JP7553106B2 - 流体移送装置 - Google Patents
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Description
前記ケーシングは、円筒周壁部と、第1の外部配管と接続可能な第1接続口を有し前記円筒周壁部の軸心方向一端側に設けられた一端壁部と、第2の外部配管と接続可能な第2接続口を有し前記円筒周壁部の軸心方向他端側に設けられた他端壁部とを有し、
前記回転体は、外部動力にて回転するように前記ケーシングの前記一端壁部と前記他端壁部に枢支された回転軸部と、前記回転軸部の外周面に設けられた螺旋羽根部とを有し、
前記螺旋羽根部は、前記円筒周壁部の内周面に密着しながら摺動可能な螺旋ベルト状の外周摺動部を有し、
前記回転体を正回転させることにより第1の外部配管内の流体を前記第1接続口から前記ケーシング内へ流入させて前記第2接続口から第2の外部配管内へ移送し、前記回転体を逆回転させることにより第2の外部配管内の流体を前記第2接続口から前記ケーシング内へ流入させて前記第1接続口から第1の外部配管内へ移送するように構成された、ことを特徴とする流体移送装置が提供される。
つまり、従来のスクリュー式真空ポンプでは、2つのスクリューロータ同士の間隙および各ロータとケーシングとの間隙を微小かつ高精度に保つ必要があるため加工技術の難易度が高く、また部品点数も多いため、製造コストが高い。
これに対し、本発明の流体移送装置では、回転体の螺旋羽根部における螺旋ベルト状の外周摺接部をシール部としてケーシングの円筒周壁部の内周面に密着させながら摺動させる構成であるため、高精度な加工技術は不要であり、部品点数が少ない簡素な構造であるため、低コストにて容易に製造することができる。
これに対し、本発明の流体移送装置は、螺旋羽根部における外周摺接部をケーシングの円筒周壁部の内周面に密着させながら摺動させる構成であるため、微小なクリアランスを維持するための冷却を必要としない。
これに対し、本発明の流体移送装置は、回転体を低速回転させて低真空を得ることができ、回転体の回転数を徐々に上げることで真空度を増加させることも可能であり、ユーザー側にて所望の真空圧に応じた回転体の回転数調整が可能である。
図1~5に示すように、本実施形態の流体移送装置1は、円筒形のケーシング10と、ケーシング10内におけるケーシング10と同一軸心Q上に回転可能に設けられた1つの回転体30とを備える。また、この流体移送装置1は、回転体30を回転駆動する電動モータ60をさらに備えていてもよい。なお、電動モータ60としては、出力制御(出力軸の回転数調整)が可能であり、さらには正逆回転可能なタイプを用いることができる。
他端壁部13に設けられた支持部17は、他端壁部13の外面に固定されたカバー17aと、カバー17a内に設けられて回転軸部31の他端側を回転可能に支持するベアリング17bとを有する。なお、カバー17aには、回転軸部31の他端を気密的に挿通させる挿通孔17aaが設けられている。
回転軸部31は、ケーシング10内に配置される丸軸状の大径部31aと、大径部31aの一端と他端に連設された一対の丸軸状の中径部31bと、他端側の中径部31bに連設された丸軸状の小径部31cとを有し、各中径部31bの端部には雄ねじ31baが設けられている(図1と4参照)。
図1、4~7に示すように、螺旋羽根本体32aは、外周摺動部32bを離脱可能に螺旋羽根本体32aの外周部に固定する複数の固定部を有している。複数の固定部は、外周摺動部32bを離脱可能に受け入れる複数のねじ孔付き受片32aaを外周部に長手方向に沿って有すると共に、複数のねじ孔付き受片32aaの各ねじ孔に螺着する複数のねじピン32abをそれぞれ有している。
溝部32bcは、低摩擦部32bbがコーティングされていない弾性部32baの一側面に沿って形成されている。なお、溝部32bcの代わりに複数の凹部を弾性部32baに設けてもよい。
ケーシング10の容積:2434.8cm3
螺旋ピッチP:100mm
螺旋羽根本体32aの螺旋巻数:2
回転軸部31の直径:32mm
螺旋羽根本体32aの谷深さ:73.5mm
螺旋羽根本体32aの外径D:179mm
被真空物であるタンクの容量:690L
t=V/S*2.303logP1/P2 ・・・ (1)
t:排気時間
V:タンク容量
S:実行排気速度
P1:現在のタンク内圧力
P2:目標タンク内圧力
なお、前記式(1)では常用対数(log10)を自然対数(ln)に変換するために2.303倍している。
また、標準気圧(101325Pa)での実行排気速度Sは、次のように回転数に応じて規定されている。
250(min-1)S=1217.41725
500(min-1)S=2434.8345
750(min-1)S=3652.25175
1000(min-1)S=4869.669
1250(min-1)S=6087.08625
1500(min-1)S=7304.5035
なお、標準気圧(101325Pa)での実行排気速度S=ケーシング10の容積(2434.8cm3)×螺旋羽根本体32aの螺旋巻数(2)×回転速度(250~1500min-1)である。
図10に示すように、螺旋羽根部132は、螺旋羽根本体32aの外周部の端部に固定部としてのねじ孔付き受片132aaが設けられてもよい。
また、外周摺動部132bは、両側面に溝部32bcを有する弾性部132baと、弾性部132baの表面の一部を覆う低摩擦部132bbとを有してなる。なお、低摩擦部132bbの頂部は、ねじ孔付き受片132aaよりも0.5~1mm程度径方向外方へ突出している。
以上に述べたように、
(1)本発明による流体移送装置は、円筒形のケーシングと、前記ケーシング内における前記ケーシングと同一軸心上に回転可能に設けられた回転体とを備え、
前記ケーシングは、円筒周壁部と、第1の外部配管と接続可能な第1接続口を有し前記円筒周壁部の軸心方向一端側に設けられた一端壁部と、第2の外部配管と接続可能な第2接続口を有し前記円筒周壁部の軸心方向他端側に設けられた他端壁部とを有し、
前記回転体は、外部動力にて回転するように前記ケーシングの前記一端壁部と前記他端壁部に枢支された回転軸部と、前記回転軸部の外周面に設けられた螺旋羽根部とを有し、
前記螺旋羽根部は、前記円筒周壁部の内周面に密着しながら摺動可能な螺旋ベルト状の外周摺動部を有し、
前記回転体を正回転させることにより第1の外部配管内の流体を前記第1接続口から前記ケーシング内へ流入させて前記第2接続口から第2の外部配管内へ移送し、前記回転体を逆回転させることにより第2の外部配管内の流体を前記第2接続口から前記ケーシング内へ流入させて前記第1接続口から第1の外部配管内へ移送するように構成された、ことを特徴とする。
(2)前記螺旋羽根部は、前記回転軸部の外周面に固定された螺旋羽根本体と、前記螺旋羽根本体の外周部に着脱可能に取り付けられた前記外周摺動部とを有してなるものであってもよい。
この構成によれば、古い外周摺動部を螺旋羽根本体から取り外して新しい外周摺動部と交換することができる。
前記外周摺動部は、前記複数のねじ孔付き受片にて受け入れられた状態で前記複数のねじピンにて前記螺旋羽根本体の前記外周部に押さえ付けられているものであってもよい。
この構成によれば、外周摺動部の螺旋羽根本体への着脱が容易な取付構造を得ることができる。
この構成によれば、複数のねじピンによる外周摺動部の螺旋羽根本体への固定および位置調整が容易となる。
この構成によれば、螺旋羽根本体の外周部に対する外周摺動部の長手方向の位置ずれを容易に防止することができる。
この構成によれば、弾性部を金型内にセットしてフッ素樹脂を流し込むインサート成形にて外周摺動部を形成することができる。
前記電動モータが、出力調整可能であってもよい。
この構成によれば、移送の対象物である流体の種類や目的等に応じて、回転体の回転数を調整することができる。
前述した実施の形態の他にも、本発明について種々の変形例があり得る。それらの変形例は、本発明の範囲に属さないと解されるべきものではない。本発明には、請求の範囲と均等の意味および前記範囲内でのすべての変形とが含まれるべきである。
Claims (5)
- 円筒形のケーシングと、前記ケーシング内における前記ケーシングと同一軸心上に回転可能に設けられた回転体とを備え、
前記ケーシングは、円筒周壁部と、第1の外部配管と接続可能な第1接続口を有し前記円筒周壁部の軸心方向一端側に設けられた一端壁部と、第2の外部配管と接続可能な第2接続口を有し前記円筒周壁部の軸心方向他端側に設けられた他端壁部とを有し、
前記回転体は、外部動力にて回転するように前記ケーシングの前記一端壁部と前記他端壁部に枢支された回転軸部と、前記回転軸部の外周面に設けられた螺旋羽根部とを有し、
前記螺旋羽根部は、前記円筒周壁部の内周面に密着しながら摺動可能な螺旋ベルト状の外周摺動部を有し、
前記回転体を正回転させることにより前記第1の外部配管内の流体を前記第1接続口から前記ケーシング内へ流入させて前記第2接続口から前記第2の外部配管内へ移送し、前記回転体を逆回転させることにより前記第2の外部配管内の流体を前記第2接続口から前記ケーシング内へ流入させて前記第1接続口から前記第1の外部配管内へ移送するように構成されており、
前記螺旋羽根部は、前記回転軸部の外周面に固定された螺旋羽根本体と、前記螺旋羽根本体の外周部に着脱可能に取り付けられた前記外周摺動部とを有してなり、
前記螺旋羽根本体は、前記外周摺動部を離脱可能に受け入れる複数のねじ孔付き受片を前記外周部に長手方向に沿って有すると共に、前記複数のねじ孔付き受片の各ねじ孔に螺着する複数のねじピンを有し、
前記外周摺動部は、前記複数のねじ孔付き受片にて受け入れられた状態で前記複数のねじピンにて前記螺旋羽根本体の前記外周部に押さえ付けられていることを特徴とする流体移送装置。 - 前記外周摺動部は、前記複数のねじピンが挿入される溝部または複数の凹部を長手方向に沿って有している、請求項1に記載の流体移送装置。
- 前記複数のねじピンのうちの前記外周摺動部の長手方向の両端部に対応する一対のねじピンは、前記外周摺動部を貫通して前記螺旋羽根本体の前記外周部に当接する、請求項1または2に記載の流体移送装置。
- 前記外周摺動部は、前記複数のねじピンにて押さえ付けられる螺旋ベルト状の弾性部と、前記ケーシングの前記円筒周壁部の内周面に密着しながら摺動するように前記弾性部の表面に一体状に設けられた低摩擦部とを有してなる、請求項1~3のいずれか1つに記載の流体移送装置。
- 前記回転体の前記回転軸部と連結した出力軸を有する電動モータをさらに備え、
前記電動モータが、出力調整可能である、請求項1~4のいずれか1つに記載の流体移送装置。
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