JP7518790B2 - シール検査装置およびシール検査方法 - Google Patents
シール検査装置およびシール検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7518790B2 JP7518790B2 JP2021057756A JP2021057756A JP7518790B2 JP 7518790 B2 JP7518790 B2 JP 7518790B2 JP 2021057756 A JP2021057756 A JP 2021057756A JP 2021057756 A JP2021057756 A JP 2021057756A JP 7518790 B2 JP7518790 B2 JP 7518790B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- gasket
- jig
- seal
- separator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 214
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 43
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 37
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 claims description 30
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 29
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 29
- 239000000446 fuel Substances 0.000 claims description 15
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 13
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 113
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 23
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 23
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 17
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 description 15
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 14
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 14
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 13
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 11
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 6
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 6
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 229920002943 EPDM rubber Polymers 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 3
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 229920000181 Ethylene propylene rubber Polymers 0.000 description 2
- 229920000459 Nitrile rubber Polymers 0.000 description 2
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000002737 fuel gas Substances 0.000 description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920006168 hydrated nitrile rubber Polymers 0.000 description 2
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 2
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 2
- GHMLBKRAJCXXBS-UHFFFAOYSA-N resorcinol Chemical compound OC1=CC=CC(O)=C1 GHMLBKRAJCXXBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N melamine Chemical compound NC1=NC(N)=NC(N)=N1 JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001151 other effect Effects 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 229920003048 styrene butadiene rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/30—Hydrogen technology
- Y02E60/50—Fuel cells
Landscapes
- Fuel Cell (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Gasket Seals (AREA)
Description
(a)前記検査領域は、前記検査用ガスが供給されるガス供給領域を有し、該ガス供給領域に該検査用ガスを封入した後、該ガス供給領域の圧力を測定する工程。
(b)前記検査領域は、前記検査用ガスが供給されるガス供給領域と、該ガス供給領域に前記ガスケットを介して隣接し圧力が測定される圧力測定領域と、を有し、該ガス供給領域に該検査用ガスを連続的または断続的に供給しながら、該圧力測定領域の圧力を測定する工程。
[シール検査装置の構成]
まず、本実施形態のシール検査装置の構成について説明する。図1に、本実施形態のシール検査装置の上面図を示す。図2に、図1のII-II断面図を示す。図1においては、第一治具の本体部を透過して示し、説明の便宜上、ガスケットおよび検査用シール部材にハッチングを付して示す。以下に示す実施の形態においては、上下方向が本発明における「第一治具および第二治具の積層方向」に対応している。
次に、本実施形態のシール検査装置によるシール検査方法を説明する。シール検査装置10においては、検査領域A~Cのうちの少なくとも一つに検査用ガスを供給し、所定の検査領域の圧力の経時変化を測定することにより、ガスケット42のシール性を検査する。本実施形態においては、検査用ガスとして窒素ガスを用い、圧力降下に基づく検査および圧力上昇に基づく検査の両方を行う。
圧力降下に基づいてシール性を検査する方法を説明する。本方法において、検査領域は、検査用ガスが供給されるガス供給領域を有する。図3、図4に、本方法におけるガス供給領域を示す。図3、図4は、各々、前出図1に対応している。図3は、ガスケットの四つの小環状部のシール性を検査する場合のガス供給領域を示し、図4は、ガスケットの大環状部のシール性を検査する場合のガス供給領域を示す。図3、図4中、ガス供給領域については、粗いハッチングを付して示す。図5に、ガス供給領域のガス圧の経時変化例をグラフで示す。
まず、ガス供給工程において、ガス供給部50のバルブを開け、ガス流路210a、210cなどを介して(前出図2参照)、図3に示すように、窒素ガスを四つの検査領域A1~A4に供給する。この検査におけるガス供給領域は、検査領域A1~A4である。そして、検査領域A1~A4の圧力が所定値に到達したら、バルブを閉め、窒素ガスの供給を停止して、検査領域A1~A4に窒素ガスを封入する。次に、測定工程において、検査領域A1~A4の圧力を圧力計51により測定する。ガスケット42の四つの小環状部47のどこかに欠陥があれば、欠陥部分から窒素ガスがリークして圧力が降下する。よって、図5に示すように、検査領域A1~A4の各々の圧力降下量を測定することにより、ガスケット42の四つの小環状部47のシール性を検査することができる。
小環状部のシール性検査と同様に、まず、ガス供給工程において、ガス供給部50のバルブを開け、ガス流路210bを介して(前出図2参照)、図4に示すように、窒素ガスを検査領域Bに供給する。この検査におけるガス供給領域は、検査領域Bである。そして、検査領域Bの圧力が所定値に到達したら、バルブを閉め、窒素ガスの供給を停止して、検査領域Bに窒素ガスを封入する。次に、測定工程において、検査領域Bの圧力を圧力計51により測定する。ガスケット42の大環状部46のどこかに欠陥があれば、欠陥部分から窒素ガスがリークして圧力が降下する。よって、検査領域Bの圧力降下量を測定することにより、ガスケット42の大環状部46のシール性を検査することができる。
圧力上昇に基づいてシール性を検査する方法を説明する。本方法において、検査領域は、検査用ガスが供給されるガス供給領域と、該ガス供給領域にガスケットを介して隣接し圧力が測定される圧力測定領域と、を有する。図6、図7に、本方法におけるガス供給領域および圧力測定領域を示す。図6、図7は、各々、前出図1に対応している。図6は、ガスケットの四つの小環状部のシール性を検査する場合のガス供給領域および圧力測定領域を示し、図7は、ガスケットの大環状部のシール性を検査する場合のガス供給領域および圧力測定領域を示す。図6、図7中、ガス供給領域については粗いハッチングを付して示し、圧力測定領域については点線ハッチングを付して示す。図8に、圧力測定領域のガス圧の経時変化例をグラフで示す。
まず、ガス供給工程において、ガス供給部50のバルブを開け、ガス流路210b、210dを介して(前出図2参照)、図6に示すように、窒素ガスを検査領域B、Cに供給する。本検査におけるガス供給領域は検査領域B、Cであり、圧力測定領域はA1~A4である。ガス供給工程においては、検査領域B、Cの圧力が、圧力計51で測定されたゲージ圧でほぼ500kPaになるように窒素ガスを供給し続ける。そして、ガス供給工程と並行して、測定工程が実施される。測定工程においては、圧力測定領域A1~A4の圧力を、圧力計51により測定する。ガスケット42の四つの小環状部47のどこかに欠陥があれば、欠陥部分から窒素ガスがリークする。結果、欠陥を有するガスケット42で隔てられた圧力測定領域の圧力が上昇する。これに対して、ガスケット42に欠陥がなければ、圧力測定領域A1~A4の圧力はほとんど上昇しない。よって、図8に示すように、検査領域A1~A4の各々における圧力上昇量を測定することにより、ガスケット42の四つの小環状部47のシール性を検査することができる。
小環状部のシール性検査と同様に、ガス供給工程において、ガス供給部50のバルブを開け、ガス流路210a、210c、210dを介して(前出図2参照)、図7に示すように、窒素ガスを検査領域A1~A4、Cに供給する。本検査におけるガス供給領域は検査領域A1~A4、Cであり、圧力測定領域はBである。ガス供給工程においては、検査領域A1~A4、Cの圧力が、圧力計51で測定されたゲージ圧でほぼ500kPaになるように窒素ガスを供給し続ける。そして、ガス供給工程と並行して、測定工程が実施される。測定工程においては、圧力測定領域Bの圧力を、圧力計51により測定する。ガスケット42の大環状部46のどこかに欠陥があれば、欠陥部分から窒素ガスがリークする。結果、圧力測定領域Bの圧力が上昇する。これに対して、ガスケット42に欠陥がなければ、圧力測定領域Bの圧力はほとんど上昇しない。よって、検査領域Bの圧力上昇量を測定することにより、ガスケット42の大環状部46のシール性を検査することができる。
次に、本実施形態のシール検査装置およびシール検査方法の作用効果について説明する。本実施形態のシール検査装置10によると、第一治具20および第二治具30の組み付け状態において、六つの孔部シール部材22の各々とガスケット42との間に検査領域A1~A4、Bが区画され、外側シール部材23とガスケット42との間に検査領域Cが区画されている。ここで、六つの孔部シール部材22は、シール検査装置10を上下方向から見た場合に、ガスケット42と重ならない位置に配置されている。六つの孔部シール部材22とガスケット42とを、上下方向から見てずらして配置することにより、両者の反力を独立して調整することができる。六つの孔部シール部材22は、第一治具20とセパレータ41との間で圧縮され、セパレータ41の上面に弾接している。この時の孔部シール部材22の反力は、第一治具20とセパレータ41との間で圧縮され第一治具20の下面に弾接しているガスケット42の反力よりも大きい。これにより、シール検査において、ガスケット42のシール性は問題ないにも関わらず、孔部シール部材22からのリークにより、シール性不良という判定になる過検出が発生しにくくなる。よって、シール検査の正確性が高くなる。また、過検出の発生が少なくなると、長期間の連続稼働が可能になるため、ガスケット付きセパレータ40の生産性が向上する。また、孔部シール部材22の反力が大きいため、供給する検査用ガスの圧力を高めて、ガスケット42に対してより過酷な条件で検査することも可能になる。また、孔部シール部材22の材料、厚さ方向の断面形状などは、ガスケット42と同じでなくてもよいため、材料選択の自由度が増し、コスト削減につながる。他方、ガスケット42については比較的小さな圧縮率にて検査することができる。これにより、異物の付着、欠けや高さ不足などによる僅かな欠陥をも検出することが可能になり、検出精度が高くなる。
本実施形態のシール検査装置およびシール検査方法と、第二実施形態のシール検査装置およびシール検査方法と、の相違点は、第二治具が孔部シール部材を有し、孔部シール部材はセパレータの下面に弾接されている点である。ここでは、相違点についてのみ説明する。
まず、本実施形態のシール検査装置の構成について説明する。図9に、本実施形態のシール検査装置の積層方向断面図を示す。図9は、前出図2に対応している。図9中、図2と対応する部材については、同じ符号で示す。
本実施形態のシール検査装置によるシール検査方法は、第一実施形態のシール検査方法と同じである。すなわち、シール検査装置11の検査領域A~Cのうちの少なくとも一つに検査用ガスを供給して、圧力降下に基づく検査および圧力上昇に基づく検査の両方を行う。
次に、本実施形態のシール検査装置およびシール検査方法の作用効果について説明する。本実施形態のシール検査装置およびシール検査方法は、構成が共通する部分については、第一実施形態のシール検査装置およびシール検査方法と、同様の作用効果を有する。本実施形態のシール検査装置11によると、六つの孔部シール部材34は第二治具33に配置され、ガスケット付きセパレータ40のガスケット42と反対側(下側)に配置されている。本実施形態においても、六つの孔部シール部材34は、シール検査装置11を上下方向から見た場合に、ガスケット42と重ならない位置に配置されている。六つの孔部シール部材34とガスケット42とを、上下方向から見てずらして配置することにより、両者の反力を独立して調整することができる。六つの孔部シール部材34は、第二治具33とセパレータ41との間で圧縮され、セパレータ41の下面に弾接している。この時の孔部シール部材34の反力は、第一治具24とセパレータ41との間で圧縮され第一治具24の下面に弾接しているガスケット42の反力よりも大きい。これにより、第一実施形態と同様に、シール検査における過検出が発生しにくくなり、シール検査の正確性が高くなる。六つの孔部シール部材34を、上下方向から見てガスケット42と重ならない位置に配置することによるその他の作用効果は、第一実施形態と同じである。
以上、本発明のシール検査装置およびシール検査方法の実施の形態について説明した。しかしながら、実施の形態は上記形態に特に限定されるものではない。当業者が行いうる種々の変形的形態、改良的形態で実施することも可能である。
圧縮率(%)=(1-H’/H)×100・・・(I)
[H:無荷重状態のガスケットの厚さ、H’:治具に組み付けられた状態のガスケットの厚さ]
Claims (9)
- 燃料電池に用いられ、厚さ方向に貫通する孔部を有するセパレータと、該セパレータの厚さ方向一面に配置されるガスケットと、を有するガスケット付きセパレータのシール性を検査するシール検査装置であって、
該ガスケット付きセパレータを挟んで配置される第一治具と第二治具とを備え、
該第一治具は、該ガスケット付きセパレータの該ガスケット側に配置され、
該第二治具は、該ガスケット付きセパレータの該セパレータ側に配置され、
該第一治具および該第二治具の少なくとも一方は、該ガスケットとの間に検査領域を区画する検査用シール部材を有し、該第一治具および該第二治具の積層方向から見た場合に、該検査用シール部材は、該孔部の周囲を囲み該ガスケットと重ならない位置に配置される孔部シール部材を有し、
該検査領域のうちの少なくとも一つに検査用ガスを供給して、該ガスケットのシール性を検査することを特徴とするシール検査装置。 - 前記ガスケット付きセパレータが前記第一治具と前記第二治具との間に組み付けられ、前記積層方向に圧縮された状態において、前記孔部シール部材の反力は前記ガスケットの反力よりも大きい請求項1に記載のシール検査装置。
- 前記第一治具は、前記孔部シール部材を有し、
前記セパレータの厚さ方向他面のうち、該孔部シール部材の接触領域、前記ガスケットの配置領域、および前記検査領域に対応する部分には、前記第二治具が接している請求項1または請求項2に記載のシール検査装置。 - 前記第一治具は、前記ガスケット付きセパレータの前記ガスケットが接触する位置に凹部を有する請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のシール検査装置。
- 前記検査領域は、前記検査用ガスが供給されるガス供給領域と、該ガス供給領域に前記ガスケットを介して隣接し圧力が測定される圧力測定領域と、を有し、
該検査用ガスが該ガス供給領域から該圧力測定領域にリークすることによる該圧力測定領域の圧力上昇に基づいて該ガスケットのシール性を検査する請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のシール検査装置。 - 検査中、前記検査用ガスは前記ガス供給領域の圧力が所定の値に維持されるように連続的または断続的に供給される請求項5に記載のシール検査装置。
- 前記ガスケットは枠状を呈し、
前記検査用シール部材は、該ガスケットの枠外側に配置される外側シール部材を有し、
該ガスケットと該外側シール部材との間に前記ガス供給領域または前記圧力測定領域が区画される請求項5または請求項6に記載のシール検査装置。 - 前記検査領域は、前記検査用ガスが供給されるガス供給領域を有し、
前記検査用ガスは該ガス供給領域に封入され、該検査用ガスが該ガス供給領域から外部にリークすることによる該ガス供給領域の圧力降下に基づいて前記ガスケットのシール性を検査する請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のシール検査装置。 - 請求項1に記載のシール検査装置を用いたシール検査方法であって、次の(a)、(b)の工程のうち少なくとも一方を行うことを特徴とするシール検査方法。
(a)前記検査領域は、前記検査用ガスが供給されるガス供給領域を有し、該ガス供給領域に該検査用ガスを封入した後、該ガス供給領域の圧力を測定する工程。
(b)前記検査領域は、前記検査用ガスが供給されるガス供給領域と、該ガス供給領域に前記ガスケットを介して隣接し圧力が測定される圧力測定領域と、を有し、該ガス供給領域に該検査用ガスを連続的または断続的に供給しながら、該圧力測定領域の圧力を測定する工程。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021057756A JP7518790B2 (ja) | 2021-03-30 | 2021-03-30 | シール検査装置およびシール検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021057756A JP7518790B2 (ja) | 2021-03-30 | 2021-03-30 | シール検査装置およびシール検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022154635A JP2022154635A (ja) | 2022-10-13 |
JP7518790B2 true JP7518790B2 (ja) | 2024-07-18 |
Family
ID=83557402
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021057756A Active JP7518790B2 (ja) | 2021-03-30 | 2021-03-30 | シール検査装置およびシール検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7518790B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016038981A (ja) | 2014-08-06 | 2016-03-22 | トヨタ自動車株式会社 | 燃料電池のリーク検査方法 |
JP2016106215A (ja) | 2013-03-19 | 2016-06-16 | 日産自動車株式会社 | 接合体の検査方法および検査装置 |
JP2016164827A (ja) | 2015-03-06 | 2016-09-08 | 住友理工株式会社 | 燃料電池セルのシール検査装置およびシール検査方法 |
JP2018141712A (ja) | 2017-02-28 | 2018-09-13 | 住友理工株式会社 | シール検査装置およびシール検査方法 |
JP2019133874A (ja) | 2018-02-01 | 2019-08-08 | トヨタ自動車株式会社 | 燃料電池用リーク検査装置 |
-
2021
- 2021-03-30 JP JP2021057756A patent/JP7518790B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016106215A (ja) | 2013-03-19 | 2016-06-16 | 日産自動車株式会社 | 接合体の検査方法および検査装置 |
JP2016038981A (ja) | 2014-08-06 | 2016-03-22 | トヨタ自動車株式会社 | 燃料電池のリーク検査方法 |
JP2016164827A (ja) | 2015-03-06 | 2016-09-08 | 住友理工株式会社 | 燃料電池セルのシール検査装置およびシール検査方法 |
JP2018141712A (ja) | 2017-02-28 | 2018-09-13 | 住友理工株式会社 | シール検査装置およびシール検査方法 |
JP2019133874A (ja) | 2018-02-01 | 2019-08-08 | トヨタ自動車株式会社 | 燃料電池用リーク検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2022154635A (ja) | 2022-10-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11916199B2 (en) | Battery cell leak inspection device and battery cell leak inspection method | |
US7568516B2 (en) | Method and device for assessing the risk of fluid leakage in a heat exchanger with sensor | |
JP6449055B2 (ja) | 燃料電池セルのシール検査装置およびシール検査方法 | |
JP6895272B2 (ja) | シール検査装置およびシール検査方法 | |
US12046783B2 (en) | Leak inspection method and leak inspection apparatus | |
DK2564457T3 (en) | Non-destructive test method for testing the sealing of an electrolyte in an electrochemical cell | |
JP7518790B2 (ja) | シール検査装置およびシール検査方法 | |
JP2007271558A (ja) | 漏れ検査装置 | |
CN114563137B (zh) | 一种盾构隧道接缝双道密封垫防水性能测试装置及方法 | |
KR101643067B1 (ko) | 보일러 수냉 벽의 용접부 검사 장치 및 용접부 검사 방법 | |
KR20220065128A (ko) | 연료전지의 막전극접합체 검사장치 | |
JP7329614B2 (ja) | シール検査装置及びシール検査方法 | |
JP4275433B2 (ja) | ゲート弁のシールプレートおよびシール材 | |
JP2000028470A (ja) | プロセスガス供給ユニットにおけるガス漏れ検査装置及びガス漏れ検査方法 | |
JP2023097975A (ja) | セパレータのリーク検査装置 | |
CN105716797A (zh) | 一种核电站测量小室密封性检漏装置 | |
CN118130017B (zh) | 燃料电池电堆内漏气密性检测系统及方法 | |
JP3548699B2 (ja) | 燃料電池の多孔質ガス拡散電極の検査方法 | |
TWI787112B (zh) | 多模穴測試座結構 | |
CN211668724U (zh) | 往复式压缩机气阀用检漏装置 | |
KR101185928B1 (ko) | 용접부 검사방법 | |
KR100736458B1 (ko) | 초고진공용 대형 벨로우즈의 진공 누설 검사장치 및 방법 | |
CN116046285A (zh) | 一种燃料双极板氦检检测系统及方法 | |
CN118472317A (zh) | 燃料电池电堆内漏位置检测工装 | |
US9500157B2 (en) | Cylinder head gasket |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20231205 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20240529 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240702 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240705 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7518790 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |