、その開度が変化するスロットルバルブ25により制御される。また、燃焼室11aに導かれる被計測気体2の流量に基づいて燃料供給量は制御される。したがって、運転者は、アクセルペダルを操作することでスロットルバルブ25の開度を変化させ、燃焼室11aに導かれる被計測気体2の流量を制御し、内燃機関で発生する機械エネルギを変化させることができる。
物理量検出装置20は、エアクリーナ21から取り込まれ、主流路22a(本実施形態では、吸気ボディ22内の流路)を流れる被計測気体2の流量、温度、湿度、圧力などの物理量を検出し、それら物理量を電気信号として制御装置4に入力する装置である。
また、スロットル角度センサ26は、スロットルバルブ25の開度を検出し電気信号として制御装置4に入力するセンサである。さらに、回転角度センサ17は、内燃機関のエンジンピストン12や吸気弁15や排気弁16の位置や状態、内燃機関の回転速度を検知するために検出値を電気信号として制御装置4に入力するセンサである。また、酸素センサ28は、排気ガス3の状態から燃料量と空気量との混合比の状態を検知するために検出値を電気信号として制御装置4に入力するセンサである。
制御装置4は、物理量検出装置20とスロットル角度センサ26と回転角度センサ17と酸素センサ28の検出値に基づいて、燃料噴射量や点火時期を演算する装置である。制御装置4の演算結果に基づいて、燃料噴射弁14から供給される燃料量、また点火プラグ13により点火される点火時期が制御される。さらに、制御装置4は、アイドル運転状態の内燃機関の回転速度を制御するため、内燃機関のアイドル運転状態において、スロットルバルブ25をバイパスする空気量をアイドルエアコントロールバルブ27により制御する。したがって、内燃機関の主要な制御量である燃料供給量や点火時期は、物理量検出装置20の検出値によって演算される。
図2は、本実施形態に係る物理量検出装置20の正面図である。図3は、本実施形態に係る物理量検出装置20の右側面図である。図4は、本実施形態に係る物理量検出装置の左側面図である。図5は、本実施形態に係る物理量検出装置の背面図である。図6は、本実施形態に係る物理量検出装置の平面図である。図7は、本実施形態に係る物理量検出装置の底面図である。なお、以下、被計測気体2は、矢印の一方向に主流路22aを流れ、矢印の方向を基準にして上流側と下流側として説明する。
物理量検出装置20は、吸気ボディ22に固定するため部分であるフランジ部111と、外部機器と電気的に接続するための部分であるコネクタ部112と、被計測気体2の物理量を測定するための部分である計測部113とを有している。
フランジ部111は、例えば、所定の板厚からなる平面視略矩形状の板状部分で、図6,7に示すように、対角線上の角部には固定孔部141が対をなして設けられている。固定孔部141の中央には貫通孔142が設けられ、貫通孔142に挿入されたネジにより物理量検出装置20は吸気ボディ22に固定される。
コネクタ部112は、図5に示すように、フランジ部111の上部に設けられ、例えば、複数(本実施形態では、4本)の外部出入力用端子147と、補正用端子148とを備える。複数の外部出入力用端子147は、物理量検出装置20の計測結果である流量や温度などの物理量を出力するための端子と物理量検出装置20が動作するための直流電力を供給するための電源端子とを備える。補正用端子148は、物理量検出装置20に補正値を記憶させるために使用する端子である。なお、補正用端子148は、外部出入力用端子147の接続の邪魔にならない形状をしている。例えば、補正用端子148は、外部出入力用端子147より短く、外部出入力用端子147の接続の障害にならないようになっている。
計測部113は、フランジ部111の下部に設けられ、幅広な左側面121及び右側面122並びに幅狭な前面123及び背面124及び底面125とを有している。計測部113は、吸気ボディ22に設けられた貫通孔から主流路22aに挿入され主流路22a内に配置される。主流路22a内に固定された計測部113は、主流路22aに対して、左側面121と右側面122が被計測気体2の流れる方向に沿い、前面123が上流側、背面124が下流側に配置されている。
図2に示すように、計測部113の前面123には底面125側に副流路入口131が設けられている。また、図5に示すように、計測部113の背面124には、底面125側に第1出口132が設けられ、第1出口132のすぐ上に第2出口133が設けられている。なお、第1出口132と第2出口133とを合算させた開口面積は、副流路入口131の開口面積より大きくなっている。これにより、計測部113内に被計測気体2が滞留することを抑制できる。また、第1出口132の開口面積は、第2出口133の開口面積より小さいため、副流路入口131から流入する被計測気体2が第1出口132からのみ流出し、第2出口133から流出しないことを抑制できる。
吸気ボディ22の中心付近を流れる被計測気体2は、副流路入口131から副流路134に取り込まれ、第1出口132と第2出口133から主流路22aに流出される。この際、副流路入口131が底面125側に設けられているため、吸気ボディ22から離れた部分を流れる被計測気体2の物理量を物理量検出装置20は測定することができる。これにより、主流路22aからの放熱などの影響による計測精度の低下を抑制できる。
また、図2~5に示すように、左側面121と右側面122の距離は前面123と背面124の距離に比べて短くなっている。これにより、物理量検出装置20は、被計測気体2による抵抗力を抑制することができる。
また、図8は、本実施形態に係る物理量検出装置20において、ハウジング100からカバー200を取り外した状態の物理量検出装置20の左側面図である。図8に示すように、ハウジング100には、副流路入口131と第1出口132と第2出口133とを連通させる副流路溝150と、回路基板300を収容し底面135b(後述する図13参照)に固定される凹部135とが設けられている。
副流路溝150は、被計測気体2を物理量検出のために計測部113内を通過させるための溝である。副流路溝150は、副流路入口131と第1出口132とを連通する第1副流路溝151と、第1副流路溝151から分岐し上方に迂回した後に下方に屈曲して第2出口133に連通する第2副流路溝152とを備える。
また、凹部135は、ハウジング100における副流路入口131の上方かつ第2副流路溝152の前方の領域に設けられた凹みである。凹部135には、外部出入力用端子に例えば、ボンディングパッドとボンディングワイヤにより電気的に接続された回路基板300が底面135bに固定される。
図9は、本実施形態に係る物理量検出装置20において、ハウジング100から取り外されたカバー200のハウジング100に対向する面の正面図である。カバー200は、ハウジング100の開口101(図8参照)を塞ぐ部材で、例えば平板により形成されている。図9に示すように、カバー200には、内側面201から対向するハウジング100方向に突出する突条であるリブ211~217と、後述する流入孔220とが設けられている。
リブ211~217は、ハウジング100の副流路溝150と凹部135とを囲み各々の内外を区分けする周壁126に設けられた凹溝161~167(図8参照)に挿入され接着剤により接着される。これにより、カバー200はハウジング100に固定される。なお、リブ211~217をカバー200に設けることなくカバー200をハウジング100に固定されることもできる。この場合、ハウジング100の周壁126には凹溝161~167を設けず、例えば、周壁126の先端をカバー200の内側面201に接着させ、カバー200をハウジング100に固定させる。
カバー200をハウジング100に取り付けることにより、ハウジング100の副流路溝150は副流路134を形成する。また、副流路溝150に備わる第1副流路溝151と第2副流路溝152の各々は、第1副流路134aと第2副流路134bとを形成する。
第1副流路134aは、副流路入口131と第1出口132を連通する流路で、主流路22aを流れる被計測気体2を副流路入口131から取り込んで通過させ、第1出口132から主流路22aに戻す。
第2副流路134bは、第1副流路134aと第2出口133とを連通する流路で、第1副流路134aを流れる被計測気体2を取り込んで通過させ、第2出口133から主流路22aに戻す。第2副流路134bには、第1副流路134aの途中で分岐し、上方のフランジ部111側に延伸する往流路部134cと、計測部113の上部でUターンし下方の先端側に延伸し第2出口133に連通する復流路部134dとが設けられている。
第2副流路134bの往流路部134cには、流量センサ(流量検出部)311が配置されている。第2副流路134bは、上方に迂回された後Uターンして下方の第2出口133と連通しているので流路が長く、被計測気体2の脈動による流量センサ311への影響を抑制できる。流量センサ311は、回路基板300に固定されたチップパッケージ310の第2副流路溝152に突出する先端部に設けられている。
また、カバー200をハウジング100に取り付けることにより、ハウジング100の凹部135はカバー200とともに回路室135aを形成する。回路室135aは、凹部135の底面135bに固定された回路基板300をカバー200により覆うことにより回路基板300を収容する。回路室135aに収容された回路基板300には、圧力センサや温度センサ、湿度センサ等のセンサ322が実装されている。
回路室135aには、回路室135a内に配置されたセンサ322によって被計測気体2の物理量を検出するために、回路室135a内に主流路22aを流れる被計測気体2を通過させるための流入孔220と流出孔170が設けられている。
流入孔220は、主流路22aと回路室135aを連通させ、主流路22aを流れる被計測気体2を回路室135aに流入させる孔である。本実施形態では、流入孔220は、計測部113の左側面121(即ちカバー200)に設けられている。なお、流入孔220は、計測部113の右側面122(即ちハウジング100)に設けてもよい。
流出孔170は、主流路22aと回路室135aを連通させ、回路室135aの被計測気体2を主流路22aに流出させる孔である。本実施形態では、流出孔170は、計測部113の右側面122(即ちハウジング100)に設けられている。なお、流出孔170は、計測部113の左側面121(即ちカバー200)に設けてもよい。
図8に示すように、流入孔220から流出孔170へ流れる被計測気体2の経路2a上に少なくとも一部が位置するようにセンサ322が回路室135a内に配置されている。なお、センサ322は、回路室135a内の周壁126から離れた位置に配置することが好ましい。
本実施形態では、センサ322は湿度センサであることが好ましい。湿度センサは、経路2a上に少なくとも一部が位置するように回路基板300に取り付けられている。そのため、物理量検出装置20は、経路2aを流れる被計測気体2の湿度を検出できる。湿度センサは精度よく検出するため、静電容量式センサを用いることが好ましい。なお、抵抗式センサを用いてコストを抑制しても良い。
また、物理量検出装置20を主流路22aに配置された状態において、主流路22aを一方向に流れる被計測気体2の流れを基準にして上流側と下流側とを定義したとき、図8に示すように、流入孔220は、流出孔170の下流側に位置することが好ましい。
図10は、図4のA-A断面斜視図である。図10に示めすように、流出孔170は、回路室135aを主流路22a側から覆うハウジング100の側壁100aから、主流路22aに突出する突起171に設けることが好ましい。このように、突起171に流出孔170を設けると、流出孔170の付近に被計測気体2の剥離が発生して、流出孔170付近の圧力を流入孔220付近の圧力よりも低下させる。これにより主流路22aの下流側に位置する流入孔220から上流側に位置する流出孔170に向かって、回路室135a内の被計測気体2が流れ易くなる。
図11、12は、図10のB矢視図であり、図13、14は、図4のC-C断面図である。物理量検出装置20は、流入孔220を主流路22a側(図10のB側)から見たとき、流入孔220において最も下流側に位置する部分(最下流部)221は、図11、12に示すいずれかの特徴を有することが好ましい。即ち、図11に示すように、最下流部221は、回路室135aを形成する下流側の壁面(下流壁面)126aと同じ位置に位置することが好ましい。または、図12に示すように、最下流部221は、下流壁面126aよりも下流側に位置することが好ましい。なお、流入孔220が前記特徴を有する場合、流入孔220は流出孔170の下流側に位置する場合に限定されない。
特に、物理量検出装置20は、流入孔220を主流路22a側(図10のB側)から見たとき、図12に示すように流入孔220の内部における下流側に回路室の壁面126aが見えることが好ましい。また、流入孔220の内部における下流側に回路室の壁面126aが、少なくとも1つの凸部126bを有することが好ましい。
また、物理量検出装置20は、図13、14に示すように、回路室135aの壁面126aが、流入孔220の出口222の下流側の一部222aを覆うことが好ましい。なお、壁面126aは、流入孔220の出口222の下流側の一部222aを覆えばよい。したがって、図13に示すように、壁面126aが底面135bまで延伸してもよく、図14に示すように、壁面126aの下部に壁面126aよりも下流側に備わる壁面126cが底面135bまで延伸してもよい。
[効果]
本実施形態では、回路室135a内における流入孔220から流出孔170へ流れる被計測気体2の経路上に少なくとも一部分が位置するようにセンサ322を備える。つまり、従前、第2副流路134bに設けられていたセンサ322の測定スペースを回路室135a内に設けた。これにより、第2副流路134bを小型化でき、物理量検出装置20の小型化ができる。
さらに、センサ322の一部を被計測気体2の経路2a上に位置させることでセンサ322の近傍に積極的に被計測気体2を流すことができ、これにより被計測気体2の置換が促進されてセンサ322の応答性を確保できる。例えばセンサ322として湿度センサを利用した場合には、湿度センサ近傍の被計測気体2の置換が促進されることで該被計測気体2の湿度を応答性良く検出できる。
また、本実施形態の物理量検出装置20は、主流路22aを一方向に流れる被計測気体2の流れを基準にして上流側と下流側とを定義したとき、流入孔220が流出孔170の下流側に位置していることが好ましい。このように流入孔220と流出孔170を配置すると、回路室135a内の被計測気体2は、主流路22aを流れる被計測気体2の流れ方向に対して、下流側から上流側に向かって逆方向に流れることになる。つまり主流路22aを流れてきた被計測気体2は流入孔220から回路室135a内に入ってUターンして流れることになる。このように被計測気体2の流れをUターンさせることでそのスムーズな流れを敢えて阻害すると、回路室135a内に異物(例えば水)が侵入することを抑制でき(つまり、主流路22a内の多くの異物は流入孔220から回路室135a内に侵入することなく慣性により下流側に向かって流れていくので)、センサ322に到達する異物量を低減できる。なお、回路室135a内での被計測気体2の流速は主流路22aでの流速よりも低減するが、湿度センサの応答時間は流速にあまり依存しないため、流速が遅くなってもその応答性に問題は生じない。
物理量検出装置20の左側面121と右側面122の上流側には、前面123に被計測気体2が衝突することによって渦が発生して異物が付着し易い傾向がある。しかし、上記のように流入孔220を物理量検出装置20の左側面121または右側面122の下流側に配置させることにより、異物の付着する上流側から流入孔220を遠ざけることができ、センサ322に到達する異物量を低減できる。
図15は、本発明の流入孔220より上流側に流入孔1220を配置した比較例に係る物理量検出装置における流入孔1220から流入した被計測気体2の挙動を示す解析図である。また、図16は、本実施形態に係る物理量検出装置20の流入孔220から流入した被計測気体2の挙動を示す解析図である。
比較例に係る物理量検出装置の流入孔1220において、最も下流側に位置する部分(最下流部)1221は、回路室135aを形成する下流側の壁面(下流壁面)126aよりも上流側に位置する。この場合、被計測気体2の流路幅は流入孔1220から回路室135aに至ったときに急拡大することになる。例えると、被計測気体2の流路は、いわゆる拡大管の形状になり、流入孔1220の出口1222から放出された被計測気体2は、図15に示すように渦2bを形成する。渦2bは、回路室135a内での被計測気体2の流れに乱れを生じさせるため、回路室135a内に異物が滞留し易くなり、異物がセンサ322に到達し易くなってしまう。
この課題に対して、本実施形態では、流入孔220を主流路22a側から見たとき、図11に示すように、最下流部221は、回路室135aを形成する下流側の壁面(下流壁面)126aと同じ位置に位置する、または、図12に示すように、最下流部221は、下流壁面126aよりも下流側に位置することが好ましい。この場合、下流壁面126aは被計測気体2の流路の絞りとして機能するため、図16に示すように、回路室135aに流入した被計測気体2は流速が増大し、渦2bの発生を抑制できる。これにより回路室135a内の被計測気体2を流出孔170に向かって積極的に排出できるので、回路室135a内での異物の滞留が抑制され、異物がセンサ322に到達することを抑制できる。
特に、物理量検出装置20は、流入孔220を主流路22a側(図10のB側)から見たとき、図12に示すように流入孔220の内部における下流側に回路室の壁面126aが見えることが好ましい。また、流入孔220の内部における下流側に回路室の壁面126aが、少なくとも1つの凸部126bを有することが好ましい。これにより、下流壁面126aの凸部126bが被計測気体2の流路の絞りとして機能し、回路室135aに流入した被計測気体2は流速がさらに増大し、渦2bの発生を抑制できる。また、回路室135a内の被計測気体2を流出孔170に向かって積極的に排出できるので、回路室135a内での異物の滞留が抑制され、異物がセンサ322に到達することを抑制できる。
被計測気体2には異物として水が含まれることがある。発明者らが回路室135a内における水の挙動を解析したところ、水は回路室内135aの周壁126に集まることを知見した。本実施形態のようにセンサ322を回路室135a内の周壁126から離れた位置に配置すると、センサ322に水が到達し難くなるので被計測気体2の物理量を正確に検出し易くなる。
(第2実施形態)
図17は、本発明の第2実施形態に係る物理量検出装置の図4に示すC-C断面図である。本実施形態に係る物理量検出装置が第1実施形態に係る物理量検出装置20と異なる点は、以下の通りである。即ち、回路室2135aを形成する下流側の壁面2126aは、回路室2135aの底面2135bと鈍角θを形成するように傾斜しており、流入孔220を主流路側(B側)から見たとき、流入孔220において最も下流側に位置する部分(最下流部)221は、下流壁面2126aと回路室2135aの底面2135bとの交線2126bよりも下流側に位置する。
[効果]
本実施形態の下流壁面2126aは、第1実施形態の下流壁面126aと同様に被計測気体2の流路の絞りとして機能するため、回路室2135aに流入した被計測気体2は流速が増大し、渦2bの発生を抑制できる。これにより回路室2135a内の被計測気体2を流出孔170に向かって積極的に排出できるので、回路室2135a内での異物の滞留が抑制され、異物がセンサ322に到達することを抑制できる。
(第3実施形態)
図18は、本発明の第3実施形態に係る物理量検出装置の図4に示すC-C断面図である。本実施形態に係る物理量検出装置が第2実施形態に係る物理量検出装置と異なる点は、以下の通りである。即ち、交線3126bよりも下流側に位置する端面3126cを有する凸部3126dを備える点である。言い換えると、流入孔220を主流路側(B側)から見たとき、流入孔220の内部における下流側に見える回路室3135aの壁面3126aが、壁面3126aの高さ方向に複数の凸部(本実施形態では、凸部3126d,3126e)を有し、前記複数の凸部のうち端面が最も上流側に位置する凸部は、回路室3125aの底面3135bに最も近い凸部3126eである。
[効果]
下流壁面3126aは、第1実施形態の下流壁面126aと同様に被計測気体2の流路の絞りとして機能するため、回路室3135aに流入した被計測気体2は流速が増大し、渦2bの発生を抑制できる。これにより回路室3135a内の被計測気体2を流出孔170に向かって積極的に排出できるので、回路室3135a内での異物の滞留が抑制され、異物がセンサ322に到達することを抑制できる。
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上述した実施形態は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施形態の構成の一部を他の実施形態の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施形態の構成に他の実施形態の構成を加えることも可能である。また、各実施形態の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
2…被計測気体、2a…経路、2b…渦、20…物理量検出装置、22a…主流路、100…ハウジング、113…計測部、126…周壁、126a,2126a,3126a…下流壁面、135a,2135a,3135a…回路室、135b,2135b,3135b…底面、170…流出孔、171…突起、200…カバー、220…流入孔、221…最下流部、222…出口、300…回路基板、322…センサ、2126b,3126b…交線、3126c…端面、3126d,3126e…凸部

Claims (10)

  1. 一方向に被計測気体が流れる主流路に配置可能な物理量検出装置であって、
    回路基板を収容する回路室と、
    前記主流路と前記回路室を連通させ、前記主流路を流れる被計測気体を前記回路室に流入させる流入孔と、
    前記主流路と前記回路室を連通させ、前記回路室の被計測気体を前記主流路に流出させる流出孔と、
    前記流入孔から前記流出孔へ流れる被計測気体の経路上に少なくとも一部が位置するように前記回路室内に配置されたセンサとを備え
    前記物理量検出装置が前記主流路に配置された状態において、
    前記主流路を一方向に流れる被計測気体の流れを基準にして上流側と下流側とを定義したとき、
    前記流入孔は、前記流出孔の下流側に位置することを特徴とする物理量検出装置。
  2. 請求項1に記載の物理量検出装置であって、
    前記物理量検出装置が前記主流路に配置された状態において、
    前記主流路を一方向に流れる被計測気体の流れを基準にして上流側と下流側とを定義したとき、
    前記流入孔を前記主流路側から見たとき、前記流入孔において最も下流側に位置する部分は、前記回路室を形成する下流側の壁面と同じ位置に位置する、または、前記回路室を形成する下流側の壁面よりも下流側に位置することを特徴とする物理量検出装置。
  3. 請求項1に記載の物理量検出装置であって、
    前記センサは、前記回路室内の周壁から離れた位置に配置されていることを特徴とする物理量検出装置。
  4. 請求項に記載の物理量検出装置であって、
    前記回路室を形成する下流側の壁面は、前記回路室の底面と鈍角を形成するように傾斜しており、
    前記流入孔を前記主流路側から見たとき、前記流入孔において最も下流側に位置する部分は、前記回路室を形成する下流側の壁面と前記回路室の底面との交線よりも下流側に位置することを特徴とする物理量検出装置。
  5. 請求項に記載の物理量検出装置であって、
    前記流入孔を前記主流路側から見たとき、前記回路室を形成する下流側の壁面は、前記交線よりも下流側に位置する端面を有する凸部を備えることを特徴とする物理量検出装置。
  6. 請求項に記載の物理量検出装置であって、
    前記流入孔を前記主流路側から見たとき、前記流入孔の内部における下流側に前記回路室の壁面が見えることを特徴とする物理量検出装置。
  7. 請求項に記載の物理量検出装置であって、
    前記流入孔の内部における下流側に見える前記回路室の壁面が、少なくとも1つの凸部を有することを特徴とする物理量検出装置。
  8. 請求項に記載の物理量検出装置であって、
    前記流入孔の内部において下流側に見える前記回路室の壁面が、壁面の高さ方向に複数の凸部を有し、
    前記複数の凸部のうち端面が最も上流側に位置する凸部は、前記回路室の底面に最も近い凸部であることを特徴とする物理量検出装置。
  9. 請求項に記載の物理量検出装置であって、
    前記回路室の壁面が、前記流入孔の出口の前記下流側の一部を覆うことを特徴とする物理量検出装置。
  10. 請求項に記載の物理量検出装置であって、
    前記流出孔は、前記回路室を前記主流路側から覆う側壁から、前記主流路に突出する突起に設けられていることを特徴とする物理量検出装置。
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