KR102634783B1 - 스크류로터부를 가지는 진공펌프 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 흡입부와 배출부가 구비된 중공의 케이싱과, 상기 케이싱 내에 베어링으로 지지되어 회전 가능하게 구비되며 서로 맞물려 회전하는 종동스크류와 구동스크류를 포함하는 스크류로터부와, 상기 구동스크류의 구동스크류축에 결합된 모터를 포함하며;
상기 구동스크류는 구동스크류축과, 상기 구동스크류축의 외측에 나선을 형성하며 구비된 구동스크류부를 포함하고, 상기 구동스크류부는 구동제1스크류와, 상기 구동제1스크류에 연결된 구동제2스크류를 포함하고;
상기 종동스크류는 종동스크류축과, 상기 종동스크류축의 외측에 나선을 형성하며 구비된 종동스크류부를 포함하고, 상기 종동스크류부는 구동제1스크류와 맞물리는 종동제1스크류와, 상기 종동제1스크류에 연결되며 구동제2스크류와 맞물리는 종동제2스크류를 포함하고;
흡입측의 구동제1스크류와 종동제1스크류의 피치는 배출측의 구동제2스크류와 종동제2스크류의 피치보다 큰 것을 특징으로 하는 스크류로터부를 가지는 진공펌프에 관한 것이다.

Description

스크류로터부를 가지는 진공펌프{A vacuum pump having screw rotor}
본 발명은 스크류로터부를 가지는 진공펌프에 관한 것으로, 보다 상세하게는 작동이 안정되며 소비동력이 커지는 것과 과부하가 방지되는 스크류로터부를 가지는 진공펌프에 관한 것이다.
일반적으로 진공펌프는 한 쌍을 이루는 스크류로터부의 연동 회전을 이용하여 청정 또는 저압환경을 만들 수 있다. 그러한 진공펌프는 반도체, 제약, 화공 등의 산업 공정에서 이용되는 기밀공간 내의 기체분자를 제거하기 위해, 대기압 이하의 저압에서 기체를 흡입, 압축해 대기 중에 방출함으로써 기밀공간의 진공도를 높인다.
종래 스크류로터부를 가지는 진공펌프는 하우징 내에 설치된 한 쌍의 스크류가 회전되도록 설치되며, 상기 스크류는 압축효율을 높이기 위하여 배기구측을 향해 갈수록 피치가 단축되는 다단으로 많이 형성되고 있다.
종래의 스크류로터부를 가지는 진공펌프는 가공이 어렵고, 작동이 안정되지 않고 수리에 불필요한 시간과 비용이 소요되며 과도한 압축과 소비동력의 손실이 많은 문제점이 있었다.
대한민국 등록번호 제10-0811360호 등록특허공보
본 발명은 상기와 같은 종래 기술이 가지는 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 과도한 압축과 소비동력의 과도한 손실을 방지하며 안정된 작동 성능을 가지는 스크류로터부를 가지는 진공펌프를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 위하여 본 발명은 흡입부와 배출부가 구비된 중공의 케이싱과, 상기 케이싱 내에 베어링으로 지지되어 회전 가능하게 구비되며 서로 맞물려 회전하는 종동스크류와 구동스크류를 포함하는 스크류로터부와, 상기 구동스크류의 구동스크류축에 결합된 모터를 포함하며;
상기 구동스크류는 구동스크류축과, 상기 구동스크류축의 외측에 나선을 형성하며 구비된 구동스크류부를 포함하고, 상기 구동스크류부는 구동제1스크류와, 상기 구동제1스크류에 연결된 구동제2스크류를 포함하고;
상기 종동스크류는 종동스크류축과, 상기 종동스크류축의 외측에 나선을 형성하며 구비된 종동스크류부를 포함하고, 상기 종동스크류부는 구동제1스크류와 맞물리는 종동제1스크류와, 상기 종동제1스크류에 연결되며 구동제2스크류와 맞물리는 종동제2스크류를 포함하고;
흡입측의 구동제1스크류와 종동제1스크류의 피치는 배출측의 구동제2스크류와 종동제2스크류의 피치보다 큰 것을 특징으로 하는 스크류로터부를 가지는 진공펌프를 제공한다.
상기에서, 구동제1스크류와 종동제1스크류의 피치와 구동제2스크류와 종동제2스크류의 피치의 비는 3 내지 5:1 범위인 것을 특징으로 한다.
상기에서, 종동제1스크류와 종동제2스크류의 외면에는 각각 오목한 종동제1오목부와 종동제2오목부가 원주 방향을 따라 1회 나선 구간에 하나 이상 형성되며;
상기 구동제1스크류와 구동제2스크류의 외면에는 각각 오목한 구동제1오목부와 구동제2오목부가 원주 방향을 따라 1회 나선 구간에 하나 이상 형성된 것을 특징으로 한다.
상기에서, 종동제1오목부와 종동제2오목부는 종동제1스크류와 종동제2스크류의 외면에 각각 축 방향으로 연장되어 하나 이상 형성되며; 상기 구동제1오목부와 구동제2오목부는 구동제1스크류와 구동제2스크류의 외면에 각각 축 방향으로 연장되어 하나 이상 형성되며;
상기 구동스크류와 종동스크류가 서로 맞물려 회전할 때, 종동제1오목부와 구동제1오목부는 서로 만나지 않는 위치에 형성되고, 종동제2오목부와 구동제2오목부는 서로 만나지 않는 위치에 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기에서, 구동스크류축은 상하에서 돌출되어 상부와 하부에서 각각 베어링에 의하여 케이싱에 회전 가능하게 지지되고, 상기 종동스크류축은 상하에서 돌출되어 상부와 하부에서 각각 베어링에 의하여 케이싱에 회전 가능하게 지지되며;
상기 케이싱 내 상부에는 오일이 수용되는 제1수용부가 형성되어 구동스크류축과 종동스크류축을 회전 가능하게 지지하는 베어링은 제1수용부에 설치되며, 하부에는 오일이 수용되는 제2수용부가 형성되어 구동스크류축과 종동스크류축을 회전 가능하게 지지하는 베어링은 제2수용부에 설치되며;
상기 제1수용부의 베어링 상부에는 구동스크류축에 결합되어 구동스크류축과 일체로 회전하며, 회전하면서 제1수용부에 수용된 오일을 유동시키는 제1회전부재가 구비되고; 상기 제2수용부의 베어링 하부에는 구동스크류축에 결합되어 구동스크류축과 일체로 회전하며, 회전하면서 제2수용부에 수용된 오일을 유동시키는 제2회전부재가 구비된 것을 특징으로 한다.
상기에서, 상부에서 구동스크류축에 결합된 베어링의 하부로 구동스크류축이 삽입된 구동제1씰과 구동제2씰본체가 차례로 구비되고;
상기 구동제1씰은 환형으로 구동스크류축이 삽입되어 구동스크류축과 일체로 회전하며, 외측에 하향 연장된 구동제1씰연장부가 구비되고 구동제1씰연장부는 하향 경사진 제1구동씰외면을 포함하고;
상기 케이싱에는 구동제2씰본체와 마주하는 원통형의 구동제1씰하우징부가 형성되고, 상기 구동제2씰본체는 원통형으로 구동스크류축이 삽입되어 구동스크류축과 일체로 회전하고 반경 방향 외측에 외향 연장되며 상하 방향으로 이격되어 복수로 구비된 구동제2씰돌기를 포함하고;
상기 구동제1씰하우징부로 구동제2씰부재가 삽입되어 구동제1씰하우징부에 밀착 고정되고, 상기 구동제2씰부재는 구동제2씰돌기 사이에 형성된 오목부에 위치하며;
상기 케이싱에는 상향하여 구동제1씰연장부 내측으로 연장되며 단부에 외향 돌출되어 구동제1씰연장부로 연장된 구동제1연장부돌기가 구비되며, 상기 구동제1연장부돌기는 구동제1씰연장부 내면에 접하거나 틈새가 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기에서, 하부에서 구동스크류축에 결합된 베어링의 상부로 구동스크류축이 삽입된 구동제3씰과 구동제4씰본체가 차례로 구비되고;
상기 구동제3씰은 환형으로 구동스크류축이 삽입되어 구동스크류축과 일체로 회전하며, 외측에 상향 연장된 구동제3씰연장부가 구비되고 구동제3씰연장부는 상향 경사진 구동제3씰외면을 포함하고;
상기 케이싱에는 구동제4씰본체와 마주하는 구동제2씰하우징부가 형성되고, 상기 구동제4씰본체와 구동제2씰하우징부 사이에는 구동제5씰부재가 구비되며;
상기 구동제4씰본체는 원통형으로 구동스크류축이 삽입되어 구동스크류축과 일체로 회전하고 반경 방향 외측에 외향 연장되며 상하 방향으로 이격되어 복수로 구비된 구동제4씰돌기를 포함하고;
상기 구동제5씰부재의 내경으로 구동제4씰부재가 삽입되어 구동제5씰부재의 내경에 밀착 고정되고, 상기 구동제4씰부재는 구동제4씰돌기 사이에 형성된 오목부에 위치하며;
상기 구동제5씰부재는 하부에 하향하며 구동제3씰연장부 내측으로 연장되며 단부에 외향 돌출되어 구동제3씰연장부로 연장된 복수의 돌기가 구비되며, 상기 구동제5씰부재의 돌기는 구동제3씰연장부 내면에 접하거나 틈새가 형성되며;
상기 구동제5씰부재는 반경 방향 외향 연장되어 구동제2씰하우징부의 내경면에 밀착 고정된 복수의 구동제5씰돌기를 포함하며, 상기 구동제5씰돌기 중 하부에 구비된 구동제5씰하돌기는 구동제2씰하우징부의 하부에 구비된 턱면에도 밀착되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르는 스크류로터부를 가지는 진공펌프는 케이싱 내부에 이물질이 잔류하여 누적되는 것이 방지되며, 동력손실을 적게 하면서 과도한 압축에 의한 과열이 방지된다.
도 1은 본 발명의 스크류로터부를 가지는 진공펌프를 개략적으로 도시한 측면도이며,
도 2는 도 1의 A-A선에 따르는 단면도 및 일부 사시도이며,
도 3은 도 2의 "A"부를 확대 도시한 것이며,
도 4는 도 3의 "B"부를 확대 도시한 것이며,
도 5는 본 발명 진공펌프에 구비되는 스크류로터부를 도시한 측면도이며,
도 6은 본 발명 진공펌프에 구비되는 스크류로터부를 도시한 사시도이며,
도 7은 도 6에 도시된 스크류로터부 중 종동스크류를 도시한 측면도이다.
본 발명의 설명에 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 달리 정의되지 않는 한, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 갖는다. 본 개시에 사용되는 모든 용어들은 본 개시를 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며 본 개시에 따른 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.
본 발명의 설명에 사용되는 "포함하는", "구비하는", "갖는" 등과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.
본 발명의 설명에 사용되는 단수형의 표현은 달리 언급하지 않는 한 복수형의 의미를 포함할 수 있으며, 이는 청구범위에 기재된 단수형의 표현에도 마찬가지로 적용된다.
본 발명의 설명에 사용되는 "제1", "제2" 등의 표현들은 복수의 구성요소들을 상호 구분하기 위해 사용되며, 해당 구성요소들의 순서 또는 중요도를 한정하는 것은 아니다.
본 발명의 설명에서 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "결합되어" 있다고 언급된 경우, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수 있거나 결합될 수 있는 것으로, 또는 새로운 다른 구성요소를 매개로 하여 연결될 수 있거나 결합될 수 있는 것으로 이해되어야 한다.
이하에서 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 스크류로터부를 가지는 진공펌프에 대하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 스크류로터부를 가지는 진공펌프를 개략적으로 도시한 측면도이며, 도 2는 도 1의 A-A선에 따르는 단면도 및 일부 사시도이며, 도 3은 도 2의 "A"부를 확대 도시한 것이며, 도 4는 도 3의 "B"부를 확대 도시한 것이며, 도 5는 본 발명 진공펌프에 구비되는 스크류로터부를 도시한 측면도이며, 도 6은 본 발명 진공펌프에 구비되는 스크류로터부를 도시한 사시도이며, 도 7은 도 6에 도시된 스크류로터부 중 종동스크류를 도시한 측면도이다.
이하의 설명에서 설명의 편의를 위하여 도 2에서 세로 방향을 "상하 방향 및 축 방향"으로 하고, 가로 방향을 "폭 방향"으로 하여 설명한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따르는 스크류로터부를 가지는 진공펌프(100)는 케이싱(110)과, 흡입부(120)와, 배출부(130)와, 모터(140)와, 스크류로터부(180)와, 동력전달부를 포함하여 이루어진다.
상기 케이싱(110)은 중공체로 구비된다. 상기 케이싱(110)에는 흡입부(120)와 배출부(130)가 구비된다.
상기 흡입부(120)는 상기 케이싱(110)의 폭 방향 일측에 구비된다. 상기 흡입부(120)는 중공체이며, 상기 케이싱(110)과 연통되도록 구비된다. 상기 흡입부(120)는 후술할 스크류로터부(180)의 구동제1스크류(1813)와 종동제1스크류(1833)의 측방으로 설치된다.
상기 배출부(130)는 상기 케이싱(110)의 상하 방향 일측에 구비된다. 상기 배출부(130)는 중공체이며, 상기 케이싱(110)과 연통되도록 구비된다. 상기 배출부(130)는 후술할 스크류로터부(180)의 구동제2스크류(1815)와 종동제2스크류(1835)가 위치하는 쪽으로 설치된다. 상기 배출부(130)는 상기 케이싱(110)의 상하 방향 일측에 구비되며, 본 발명에서는 케이싱(110)의 하부에 설치되는 것을 예로 설명한다.
상기 모터(140)는 상기 케이싱(110)의 상부에 구비된다. 상기 모터(140)는 하부에 구비될 수도 있으며, 본 발명에서는 케이싱(110)의 상부에 설치되는 것을 예로 설명한다.
상기 스크류로터부(180)는 상기 케이싱(110) 내에 설치된다. 상기 스크류로터부(180)는 상기 케이싱(110) 내에서 베어링으로 지지되어 회전 가능하게 구비된다.
도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 스크류로터부(180)는 서로 맞물러 회전하는 구동스크류(181)와 종동스크류(183)를 포함하여 이루어진다.
상기 구동스크류(181)는 상기 모터(140)의 축과 결합되어 회전된다. 상기 구동스크류(181)는 구동스크류축(1811)과 구동스크류부를 포함하여 이루어진다.
상기 구동스크류축(1811)은 상하 방향으로 연장된 막대 형태로 구비된다. 상기 구동스크류축(1811)은 구동스크류축(1811)의 길이 방향 일측에 모터(140)가 결합되어 구비된다.
상기 구동스크류부는 상기 구동스크류축(1811)의 외측에 나선을 형성하며 구비된다. 상기 구동스크류부는 구동제1스크류(1813)와, 상기 구동제1스크류(1813)에 연결된 구동제2스크류(1815)를 포함하여 이루어진다.
상기 구동제1스크류(1813)의 피치(P1)는 구동제2스크류(1815)의 피치(P2)보다 크게 형성된다. 상기 구동제1스크류(1813)와 구동제2스크류(1815)의 각도는 θ만큼 차이가 나며, 상기 구동제1스크류(1813)와 구동제2스크류(1815)는 각도 불연속점인 변위부(1832)로 연결된다. 상기 구동제1스크류(1813)와 구동제2스크류(1815)는 상기 변위부(1832)에 의해 연속적으로 형성된다.
상기 구동제2스크류(1815)의 피치(P2)가 구동제1스크류(1813)의 피치(P1)보다 작게 형성됨으로써 소비 전력이 감소된다. 또한, 구동제2스크류(1815)의 피치(P2)가 작아짐에 따라 스크류의 길이가 짧아지게 되고, 그에 따른 풋 프린트(foot print)가 작아지게 된다.
상기 종동스크류(183)는 상기 구동스크류(181)의 폭 방향 일측으로 구비된다. 상기 종동스크류(183)는 상기 구동스크류(181)와 맞물려 회전된다. 상기 종동스크류(183)는 종동스크류축(1831)과 종동스크류부를 포함하여 이루어진다.
상기 종동스크류축(1831)은 상하 방향으로 연장된 막대 형태로 구비된다. 상기 종동스크류축(1831)은 구동스크류축(1811)과 폭 방향으로 이격되어 나란하게 구비된다.
상기 종동스크류부는 상기 종동스크류축(1831)의 외측에 나선을 형성하며 구비된다. 상기 종동스크류부는 종동제1스크류(1833)와, 상기 종동제1스크류(1833)에 연결된 구동제2스크류(1815)를 포함하여 이루어진다.
상기 종동제1스크류(1833)는 상기 구동제1스크류(1813)와 맞물리며, 상기 종동제2스크류(1835)는 상기 구동제2스크류(1815)와 맞물리도록 구비된다.
도 7에 도시된 바와 같이, 상기 종동제1스크류(1833)의 피치(P1)는 종동제2스크류(1835)의 피치(P2)보다 크게 형성된다. 상기 종동제1스크류(1833)와 종동제2스크류(1835) 사이의 각도는 θ만큼 차이가 나며, 상기 종동제1스크류(1833)와 종동제2스크류(1835)는 각도 불연속점인 변위부(1832)로 연결된다. 상기 종동제1스크류(1833)와 종동제2스크류(1835)는 상기 변위부(1832)에 의해 연속적으로 형성된다.
상기 종동제2스크류(1835)의 피치(P2)가 종동제1스크류(1833)의 피치(P1)보다 작게 형성됨으로써 소비 전력이 감소된다. 또한, 종동제2스크류(1835)의 피치(P2)가 작아짐에 따라 스크류의 길이가 짧아지게 되고, 그에 따른 풋 프린트(foot print)가 작아지게 된다.
상기 구동제1스크류(1813)와 종동제1스크류(1833)는 상기 케이싱(110)에 흡입부(120)가 구비된 측에 형성되고, 상기 구동제2스크류(1815)와 종동제2스크류(1835)는 상기 케이싱(110)에 배출부(130)가 구비된 측에 형성된다.
상기 흡입부(120)가 구비된 측에 형성된 구동제1스크류(1813)와 종동제1스크류(1833)의 피치(P1)는 배출부(130)가 구비된 측에 형성된 구동제2스크류(1815)와 종동제2스크류(1835)의 피치(P2)보다 크게 형성된다.
상기 구동제1스크류(1813)와 종동제1스크류(1833)의 피치(P1)와 구동제2스크류(1815)와 종동제2스크류(1835)의 피치(P2)의 비는 3 내지 5:1 범위로 형성된다.
상기 구동제1스크류(1813)와 종동제1스크류(1833)의 피치(P1)와 구동제2스크류(1815)와 종동제1스크류(1833)의 피치(P2)의 비가 3:1보다 작은 경우 소비동력이 커지는 문제점이 있고, 5:1보다 큰 경우에는 과압축으로 인한 열발생의 문제점이 있었다.
따라서, 상기 구동제1스크류(1813)와 종동제1스크류(1833)의 피치(P1)와 구동제2스크류(1815)와 종동제2스크류(1835)의 피치(P2)의 비가 3 내지 5:1 범위로 형성됨으로써, 진공펌프(100)의 동력손실을 적게 하면서 과도한 압축에 의한 과열이 방지된다.
도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 구동스크류부와 종동스크류부에는 외면에 오목한 홈이 형성된다.
상기 구동제1스크류(1813)의 외면에는 축 방향인 상하로 연장되어 오목한 구동제1오목부(1817)가 형성된다. 상기 구동제1오목부(1817)는 원주 방향을 따라 1회 나선 구간에 하나 이상 형성된다. 상기에서 1회 나선은 360°를 의미한다. 상기 구동제1오목부(1817)는 나선을 이루어 연장된 구동제1스크류(1813)의 외면에 상하 단부까지 연장된 형태로 형성된다. 상기 구동제1오목부(1817)는 구동제1스크류(1813)의 1회 나선 구간에서 원주 방향을 따라 이격되어 3개 또는 4개 이상이 형성될 수 있으며, 축 방향인 상하로 상하 단부까지 연장된 형태로 형성될 수 있다.
상기 구동제2스크류(1815)의 외면에는 축 방향인 상하로 연장되어 오목한 구동제2오목부(1819)가 형성된다. 상기 구동제2오목부(1819)는 원주 방향을 따라 1회 나선 구간에 하나 이상 형성된다. 상기에서 1회 나선은 360°를 의미한다. 상기 구동제2오목부(1819)는 나선을 이루어 연장된 구동제2스크류(1815)의 외면에 상하 단부까지 연장된 형태로 형성된다. 상기 구동제2오목부(1819)는 구동제2스크류(1815)의 1회 나선 구간에서 원주 방향을 따라 이격되어 3개 또는 4개 이상이 형성될 수 있으며, 축 방향인 상하로 상하 단부까지 연장된 형태로 형성될 수 있다.
상기 종동제1스크류(1833)의 외면에는 축 방향인 상하로 연장되어 오목한 종동제1오목부(1837)가 형성된다. 상기 종동제1오목부(1837)는 원주 방향을 따라 1회 나선 구간에 하나 이상 형성된다. 상기에서 1회 나선은 360°를 의미한다. 상기 종동제1오목부(1837)는 나선을 이루어 연장된 종동제1스크류(1833)의 외면에 상하 단부까지 연장된 형태로 형성된다. 상기 종동제1오목부(1837)는 종동제1스크류(1833)의 1회 나선 구간에서 원주 방향을 따라 이격되어 3개 또는 4개 이상이 형성될 수 있으며, 축 방향인 상하로 상하 단부까지 연장된 형태로 형성될 수 있다.
상기 종동제2스크류(1835)의 외면에는 축 방향인 상하로 연장되어 오목한 종동제2오목부(1839)가 형성된다. 상기 종동제2오목부(1839)는 원주 방향을 따라 1회 나선 구간에 하나 이상 형성된다. 상기에서 1회 나선은 360°를 의미한다. 상기 종동제2오목부(1839)는 나선을 이루어 연장된 종동제2스크류(1835)의 외면에 상하 단부까지 연장된 형태로 형성된다. 상기 종동제2오목부(1839)는 종동제2스크류(1835)의 1회 나선 구간에서 원주 방향을 따라 이격되어 3개 또는 4개 이상이 형성될 수 있으며, 축 방향인 상하로 상하 단부까지 연장된 형태로 형성될 수 있다.
구동스크류(181)와 종동스크류(183)가 서로 맞물려 회전할 때, 외면에 종동제1오목부(1837), 종동제2오목부(1839), 구동제1오목부(1817), 구동제2오목부(1819)가 형성되어 케이싱(110) 내면에 잔류하고 있는 이물질을 긁어 내는 작용을 하며, 특히 종동제1오목부(1837), 종동제2오목부(1839), 구동제1오목부(1817), 구동제2오목부(1819)의 원주 방향 단부가 케이싱 내면에 잔류하고 있는 이물질을 긁어 내는 작용을 하여 케이싱 내부에 이물질이 잔류하여 누적되는 것이 방지된다.
도 5에 도시된 바와 같이, 상기 구동스크류와 종동스크류부에는 구동스크류부에 상부에서 하부까지 모든 구동제1스크류(1813)와 구동제2스크류(1815)에 일렬로 구동제1오목부(1817)와 구동제2오목부(1819)가 형성되고, 종동스크류부에 상부에서 하부까지 모든 종동제1스크류(1833)와 종동제2스크류(1835)에 일렬로 종동제1오목부(1837)와 종동제2오목부(1839)가 형성된 것으로 도시되어 있다.
그러나 이에 한정되지 않고, 각 구동제1오목부(1817)와 구동제2오목부(1819)는 서로 어긋난 위치에 형성될 수 있으며, 각 종동제1오목부(1837)와 종동제2오목부(1839) 또한 서로 어긋난 위치에 형성될 수 있다.
상기 구동제1스크류(1813)와 구동제2스크류(1815)에 구동제1오목부(1817)와 구동제2오목부(1819)가 일렬로 형성되고, 종동제1스크류(1833)와 종동제2스크류(1835)에 종동제1오목부(1837)와 종동제2오목부(1839)가 일렬로 형성되어도, 상기 진공펌프(100) 작동 시 6,000rpm 이상으로 작동되어 구동제1오목부(1817), 구동제2오목부(1819), 종동제1오목부(1837), 종동제2오목부(1839)를 통한 유체의 누출이 미미하며, 진공 펌프(100)의 성능에 지장이 없다.
상기 구동스크류(181)와 종동스크류(183)가 서로 맞물려 회전할 때, 종동제1오목부(1837)와 구동제1오목부(1817)는 서로 만나지 않는 위치에 형성되고, 종동제2오목부(1839)와 구동제2오목부(1819)는 서로 만나지 않는 위치에 형성된다.
상기 구동스크류(181)와 종동스크류(183)가 서로 맞물려 회전할 때, 종동제1오목부(1837)와 구동제1오목부(1817)가 축 방향으로 일렬로 정렬되면, 일렬로 정렬된 종동제1오목부(1837)와 구동제1오목부(1817)를 통하여 통로가 형성되므로 종동제1오목부(1837)와 구동제1오목부(1817)는 서로 만나지 않는 위치에 형성되어야 한다.
마찬가지로 상기 구동스크류(181)와 종동스크류(183)가 서로 맞물려 회전할 때, 종동제2오목부(1839)와 구동제2오목부(1819)가 축 방향으로 일렬로 정렬되면, 일렬로 정렬된 종동제2오목부(1839)와 구동제2오목부(1819)를 통하여 통로가 형성되므로 종동제2오목부(1839)와 구동제2오목부(1819)는 서로 만나지 않는 위치에 형성되어야 한다.
상기 동력전달부는 상기 구동스크류(181)와 종동스크류(183)의 하부로 구비된다. 상기 동력전달부는 상기 모터(140)의 구동에 의해 회전되는 구동스크류(181)의 회전을 종동스크류(183)로 전달하는 역할을 한다. 상기 동력전달부는 구동기어(191)와 종동기어(193)를 포함하여 이루어진다.
상기 구동기어(191)는 상기 구동스크류(181)의 하부로 위치하는 구동스크류축(1811)이 삽입되어 상기 구동스크류축(1811)에 결합된다.
상기 종동기어(193)는 상기 구동기어(191)의 측방으로 구비된다. 상기 종동기어(193)는 상기 구동기어(191)와 치합하여 구비된다. 상기 종동기어(193)는 상기 종동스크류(183)의 하부로 위치하는 종동스크류축(1831)이 삽입되어 상기 종동스크류축(1831)에 결합된다.
이하에서는 상기 스크류로터부(180)가 케이싱(110) 내에서 회전 가능하게 설치되는 구조에 대하여 설명한다.
먼저, 도 2 및 도 3을 참조하여 케이싱(110)의 상부로 위치하는 상기 스크류로터부(180)의 구조에 대하여 설명한다.
상기 케이싱(110)의 상부에는 상기 구동스크류부와 종동스크류부의 상부로 제1수용부(102)가 형성된다.
상기 케이싱(110)에는 상기 제1수용부(102)와 종동스크류부 사이에 상하 방향으로 관통된 원통형의 종동제1씰하우징부(119-1)가 형성된다. 상기 케이싱(110)에는 상기 종동제1씰하우징(119-1)과 제1수용부(102) 사이에 상하 방향으로 관통된 원통형인 종동제1하우징부(112)가 형성된다.
상기 종동제1하우징부(112)에는 베어링(123)이 삽입되어 구비된다. 상기 베어링(123)은 상기 종동스크류축(1831)이 제1수용부(102) 내에서 회전 가능하도록 지지한다.
상기 종동스크류(183)의 상부로 위치하는 종동스크류축(1831)은 상기 종동제1씰하우징부(119-1)를 관통하고 상기 베어링(123)에 삽입되어 제1수용부(102)에 위치한다.
상기 종동스크류축(1831)은 상기 베어링(123)의 내륜으로 삽입되고, 상기 제1수용부(102)에서 상기 베어링(123)의 상부로 돌출된 종동스크류축(1831)의 단부에 너트(103)가 체결된다. 상기 종동스크류축(1831)의 단부에는 수나사가 형성된다.
상기 베어링(123)의 상부에는 판상인 제1부재(131)가 더 구비된다. 상기 제1부재(131)는 상기 제1수용부(102)의 종동제1하우징부(112)의 상부로 구비되어 복수의 볼트(133)로 체결되어 결합된다. 상기 베어링(123)의 외륜은 상기 제1부재(131)에 의하여 가압되어 지지된다. 상기 베어링(123)의 외륜과 제1부재(131) 사이에는 스프링인 가압부재(138)가 구비될 수 있다.
상기 종동스크류부의 상부에는 상기 종동스크류축(1831)에 상기 베어링(123)의 하부로 종동제1씰(152)과 종동제2씰본체(154)가 더 구비된다.
상기 종동제1씰(152)과 종동제2씰본체(154)는 상부에서 종동스크류축(1831)에 결합된 베어링(123)의 하부로 종동제1씰(152)과 종동제2씰본체(154)가 차례로 구비된다.
상기 너트(103)의 체결에 의해 상기 종동스크류(183)는 베어링(123)의 내륜과, 종동제1씰(152)과, 종동제2씰본체(154)가 가압되며 케이싱(110)에 지지되어 회전 가능하게 구비된다.
상기 종동제1씰(152)은 환형으로 종동스크류축(1831)이 삽입되어 종동스크류축(1831)과 일체로 회전한다. 상기 종동제1씰(152)의 반경 방향 외측에는 하향 연장된 종동제1씰연장부(1521)가 구비된다. 상기 종동제1씰연장부(1521)의 외면에는 하향 경사진 종동제1씰외면(1523)이 형성된다. 상기 종동제1씰연장부(1521)는 하향할수록 단면적이 작게 형성될 수 있다.
상기 제1수용부(102)에는 오일이 수용되며, 상기 제1수용부(102)에 수용된 오일은 베어링(123)의 윤활재로 작용한다.
상기 종동제1씰(152)이 제1수용부(102) 내에서 종동스크류축(1831)과 일체로 회전하면 하향 경사진 종동제1씰외면(1523)에 의하여 오일이 유동되며 종동제1씰외면(1533)의 외측 공간에서 오일은 하향하며 외향 유동하여 순환하게 된다. 따라서 오일이 구동스크류(181)와 종동스크류(183)가 맞물려 회전하는 공간으로 유입되는 것이 방지된다.
상기 종동제2씰본체(154)는 상기 종동제1씰하우징부(119-1)에 구비된다. 상기 종동제2씰본체(154)는 원통형으로 형성되어 상기 종동제1씰하우징부(119-1)와 마주하여 구비된다. 상기 종동제2씰본체(154)는 상기 종동스크류축(1831)이 삽입되어 종동스크류축(1831)과 일체로 회전한다. 상기 종동제2씰본체(154)의 반경 방향 외측에는 외향 연장되며 상하 방향으로 이격되어 복수로 구비된 종동제2씰돌기(1541)가 구비된다.
상기 종동제1씰하우징부(119-1)에는 종동제2씰부재(156)가 더 구비된다. 상기 종동제2씰부재(156)는 복수로 구비된다. 상기 종동제2씰부재(156)는 상기 종동제2씰돌기(1541) 사이에 형성된 오목부에 위치한다. 상기 종동제2씰부재(156)는 단부가 분리된 원호형 형태로 형성된다. 상기 종동제2씰부재(156)는 상기 종동제1씰하우징부(119-1)로 삽입되면서 단부 사이의 거리가 감소하거나 단부가 접하여 종동제1씰하우징부(119-1)의 내면에 밀착 고정된다. 상기 종동제2씰부재(156)는 상기 종동제1씰하우징부(119-1)로 삽입되어 종동제1씰하우징부(119-1)에 밀착 고정된다.
상기 종동제2씰부재(156)는 상기 종동제2씰돌기(1541) 사이에 미리 종동제2씰부재(156)를 삽입시키고, 일체로 종동제1씰하우징부(119-1)로 삽입된다.
상기 종동스크류축(1831)이 회전하면 종동제2씰본체(154)는 종동스크류축(1831)과 일체로 회전하고, 종동제1씰하우징부(119-1)에 밀착 고정된 종동제2씰부재(156)는 정지된 상태이므로 종동제2씰부재(156)와 종동제2씰돌기(1541) 사이에는 상대 회전 운동이 발생한다.
상기 종동제1씰하우징부(119-1)에는 상향하여 상기 종동제1씰연장부(1521) 내측으로 연장된 케이싱제2연장부(118)가 형성된다. 상기 케이싱제2연장부(118)의 단부에는 반경 방향 외향 돌출되어 상기 종동제1씰연장부(1521)로 연장된 종동제1연장부돌기(1181)가 구비된다. 상기 종동제1연장부돌기(1181)는 상기 종동제1씰연장부(1521) 내면에 접하거나 틈새가 형성된다.
상기 종동제1씰(152)은 상기 종동스크류축(1831)에 너트(103)가 체결되며 베어링(123)의 내륜과 종동제2씰본체(154) 사이에서 가압되어 양측에 베어링(123) 내륜과 종동제2씰본체(154)에 밀착된다.
상기 종동제2씰부재(156)는 종동제2씰돌기(1541) 사이에 위치하여 상하면이 종동제2씰돌기(1541)에 미끄럼 접촉을 하여 거의 틈새가 발생하지 않는다. 오일이 종동제2씰부재(156)의 상하면과 종동제2씰돌기(1541) 사이에서 유막을 형성하며 따라서 오일이 이 사이를 통과할 수 없게 된다.
오일이 구동스크류(181)와 종동스크류(183)가 맞물려 회전하는 공간으로 유입되기 위해서는 종동제1씰(152)의 종동제1씰연장부(1521) 내면과 케이싱제2연장부(118) 사이를 지나 종동제2씰돌기(1541)와 종동제2씰부재(156) 사이를 복수회 지나야 한다. 따라서 제1수용부(102) 내의 오일이 종동스크류(183)와 구동스크류(181)가 서로 맞물려 회전하는 공간으로 유동하는 것이 효과적으로 방지된다.
상기 케이싱(110)에는 상기 종동제1씰하우징부(119-1)로부터 폭 방향으로 이격되어 상기 제1수용부(102)와 구동스크류부 사이에 상하 방향으로 관통된 원통형의 구동제1씰하우징부(119)가 형성된다. 상기 케이싱(110)에는 상기 구동제1씰하우징(119)과 제1수용부(102) 사이에 상하 방향으로 관통된 원통형인 구동제1하우징부(111)가 형성된다.
상기 구동제1하우징부(111)에는 베어링(121)이 삽입되어 구비된다. 상기 베어링(121)은 상기 구동스크류축(1811)이 제1수용부(102) 내에서 회전 가능하도록 지지한다.
상기 구동스크류(181)의 상부로 위치하는 구동스크류축(1811)은 상기 구동제1씰하우징부(119)를 관통하고 상기 베어링(121)에 삽입되어 제1수용부(102)를 지나 모터(140)의 회전축과 연결된다. 상부의 구동스크류축(1811)은 모터(140)의 축에 커플링 등으로 결합되어 모터(140)의 구동에 의해 회전된다.
상기 구동스크류축(1811)은 상기 베어링(121)의 내륜으로 삽입되고, 상기 제1수용부(102)에서 상기 베어링(121)의 상부로 구비되는 링형태의 스페이서(136)를 지나 상기 스페이서(136)의 상부로 돌출된 구동스크류축(1811)의 단부에 너트(101)가 체결된다. 상기 구동스크류축(1811)의 단부에는 수나사가 형성된다.
상기 스페이서(136)와 너트(101) 사이에는 판상인 제1회전부재(129)가 더 구비된다. 상기 제1회전부재(129)는 상기 스페이서(136)와 너트(101) 사이에 삽입되어 구동스크류축(1811)에 결합되며 구동스크류축(1811)과 일체로 회전한다. 상기 제1회전부재(129)는 회전하면서 제1수용부(102)에 수용된 오일을 유동시킨다.
상기 제1회전부재(129)가 제1수용부(102) 내에 구비되어, 작동시 구동스크류축(1811)과 일체로 회전하여 제1수용부(102) 내에서 회전하여 제1수용부(102) 내의 오일을 유동시켜 구동스크류축(1811)이 삽입된 베어링(121)과 종동스크류축(1831)이 삽입된 베어링(123)의 윤활이 원활하게 되며, 오일에 포함될 수 있는 이물질이 베어링(121, 123) 내에 머무르는 것이 방지된다. 따라서 오일에 포함될 수 있는 이물질에 의한 베어링(121, 123)의 수명 단축이 방지된다.
상기 베어링(121)의 상부에는 판상인 제1부재(131)가 더 구비된다. 상기 제1부재(131)는 상기 제1수용부(102)의 구동제1하우징부(111)의 상부로 구비되어 복수의 볼트(133)로 체결되어 결합된다. 상기 베어링(121)의 외륜은 상기 제1부재(131)에 의하여 가압되어 지지된다. 상기 베어링(121)의 외륜과 제1부재(131) 사이에는 스프링인 가압부재(139)가 구비될 수 있다.
상기 구동스크류부의 상부에는 상기 구동스크류축(1811)에 상기 베어링(121)의 하부로 구동제1씰(151)과 구동제2씰본체(153)가 더 구비된다.
상기 구동제1씰(151)과 구동제2씰본체(153)는 상부에서 구동스크류축(1811)에 결합된 베어링(121)의 하부로 구동제1씰(151)과 구동제2씰본체(153)가 차례로 구비된다.
상기 구동스크류(181)는 상기 너트(101)의 체결에 의해 스페이서(136)와, 베어링(121)의 내륜과, 구동제1씰(151)과, 구동제2씰본체(153)가 가압되며 케이싱(110)에 지지되어 회전 가능하게 구비된다.
상기 구동제1씰(151)은 환형으로 구동스크류축(1811)이 삽입되어 구동스크류축(1811)과 일체로 회전한다. 상기 구동제1씰(151)의 반경 방향 외측에는 하향 연장된 구동제1씰연장부(1511)가 구비된다. 상기 구동제1씰연장부(1511)의 외면에는 하향 경사진 제1구동씰외면(1513)이 형성된다. 상기 구동제1씰연장부(1511)는 하향할수록 단면적이 작게 형성될 수 있다.
상기 제1수용부(102)에는 오일이 수용되며, 상기 제1수용부(102)에 수용된 오일은 베어링(121)의 윤활재로 작용한다.
상기 구동제1씰(151)이 제1수용부(102) 내에서 구동스크류축(1811)과 일체로 회전하면 하향 경사진 제1구동씰외면(1513)에 의하여 오일이 유동되며 제1구동씰외면(1513)의 외측 공간에서 오일은 하향하며 외향 유동하여 순환하게 된다. 따라서 오일이 구동스크류(181)와 종동스크류(183)가 맞물려 회전하는 공간으로 유입되는 것이 방지된다.
상기 구동제2씰본체(153)는 상기 구동제1씰하우징부(119)에 구비된다. 상기 구동제2씰본체(153)는 원통형으로 형성되어 상기 구동제1씰하우징부(119)와 마주하여 구비된다. 상기 구동제2씰본체(153)는 상기 구동스크류축(1811)이 삽입되어 구동스크류축(1811)과 일체로 회전한다. 상기 구동제2씰본체(153)의 반경 방향 외측에는 외향 연장되며 상하 방향으로 이격되어 복수로 구비된 구동제2씰돌기(1531)가 구비된다.
상기 구동제1씰하우징부(119)에는 구동제2씰부재(155-1)가 더 구비된다. 상기 구동제2씰부재(155-1)는 복수로 구비된다. 상기 구동제2씰부재(155-1)는 상기 구동제2씰돌기(1531) 사이에 형성된 오목부에 위치한다. 상기 구동제2씰부재(155-1)는 단부가 분리된 원호형 형태로 형성된다. 상기 구동제2씰부재(155-1)는 상기 구동제1씰하우징부(119)로 삽입되면서 단부 사이의 거리가 감소하거나 단부가 접하여 구동제1씰하우징부(119)의 내면에 밀착 고정된다. 상기 구동제2씰부재(155-1)는 상기 구동제1씰하우징부(119)로 삽입되어 구동제1씰하우징부(119)에 밀착 고정된다.
상기 구동제2씰부재(155-1)는 상기 구동제2씰돌기(1531) 사이에 미리 구동제2씰부재(155-1)를 삽입시키고, 일체로 구동제1씰하우징부(119)로 삽입된다.
상기 구동스크류축(1811)이 회전하면 구동제2씰본체(153)는 구동스크류축(1811)과 일체로 회전하고, 구동제1씰하우징부(119)에 밀착 고정된 구동제2씰부재(155-1)는 정지된 상태이므로 구동제2씰부재(155-1)와 구동제2씰돌기(1531) 사이에는 상대 회전 운동이 발생한다.
상기 구동제1씰하우징부(119)에는 상향하여 상기 구동제1씰연장부(1511) 내측으로 연장된 케이싱제1연장부(117)가 형성된다. 상기 케이싱제1연장부(117)의 단부에는 반경 방향 외향 돌출되어 상기 구동제1씰연장부(1511)로 연장된 구동제1연장부돌기(1171)가 구비된다. 상기 구동제1연장부돌기(1171)는 상기 구동제1씰연장부(1511) 내면에 접하거나 틈새가 형성된다.
상기 구동제1씰(151)은 상기 구동스크류축(1811)에 너트(101)가 체결되며 베어링(121)의 내륜과 구동제2씰본체(153) 사이에서 가압되어 양측에 베어링(121) 내륜과 구동제2씰본체(153)에 밀착된다.
상기 구동제2씰부재(155-1)는 구동제2씰돌기(1531) 사이에 위치하여 상하면이 구동제2씰돌기(1531)에 미끄럼 접촉을 하여 거의 틈새가 발생하지 않는다. 오일이 구동제2씰부재(155-1)의 상하면과 구동제2씰돌기(1531) 사이에서 유막을 형성하며 따라서 오일이 이 사이를 통과할 수 없게 된다.
오일이 구동스크류(181)와 종동스크류(183)가 맞물려 회전하는 공간으로 유입되기 위해서는 구동제1씰(151)의 구동제1씰연장부(1511) 내면과 케이싱제1연장부(117) 사이를 지나 구동제2씰돌기(1531)와 구동제2씰부재(155-1) 사이를 복수회 지나야 한다. 따라서 제1수용부(102) 내의 오일이 종동스크류(183)와 구동스크류(181)가 서로 맞물려 회전하는 공간으로 유동하는 것이 효과적으로 방지된다.
도 3에서 도면부호 105는 구동스크류축(1811)과 구동제2씰본체(153) 사이 및 종동스크류축(1831)과 종동제2씰본체(154) 사이에 구비된 오링을 도시한 것이다.
이하에서는 도 2 및 도 4를 참조하여 케이싱(110)의 하부로 위치하는 상기 스크류로터부(180)의 구조에 대하여 설명한다.
상기 케이싱(110)의 하부에는 상기 구동스크류부와 종동스크류부의 하부로 제2수용부(104)가 형성된다.
상기 케이싱(110)에는 상기 제2수용부(104)와 종동스크류부 사이에 상하 방향으로 관통된 원통형의 종동제2씰하우징부(116)가 형성된다. 상기 케이싱(110)에는 상기 종동제2씰하우징부(116)와 제2수용부(104) 사이에 상하 방향으로 관통된 원통형인 종동제1하우징부(114)가 형성된다.
상기 종동제2하우징부(114)에는 베어링(127)이 삽입되어 구비된다. 상기 베어링(127)은 상기 종동스크류축(1831)이 제2수용부(104) 내에서 회전 가능하도록 지지한다.
상기 종동스크류(183)의 하부로 위치하는 종동스크류축(1831)은 상기 종동제2씰하우징부(116)를 관통하고 상기 베어링(127)에 삽입되어 제2수용부(104)에 위치한다.
상기 종동스크류축(1831)은 상기 베어링(127)의 내륜으로 삽입되고, 상기 제2수용부(104)에서 상기 베어링(127)의 하부로 돌출된 종동스크류축(1831)의 단부에 너트(107)가 체결된다. 상기 종동스크류축(1831)의 단부에는 수나사가 형성된다.
상기 베어링(127)의 하부에는 판상인 제2부재(132)가 더 구비된다. 상기 제2부재(132)는 상기 제2수용부(104)의 종동제2하우징부(114)의 하부로 구비되어 복수의 볼트(134)로 체결되어 결합된다. 상기 베어링(127)의 외륜은 상기 제2부재(132)에 의하여 가압되어 지지된다.
상기 종동스크류부의 하부에는 상기 종동스크류축(1831)에 상기 베어링(127)의 상부로 종동제3씰(156-1)과 종동제4씰본체(158-1)가 더 구비된다.
상기 너트(107)의 체결에 의해 베어링(127)의 내륜과, 종동제3씰(156-1)과, 종동제4씰본체(158-1)가 가압되며 케이싱(110)에 지지되며 회전 가능하게 구비된다.
상기 종동제3씰(156-1)과 종동제4씰본체(158-1)는 하부에서 종동스크류축(1831)에 결합된 베어링(127)의 상부로 종동제3씰(156-1)과 종동제4씰본체(158-1)가 차례로 구비된다.
상기 종동제3씰(156-1)은 환형으로 종동스크류축(1831)이 삽입되어 종동스크류축(1831)과 일체로 회전한다. 상기 종동제3씰(156-1)의 상부는 반경 방향 외향 연장되고, 종동제3씰(156-1)의 상부의 반경 방향 외측에는 상향 연장된 종동제3씰연장부(1561)가 구비된다. 상기 종동제3씰연장부(1561)의 외면에는 상향 경사진 종동제3씰외면(1563)이 형성된다. 상기 종동제3씰연장부(1561)는 상향할수록 단면적이 작게 형성될 수 있다.
상기 종동제3씰(156-1)은 상기 종동스크류축(1831)에 너트(107)가 체결되며 베어링(127)의 내륜과 종동제4씰본체(158-1) 사이에서 가압되어 양측에 베어링(127) 내륜과 종동제4씰본체(158-1)에 밀착된다.
상기 베어링(127)의 상부로 상기 종동제3씰(156-1)과 케이싱(110) 사이에는 종동제6씰부재(166)가 더 구비된다. 상기 종동제6씰부재(166)는 환형으로 형성된다. 상기 종동제6씰부재(166)는 상기 종동제2하우징부(114)에 삽입된다. 상기 종동제6씰부재(166)는 상기 종동제2하우징부(114)에 상기 종동제6씰부재(166)의 하부에서 반경 방향 외향 돌출된 종동제6씰돌기가 종동제2하우징부(114)의 하향하는 턱면과 베어링(127)의 외륜 사이로 억지끼워맞춤 삽입되어 고정된다.
상기 종동제6씰부재(166)에는 상기 종동제3씰(156-1)이 삽입되어 구비된다. 상기 종동제6씰부재(166)는 상기 종동제3씰연장부(1561)의 하부에서 상기 종동제3씰(156-1)의 외측으로 구비된다. 상기 종동제3씰(156-1)은 종동제6씰부재(166)의 내측으로 종동제3씰(156-1)이 슬라이딩 삽입된다.
상기 종동제6씰부재(166)의 내경부에는 상하 방향으로 복수의 홈이 형성된다. 상기 종동제6씰부재(166)는 고정되고, 종동제3씰(156-1)은 종동스크류(183)와 일체로 회전한다.
상기 종동제6씰부재(166)는 상기 종동제3씰(156-1)과 별도로 구비되어 제조하기가 쉽고, 내경에 복수의 홈이 형성되므로 종동제3씰(156-1)과의 사이에서 누설이 효과적으로 방지된다. 또한, 상기 베어링(125)의 외륜은 상기 제2부재(132)와 종동제6씰부재(166) 사이에서 가압된다.
상기 제2수용부(104)에는 오일이 수용되며, 상기 제2수용부(104)에 수용된 오일은 베어링(127)의 윤활재로 작용한다.
상기 종동제3씰(156-1)이 제2수용부(104) 내에서 종동스크류축(1831)과 일체로 회전하면 하향 경사진 종동제3씰외면(1563)에 의하여 오일이 유동되며 종동제3씰외면(1563)의 외측 공간에서 오일은 상향하며 외향 유동하여 순환하게 된다. 따라서 오일이 구동스크류(181)와 종동스크류(183)가 맞물려 회전하는 공간으로 유입되는 것이 방지된다.
상기 종동제4씰본체(158-1)는 상기 종동제2씰하우징부(116)에 구비된다. 상기 종동제4씰본체(158-1)는 원통형으로 형성되어 상기 종동제2씰하우징부(116)와 마주하여 구비된다. 상기 종동제4씰본체(158-1)는 상기 종동스크류축(1831)이 삽입되어 종동스크류축(1831)과 일체로 회전한다. 상기 종동제4씰본체(158-1)의 반경 방향 외측에는 외향 연장되며 상하 방향으로 이격되어 복수로 구비된 종동제4씰돌기(1581)가 구비된다.
상기 종동제2씰하우징부(116)에는 종동제4씰부재(161)가 더 구비된다. 상기 종동제4씰부재(161)는 복수로 구비된다. 상기 종동제4씰부재(161)는 상기 종동제4씰돌기(1581) 사이에 형성된 오목부에 위치한다. 상기 종동제4씰부재(161)는 단부가 분리된 원호형 형태로 형성된다.
상기 종동제4씰부재(161)는 상기 종동제4씰돌기(1581) 사이에 미리 종동제4씰부재(161)를 삽입시키고, 일체로 종동제2씰하우징부(116)로 삽입된다.
상기 종동제4씰본체(158-1)와 종동제2씰하우징부(116) 사이에는 종동제5씰부재(164)가 더 구비될 수 있다.
상기 종동제5씰부재(164)는 원통형으로 형성된다. 상기 종동제5씰부재(164)의 내경에는 상기 종동제4씰부재(161)가 삽입되어 종동제5씰부재(164)의 내경에 밀착 고정된다.
상기 종동제5씰부재(164)는 반경 방향 외향 연장되어 종동제2씰하우징부(116)의 내경면에 밀착 고정된 복수의 종동제5씰돌기를 포함하여 이루어진다.
상기 종동제5씰돌기 중 하부에 구비된 종동제5씰하돌기(1643)는 종동제2씰하우징부(116)의 하부에 구비된 턱면에 밀착 고정되고, 상기 종동제5씰돌기 중 상부에 구비된 종동제5씰상돌기(1641)는 종동제4씰본체(158-1)의 상부에서 반경 방향 외향 연장된 연장부의 하면과 종동제2씰하우징부(116)의 내면에 밀착 고정된다.
상기 종동제4씰부재(161)는 상기 종동제5씰부재(164)의 내측으로 삽입되면서 단부 사이의 거리가 감소하거나 단부가 접하여 종동제5씰부재(164)의 내면에 밀착 고정된다. 상기 종동제4씰부재(161)는 상기 종동제5씰부재(164)로 삽입되어 종동제5씰부재(164)에 밀착 고정된다.
상기 종동스크류축(1831)이 회전하면 종동제4씰본체(158-1)는 종동스크류축(1831)과 일체로 회전하고, 종동제5씰부재(164)에 밀착 고정된 종동제4씰부재(161)는 정지된 상태이므로 종동제4씰부재(161)와 종동제4씰돌기(1581) 사이에는 상대 회전 운동이 발생한다.
상기 종동제5씰부재(164)에는 하부에 하향하며 상기 종동제3씰연장부(1561) 내측으로 연장되며 단부에 반경 방향 외향 돌출되어 종동제3씰연장부(1561)로 연장된 복수의 돌기인 종동제5씰부재연장부가 구비된다. 상기 종동제5씰부재연장부는 상기 종동제3씰연장부(1561) 내면에 접하거나 틈새가 형성된다.
상기 종동제3씰연장부(1561)의 상단에는 반경 방향 내향 연장된 종동제3씰돌기가 더 형성되고, 상기 종동제5씰부재연장부는 상기 종동제3씰돌기의 하부로 삽입되어 종동제3씰연장부(1561) 내면에 접하거나 틈새가 형성된다.
상기 종동제4씰부재(161)는 종동제4씰돌기(1581) 사이에 위치하여 상하면이 종동제4씰돌기(1581)에 미끄럼 접촉을 하여 거의 틈새가 발생하지 않는다. 오일이 종동제4씰부재(161)의 상하면과 종동제4씰돌기(1581) 사이에서 유막을 형성하며 따라서 오일이 이 사이를 통과할 수 없게 된다.
오일이 구동스크류(181)와 종동스크류(183)가 맞물려 회전하는 공간으로 유입되기 위해서는 종동제3씰(156-1)의 종동제3씰연장부(1561) 내면과 종동제5씰부재(164) 사이를 지나 종동제4씰돌기(1581)와 종동제4씰부재(161) 사이를 복수회 지나야 한다. 따라서 제2수용부(104) 내의 오일이 종동스크류(183)와 구동스크류(181)가 서로 맞물려 회전하는 공간으로 유동하는 것이 효과적으로 방지된다.
상기 케이싱(110)에는 상기 종동제2씰하우징부(116)로부터 이격되어 상기 제2수용부(104)와 구동스크류부 사이에 상하 방향으로 관통된 원통형의 구동제2씰하우징부(115)가 형성된다. 상기 케이싱(110)에는 상기 구동제2씰하우징부(115)와 제2수용부(104) 사이에 상하 방향으로 관통된 원통형인 구동제2하우징부(113)가 형성된다.
상기 구동제2하우징부(113)에는 베어링(125)이 삽입되어 구비된다. 상기 베어링(125)은 상기 구동스크류축(1811)이 제2수용부(104) 내에서 회전 가능하도록 지지한다.
상기 구동스크류(181)의 하부로 위치하는 구동스크류축(1811)은 상기 구동제2씰하우징부(115)를 관통하고 상기 베어링(125)에 삽입되어 제2수용부(104)에 위치한다.
상기 구동스크류축(1811)은 상기 베어링(125)의 내륜으로 삽입되고, 상기 제2수용부(104)에서 상기 베어링(125)의 하부로 돌출된 구동스크류축(1811)의 단부에 너트(105)가 체결된다. 상기 구동스크류축(1811)의 단부에는 수나사가 형성된다.
상기 베어링(125)의 하부에는 판상인 제2부재(132)가 더 구비된다. 상기 제2부재(132)는 상기 제2수용부(104)의 구동제2하우징부(113)의 하부로 구비되어 복수의 볼트(134)로 체결되어 결합된다. 상기 베어링(125)의 외륜은 상기 제2부재(132)에 의하여 가압되어 지지된다.
상기 구동스크류부의 하부에는 상기 구동스크류축(1811)에 상기 베어링(125)의 상부로 구동제3씰(155)과 구동제4씰본체(157)가 더 구비된다.
상기 구동제3씰(155)과 구동제4씰본체(157)는 하부에서 구동스크류축(1811)에 결합된 베어링(125)의 상부로 구동제3씰(155)과 구동제4씰본체(157)가 차례로 구비된다.
상기 구동스크류(181)는 너트(105)의 체결에 의해 베어링(125)의 내륜과, 구동제3씰(155)과, 구동제4씰본체(157)가 가압되며 케이싱(110)에 지지되며 회전 가능하게 구비된다.
상기 구동제3씰(155)은 환형으로 구동스크류축(1811)이 삽입되어 구동스크류축(1811)과 일체로 회전한다. 상기 구동제3씰(155)의 상부는 반경 방향 외향 연장되고, 구동제3씰(155)의 상부의 반경 방향 외측에는 상향 연장된 구동제3씰연장부(1551)가 구비된다. 상기 구동제3씰연장부(1551)의 외면에는 상향 경사진 구동제3씰외면(1553)이 형성된다. 상기 구동제3씰연장부(1551)는 상향할수록 단면적이 작게 형성될 수 있다.
상기 베어링(125)의 상부로 상기 구동제3씰(155)과 케이싱(110) 사이에는 구동제6씰부재(165)가 더 구비된다. 상기 구동제6씰부재(165)는 환형으로 형성된다. 상기 구동제6씰부재(165)는 상기 구동제2하우징부(113)에 삽입된다. 상기 구동제6씰부재(165)는 상기 구동제2하우징부(113)에 상기 구동제6씰부재(165)의 하부에서 반경 방향 외향 돌출된 구동제6씰돌기(1651)가 구동제2하우징부(113)의 하향하는 턱면과 베어링(125)의 외륜 사이로 억지끼워맞춤 삽입되어 고정된다.
상기 구동제6씰부재(165)에는 상기 구동제3씰(155)이 삽입되어 구비된다. 상기 구동제6씰부재(165)는 상기 구동제3씰연장부(1551)의 하부에서 상기 구동제3씰(155)의 외측으로 구비된다. 상기 구동제3씰(155)은 구동제6씰부재(165)의 내측으로 구동제3씰(155)이 슬라이딩 삽입된다.
상기 구동제6씰부재(165)의 내경부에는 상하 방향으로 형성된 복수의 홈인 구동제6씰오목부(1653)가 형성된다. 상기 구동제6씰부재(165)는 고정되고, 구동제3씰(155)은 구동스크류(181)와 일체로 회전한다.
상기 구동제6씰부재(165)가 상기 구동제3씰(155)과 별도로 구비되어 제조하기가 쉽고, 내경에 복수의 홈인 구동제6씰오목부(1653)가 형성되므로 구동제3씰(155)과의 사이에서 누설이 효과적으로 방지된다. 또한, 상기 베어링(125)의 외륜은 상기 제2부재(132)와 구동제6씰부재(165) 사이에서 가압된다.
상기 제2수용부(104)에는 오일이 수용되며, 상기 제2수용부(104)에 수용된 오일은 베어링(125)의 윤활재로 작용한다.
상기 구동제3씰(155)이 제2수용부(104) 내에서 구동스크류축(1811)과 일체로 회전하면 상향 경사진 구동제3씰외면(1553)에 의하여 오일이 유동되며 구동제3씰외면(1553)의 외측 공간에서 오일은 상향하며 외향 유동하여 순환하게 된다. 따라서 오일이 구동스크류(181)와 종동스크류(183)가 맞물려 회전하는 공간으로 유입되는 것이 방지된다.
상기 구동제4씰본체(157)는 상기 구동제2씰하우징부(115)에 구비된다. 상기 구동제4씰본체(157)는 원통형으로 형성되어 상기 구동제2씰하우징부(115)와 마주하여 구비된다. 상기 구동제4씰본체(157)는 상기 구동스크류축(1811)이 삽입되어 구동스크류축(1811)과 일체로 회전한다. 상기 구동제4씰본체(157)의 반경 방향 외측에는 외향 연장되며 상하 방향으로 이격되어 복수로 구비된 구동제4씰돌기(1571)가 구비된다.
상기 구동제2씰하우징부(115)에는 구동제4씰부재(158)가 더 구비된다. 상기 구동제4씰부재(158)는 복수로 구비된다. 상기 구동제4씰부재(158)는 상기 구동제4씰돌기(1571) 사이에 형성된 오목부에 위치한다. 상기 구동제4씰부재(158)는 단부가 분리된 원호형 형태로 형성된다.
상기 구동제4씰부재(158)는 상기 구동제4씰돌기(1571) 사이에 미리 구동제4씰부재(158)를 삽입시키고, 일체로 구동제2씰하우징부(115)로 삽입된다.
상기 구동제4씰본체(157)와 구동제2씰하우징부(115) 사이에는 구동제5씰부재(159)가 더 구비될 수 있다.
상기 구동제5씰부재(159)는 원통형으로 형성된다. 상기 구동제5씰부재(159)의 내경에는 상기 구동제4씰부재(158)가 삽입되어 구동제5씰부재(159)의 내경에 밀착 고정된다.
상기 구동제5씰부재(159)는 반경 방향 외향 연장되어 구동제2씰하우징부(115)의 내경면에 밀착 고정된 복수의 구동제5씰돌기를 포함하여 이루어진다.
상기 구동제5씰돌기 중 하부에 구비된 구동제5씰하돌기(1593)는 구동제2씰하우징부(115)의 하부에 구비된 턱면에 밀착 고정되고, 상기 구동제5씰돌기 중 상부에 구비된 구동제5씰상돌기(1591)는 구동제4씰본체(157)의 상부에서 반경 방향 외향 연장된 연장부의 하면과 구동제2씰하우징부(115)의 내면에 밀착 고정된다.
상기 구동제4씰부재(158)는 상기 구동제5씰부재(159)의 내측으로 삽입되면서 단부 사이의 거리가 감소하거나 단부가 접하여 구동제5씰부재(159)의 내면에 밀착 고정된다. 상기 구동제4씰부재(158)는 상기 구동제5씰부재(159)로 삽입되어 구동제5씰부재(159)에 밀착 고정된다.
상기 구동스크류축(1811)이 회전하면 구동제4씰본체(157)는 구동스크류축(1811)과 일체로 회전하고, 구동제5씰부재(159)에 밀착 고정된 구동제4씰부재(158)는 정지된 상태이므로 구동제4씰부재(158)와 구동제4씰돌기(1571) 사이에는 상대 회전 운동이 발생한다.
상기 구동제5씰부재(159)에는 하부에 하향하며 상기 구동제3씰연장부(1551) 내측으로 연장되며 단부에 반경 방향 외향 돌출되어 구동제3씰연장부(1551)로 연장된 복수의 돌기인 구동제5씰부재연장부가 구비된다. 상기 구동제5씰부재연장부는 상기 구동제3씰연장부(1551) 내면에 접하거나 틈새가 형성된다.
상기 구동제3씰연장부(1551)의 상단에는 반경 방향 내향 연장된 구동제3씰돌기(1555)가 더 형성되고, 상기 구동제5씰부재연장부는 상기 구동제3씰돌기(1555)의 하부로 삽입되어 구동제3씰연장부(1551) 내면에 접하거나 틈새가 형성된다.
상기 구동제3씰(155)은 상기 구동스크류축(1811)에 너트(105)가 체결되며 베어링(125)의 내륜과 구동제4씰본체(157) 사이에서 가압되어 양측에 베어링(125) 내륜과 구동제4씰본체(157)에 밀착된다.
상기 구동제4씰부재(158)는 구동제4씰돌기(1571) 사이에 위치하여 상하면이 구동제4씰돌기(1571)에 미끄럼 접촉을 하여 거의 틈새가 발생하지 않는다. 오일이 구동제4씰부재(158)의 상하면과 구동제4씰돌기(1571) 사이에서 유막을 형성하며 따라서 오일이 이 사이를 통과할 수 없게 된다.
오일이 구동스크류(181)와 종동스크류(183)가 맞물려 회전하는 공간으로 유입되기 위해서는 구동제3씰(155)의 구동제3씰연장부(1551) 내면과 구동제5씰부재(159) 사이를 지나 구동제4씰돌기(1571)와 구동제4씰부재(159) 사이를 복수회 지나야 한다. 따라서 제2수용부(104) 내의 오일이 종동스크류(183)와 구동스크류(181)가 서로 맞물려 회전하는 공간으로 유동하는 것이 효과적으로 방지된다.
도 4에서 도면부호 106은 구동스크류축(1811)과 구동제4씰본체(157) 사이 및 종동스크류축(1831)과 종동제4씰본체(161) 사이에 구비된 오링을 도시한 것이다.
상기 제2수용부(104)에는 동력전달부가 더 구비된다. 상기 동력전달부는 상기 구동스크류(181)와 종동스크류(183)의 하부로 구비된다. 상기 동력전달부는 구동기어(191)와 종동기어(193)를 포함하여 이루어진다.
상기 구동기어(191)는 상기 구동스크류(181)의 하부로 위치하는 구동스크류축(1811)이 상기 구동제2씰하우징부(115)를 관통하고, 너트(105)를 지나 연장된 구동스크류축(1811)에 삽입되고 너트(109)가 체결되어 결합된다.
상기 종동기어(193)는 상기 종동스크류(183)의 하부로 위치하는 종동스크류축(1831)이 상기 종동제2씰하우징부(116)를 관통하고, 너트(107)를 지나 연장된 종동스크류축(1831)에 삽입되고 너트(108)가 체결되어 결합된다.
상기 제2수용부(104)의 베어링(125) 하부에는 구동스크류축(1811)에 결합되어 구동스크류축(1811)과 일체로 회전하며, 회전하면서 제2수용부(104)에 수용된 오일을 유동시키는 제2회전부재(122)가 구비된다.
상기 제2회전부재(122)는 판상이며, 상기 구동기어(191)와 너트(109) 사이에 구비된다. 상기 제2회전부재(122)는 상기 구동기어(161)의 하부로 삽입되고 너트(109)가 체결되어 구동스크류축(1811)에 결합되며, 구동스크류축(1811)과 함께 회전한다.
상기 제2회전부재(122)는 상기 구동기어(161)와 너트(109) 사이에 삽입되어 구동스크류축(1811)에 결합되며 구동스크류축(1811)과 일체로 회전한다. 상기 제2회전부재(122)는 회전하면서 제2수용부(104)에 수용된 오일을 유동시킨다.
상기 제2회전부재(122)가 제2수용부(104) 내에 구비되어, 작동시 구동스크류축(1811)과 일체로 회전하여 제2수용부(104) 내에서 회전하여 제2수용부(104) 내의 오일을 유동시켜 구동스크류축(1811)에 구비된 베어링(125)과 종동스크류축(1831)에 구비된 베어링(127)의 윤활이 원활하게 되며, 오일에 포함될 수 있는 이물질이 베어링(125, 127) 내에 머무르는 것이 방지된다. 따라서 오일에 포함될 수 있는 이물질에 의한 베어링(125, 127) 수명 단축이 방지된다.
그리고 종동기어(163)와 구동기어(161)의 치합 부위의 윤활도 원활하게 되며, 오일에 포함될 수 있는 이물질이 치합 부위에 머무르는 것이 방지되고, 오일에 포함될 수 있는 이물질에 의한 기어의 수명 단축이 방지된다.
100: 스크류로터부를 가지는 진공펌프
110: 케이싱 120: 흡입부
130: 배출부 140: 모터
180: 스크류로터부

Claims (7)

  1. 흡입부(120)와 배출부(130)가 구비된 중공의 케이싱(110)과, 상기 케이싱 내에 베어링으로 지지되어 회전 가능하게 구비되며 서로 맞물려 회전하는 종동스크류(183)와 구동스크류(181)를 포함하는 스크류로터부(180)와, 상기 구동스크류(181)의 구동스크류축(1811)에 결합된 모터(140)를 포함하며;
    상기 구동스크류(181)는 구동스크류축(1811)과, 상기 구동스크류축(1811)의 외측에 나선을 형성하며 구비된 구동스크류부를 포함하고, 상기 구동스크류부는 구동제1스크류(1813)와, 상기 구동제1스크류(1813)에 연결된 구동제2스크류(1815)를 포함하고;
    상기 종동스크류(183)는 종동스크류축(1831)과, 상기 종동스크류축(1831)의 외측에 나선을 형성하며 구비된 종동스크류부를 포함하고, 상기 종동스크류부는 구동제1스크류(1813)와 맞물리는 종동제1스크류(1833)와, 상기 종동제1스크류(1833)에 연결되며 구동제2스크류(1815)와 맞물리는 종동제2스크류(1835)를 포함하고;
    흡입측의 구동제1스크류(1813)와 종동제1스크류(1833)의 피치(P1)는 배출측의 구동제2스크류(1815)와 종동제2스크류(1835)의 피치(P2)보다 크며;
    상기 종동제1스크류(1833)와 종동제2스크류(1835)의 외면에는 각각 오목한 종동제1오목부(1837)와 종동제2오목부(1839)가 원주 방향을 따라 1회 나선 구간에 하나 이상 형성되며;
    상기 구동제1스크류(1813)와 구동제2스크류(1315)의 외면에는 각각 오목한 구동제1오목부(1817)와 구동제2오목부(1819)가 원주 방향을 따라 1회 나선 구간에 하나 이상 형성되며;
    상기 종동제1오목부(1837)와 종동제2오목부(1839)는 종동제1스크류(1833)와 종동제2스크류(1835)의 외면에 각각 축 방향으로 연장되어 하나 이상 형성되며; 상기 구동제1오목부(1817)와 구동제2오목부(1819)는 구동제1스크류(1813)와 구동제2스크류(1815)의 외면에 각각 축 방향으로 연장되어 하나 이상 형성되며;
    상기 구동스크류(181)와 종동스크류(183)가 서로 맞물려 회전할 때, 종동제1오목부(1837)와 구동제1오목부(1817)는 서로 만나지 않는 위치에 형성되고, 종동제2오목부(1839)와 구동제2오목부(1819)는 서로 만나지 않는 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 스크류로터부를 가지는 진공펌프.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 구동제1스크류(1813)와 종동제1스크류(1833)의 피치(P1)와 구동제2스크류(1815)와 종동제2스크류(1835)의 피치(P2)의 비는 3 내지 5:1 범위인 것을 특징으로 하는 스크류로터부를 가지는 진공펌프.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 흡입부(120)와 배출부(130)가 구비된 중공의 케이싱(110)과, 상기 케이싱 내에 베어링으로 지지되어 회전 가능하게 구비되며 서로 맞물려 회전하는 종동스크류(183)와 구동스크류(181)를 포함하는 스크류로터부(180)와, 상기 구동스크류(181)의 구동스크류축(1811)에 결합된 모터(140)를 포함하며;
    상기 구동스크류(181)는 구동스크류축(1811)과, 상기 구동스크류축(1811)의 외측에 나선을 형성하며 구비된 구동스크류부를 포함하고, 상기 구동스크류부는 구동제1스크류(1813)와, 상기 구동제1스크류(1813)에 연결된 구동제2스크류(1815)를 포함하고;
    상기 종동스크류(183)는 종동스크류축(1831)과, 상기 종동스크류축(1831)의 외측에 나선을 형성하며 구비된 종동스크류부를 포함하고, 상기 종동스크류부는 구동제1스크류(1813)와 맞물리는 종동제1스크류(1833)와, 상기 종동제1스크류(1833)에 연결되며 구동제2스크류(1815)와 맞물리는 종동제2스크류(1835)를 포함하고;
    흡입측의 구동제1스크류(1813)와 종동제1스크류(1833)의 피치(P1)는 배출측의 구동제2스크류(1815)와 종동제2스크류(1835)의 피치(P2)보다 크며;
    상기 구동스크류축(1811)은 상하에서 돌출되어 상부와 하부에서 각각 베어링(121, 125)에 의하여 케이싱(110)에 회전 가능하게 지지되고, 상기 종동스크류축(1831)은 상하에서 돌출되어 상부와 하부에서 각각 베어링(123, 127)에 의하여 케이싱(110)에 회전 가능하게 지지되며;
    상기 케이싱(110) 내 상부에는 오일이 수용되는 제1수용부(102)가 형성되어 구동스크류축(1811)과 종동스크류축(1831)을 회전 가능하게 지지하는 베어링(121, 123)은 제1수용부(102)에 설치되며, 하부에는 오일이 수용되는 제2수용부(104)가 형성되어 구동스크류축(1811)과 종동스크류축(1831)을 회전 가능하게 지지하는 베어링(125, 127)은 제2수용부(104)에 설치되며;
    상기 제1수용부(102)의 베어링(121) 상부에는 구동스크류축(1811)에 결합되어 구동스크류축(1811)과 일체로 회전하며, 회전하면서 제1수용부(102)에 수용된 오일을 유동시키는 제1회전부재(129)가 구비되고; 상기 제2수용부(104)의 베어링(125) 하부에는 구동스크류축(1811)에 결합되어 구동스크류축(1811)과 일체로 회전하며, 회전하면서 제2수용부(104)에 수용된 오일을 유동시키는 제2회전부재(122)가 구비된 것을 특징으로 하는 스크류로터부를 가지는 진공펌프.
  6. 제5 항에 있어서, 상부에서 구동스크류축(1811)에 결합된 베어링(121)의 하부로 구동스크류축(1811)이 삽입된 구동제1씰(151)과 구동제2씰본체(153)가 차례로 구비되고;
    상기 구동제1씰(151)은 환형으로 구동스크류축(1811)이 삽입되어 구동스크류축(1811)과 일체로 회전하며, 외측에 하향 연장된 구동제1씰연장부(1511)가 구비되고 구동제1씰연장부(1511)는 하향 경사진 제1구동씰외면(1513)을 포함하고;
    상기 케이싱(110)에는 구동제2씰본체(153)와 마주하는 원통형의 구동제1씰하우징부(119)가 형성되고, 상기 구동제2씰본체(153)는 원통형으로 구동스크류축(1811)이 삽입되어 구동스크류축(1811)과 일체로 회전하고 반경 방향 외측에 외향 연장되며 상하 방향으로 이격되어 복수로 구비된 구동제2씰돌기(1531)를 포함하고;
    상기 구동제1씰하우징부(119)로 구동제2씰부재(155-1)가 삽입되어 구동제1씰하우징부(119)에 밀착 고정되고, 상기 구동제2씰부재(155-1)는 구동제2씰돌기(1531) 사이에 형성된 오목부에 위치하며;
    상기 케이싱(110)에는 상향하여 구동제1씰연장부(1511) 내측으로 연장되며 단부에 외향 돌출되어 구동제1씰연장부(1511)로 연장된 구동제1연장부돌기(1171)가 구비되며, 상기 구동제1연장부돌기(1171)는 구동제1씰연장부(1511) 내면에 접하거나 틈새가 형성되는 것을 특징으로 하는 하는 스크류로터부를 가지는 진공펌프.
  7. 제5 항에 있어서, 하부에서 구동스크류축(1811)에 결합된 베어링(125)의 상부로 구동스크류축(1811)이 삽입된 구동제3씰(155)과 구동제4씰본체(157)가 차례로 구비되고;
    상기 구동제3씰(155)은 환형으로 구동스크류축(1811)이 삽입되어 구동스크류축(1811)과 일체로 회전하며, 외측에 상향 연장된 구동제3씰연장부(1551)가 구비되고 구동제3씰연장부(1551)는 상향 경사진 구동제3씰외면(1553)을 포함하고;
    상기 케이싱(110)에는 구동제4씰본체(157)와 마주하는 구동제2씰하우징부(115)가 형성되고, 상기 구동제4씰본체(157)와 구동제2씰하우징부(115) 사이에는 구동제5씰부재(159)가 구비되며;
    상기 구동제4씰본체(157)는 원통형으로 구동스크류축(1811)이 삽입되어 구동스크류축(1811)과 일체로 회전하고 반경 방향 외측에 외향 연장되며 상하 방향으로 이격되어 복수로 구비된 구동제4씰돌기(1571)를 포함하고;
    상기 구동제5씰부재(159)의 내경으로 구동제4씰부재(158)가 삽입되어 구동제5씰부재(159)의 내경에 밀착 고정되고, 상기 구동제4씰부재(158)는 구동제4씰돌기(1571) 사이에 형성된 오목부에 위치하며;
    상기 구동제5씰부재(159)는 하부에 하향하며 구동제3씰연장부(1551) 내측으로 연장되며 단부에 외향 돌출되어 구동제3씰연장부(1551)로 연장된 복수의 돌기가 구비되며, 상기 구동제5씰부재(159)의 돌기는 구동제3씰연장부(1551) 내면에 접하거나 틈새가 형성되며;
    상기 구동제5씰부재(159)는 반경 방향 외향 연장되어 구동제2씰하우징부(115)의 내경면에 밀착 고정된 복수의 구동제5씰돌기를 포함하며, 상기 구동제5씰돌기 중 하부에 구비된 구동제5씰하돌기(1593)는 구동제2씰하우징부(115)의 하부에 구비된 턱면에도 밀착되는 것을 특징으로 하는 스크류로터부를 가지는 진공펌프.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN205117725U (zh) * 2015-11-02 2016-03-30 浙江摩泰螺杆真空泵有限公司 可清理粉尘的螺杆真空泵
KR102279208B1 (ko) * 2021-01-15 2021-07-19 삼신글로벌베큠 주식회사 진공펌프용 스크류 로터 및 이를 포함하는 진공펌프

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