CN118318149A - 物理量检测装置 - Google Patents

Abstract

物理量检测装置(20)能够配置在被测量气体(2)向一个方向流动的主流路(22a)中，该物理量检测装置(20)具备：电路室(135a)，其收纳电路基板(300)；流入孔(220)，其使主流路(22a)和电路室(135a)连通，并使在主流路(22a)中流动的被测量气体(2)流入电路室(135a)；流出孔(170)，其使主流路(22a)和电路室(135a)连通，并使电路室(135a)的被测量气体(2)向主流路(22a)流出；以及传感器(322)，其以至少一部分位于从流入孔(220)流向流出孔(170)的被测量气体(2)的路径(2a)上的方式配置在电路室(135a)内。

Description

物理量检测装置

技术领域

本发明涉及物理量检测装置。

背景技术

已知一种物理量检测装置，其配置在发动机的进气路上，测定并检测被吸入的被测量气体(例如空气)的流量、温度、湿度等物理量。例如，在专利文献1中公开了如下这样的物理量检测装置(空气流量测定装置)：在壳体内形成有吸入在管道内部流动的空气的一部分的旁通流路和从该旁通流路分支设置并吸入在该旁通流路中流动的空气的一部分的副旁通流路，在该副旁通流路中配置有各种传感器(例如，流量传感器、吸气温度传感器、湿度传感器)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2015-87254号公报

发明内容

发明要解决的问题

近年来，要求物理量检测装置小型化，需要削减在壳体内的副旁通流路中配置传感器的空间、减少在副旁通流路中配置的传感器数量。本发明的目的在于提供一种小型的物理量检测装置。

解决问题的技术手段

为了解决上述问题，本发明提供一种能够配置在被测量气体向一个方向流动的主流路中的物理量检测装置，该物理量检测装置具备：电路室，其收纳电路基板；流入孔，其使所述主流路和所述电路室连通，并使流过所述主流路的被测量气体流入所述电路室；流出孔，其使所述主流路和所述电路室连通，并使所述电路室的被测量气体向所述主流路流出；以及传感器，其以至少一部分位于从所述流入孔向所述流出孔流动的被测量气体的路径上的方式配置在所述电路室内。

发明的效果

根据本发明，由于在电路室中设置了传感器，因此能够使物理量检测装置小型化。上述以外的课题、结构及效果通过以下的实施方式的说明而进一步明确。

附图说明

图1是使用了第一实施方式的物理量检测装置的内燃机控制系统的示意图。

图2是第一实施方式的物理量检测装置的主视图。

图3是第一实施方式的物理量检测装置的右视图。

图4是第一实施方式的物理量检测装置的左视图。

图5是第一实施方式的物理量检测装置的后视图。

图6是第一实施方式的物理量检测装置的俯视图。

图7是第一实施方式的物理量检测装置的仰视图。

图8是在第一实施方式的物理量检测装置中从壳体卸下盖的状态的物理量检测装置的左视图。

图9是在第一实施方式的物理量检测装置中从壳体卸下的盖的与壳体相对的面的主视图。

图10是图4的A-A截面立体图。

图11是图10的B向视图。

图12是图10的B向视图。

图13是图4的C-C截面图。

图14是图4的C-C截面图。

图15是表示在本发明的流入孔的上游侧配置有流入孔的比较例的物理量检测装置中的从流入孔流入的被测量气体的动作的分析图。

图16是表示从第一实施方式的物理量检测装置的流入孔流入的被测量气体的动作的分析图。

图17是第二实施方式的物理量检测装置的图4所示的C-C截面图。

图18是第三实施方式的物理量检测装置的图4所示的C-C截面图。

具体实施方式

以下，利用附图对本发明的第一实施方式～第三实施方式的物理量检测装置的结构及动作进行说明。此外，在各图中，相同的符号表示相同的部分。

(第一实施方式)

图1是使用了第一实施方式的物理量检测装置的内燃机控制系统的示意图。内燃机控制系统1是根据具备发动机气缸11和发动机活塞12的内燃机10的动作，从空气滤清器21吸入作为被测量气体2的空气的内燃机的控制系统。

从空气滤清器21吸入的被测量气体2经由进气体22、节气门体23和进气歧管24被引导至发动机气缸11的燃烧室11a。

被引导到燃烧室11a的被测量气体2在主流路22a中由物理量检测装置20检测出物理量，根据该物理量与从燃料喷射阀14供给的燃料混合，成为混合气并被引导到燃烧室11a。

被引导到燃烧室11a的混合气通过火花塞13的火花点火而爆发性地燃烧，产生机械能。然后，燃烧后的气体从排气门16被引导至排气管16a，作为废气3从排气管16a排出到车外。

被引导到燃烧室11a的被测量气体2的流量由根据加速踏板的操作而开度变化的节气门25控制。另外，根据被引导到燃烧室11a的被测量气体2的流量来控制燃料供给量。因此，驾驶员能够通过操作加速踏板来使节气门25的开度改变，控制被引导至燃烧室11a的被测量气体2的流量，从而改变在内燃机中产生的机械能。

物理量检测装置20是检测从空气滤清器21引入并在主流路22a(在本实施方式中是进气体22内的流路)中流动的被测量气体2的流量、温度、湿度、压力等物理量，并将这些物理量作为电信号输入到控制装置4的装置。

另外，节气门角度传感器26是检测节气门25的开度并作为电信号输入到控制装置4的传感器。进而，旋转角度传感器17是为了检测内燃机的发动机活塞12、进气门15、排气门16的位置、状态、内燃机的旋转速度而将检测值作为电信号输入到控制装置4的传感器。另外，氧传感器28是为了根据废气3的状态检测燃料量和空气量的混合比的状态而将检测值作为电信号输入到控制装置4的传感器。

控制装置4是根据物理量检测装置20、节气门角度传感器26、旋转角度传感器17和氧气传感器28的检测值来运算燃料喷射量和点火正时的装置。根据控制装置4的运算结果，控制从燃料喷射阀14供给的燃料量、以及由火花塞13点火的点火正时。进而，控制装置4为了控制怠速运转状态的内燃机的旋转速度，在内燃机的怠速运转状态下，通过怠速空气控制阀27控制绕过节气门25的空气量。因此，作为内燃机的主要控制量的燃料供给量和点火正时通过物理量检测装置20的检测值来运算。

图2是本实施方式的物理量检测装置20的主视图。图3是本实施方式的物理量检测装置20的右视图。图4是本实施方式的物理量检测装置的左视图。图5是本实施方式的物理量检测装置的后视图。图6是本实施方式的物理量检测装置的俯视图。图7是本实施方式的物理量检测装置的仰视图。另外，以下，被测量气体2沿箭头的一个方向在主流路22a中流动，并以箭头的方向为基准设为上游侧和下游侧来进行说明。

物理量检测装置20具有：凸缘部111，其是用于固定在进气体22上的部分；连接器部112，其是用于与外部设备电连接的部分；以及测量部113，其是用于测定被测量气体2的物理量的部分。

凸缘部111例如是由规定的板厚构成的俯视呈大致矩形的板状部分，如图6、7所示，在对角线上的角部成对地设置有固定孔部141。在固定孔部141的中央设有贯通孔142，物理量检测装置20通过插入贯通孔142的螺钉而被固定在进气体22上。

如图5所示，连接器部112设置在凸缘部111的上部，并且具备例如多个(在本实施方式中为4个)外部输入输出用端子147和修正用端子148。多个外部输入输出用端子147具备用于输出作为物理量检测装置20的测量结果的流量、温度等物理量的端子和用于供给物理量检测装置20动作用的直流电力的电源端子。修正用端子148是用于将修正值存储在物理量检测装置20中的端子。此外，修正用端子148形成为不妨碍外部输入输出用端子147的连接的形状。例如，修正用端子148比外部输入输出用端子147短，不会成为外部输入输出用端子147的连接的障碍。

测量部113设置在凸缘部111的下部，并具有宽度宽的左侧面121和右侧面122以及宽度窄的前表面123、背面124和底面125。测量部113从设在进气体22上的贯通孔插入主流路22a并配置在主流路22a内。固定在主流路22a内的测量部113，相对于主流路22a，左侧面121和右侧面122沿着被测量气体2的流动方向，前表面123配置在上游侧，背面124配置在下游侧。

如图2所示，在测量部113的前表面123上的底面125侧设有副流路入口131。另外，如图5所示，在测量部113的背面124上，在底面125侧设有第一出口132，在第一出口132的正上方设有第二出口133。此外，第一出口132和第二出口133的合计的开口面积比副流路入口131的开口面积大。由此，能够抑制被测量气体2滞留在测量部113内。另外，由于第一出口132的开口面积比第二出口133的开口面积小，因此能够抑制从副流路入口131流入的被测量气体2仅从第一出口132流出而不从第二出口133流出。

在进气体22的中心附近流动的被测量气体2从副流路入口131进入副流路134，从第一出口132和第二出口133流出到主流路22a。此时，由于副流路入口131设置在底面125侧，因此物理量检测装置20能够测定在离开进气体22的部分流动的被测量气体2的物理量。由此，能够抑制来自主流路22a的散热等的影响引起的测量精度的降低。

另外，如图2～5所示，左侧面121和右侧面122的距离比前表面123和背面124的距离短。由此，物理量检测装置20能够抑制被测量气体2的阻力。

另外，图8是在本实施方式的物理量检测装置20中从壳体100卸下盖200的状态下的物理量检测装置20的左视图。如图8所示，在壳体100上设有使副流路入口131、第一出口132和第二出口133连通的副流路槽150以及收纳电路基板300并固定在底面135b(参照后述的图13)上的凹部135。

副流路槽150是为了物理量检测而使被测量气体2通过测量部113内的槽。副流路槽150具备连通副流路入口131和第一出口132的第一副流路槽151、和从第一副流路槽151分支并向上方迂回后向下方弯曲并与第二出口133连通的第二副流路槽152。

另外，凹部135是设置在壳体100的副流路入口131的上方并且在第二副流路槽152的前方的区域的凹部。在凹部135中，在底面135b上固定有电路基板300，该电路基板300例如通过接合焊盘和接合线与外部输入输出用端子电连接。

图9是在本实施方式的物理量检测装置20中从壳体100卸下的盖200的与壳体100相对的面的主视图。盖200是封闭壳体100的开口101(参照图8)的构件，例如由平板形成。如图9所示，在盖200上设有肋条211～217和后述的流入孔220，肋条211～217是从内侧面201朝向相对的壳体100方向突出的突条。

肋条211～217插入到设置在周壁126上的凹槽161～167(参照图8)中并通过粘接剂粘接，该周壁126包围壳体100的副流路槽150和凹部135并划分各自的内外。由此，盖200被固定在壳体100上。此外，也可以不在盖200上设置肋条211～217而将盖200固定在壳体100上。在这种情况下，在壳体100的周壁126上不设置凹槽161～167，例如，将周壁126的顶端粘接在盖200的内侧面201上，将盖200固定在壳体100上。

通过将盖200安装在壳体100上，壳体100的副流路槽150形成副流路134。另外，设置在副流路槽150中的第一副流路槽151和第二副流路槽152分别形成第一副流路134a和第二副流路134b。

第一副流路134a是连通副流路入口131和第一出口132的流路，将在主流路22a中流动的被测量气体2从副流路入口131引入并使其通过，并从第一出口132返回到主流路22a。

第二副流路134b是连通第一副流路134a和第二出口133的流路，将在第一副流路134a中流动的被测量气体2引入并使其通过，并从第二出口133返回主流路22a。在第二副流路134b上设有在第一副流路134a的中途分支并向上方的凸缘部111侧延伸的去流流路部134c、以及在测量部113的上部U形转弯并向下方的顶端侧延伸并与第二出口133连通的回流流路部134d。

在第二副流路134b的去流流路部134c配置有流量传感器(流量检测部)311。第二副流路134b向上方迂回后U形转弯而与下方的第二出口133连通，因此流路长，能够抑制被测量气体2的脉动对流量传感器311的影响。流量传感器311设置在固定于电路基板300上的芯片封装件310的向第二副流路槽152突出的顶端部。

另外，通过将盖200安装在壳体100上，壳体100的凹部135与盖200一起形成电路室135a。电路室135a通过用盖200覆盖固定在凹部135的底面135b上的电路基板300来收纳电路基板300。在收纳于电路室135a中的电路基板300上安装有压力传感器、温度传感器、湿度传感器等传感器322。

在电路室135a中，为了通过配置在电路室135a内的传感器322检测被测量气体2的物理量，在电路室135a内设有用于使在主流路22a中流动的被测量气体2通过的流入孔220和流出孔170。

流入孔220是使主流路22a和电路室135a连通，使在主流路22a中流动的被测量气体2流入电路室135a的孔。在本实施方式中，流入孔220设置在测量部113的左侧面121(即盖200)上。另外，流入孔220也可以设置在测量部113的右侧面122(即壳体100)上。

流出孔170是使主流路22a和电路室135a连通，并使电路室135a的被测量气体2向主流路22a流出的孔。在本实施方式中，流出孔170设置在测量部113的右侧面122(即壳体100)上。此外，流出孔170也可以设置在测量部113的左侧面121(即盖200)上。

如图8所示，传感器322以至少一部分位于从流入孔220向流出孔170流动的被测量气体2的路径2a上的方式配置在电路室135a内。此外，传感器322优选配置在远离电路室135a内的周壁126的位置。

在本实施方式中，传感器322优选为湿度传感器。湿度传感器以至少一部分位于路径2a上的方式安装在电路基板300上。因此，物理量检测装置20能够检测在路径2a中流动的被测量气体2的湿度。湿度传感器为了高精度地检测，优选使用静电电容式传感器。此外，也可以使用电阻式传感器来抑制成本。

另外，在将物理量检测装置20配置在主流路22a上的状态下，以在主流路22a中向一个方向流动的被测量气体2的流动为基准来定义上游侧和下游侧时，如图8所示，优选流入孔220位于流出孔170的下游侧。

图10是图4的A-A截面立体图。如图10所示，流出孔170优选设置在从壳体100的侧壁100a向主流路22a突出的突起171上，壳体100的侧壁100a从主流路22a侧覆盖电路室135a。像这样，如果在突起171上设置流出孔170，则在流出孔170的附近发生被测量气体2的剥离，使流出孔170附近的压力比流入孔220附近的压力低。由此，电路室135a内的被测量气体2容易从位于主流路22a的下游侧的流入孔220向位于上游侧的流出孔170流动。

图11、12是图10的B向视图，图13、14是图4的C-C截面图。物理量检测装置20从主流路22a侧(图10的B侧)观察流入孔220时，优选流入孔220中位于最下游侧的部分(最下游部)221具有图11、12所示的任一特征。即，如图11所示，最下游部221优选位于与形成电路室135a的下游侧的壁面(下游壁面)126a相同的位置。或者，如图12所示，最下游部221优选位于下游壁面126a的下游侧。另外，在流入孔220具有所述特征的情况下，不限定于流入孔220位于流出孔170的下游侧的情况。

特别是，物理量检测装置20在从主流路22a侧(图10的B侧)观察流入孔220时，如图12所示，优选在流入孔220的内部的下游侧能看到电路室的壁面126a。另外，优选在流入孔220的内部的下游侧，电路室的壁面126a至少具有一个凸部126b。

另外，如图13、14所示，物理量检测装置20优选电路室135a的壁面126a覆盖流入孔220的出口222的下游侧的一部分222a。另外，壁面126a只要覆盖流入孔220的出口222的下游侧的一部分222a即可。因此，如图13所示，壁面126a可以延伸到底面135b，如图14所示，在壁面126a的下部，设置在壁面126a的下游侧的壁面126c可以延伸到底面135b。

[效果]

在本实施方式中，以传感器322的至少一部分位于从电路室135a内的流入孔220向流出孔170流动的被测量气体2的路径上的方式具备传感器322。即，将以往设置在第二副流路134b中的传感器322的测定空间设置在电路室135a内。由此，能够使第二副流路134b小型化，并能够使物理量检测装置20小型化。

进而，通过使传感器322的一部分位于被测量气体2的路径2a上，能够在传感器322的附近积极地使被测量气体2流动，由此，能够促进被测量气体2的置换，确保传感器322的响应性。例如，在利用湿度传感器作为传感器322的情况下，通过促进湿度传感器附近的被测量气体2的置换，能够响应性良好地检测该被测量气体2的湿度。

另外，本实施方式的物理量检测装置20，在以在主流路22a中向一个方向流动的被测量气体2的流动为基准来定义上游侧和下游侧时，优选流入孔220位于流出孔170的下游侧。当像这样配置流入孔220和流出孔170时，电路室135a内的被测量气体2相对于在主流路22a中流动的被测量气体2的流动方向，成为从下游侧向上游侧反向流动。即，流过主流路22a的被测量气体2从流入孔220进入电路室135a内，并U形转弯而流动。像这样，如果通过使被测量气体2的流动U形转弯来阻碍其顺畅的流动，则能够抑制异物(例如水)侵入到电路室135a内(即，由于主流路22a内的很多异物不会从流入孔220侵入到电路室135a内而是由于惯性而向下游侧流动)，能够降低到达传感器322的异物量。此外，电路室135a内的被测量气体2的流速比主流路22a的流速低，但湿度传感器的响应时间不怎么依赖于流速，因此即使流速变慢，其响应性也不会产生问题。

在物理量检测装置20的左侧面121和右侧面122的上游侧，存在由于被测量气体2与前表面123碰撞而产生涡流、异物容易附着的倾向。但是，如上所述，通过将流入孔220配置在物理量检测装置20的左侧面121或右侧面122的下游侧，能够使流入孔220远离附着异物的上游侧，从而能够降低到达传感器322的异物量。

图15是表示在本发明的流入孔220的上游侧配置有流入孔1220的比较例的物理量检测装置中的从流入孔1220流入的被测量气体2的动作的分析图。另外，图16是表示本实施方式的物理量检测装置20中的从流入孔220流入的被测量气体2的动作的分析图。

在比较例的物理量检测装置的流入孔1220中，位于最下游侧的部分(最下游部)1221位于形成电路室135a的下游侧的壁面(下游壁面)126a的上游侧。这种情况下，被测量气体2的流路宽度在从流入孔1220到达电路室135a时急剧扩大。例如，被测量气体2的流路成为所谓的扩大管的形状，从流入孔1220的出口1222排出的被测量气体2如图15所示形成涡流2b。涡流2b使电路室135a内的被测量气体2的流动产生扰乱，因此异物容易滞留在电路室135a内，异物容易到达传感器322。

针对该问题，在本实施方式中，从主流路22a侧观察流入孔220时，如图11所示，最下游部221位于与形成电路室135a的下游侧的壁面(下游壁面)126a相同的位置，或者，如图12所示，最下游部221优选位于下游壁面126a的下游侧。在这种情况下，由于下游壁面126a作为被测量气体2的流路的节流部起作用，因此如图16所示，流入电路室135a的被测量气体2的流速增大，能够抑制涡流2b的产生。由此，能够将电路室135a内的被测量气体2向流出孔170积极地排出，因此能够抑制异物在电路室135a内的滞留，能够抑制异物到达传感器322。

特别是，物理量检测装置20在从主流路22a侧(图10的B侧)观察流入孔220时，如图12所示，优选在流入孔220的内部的下游侧可以看到电路室的壁面126a。另外，优选在流入孔220的内部的下游侧，电路室的壁面126a至少具有一个凸部126b。由此，下游壁面126a的凸部126b作为被测量气体2的流路的节流部起作用，流入电路室135a的被测量气体2的流速进一步增大，能够抑制涡流2b的产生。另外，由于能够将电路室135a内的被测量气体2向流出孔170积极地排出，因此能够抑制异物在电路室135a内的滞留，并能够抑制异物到达传感器322。

存在被测量气体2中含有水作为异物的情况。发明者们分析了电路室135a内的水的动作，发现水集中在电路室135a的周壁126上。当如本实施方式那样将传感器322配置在远离电路室135a内的周壁126的位置时，水难以到达传感器322，因此容易正确地检测被测量气体2的物理量。

(第二实施方式)

图17是本发明的第二实施方式的物理量检测装置的图4所示的C-C截面图。本实施方式的物理量检测装置与第一实施方式的物理量检测装置20的不同点如下。即，形成电路室2135a的下游侧的壁面2126a以与电路室2135a的底面2135b形成钝角θ的方式倾斜，从主流路侧(B侧)观察流入孔220时，流入孔220中位于最下游侧的部分(最下游部)221位于下游壁面2126a与电路室2135a的底面2135b的交线2126b的下游侧。

[效果]

本实施方式的下游壁面2126a与第一实施方式的下游壁面126a同样地作为被测量气体2的流路的节流部起作用，因此，流入电路室2135a的被测量气体2的流速增大，能够抑制涡流2b的产生。由此，能够将电路室2135a内的被测量气体2向流出孔170积极地排出，因此能够抑制异物在电路室2135a内的滞留，并能够抑制异物到达传感器322。

(第三实施方式)

图18是本发明的第三实施方式的物理量检测装置的图4所示的C-C截面图。本实施方式的物理量检测装置与第二实施方式的物理量检测装置的不同点如下。即，具备凸部3126d，该凸部3126d具有位于交线3126b的下游侧的端面3126c。换言之，从主流路侧(B侧)观察流入孔220时，在流入孔220的内部的下游侧看到的电路室3135a的壁面3126a在壁面3126a的高度方向上具有多个凸部(在本实施方式中为凸部3126d、3126e)，所述多个凸部中的端面位于最上游侧的凸部是最接近电路室3125a的底面3135b的凸部3126e。

[效果]

下游壁面3126a与第一实施方式的下游壁面126a同样地作为被测量气体2的流路的节流部起作用，因此，流入电路室3135a的被测量气体2的流速增大，能够抑制涡流2b的产生。由此，能够将电路室3135a内的被测量气体2向流出孔170积极地排出，因此能够抑制异物在电路室3135a内的滞留，并能够抑制异物到达传感器322。

另外，本发明不限于上述实施方式，包括各种变形例。例如，上述实施方式是为了容易理解地说明本发明而进行了详细说明的实施方式，并不一定限定于具备说明的全部构成的实施方式。另外，某些实施例的构成的一部分可以替换为其他实施例的构成，并且其他实施例的构成可以被添加到某些实施例的构成。另外，对于各实施方式的构成的一部分，可以进行其他构成的追加、删除、替换。

符号说明

2…被测量气体，2a…路径，2b…涡流，20…物理量检测装置，22a…主流路，100…壳体，113…测量部，126…周壁，126a、2126a、3126a…下游壁面135a、2135a、3135a…电路室，135b、2135b、3135b…底面，170…流出孔，171…突起，200…盖，220…流入孔，221…最下游部，222…出口，300…电路基板，322…传感器，2126b、3126b…交线，3126c…端面，3126d、3126e…凸部。

Claims (11)

1.一种物理量检测装置，其能够配置在被测量气体向一个方向流动的主流路中，所述物理量检测装置的特征在于，具备：

电路室，其收纳电路基板；

流入孔，其使所述主流路和所述电路室连通，并使流过所述主流路的被测量气体流入所述电路室；

流出孔，其使所述主流路与所述电路室连通，并使所述电路室的被测量气体向所述主流路流出；以及

传感器，其以至少一部分位于从所述流入孔向所述流出孔流动的被测量气体的路径上的方式配置在所述电路室内。

2.根据权利要求1所述的物理量检测装置，其特征在于，

在所述物理量检测装置配置在所述主流路的状态下，

以在所述主流路中向一个方向流动的被测量气体的流动为基准定义上游侧和下游侧时，

所述流入孔位于所述流出孔的下游侧。

3.根据权利要求1或2所述的物理量检测装置，其特征在于，

在所述物理量检测装置配置在所述主流路的状态下，

以在所述主流路中向一个方向流动的被测量气体的流动为基准定义上游侧和下游侧时，

当从所述主流路侧观察所述流入孔时，所述流入孔中位于最下游侧的部分位于与形成所述电路室的下游侧的壁面相同的位置，或者位于形成所述电路室的下游侧的壁面的下游侧。

4.根据权利要求1所述的物理量检测装置，其特征在于，

所述传感器配置在远离所述电路室内的周壁的位置。

5.根据权利要求2所述的物理量检测装置，其特征在于，

形成所述电路室的下游侧的壁面以与所述电路室的底面形成钝角的方式倾斜，

当从所述主流路侧观察所述流入孔时，所述流入孔中位于最下游侧的部分位于形成所述电路室的下游侧的壁面和所述电路室的底面的交线的下游侧。

6.根据权利要求5所述的物理量检测装置，其特征在于，

当从所述主流路侧观察所述流入孔时，形成所述电路室的下游侧的壁面具备凸部，该凸部具有位于所述交线的下游侧的端面。

7.根据权利要求2所述的物理量检测装置，其特征在于，

当从所述主流路侧观察所述流入孔时，在所述流入孔的内部的下游侧可以看到所述电路室的壁面。

8.根据权利要求7所述的物理量检测装置，其特征在于，

在所述流入孔的内部的下游侧看到的所述电路室的壁面至少具有一个凸部。

9.根据权利要求7所述的物理量检测装置，其特征在于，

在所述流入孔的内部中在下游侧看到的所述电路室的壁面，在壁面的高度方向上具有多个凸部，

所述多个凸部中的端面位于最上游侧的凸部是离所述电路室的底面最近的凸部。

10.根据权利要求7所述的物理量检测装置，其特征在于，

所述电路室的壁面覆盖所述流入孔的出口的所述下游侧的一部分。

11.根据权利要求2所述的物理量检测装置，其特征在于，

所述流出孔设置在从侧壁向所述主流路突出的突起上，该侧壁从所述主流路侧覆盖所述电路室。