JP7530139B2 - 直流およびマイクロ波信号を制御するための超電導デバイス - Google Patents
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Description
Claims (25)
- 方法であって、
直流をサポートする直流回路、マイクロ波信号をサポートするマイクロ波回路、および前記直流と前記マイクロ波信号を結合する共通回路を形成することであって、前記直流回路が、バンドストップ回路を備え、前記マイクロ波回路が、キャパシタを備える、前記形成することと、
前記直流回路の第1の終端および前記マイクロ波回路の第1の終端を前記共通回路の第1の終端に動作可能なように連結することと
を含み、
前記形成することが、
前記直流回路の第1の部分および前記マイクロ波回路の第1の部分のパターンを、ウエハ上に堆積した第1の厚さの第1の超電導膜に形成することと、
前記第1の超電導膜上に堆積した第2の厚さの誘電体膜にパターンを形成することと、
前記直流回路の第2の部分、前記マイクロ波回路の第2の部分、および前記共通回路のパターンを、前記誘電体膜上に堆積した、前記第1の厚さおよび前記第2の厚さより大きい第3の厚さの第2の超電導膜に形成することと
を含む、方法。 - 前記直流をサポートし、超電導デバイスの帯域幅の範囲内のマイクロ波信号を阻止するバンドストップ・フィルタで前記バンドストップ回路を形成することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記共通回路の前記第1の終端を前記動作可能なように連結することが、
前記共通回路の前記第1の終端に共通ノードを形成することと、
前記直流回路の前記第1の終端および前記マイクロ波回路の前記第1の終端を前記共通ノードに動作可能なように連結することと
を含む、請求項1に記載の方法。 - 前記直流回路の第2の終端を直流ポートに、前記マイクロ波回路の第2の終端をマイクロ波ポートに、および前記共通回路の第2の終端を共通ポートに動作可能なように連結することであって、前記直流ポートが、前記直流をサポートし、前記マイクロ波ポートが、前記マイクロ波信号をサポートし、前記共通ポートが、前記直流と前記マイクロ波信号をサポートする、前記連結すること
をさらに含む、請求項3に記載の方法。 - 前記第1の超電導膜に前記パターンを形成することが、
前記直流をサポートする直流ポート、前記マイクロ波信号をサポートするマイクロ波ポート、および前記マイクロ波信号と前記直流をサポートする共通ポートのパターンを、前記第1の超電導膜に形成すること
を含む、請求項1に記載の方法。 - 前記第1の超電導膜に前記パターンを形成することが、前記直流をサポートする直流ポート、および前記マイクロ波信号と前記直流をサポートする共通ポートのパターンを、前記第1の超電導膜に形成することを含み、前記第2の超電導膜に前記パターンを形成することが、前記マイクロ波信号をサポートするマイクロ波ポートにパターンを形成することを含む、
請求項1に記載の方法。 - 方法であって、
直流をサポートする直流回路、マイクロ波信号をサポートするマイクロ波回路、および前記直流と前記マイクロ波信号をサポートする共通回路を形成することであって、前記直流回路が、バンドストップ回路を備え、前記マイクロ波回路が、キャパシタを備える、前記形成することと、
前記直流回路の第1の終端および前記マイクロ波回路の第1の終端を前記共通回路の第1の終端に動作可能なように連結することと
を含み、
前記形成することが、
前記直流回路の第1の部分、前記マイクロ波回路の第1の部分、および前記共通回路のパターンを、ウエハ上に堆積した第1の超電導膜に形成することと、
前記第1の超電導膜上に堆積した誘電体膜にパターンを形成することと、
前記直流回路の第2の部分および前記マイクロ波回路の第2の部分のパターンを、前記誘電体膜上に堆積した第2の超電導膜に形成することと
を含む、方法。 - 前記第1の超電導膜に前記パターンを形成することが、前記直流をサポートする直流ポート、前記マイクロ波信号をサポートするマイクロ波ポート、および前記マイクロ波信号と前記直流をサポートする共通ポートのパターンを、前記第1の超電導膜に形成することを含む、請求項7に記載の方法。
- 前記第1の超電導膜に前記パターンを形成することが、前記直流をサポートする直流ポート、および前記マイクロ波信号と前記直流をサポートする共通ポートのパターンを、前記第1の超電導膜に形成することを含み、前記第2の超電導膜に前記パターンを形成することが、前記マイクロ波信号をサポートするマイクロ波ポートにパターンを形成することを含む、請求項7に記載の方法。
- 方法であって、
直流をサポートする直流回路、マイクロ波信号をサポートするマイクロ波回路、および前記直流と前記マイクロ波信号を結合する共通回路を形成することであって、前記直流回路が、バンドストップ回路を備え、前記マイクロ波回路が、バンドパス回路を備える、前記形成することと、
前記直流回路の第1の終端および前記マイクロ波回路の第1の終端を前記共通回路の第1の終端に動作可能なように連結することと
を含み、
前記形成することが、
前記直流回路の第1の部分および前記マイクロ波回路の第1の部分のパターンを、ウエハ上に堆積した第1の厚さの第1の超電導膜に形成することと、
前記第1の超電導膜上に堆積した第2の厚さの誘電体膜にパターンを形成することと、
前記直流回路の第2の部分、前記マイクロ波回路の第2の部分、および前記共通回路のパターンを、前記誘電体膜上に堆積した、前記第1の厚さおよび前記第2の厚さより大きい第3の厚さの第2の超電導膜に形成することと
を含む、方法。 - 前記直流をサポートし、超電導デバイスの帯域幅の範囲内のマイクロ波信号を阻止するバンドストップ・フィルタで前記バンドストップ回路を形成することと、
超電導デバイスの帯域幅の範囲内のマイクロ波信号の伝送を可能にし、直流を阻止するバンドパス・フィルタで前記バンドパス回路を形成することと
をさらに含む、請求項10に記載の方法。 - 前記共通回路を前記動作可能なように連結することが、
前記共通回路の前記第1の終端に共通ノードを形成することと、
前記直流回路の前記第1の終端および前記マイクロ波回路の前記第1の終端を前記共通ノードに動作可能なように連結することと
を含む、請求項10に記載の方法。 - 前記直流回路の第2の終端を直流ポートに、前記マイクロ波回路の第2の終端をマイクロ波ポートに、および前記共通回路の第2の終端を共通ポートに動作可能なように連結することであって、前記直流ポートが、前記直流をサポートし、前記マイクロ波ポートが、前記マイクロ波信号をサポートし、前記共通ポートが、前記直流と前記マイクロ波信号をサポートする、前記連結すること
をさらに含む、請求項12に記載の方法。 - 方法であって、
直流をサポートする直流回路、マイクロ波信号をサポートするマイクロ波回路、および前記直流と前記マイクロ波信号をサポートする共通回路を形成することであって、前記直流回路が、バンドストップ回路を備え、前記マイクロ波回路が、バンドパス回路を備える、前記形成することと、
前記直流回路の第1の終端および前記マイクロ波回路の第1の終端を前記共通回路の第1の終端に動作可能なように連結することと
を含み、
前記形成することが、
前記マイクロ波回路のためのインダクタのパターンを、ウエハ上に堆積した第1の超電導膜に形成することと、
前記第1の超電導膜に堆積した第2の超電導膜にパターンを形成することと、
前記第2の超電導膜上に堆積した誘電体膜にパターンを形成することと、
前記誘電体膜上に堆積した第3の超電導膜にパターンを形成することと
を含む、方法。 - 前記第2の超電導膜に前記パターンを形成することが、前記直流回路、前記共通回路、および前記マイクロ波回路の第1の部分にパターンを形成することを含み、前記第3の超電導膜にパターンを形成することが、前記マイクロ波回路の第2の部分にパターンを形成することを含む、請求項14に記載の方法。
- 前記第2の超電導膜に前記パターンを形成することが、前記マイクロ波回路の第1の部分にパターンを形成することを含み、前記第3の超電導膜に前記パターンを形成することが、前記直流回路、前記共通回路、および前記マイクロ波回路の第2の部分にパターンを形成することを含む、請求項14に記載の方法。
- 方法であって、
直流をサポートする直流回路、マイクロ波信号をサポートするマイクロ波回路、および前記直流と前記マイクロ波信号を結合する共通回路を形成することであって、前記直流回路が、第1のキャパシタによってシャントされた第1の4分の1波長伝送回線を備える、前記形成することと、
前記直流回路の第1の部分および前記マイクロ波回路の第1の部分に前記共通回路を動作可能なように連結することと
を含み、
前記形成することが、
前記直流回路の第1の部分および前記マイクロ波回路の第1の部分のパターンを、ウエハ上に堆積した第1の厚さの第1の超電導膜に形成することと、
前記第1の超電導膜上に堆積した第2の厚さの誘電体膜にパターンを形成することと、
前記直流回路の第2の部分、前記マイクロ波回路の第2の部分、および前記共通回路のパターンを、前記誘電体膜上に堆積した、前記第1の厚さおよび前記第2の厚さより大きい第3の厚さの第2の超電導膜に形成することと
を含む、方法。 - 前記直流回路を前記形成することが、前記第1の4分の1波長伝送回線を電気接地にシャントするために前記第1のキャパシタを使用することをさらに含み、前記マイクロ波回路を前記形成することが、第2のキャパシタを前記マイクロ波回路に挿入することを含む、請求項17に記載の方法。
- 前記直流回路を前記形成することが、前記第1の4分の1波長伝送回線を電気接地にシャントするために前記第1のキャパシタ、および第2の4分の1波長伝送回線を電気接地にシャントするために第2のキャパシタを使用することをさらに含み、前記マイクロ波回路を前記形成することが、第3のキャパシタを前記マイクロ波回路に挿入することを含む、請求項17に記載の方法。
- 方法であって、
直流をサポートする直流回路、マイクロ波信号をサポートするマイクロ波回路、および前記直流と前記マイクロ波信号を結合する共通回路を形成することであって、前記直流回路を前記形成することが、第1の4分の1波長伝送回線を第1のキャパシタでシャントすることを含み、前記マイクロ波回路を前記形成することが、第2のキャパシタを前記マイクロ波回路に挿入することを含む、前記形成することと、
前記直流回路の第1の終端および前記マイクロ波回路の第1の終端に前記共通回路を動作可能なように連結することと
を含み、
前記形成することが、
前記直流回路の第1の部分および前記マイクロ波回路の第1の部分のパターンを、ウエハ上に堆積した第1の厚さの第1の超電導膜に形成することと、
前記第1の超電導膜上に堆積した第2の厚さの誘電体膜にパターンを形成することと、
前記直流回路の第2の部分、前記マイクロ波回路の第2の部分、および前記共通回路のパターンを、前記誘電体膜上に堆積した、前記第1の厚さおよび前記第2の厚さより大きい第3の厚さの第2の超電導膜に形成することと
を含む、方法。 - 前記第1の4分の1波長伝送回線を電気接地にシャントするために前記第1のキャパシタ、および第2の4分の1波長伝送回線を電気接地にシャントするために第3のキャパシタを使用することをさらに含む、請求項20に記載の方法。
- 方法であって、
直流をサポートする直流回路、マイクロ波信号をサポートするマイクロ波回路、および前記直流と前記マイクロ波信号を結合する共通回路を形成することであって、前記直流回路を前記形成することが、第1の4分の1波長伝送回線を第1のキャパシタで接地に、および第2の4分の1波長伝送回線を第2のキャパシタで接地に、シャントすることを含み、前記マイクロ波回路を前記形成することが、第3のキャパシタを前記マイクロ波回路に挿入することを含む、前記形成することと、
前記直流回路の第1の終端および前記マイクロ波回路の第1の終端を前記共通回路の第1の終端に動作可能なように連結することと
を含み、
前記形成することが、
前記直流回路の第1の部分および前記マイクロ波回路の第1の部分のパターンを、ウエハ上に堆積した第1の厚さの第1の超電導膜に形成することと、
前記第1の超電導膜上に堆積した第2の厚さの誘電体膜にパターンを形成することと、
前記直流回路の第2の部分、前記マイクロ波回路の第2の部分、および前記共通回路のパターンを、前記誘電体膜上に堆積した、前記第1の厚さおよび前記第2の厚さより大きい第3の厚さの第2の超電導膜に形成することと
を含む、方法。 - 前記直流回路の第2の終端に直流ポートを、前記マイクロ波回路の第2の終端にマイクロ波ポートを、および共通回路の第2の終端に共通ポートを形成することであって、前記直流ポートが、前記直流をサポートし、前記マイクロ波ポートが、前記マイクロ波信号をサポートし、前記共通ポートが、前記直流と前記マイクロ波信号をサポートする、前記形成すること
をさらに含む、請求項22に記載の方法。 - 超電導デバイスであって、
直流をサポートするバンドストップ回路を備える直流回路と、
マイクロ波信号をサポートするキャパシタまたはバンドパス回路を備えるマイクロ波回路と
を備え、
前記マイクロ波回路の第1の終端および前記直流回路の第1の終端が、前記直流と前記マイクロ波信号を結合する共通回路によって結合され、
ウエハ上に堆積した第1の厚さの第1の超電導膜に形成された、前記直流回路の第1の部分および前記マイクロ波回路の第1の部分のパターンと、
前記第1の超電導膜上に堆積した第2の厚さの誘電体膜に形成されたパターンと、
前記誘電体膜上に堆積した、前記第1の厚さおよび前記第2の厚さより大きい第3の厚さの第2の超電導膜に形成された、前記直流回路の第2の部分、前記マイクロ波回路の第2の部分、および前記共通回路のパターンと
を含む、超電導デバイス。 - 超電導デバイスであって、
第1のキャパシタによってシャントされた第1の4分の1波長伝送回線を備え、直流をサポートする直流回路と、
マイクロ波信号をサポートするマイクロ波回路と、
前記直流回路の第1の部分および前記マイクロ波回路の第1の部分に連結され、前記直流と前記マイクロ波信号を結合する共通回路と
を備え、
ウエハ上に堆積した第1の厚さの第1の超電導膜に形成された、前記直流回路の第1の部分および前記マイクロ波回路の第1の部分のパターンと、
前記第1の超電導膜上に堆積した第2の厚さの誘電体膜に形成されたパターンと、
前記誘電体膜上に堆積した、前記第1の厚さおよび前記第2の厚さより大きい第3の厚さの第2の超電導膜に形成された、前記直流回路の第2の部分、前記マイクロ波回路の第2の部分、および前記共通回路のパターンと
を含む、超電導デバイス。
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