JP7515326B2 - ターゲット供給装置、極端紫外光生成装置、及び電子デバイスの製造方法 - Google Patents

Description

本開示は、ターゲット供給装置、極端紫外光生成装置、及び電子デバイスの製造方法に関する。

近年、半導体プロセスの微細化に伴って、半導体プロセスの光リソグラフィにおける転写パターンの微細化が急速に進展している。次世代においては、１０ｎｍ以下の微細加工が要求されるようになる。このため、波長約１３ｎｍの極端紫外（ＥＵＶ：Ｅｘｔｒｅｍｅ ＵｌｔｒａＶｉｏｌｅｔ）光を生成するための装置と縮小投影反射光学系とを組み合わせた半導体露光装置の開発が期待されている。

ＥＵＶ光生成装置としては、ターゲット物質にレーザ光を照射することによって生成されるプラズマが用いられるＬａｓｅｒ Ｐｒｏｄｕｃｅｄ Ｐｌａｓｍａ（ＬＰＰ）式の装置の開発が進んでいる。

米国特許第７８７２２４５号明細書 米国特許第８６１００９５号明細書 特開２０１５－２１８８７１号公報

概要

本開示の一態様によるターゲット供給装置は、ターゲット物質を内包する第１内包部材と、第１内包部材から流れ込むターゲット物質を内包する第２内包部材と、第１内包部材及び第２内包部材の一方に一体に形成されており、一方の内包部材から他方の内包部材に向かって延在し、第１内包部材及び第２内包部材の間の連通部を全周に渡って囲い、他方の内包部材に密着するリング状の封止部と、第１内包部材が連通部を介して第２内包部材と連通するように第１内包部材及び第２内包部材を互いに締結し、締結によって他方の内包部材に封止部を押圧する締結部材と、を備え、封止部は、締結部材による他方の内包部材への押圧によって塑性変形し、塑性変形によって連通部の周囲における第１内包部材及び第２内包部材の間の空間を封止する。

また、本開示の一態様による極端紫外光生成装置は、プラズマ生成領域を含むチャンバ装置と、プラズマ生成領域にターゲット物質を供給するターゲット供給装置と、プラズマ生成領域においてターゲット物質からプラズマが生成されるようにターゲット物質にレーザ光を照射するレーザ装置と、を備え、ターゲット供給装置は、ターゲット物質を内包する第１内包部材と、第１内包部材から流れ込むターゲット物質を内包する第２内包部材と、第１内包部材及び第２内包部材の一方に一体に形成されており、一方の内包部材から他方の内包部材に向かって延在し、第１内包部材及び第２内包部材の間の連通部を全周に渡って囲い、他方の内包部材に密着するリング状の封止部と、第１内包部材が連通部を介して第２内包部材と連通するように第１内包部材及び第２内包部材を互いに締結し、締結によって他方の内包部材に封止部を押圧する締結部材と、を備え、封止部は、締結部材による他方の内包部材への押圧によって塑性変形し、塑性変形によって連通部の周囲における第１内包部材及び第２内包部材の間の空間を封止する。

また、本開示の一態様による電子デバイスの製造方法は、プラズマ生成領域を含むチャンバ装置と、プラズマ生成領域にターゲット物質を供給するターゲット供給装置と、プラズマ生成領域においてターゲット物質からプラズマが生成されるようにターゲット物質にレーザ光を照射するレーザ装置と、を備え、ターゲット供給装置は、ターゲット物質を内包する第１内包部材と、第１内包部材から流れ込むターゲット物質を内包する第２内包部材と、第１内包部材及び第２内包部材の一方に一体に形成されており、一方の内包部材から他方の内包部材に向かって延在し、第１内包部材及び第２内包部材の間の連通部を全周に渡って囲い、他方の内包部材に密着するリング状の封止部と、第１内包部材が連通部を介して第２内包部材と連通するように第１内包部材及び第２内包部材を互いに締結し、締結によって他方の内包部材に封止部を押圧する締結部材と、を備え、封止部は、締結部材による他方の内包部材への押圧によって塑性変形し、塑性変形によって連通部の周囲における第１内包部材及び第２内包部材の間の空間を封止する極端紫外光生成装置によって、ターゲット物質にレーザ光を照射することによってプラズマを生成し、プラズマから生成される極端紫外光を露光装置に出射し、電子デバイスを製造するために、露光装置によって感光基板上に極端紫外光を露光することを含む。

本開示のいくつかの実施形態を、単なる例として、添付の図面を参照して以下に説明する。
図１は、電子デバイスの製造装置の全体の概略構成例を示す模式図である。 図２は、極端紫外光生成装置の全体の概略構成例を示す模式図である。 図３は、比較例におけるターゲット供給装置を含む一部の概略構成例を示す模式図である。 図４は、実施形態１におけるターゲット供給装置を含む一部の概略構成例を示す模式図である。 図５は、実施形態２におけるターゲット供給装置を含む一部の概略構成例を示す模式図である。 図６は、実施形態３におけるターゲット供給装置を含む一部の概略構成例を示す模式図である。 図７は、延在部と封止部との高さの差を示す図である。 図８は、実施形態４におけるターゲット供給装置を含む一部の概略構成例を示す模式図である。 図９は、実施形態１及び実施形態２の変形例におけるターゲット供給装置を含む一部の概略構成例を示す模式図である。 図１０は、実施形態３の変形例１におけるターゲット供給装置を含む一部の概略構成例を示す模式図である。 図１１は、実施形態３の変形例２におけるターゲット供給装置を含む一部の概略構成例を示す模式図である。 図１２は、実施形態４の変形例１を示す図である。 図１３は、実施形態４の変形例２を示す図である。 図１４は、実施形態４の変形例３を示す模式図である。 図１５は、実施形態４の変形例４を示す図である。 図１６は、実施形態４の変形例５の一例を示す図である。 図１７は、実施形態４の変形例５の他の一例を示す図である。 図１８は、実施形態４の変形例５のさらに他の一例を示す図である。 図１９は、実施形態４の変形例６の一例を示す図である。 図２０は、実施形態４の変形例６の他の一例を示す図である。 図２１は、実施形態４の変形例６のさらに他の一例を示す図である。

実施形態

１．概要
２．電子デバイスの製造装置の説明
３．比較例の極端紫外光生成装置の説明
３．１ 構成
３．２ 動作
３．３ 課題
４．実施形態１のターゲット供給装置の説明
４．１ 構成
４．２ 作用・効果
５．実施形態２のターゲット供給装置の説明
５．１ 構成
５．２ 作用・効果
６．実施形態３のターゲット供給装置の説明
６．１ 構成
６．２ 作用・効果
７．実施形態４のターゲット供給装置の説明
７．１ 構成
７．２ 作用・効果

以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら詳しく説明する。
以下に説明される実施形態は、本開示のいくつかの例を示すものであって、本開示の内容を限定するものではない。また、各実施形態で説明される構成及び動作の全てが本開示の構成及び動作として必須であるとは限らない。なお、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複する説明を省略する。

１．概要
本開示の実施形態は、極端紫外（ＥＵＶ）と呼ばれる波長の光を生成する極端紫外光生成装置、及び電子デバイスの製造装置に関するものである。なお、以下では、極端紫外光をＥＵＶ光という場合がある。

２．電子デバイスの製造装置の説明
図１に示すように、電子デバイス製造装置は、ＥＵＶ光生成装置１００及び露光装置２００を含む。露光装置２００は、複数のミラー２１１，２１２を含むマスク照射部２１０と、複数のミラー２２１，２２２を含むワークピース照射部２２０とを含む。マスク照射部２１０は、ＥＵＶ光生成装置１００から入射したＥＵＶ光１０１によって、反射光学系を介してマスクテーブルＭＴのマスクパターンを照明する。ワークピース照射部２２０は、マスクテーブルＭＴによって反射されたＥＵＶ光１０１を、反射光学系を介してワークピーステーブルＷＴ上に配置された不図示のワークピース上に結像させる。ワークピースはフォトレジストが塗布された半導体ウエハ等の感光基板である。露光装置２００は、マスクテーブルＭＴとワークピーステーブルＷＴとを同期して平行移動させることにより、マスクパターンを反映したＥＵＶ光１０１をワークピースに露光する。以上のような露光工程によって半導体ウエハにデバイスパターンを転写することで半導体デバイスを製造することができる。

３．比較例の極端紫外光生成装置の説明
３．１ 構成
比較例のＥＵＶ光生成装置１００について説明する。なお、本開示の比較例とは、出願人のみによって知られていると出願人が認識している形態であって、出願人が自認している公知例ではない。

図２は、本例のＥＵＶ光生成装置１００の全体の概略構成例を示す模式図である。図２に示すように、ＥＵＶ光生成装置１００は、レーザ装置ＬＤ、チャンバ装置１０、プロセッサ１２０、及びレーザ光デリバリ光学系３０を主な構成として含む。図２では、後述する封止部材５００及び締結部材６００といった、ＥＵＶ光生成装置１００の構成の一部が省略されている。

チャンバ装置１０は、密閉可能な容器である。チャンバ装置１０は、低圧雰囲気の内部空間を囲う内壁１０ｂを含む。チャンバ装置１０はサブチャンバ１５を含み、サブチャンバ１５にターゲット供給装置４０が設けられている。ターゲット供給装置４０は、サブチャンバ１５の壁を貫通するように取り付けられている。ターゲット供給装置４０は、タンク４１及びノズル４２を含み、ドロップレットＤＬをチャンバ装置１０の内部空間に供給している。ドロップレットＤＬは、ターゲットとも呼ばれる。

タンク４１は、その内部にドロップレットＤＬとなるターゲット物質を貯蔵する。ターゲット物質は、スズを含む。タンク４１の内部は、配管を介してガス圧を調節する圧力調節器４３と連通している。タンク４１には、ヒータ４４及び温度センサ４５が取り付けられている。ヒータ４４は、ヒータ電源４６から供給される電流により、タンク４１を加熱する。この加熱により、タンク４１内のターゲット物質は溶融する。温度センサ４５は、タンク４１を介してタンク４１内のターゲット物質の温度を測定する。圧力調節器４３、温度センサ４５、及びヒータ電源４６は、プロセッサ１２０に電気的に接続されている。

ノズル４２は、タンク４１に取り付けられ、ターゲット物質を吐出する。ノズル４２には、ピエゾ素子４７が取り付けられている。ピエゾ素子４７は、ピエゾ電源４８に電気的に接続されており、ピエゾ電源４８から印加される電圧で駆動される。ピエゾ電源４８は、プロセッサ１２０に電気的に接続されている。このピエゾ素子４７の動作により、ノズル４２から吐出されるターゲット物質はドロップレットＤＬにされる。

また、チャンバ装置１０は、ターゲット回収部１４を含む。ターゲット回収部１４は、チャンバ装置１０の内壁１０ｂに取り付けられる箱体である。ターゲット回収部１４は、チャンバ装置１０の内壁１０ｂに連続する開口１０ａを介してチャンバ装置１０の内部空間に連通している。ターゲット回収部１４及び開口１０ａは、ノズル４２の直下に配置される。ターゲット回収部１４は、開口１０ａを通過してターゲット回収部１４に到達する不要なドロップレットＤＬを回収し、この不要なドロップレットＤＬが溜まるドレインタンクである。

チャンバ装置１０の壁には、少なくとも１つの貫通孔が設けられている。この貫通孔は、ウィンドウ１２によって塞がれ、ウィンドウ１２をレーザ装置ＬＤから出射されるパルス状のレーザ光９０が透過する。

また、チャンバ装置１０の内部空間には、レーザ集光光学系１３が配置されている。レーザ集光光学系１３は、レーザ光集光ミラー１３Ａ及び高反射ミラー１３Ｂを含む。レーザ光集光ミラー１３Ａは、ウィンドウ１２を透過するレーザ光９０を反射して集光する。高反射ミラー１３Ｂは、レーザ光集光ミラー１３Ａが集光する光を反射する。レーザ光集光ミラー１３Ａ及び高反射ミラー１３Ｂの位置は、レーザ光マニュピレータ１３Ｃにより、チャンバ装置１０の内部空間でのレーザ集光位置がプロセッサ１２０から指定された位置になるように調節される。

チャンバ装置１０の内部空間には、例えば、回転楕円面形状の反射面７５ａを含むＥＵＶ光集光ミラー７５が配置される。反射面７５ａは、プラズマ生成領域ＡＲにおいてプラズマから生成されるＥＵＶ光１０１を反射する。反射面７５ａは、第１焦点及び第２焦点を有する。反射面７５ａは、例えば、その第１焦点がプラズマ生成領域ＡＲに位置し、その第２焦点が中間集光点ＩＦに位置するように配置されてもよい。図２では、第１焦点及び第２焦点を通る直線が焦点直線Ｌ０として示されている。

また、ＥＵＶ光生成装置１００は、チャンバ装置１０の内部空間及び露光装置２００の内部空間を連通させる接続部１９を含む。接続部１９の内部には、アパーチャが形成された壁が設けられる。この壁は、アパーチャが第２焦点に位置するように配置されることが好ましい。

また、ＥＵＶ光生成装置１００は、圧力センサ２６及びターゲットセンサ２７を含む。圧力センサ２６及びターゲットセンサ２７は、チャンバ装置１０に取り付けられ、プロセッサ１２０に電気的に接続されている。圧力センサ２６は、チャンバ装置１０の内部空間の圧力を計測する。ターゲットセンサ２７は、例えば撮像機能を含み、プロセッサ１２０からの指示によってドロップレットＤＬの存在、軌跡、位置、速度等を検出する。

レーザ装置ＬＤは、バースト動作する光源であるマスターオシレータを含む。マスターオシレータは、バーストオンでパルス状のレーザ光９０を出射する。マスターオシレータは、例えば、ヘリウムや窒素等が炭酸ガス中に混合された気体を放電によって励起することで、レーザ光９０を出射するレーザ装置である。あるいは、マスターオシレータは、量子カスケードレーザ装置でもよい。また、マスターオシレータは、Ｑスイッチ方式により、パルス状のレーザ光９０を出射してもよい。また、マスターオシレータは、光スイッチや偏光子等を含んでもよい。なお、バースト動作とは、バーストオン時に連続したパルス状のレーザ光９０を所定の繰り返し周波数で出射し、バーストオフ時にレーザ光９０の出射を抑制する動作である。

レーザ装置ＬＤから出射するレーザ光９０の進行方向は、レーザ光デリバリ光学系３０によって調節される。レーザ光デリバリ光学系３０は、レーザ光９０の進行方向を調節するための複数のミラー３０Ａ，３０Ｂを含み、これらミラー３０Ａ，３０Ｂの少なくとも１つの位置が不図示のアクチュエータで調節される。ミラー３０Ａ，３０Ｂの少なくとも１つの位置が調節されることで、レーザ光９０がウィンドウ１２から適切にチャンバ装置１０の内部空間に伝搬し得る。

本開示のプロセッサ１２０は、制御プログラムが記憶された記憶装置と、制御プログラムを実行するＣＰＵとを含む処理装置である。プロセッサ１２０は、本開示に含まれる各種処理を実行するために特別に構成又はプログラムされている。プロセッサ１２０は、ＥＵＶ光生成装置１００の幾つかの構成を制御する。また、プロセッサ１２０は、ＥＵＶ光生成装置１００全体を制御する。プロセッサ１２０には、圧力センサ２６で計測されたチャンバ装置１０の内部空間の圧力に係る信号や、ターゲットセンサ２７によって撮像されたドロップレットＤＬのイメージデータに係る信号や、露光装置２００からのバースト信号等が入力される。プロセッサ１２０は、上記イメージデータ等を処理し、例えば、ドロップレットＤＬが出力されるタイミング、ドロップレットＤＬの出力方向等を制御してもよい。さらに、プロセッサ１２０は、レーザ装置ＬＤの発振タイミング、レーザ光９０の進行方向、レーザ光９０の集光位置等を制御してもよい。上述の様々な制御は単なる例示に過ぎず、必要に応じて後述のように他の制御が追加されてもよい。

チャンバ装置１０には、エッチングガスをチャンバ装置１０の内部空間に供給する中心側ガス供給部８１が配置されている。上記のように、ターゲット物質はスズを含むため、エッチングガスは、例えば水素ガス濃度が１００％と見做せる水素含有ガスである。あるいは、エッチングガスは、例えば水素ガス濃度が３％程度のバランスガスでもよい。バランスガスには、窒素（Ｎ_２）ガスやアルゴン（Ａｒ）ガスが含まれている。ドロップレットＤＬを構成するターゲット物質がプラズマ生成領域ＡＲでレーザ光９０を照射されてプラズマ化すると、スズの微粒子及びスズの荷電粒子が生じる。エッチングガスは、これら微粒子及び荷電粒子を構成するスズと反応する水素を含む。スズが水素と反応すると、常温で気体のスタンナン（ＳｎＨ_４）になる。

中心側ガス供給部８１は、円錐台の側面状の形状をしており、コーンと呼ばれる場合がある。中心側ガス供給部８１は、ＥＵＶ光集光ミラー７５の中央部に形成された貫通孔７５ｃを挿通している。

中心側ガス供給部８１は、ノズルである中心側ガス供給口８１ａを含む。中心側ガス供給口８１ａは、反射面７５ａの第１焦点及び第２焦点を通る焦点直線Ｌ０上に設けられる。焦点直線Ｌ０は、反射面７５ａの中心軸方向に沿って設けられている。

中心側ガス供給口８１ａは、反射面７５ａの中心側からプラズマ生成領域ＡＲに向かってエッチングガスを供給する。中心側ガス供給口８１ａは、焦点直線Ｌ０に沿って反射面７５ａの中心側から反射面７５ａから離れる方向にエッチングガスを供給することが好ましい。中心側ガス供給口８１ａは、中心側ガス供給部８１の不図示の配管を介してエッチングガスを供給するタンクである不図示のガス供給装置に接続されている。ガス供給装置は、プロセッサ１２０によって駆動を制御される。不図示の配管には、不図示の供給ガス流量調節部が設けられてもよい。

中心側ガス供給口８１ａは、エッチングガスをチャンバ装置１０の内部空間に供給するガス供給口であると共に、レーザ光９０がチャンバ装置１０の内部空間に出射する出射口でもある。レーザ光９０は、ウィンドウ１２と中心側ガス供給口８１ａとを通過してチャンバ装置１０の内部空間に向かって進行する。

チャンバ装置１０の内壁１０ｂには、排気口１０Ｅが連続している。焦点直線Ｌ０上には露光装置２００が配置されるため、排気口１０Ｅは、焦点直線Ｌ０上ではなく焦点直線Ｌ０の側方における内壁１０ｂに設けられている。排気口１０Ｅの中心軸に沿う方向は、焦点直線Ｌ０に直交している。また、排気口１０Ｅは、焦点直線Ｌ０に垂直な方向から見る場合において、プラズマ生成領域ＡＲを基準として反射面７５ａとは反対側に設けられている。排気口１０Ｅは、チャンバ装置１０の内部空間の後述する残留ガスを排気する。排気口１０Ｅは排気管１０Ｐに接続されており、排気管１０Ｐは排気ポンプ６０に接続されている。

ターゲット物質がプラズマ化する際、排ガスとしての残留ガスがチャンバ装置１０の内部空間に生成される。残留ガスは、ターゲット物質のプラズマ化により生じたスズの微粒子及び荷電粒子と、それらがエッチングガスと反応したスタンナンと、未反応のエッチングガスとを含む。なお、荷電粒子の一部はチャンバ装置１０の内部空間で中性化するが、この中性化した荷電粒子も残留ガスに含まれる。排気ポンプ６０は、残留ガスを排気口１０Ｅと排気管１０Ｐとを介して吸引する。

次に、ターゲット供給装置４０の構成についてより詳細に説明する。

図３は、比較例におけるターゲット供給装置４０を含む一部の概略構成例を示す模式図である。図３では、圧力調節器４３、ヒータ４４、及び温度センサ４５といったターゲット供給装置４０の構成の一部が省略されている。

ここではまず、タンク４１について説明する。タンク４１は、タンク本体４１０と、蓋体４１２とを含む。

タンク本体４１０は、溶融状態のターゲット物質を内部空間に貯蔵する筐体であり、ターゲット物質を内包する第１内包部材である。タンク本体４１０の周面は、円筒の周面状の形状をしている。タンク本体４１０の底部には、ターゲット物質がタンク本体４１０の内部空間からノズル４２に向かって流れるタンク流路４１４が位置している。比較例では、タンク流路４１４は第１流路であり、タンク本体４１０は第１流路を含む第１流路部材でもある。タンク流路４１４の中心軸は、タンク本体４１０の中心軸と同軸上に位置する。タンク流路４１４は、タンク本体４１０の底面４１０ａの開口と連通している。

蓋体４１２は、タンク本体４１０の上面４１０ｂの開口、及び当該開口の周縁部を覆う。蓋体４１２は、複数の不図示の締結部材が当該開口の周縁部においてタンク本体４１０及び蓋体４１２に螺入されることで、タンク本体４１０に固定されている。複数の締結部材は、タンク本体４１０の中心軸周りにおいて互いに等間隔離れて配置される。蓋体４１２は板状の部材であり、蓋体４１２の下面は平面である。締結部材は、ボルトである。

また、蓋体４１２は、チャンバ装置１０のサブチャンバ１５の内壁の開口を覆う。蓋体４１２は、上記締結部材とは別の複数の不図示の締結部材が内壁の開口の周縁部において内壁及び蓋体４１２に螺入されることで、内壁に固定されている。これにより、タンク本体４１０及びノズル４２は、チャンバ装置１０の内部空間に配置される。複数の締結部材は、蓋体４１２の中心軸周りにおいて互いに等間隔離れて配置される。締結部材は、ボルトである。

蓋体４１２には開口が連続しており、この開口に圧力調節器４３に繋がる不図示の配管が挿通されている。配管は、タンク本体４１０の内部空間にまで延設されている。

次に、ターゲット供給装置４０のノズル４２について説明する。ノズル４２は、後述する締結部材６００によってタンク本体４１０に締結される。ノズル４２は、タンク本体４１０のタンク流路４１４から流れ込むターゲット物質を内包する第２内包部材であり、当該ターゲット物質を吐出する。ノズル４２は、タンク流路４１４と連通してタンク流路４１４からターゲット物質が流れ込むノズル流路４２４と、ノズル流路４２４と連通し、ノズル流路４２４から流れ込むターゲット物質を吐出するノズル孔４２６とを含む。比較例では、ノズル流路４２４は第２流路であり、ノズル４２は第２流路を含む第２流路部材でもある。

ノズル流路４２４の中心軸は、タンク流路４１４の中心軸と同軸上に位置する。ノズル流路４２４の一部は、タンク流路４１４と連通している。ノズル流路４２４の一部の直径は、タンク流路４１４の直径と同じである。ノズル流路４２４の残りの一部は、ノズル流路４２４の一部及びノズル孔４２６の間に位置し、ノズル流路４２４の一部とノズル孔４２６とに連通している。ノズル流路４２４の残りの一部の直径は、ノズル流路４２４の一部からノズル孔４２６に向かって徐々に細くなる。従って、残りの一部の最大直径は一部の直径と同じであり、残りの一部の最小直径はノズル孔４２６の直径と同じである。

ノズル孔４２６は、タンク４１からタンク流路４１４及びノズル流路４２４を介して流れ込むターゲット物質をプラズマ生成領域ＡＲに向かって吐出する。ノズル孔４２６の直径は、例えば３μｍ－６μｍである。

タンク本体４１０及びノズル４２において、タンク本体４１０は平面状の底面４１０ａを含み、ノズル４２は底面４１０ａに当接する平面状の上面４２ａを含む。比較例では、底面４１０ａはタンク本体４１０である第１内包部材の第１面であり、上面４２ａはノズル４２である第２内包部材の第２面である。上面４２ａには開口が連続しており、開口はノズル流路４２４と連通している。また、底面４１０ａには上面４２ａの開口とは別の開口が連続しており、底面４１０ａの開口は上面４２ａの開口及びノズル流路４２４と連通している。この連通によって、タンク本体４１０からノズル４２にターゲット物質が流れる。

ターゲット物質を内包し、ターゲット物質が流れるタンク本体４１０及びノズル４２において、タンク本体４１０及びノズル４２のそれぞれの材質は、ターゲット物質であるスズとの反応性が低い材質である。このような材質には、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、またはタンタル（Ｔａ）が挙げられる。また、蓋体４１２の材質も、タンク本体４１０と同じ材質である。ノズル４２の材質及び蓋体４１２の材質のそれぞれは、タンク本体４１０の材質と同じであることが好ましいが、スズとの反応性が低い上記材質であればタンク本体４１０の材質と異なってもよい。

ターゲット供給装置４０は、リング状の封止部材５００をさらに含む。比較例では、封止部材５００は、第１内包部材であるタンク本体４１０及び第２内包部材であるノズル４２から独立した、タンク本体４１０及びノズル４２とは別の部材である。また、比較例では、封止部材５００の材質はタンク４１及びノズル４２のそれぞれの材質とは異なっており、封止部材５００は金属から構成されており、金属の外表面には銀メッキが施されている。この金属は、弾性を有するＳＵＳ等のステンレスで構成されている。

封止部材５００は、ノズル４２の上面４２ａに連続するリング状の溝４２８に配置される。溝４２８は、ノズル流路４２４の径方向において、ノズル流路４２４から離間している。また、溝４２８の外壁面及び内壁面は、ノズル流路４２４の中心軸を基準とする同一の円の円周上に位置し、ノズル流路４２４を全周に渡って囲う。従って、封止部材５００は、タンク流路４１４の中心軸及びノズル流路４２４の中心軸を基準とする同一の円の円周上に配置され、タンク流路４１４とノズル流路４２４との連通部を全周に渡って囲って配置されている。

封止部材５００の中心軸及び封止部材５００の径方向を通る平面における封止部材５００の肉厚部の断面の幅は溝４２８の幅よりも小さくされ、断面の高さは溝４２８の深さよりも大きくされる。このため、タンク本体４１０及びノズル４２が後述する締結部材６００によって互いに締結されていない状態では、溝４２８に配置された封止部材５００の一部は溝４２８から上方にはみ出ている。そして、底面４１０ａと上面４２ａとが互いに当接するようにタンク本体４１０及びノズル４２が締結部材６００によって互いに締結されると、封止部材５００は底面４１０ａからの押圧力により潰れるように変形する。封止部材５００は、変形によって底面４１０ａ及び溝４２８の内面に密着すると共にタンク本体４１０及びノズル４２の間の隙間を埋めて、タンク流路４１４及びノズル流路４２４の間の連通部の周囲における底面４１０ａ及び上面４２ａの間を封止する。上記したように封止部材５００は外表面に銀メッキが施されている金属から構成されているため、銀メッキは押圧力によって変形して底面４１０ａ及び溝４２８の内面に形成される微小な凹凸を埋めるように密着する。凹凸は、切削などによるタンク本体４１０及び溝４２８の加工によって形成されてしまうものである。

ターゲット供給装置４０は、タンク流路４１４及びノズル流路４２４が互いに連通するように、ノズル４２及びタンク本体４１０を互いに締結するボルトなどの複数の締結部材６００をさらに含む。締結部材６００のそれぞれは、封止部材５００の中心軸方向に沿って配置されており、封止部材５００の径方向において封止部材５００よりも外側に配置される。複数の締結部材６００は、ノズル流路４２４の中心軸周りにおいて互いに等間隔離れて配置される。複数の締結部材６００は、ノズル４２をタンク本体４１０に向けて押し付けて、ノズル４２及びタンク本体４１０を互いに締結する。これにより、上面４２ａは底面４１０ａに当接し、上記したように封止部材５００はタンク流路４１４及びノズル流路４２４の間の連通部の周囲における底面４１０ａ及び上面４２ａの間を封止する。複数の締結部材６００が配置される例を示しているが、締結部材６００は、少なくとも１つ配置されていればよい。

締結部材６００の熱膨張係数は、タンク本体４１０及びノズル４２のそれぞれの熱膨張係数と同じである。

３．２ 動作
次に、比較例のＥＵＶ光生成装置１００の動作について説明する。ＥＵＶ光生成装置１００では、例えば、新規導入時やメンテナンス時等において、チャンバ装置１０の内部空間の大気が排気される。その際、大気成分の排気のために、チャンバ装置１０の内部空間のパージと排気とを繰り返してもよい。パージガスには、例えば、窒素やアルゴンなどの不活性ガスが用いられることが好ましい。その後、チャンバ装置１０の内部空間の圧力が所定の圧力以下になると、プロセッサ１２０は、ガス供給装置から中心側ガス供給部８１を介してチャンバ装置１０の内部空間へのエッチングガスの導入を開始させる。このときプロセッサ１２０は、チャンバ装置１０の内部空間の圧力が所定の圧力に維持されるように、不図示の供給ガス流量調節部や排気ポンプ６０を制御してもよい。その後、プロセッサ１２０は、エッチングガスの導入開始から所定時間が経過するまで待機する。

また、プロセッサ１２０は、排気ポンプ６０により、チャンバ装置１０の内部空間の気体を排気口１０Ｅから排気させ、圧力センサ２６で計測されたチャンバ装置１０の内部空間の圧力の信号に基づいて、チャンバ装置１０の内部空間の圧力を略一定に保つ。

また、プロセッサ１２０は、タンク４１内のターゲット物質を融点以上の所定温度に加熱および維持するために、ヒータ電源４６からヒータ４４に電流を印加させ、ヒータ４４を昇温させる。このとき、プロセッサ１２０は、温度センサ４５からの出力に基づいて、ヒータ電源４６からヒータ４４へ印加される電流の値を調節し、ターゲット物質の温度を所定温度に制御する。なお、所定温度は、ターゲット物質がスズである場合、スズの融点２３２℃以上の温度であり、例えば２４０℃－２９０℃である。

また、プロセッサ１２０は、ノズル４２のノズル孔４２６から溶融したターゲット物質が所定の速度で吐出するように、圧力調節器４３によってタンク４１内の圧力を調節する。この圧力下で、ターゲット物質はノズル４２のノズル孔４２６から吐出される。ノズル孔４２６から吐出するターゲット物質は、ジェットの形態をとってもよい。このとき、プロセッサ１２０は、ドロップレットＤＬを生成するために、ピエゾ電源４８からピエゾ素子４７に所定波形の電圧を印加させる。ピエゾ素子４７の振動は、ノズル４２を経由してノズル４２のノズル孔４２６から吐出するターゲット物質へと伝搬し得る。ターゲット物質は、この振動により所定周期で分断され、液滴のドロップレットＤＬとなる。

ターゲットセンサ２７は、チャンバ装置１０内の所定位置を通過するドロップレットＤＬの通過タイミングを検出する。プロセッサ１２０は、ターゲットセンサ２７からの信号に同期した発光トリガ信号をレーザ装置ＬＤに出力する。発光トリガ信号が入力されると、レーザ装置ＬＤは、パルス状のレーザ光９０を出射する。出射されたレーザ光９０は、レーザ光デリバリ光学系３０とウィンドウ１２とを経由して、レーザ集光光学系１３に入射する。また、レーザ光９０は、レーザ集光光学系１３から出射部である中心側ガス供給部８１に進行する。レーザ光９０は、中心側ガス供給部８１における出射口である中心側ガス供給口８１ａからプラズマ生成領域ＡＲに向かって焦点直線Ｌ０に沿って出射され、プラズマ生成領域ＡＲでドロップレットＤＬに照射される。このとき、プロセッサ１２０は、レーザ光９０がプラズマ生成領域ＡＲで集光されるように、レーザ集光光学系１３のレーザ光マニュピレータ１３Ｃを制御する。また、プロセッサ１２０は、ドロップレットＤＬにレーザ光９０が照射されるように、ターゲットセンサ２７からの信号に基づいて、レーザ装置ＬＤからレーザ光９０を出射するタイミングを制御する。このため、レーザ光集光ミラー１３Ａで集光されるレーザ光９０は、プラズマ生成領域ＡＲでドロップレットＤＬに照射される。この照射により生成されたプラズマから、ＥＵＶ光を含む光が放射される。

プラズマ生成領域ＡＲで発生したＥＵＶ光を含む光のうち、ＥＵＶ光１０１は、ＥＵＶ光集光ミラー７５によって中間集光点ＩＦで集光された後、接続部１９から露光装置２００に入射する。従って、接続部１９は、ＥＵＶ光生成装置１００におけるＥＵＶ光１０１の出射口であると理解し得る。

ターゲット物質がプラズマ化する際、上記のようにスズの微粒子が生じる。この微粒子は、チャンバ装置１０の内部空間に拡散する。チャンバ装置１０の内部空間に拡散する微粒子は、中心側ガス供給部８１から供給される水素を含むエッチングガスと反応してスタンナンになる。エッチングガスとの反応により得られたスタンナンの多くは、未反応のエッチングガスの流れに乗って、排気口１０Ｅに流入する。また、未反応の荷電粒子、微粒子、及びエッチングガスの少なくとも一部は、排気口１０Ｅに流入する。

排気口１０Ｅに流入した未反応のエッチングガス、微粒子、荷電粒子、及びスタンナン等は、残留ガスとして排気管１０Ｐから排気ポンプ６０内に流入し無害化等の所定の排気処理が施される。

３．３ 課題
タンク４１内の圧力が所定値よりも高くなると、ターゲット物質であるスズは、タンク流路４１４とノズル流路４２４との連通部から底面４１０ａ及び上面４２ａの間の微小な隙間を介して封止部材５００に向かって漏れ出てしまい、封止部材５００に接触してしまうことがある。封止部材５００の材質は、タンク本体４１０及びノズル４２のそれぞれの材質とは異なっている。この場合、ターゲット物質に接触する封止部材５００は、タンク本体４１０及びノズル４２に比べてターゲット物質との反応性が高くなることがあり、タンク本体４１０及びノズル４２よりも先にターゲット物質によって侵食及び腐食されてしまう懸念がある。侵食及び腐食によって、封止部材５００はタンク本体４１０及びノズル４２よりも早く劣化してしまい、タンク本体４１０及びノズル４２への封止部材５００の密着が弱まる。密着が弱まると、封止部材５００とタンク本体４１０及びノズル４２とのそれぞれの間に隙間が生じ、隙間からターゲット供給装置４０の外部にターゲット物質が漏れる懸念がある。従って、ターゲット供給装置４０の使用可能期間が予め想定した想定期間よりも短くなる懸念がある。

そこで、以下の実施形態では、使用可能期間が想定期間よりも短くなることが抑制され得るターゲット供給装置４０が例示される。

４．実施形態１のターゲット供給装置の説明
次に、実施形態１のターゲット供給装置４０の構成を説明する。なお、上記において説明した構成と同様の構成については同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明は省略する。

４．１ 構成
図４は、本実施形態におけるターゲット供給装置４０を含む一部の概略構成例を示す模式図である。図４では、図３と同様に、圧力調節器４３、ヒータ４４、及び温度センサ４５といったターゲット供給装置４０の構成の一部が省略されている。

本実施形態のターゲット供給装置４０では、比較例のターゲット供給装置４０と同様に、第１内包部材及び第１流路部材はタンク本体４１０であり、第１流路はタンク流路４１４であり、第２内包部材及び第２流路部材はノズル４２であり、第２流路はノズル流路４２４である。また、本実施形態のターゲット供給装置４０では、比較例のターゲット供給装置４０と同様に、第１内包部材の第１面はタンク本体４１０の底面４１０ａであり、第２内包部材の第２面はノズル４２の上面４２ａである。

本実施形態のノズル４２の構成は、溝４２８が省略されていることを除いて比較例のノズル４２の構成と同じとされる。

本実施形態のタンク本体４１０の構成は、封止部材５００がタンク本体４１０の一部であることを除いて比較例のタンク本体４１０の構成と同じとされる。タンク本体４１０の一部が封止部材５００の機能を備えるため、比較例における封止部材５００に相当するタンク本体４１０の部位を以下において封止部５１０として説明する。

封止部５１０は、タンク本体４１０への切削などの加工によってタンク本体４１０の一部として構成されており、タンク本体４１０に一体に形成されている。従って、封止部５１０は、タンク本体４１０とは別部材ではないし、接合等によってタンク本体４１０と一体となっている部材でもない。

上記のように封止部５１０はタンク本体４１０の一部として構成されているため、封止部５１０の材質はタンク本体４１０の材質と同じである。このような材質は、比較例における材質と同じである。また、封止部５１０の熱膨張係数も、タンク本体４１０の熱膨張係数と同じである。

封止部５１０は、底面４１０ａへの切削などによってリング状に形成されており、底面４１０ａに連続している。封止部５１０は、タンク本体４１０の底面４１０ａからノズル４２の上面４２ａに向かって延在している突起である。

封止部５１０は、締結部材６００の締結によって上面４２ａに密着する密着面５１１を含む。密着面５１１は、リング状の平面である。本実施形態の上面４２ａは、比較例の上面４２ａと同様に平面である。なお、本実施形態の上面４２ａでは、上面４２ａのうちの密着面５１１が密着する領域のみが密着面５１１に密着する平面であってもよい。密着面５１１の面積は、封止部５１０を除く底面４１０ａ全体の面積よりも小さい。

封止部５１０は上記したように突起であるため、密着面５１１は封止部５１０を除く平面状の底面４１０ａに比べて上面４２ａの近くに位置している。従って、封止部５１０を除く底面４１０ａは密着面５１１よりも上面４２ａから離間しており、封止部５１０を除く底面４１０ａ及び上面４２ａの間には隙間が形成される。また、密着面５１１のみが上面４２ａに密着し、封止部５１０を除く底面４１０ａは上面４２ａとは非接触となり上面４２ａに対向して上面４２ａから離れて配置される。

密着面５１１の表面粗さＲｙは、例えば０．２μｍ－１．６μｍである。封止部５１０の高さと、封止部５１０の径方向における密着面５１１の幅との比は、例えば１：６である。図４においては、当該高さと幅とは、当該比の通りに図示されているものではない。密着面５１１が密着するノズル４２の上面４２ａの全体の表面粗さＲｙは、例えば０．２μｍ－１．６μｍである。なお、ノズル４２の上面４２ａのうちの密着面５１１が密着する領域のみ、表面粗さＲｙが例えば０．２μｍ－１．６μｍであってもよい。

リング状の封止部５１０は、タンク流路４１４及びノズル流路４２４の間の連通部４４０の中心軸を基準とする同一の円の円周上に位置し、連通部４４０を全周に渡って囲う。封止部５１０の内周面は、タンク流路４１４におけるタンク本体４１０の内周面と連続している。従って、封止部５１０の内周面は、タンク流路４１４における内周面の縁と連続しており、封止部５１０の内周面及びタンク流路４１４におけるタンク本体４１０の内周面の間には底面４１０ａが位置していない。

封止部５１０の中心軸を含む平面における封止部５１０の断面は、台形形状である。

台形形状の断面の一方の側面は、封止部５１０の外周面である。この側面は、封止部５１０の中心軸方向に対して傾斜しているテーパ面であり、底面４１０ａから上面４２ａに向かって徐々に封止部５１０の中心軸に近づいて位置している。従って、封止部５１０の外径は、封止部５１０の中心軸方向において、底面４１０ａから上面４２ａに向かって徐々に小さくされている。底面４１０ａに対する一方の側面の傾斜角度は、例えば３０°とされている。

また、台形形状の断面の他方の側面は、封止部５１０の内周面である。この側面は、封止部５１０の中心軸方向に対して一方の側面とは逆側に傾斜しているテーパ面であり、底面４１０ａから上面４２ａに向かって徐々に封止部５１０の中心軸から離れて位置している。従って、封止部５１０の内径は、封止部５１０の中心軸方向において、底面４１０ａから上面４２ａに向かって徐々に大きくされている。底面４１０ａに対する他方の側面の傾斜角度は、例えば３０°とされている。

このように、封止部５１０の径方向における上記断面の幅は、底面４１０ａから上面４２ａに向かって徐々に小さくされている。

また、封止部５１０は、封止部５１０の径方向において連通部４４０及び締結部材６００の間に位置している。

締結部材６００は、タンク流路４１４が連通部４４０を介してノズル流路４２４と連通するようにタンク本体４１０及びノズル４２を互いに締結する。締結部材６００は、締結によって上面４２ａを封止部５１０に押圧する。

封止部５１０は、締結部材６００による上面４２ａへの押圧によって塑性変形する。封止部５１０は、塑性変形によって連通部４４０の周囲における底面４１０ａ及び上面４２ａの間の空間を封止する。上面４２ａに密着する封止部５１０の密着面５１１の面圧をＰとし、封止部５１０によって封止される上記空間の内圧をＰｉとし、安全係数をαとする。例えば、内圧Ｐｉは４０ＭＰａであり、安全係数は０．２－２である。面圧Ｐは、以下の式から算出される。
Ｐ＝Ｐｉ（１＋α）。

４．２ 作用・効果
本実施形態のターゲット供給装置４０では、第１内包部材はタンク本体４１０であり、第２内包部材はノズル４２である。封止部５１０は、タンク本体４１０に一体に形成されており、底面４１０ａから上面４２ａに向かって延在し、上面４２ａに密着する。締結部材６００は、封止部５１０を上面４２ａに押圧する。封止部５１０は、締結部材６００による上面４２ａへの押圧によって塑性変形し、塑性変形によって連通部４４０の周囲における底面４１０ａ及び上面４２ａの間の空間を封止する。

封止部５１０がタンク本体４１０に一体に形成されているため、封止部５１０の材質はタンク本体４１０の材質と同じとなる。従って、ターゲット物質であるスズが封止部５１０に接触しても、封止部５１０は、タンク本体４１０に比べてターゲット物質との反応性が高くなってしまうことが抑制され、タンク本体４１０よりも先にターゲット物質によって侵食及び腐食されてしまうことが抑制され得る。タンク本体４１０よりも先における封止部５１０の侵食及び腐食が抑制されると、タンク本体４１０よりも早い封止部５１０の劣化が抑制され得る。また、劣化が抑制される封止部５１０は、締結部材６００による上面４２ａへの押圧によって塑性変形し、塑性変形によって上面４２ａに密着する。ノズル４２が切削などによって加工される際に、上面４２ａには加工によって微小な凹凸が形成されてしまう。密着面５１１は、塑性変形によってこの凹凸を埋めるように密着する。封止部５１０が密着すると、封止部５１０は、劣化によって密着が弱まる場合に比べて、封止部５１０とノズル４２の上面４２ａとの間における隙間の発生が抑制され得、隙間からのターゲット物質の漏れが抑制され得る。従って、本実施形態のターゲット供給装置４０では、ターゲット供給装置４０の使用可能期間が想定期間よりも短くなることが抑制され得る。

また、本実施形態のターゲット供給装置４０では、封止部５１０は、タンク本体４１０の一部である。従って、比較例のように封止部材５００がタンク本体４１０とは別部材である場合に比べて、ターゲット供給装置４０の部品点数が削減され得、封止部５１０及びタンク本体４１０における接触界面が削減され得、封止部５１０とタンク本体４１０の底面４１０ａとの間における隙間の発生が抑制され得、隙間からのターゲット物質の漏れが抑制され得る。

比較例のように封止部材５００がタンク本体４１０とは別部材である場合、封止部材５００によって封止されている空間における内圧が想定よりも高くなると、封止部材５００は、封止部材５００の径方向に伸び、封止部材５００のうち底面４１０ａ及び上面４２ａとの接触部が伸びによって摩耗し、接触部が摩耗によって劣化することがある。しかしながら、本実施形態のターゲット供給装置４０では、封止部５１０は、タンク本体４１０に一体に形成されている。従って、比較例のように封止部材５００がタンク本体４１０とは別部材である場合に比べて、封止部５１０の伸びが抑制され、底面４１０ａ及び上面４２ａとの接触部の摩耗による封止部５１０の劣化が抑制され得る。

また、本実施形態のターゲット供給装置４０では、面圧Ｐは上記式から算出される。

式から算出される面圧Ｐによって、封止部５１０の中心軸方向における封止部５１０の塑性変形量が規定される。従って、締結部材６００の過度な押圧による封止部５１０の破損が抑制され得る。

また、本実施形態のターゲット供給装置４０では、封止部５１０の外径は、タンク本体４１０からノズル４２に向かって徐々に小さくされる。また、封止部５１０の内径は、封止部５１０の中心軸方向において、外径とは逆に、タンク本体４１０からノズル４２に向かって徐々に大きくされている。

従って、封止部５１０の断面は台形となり得、封止部５１０の径方向における上記断面の幅は、タンク本体４１０からノズル４２に向かって徐々に小さくされ得る。この場合、封止部５１０の断面が矩形である場合に比べて、締結部材６００による封止部５１０の押圧時において、封止部５１０の縁部における応力集中が緩和され得る。縁部とは、密着面５１１及び封止部５１０の外周面における縁部と、密着面５１１及び封止部５１０の内周面における縁部とを示す。応力集中が緩和されると、応力集中による封止部５１０の破損が抑制され得る。なお、封止部５１０の外径はタンク本体４１０からノズル４２に向かって徐々に大きくされ、封止部５１０の内径はタンク本体４１０からノズル４２に向かって徐々に小さくされてもよい。

また、本実施形態のターゲット供給装置４０では、封止部５１０の内周面は、タンク本体４１０のタンク流路４１４におけるタンク本体４１０の内周面と連続している。

この場合、封止部５１０の内周面がタンク本体４１０の内周面と連続していない場合に比べて、封止部５１０をタンク本体４１０に形成する際におけるタンク本体４１０の加工面及び加工数が少なくなり得る。なお、封止部５１０の内周面は、必ずしもタンク本体４１０の内周面と連続している必要はない。従って、封止部５１０の最小内径は、タンク流路４１４におけるタンク本体４１０の内径と同一である必要はなく、タンク本体４１０の内径よりも大きくされてもよい。

また、本実施形態のターゲット供給装置４０では、封止部５１０が連続する底面４１０ａは、平面であり、封止部５１０の密着面５１１よりも上面４２ａから離間している。

従って、タンク本体４１０において、密着面５１１を除く底面４１０ａの上面４２ａへの密着が抑制され、上面４２ａへの密着面５１１の密着が封止部５１０の側方から目視にて確認され得る。また、底面４１０ａが離間せずに底面４１０ａも密着面として上面４２ａに密着する場合に比べて、締結部材６００の押圧力は密着面５１１に集中し易くなり、密着面５１１は塑性変形し易くなり、封止が確保され得る。

また、本実施形態のターゲット供給装置４０では、封止部５１０の密着面５１１及び上面４２ａは、平面である。

この場合、密着面５１１及び上面４２ａが平面ではない場合に比べて、密着面５１１は、容易に塑性変形し、上面４２ａに容易に密着し得る。なお、必ずしも密着面５１１及び上面４２ａは、平面である必要はない。

また、本実施形態のターゲット供給装置４０では、タンク本体４１０、ノズル４２、及び締結部材６００のそれぞれの熱膨張係数は、互いに同じである。また、封止部５１０がタンク本体４１０の一部であるため、封止部５１０の熱膨張係数はタンク本体４１０の熱膨張係数と同じである。締結部材６００の熱膨張係数がタンク本体４１０、及びノズル４２のそれぞれの熱膨張係数と異なると、締結の緩みの原因、または締結部材６００の剪断の原因となる場合がある。しかしながら、それぞれの熱膨張係数が互いに同じであるため、締結の緩み、または締結部材６００における剪断の発生が抑制され得る。

また、本実施形態のターゲット供給装置４０では、締結部材６００は、封止部５１０の径方向において封止部５１０よりも外側に配置される。

この場合、締結部材６００へのターゲット物質の接触が封止部５１０によって抑制され、接触による締結部材６００の侵食及び腐食が抑制され、侵食及び腐食による締結部材６００の劣化が抑制され得る。また、封止部５１０は封止部５１０によって封止されている空間における内圧が締結部材６００に掛かることを抑制し得、内圧による締結部材６００における剪断の発生が抑制され得る。

また、本実施形態のターゲット供給装置４０では、封止部５１０は、タンク本体４１０への加工によって形成されたタンク本体４１０の一部である。

従って、封止部５１０は、タンク本体４１０とは別部材ではないし、接合等によってタンク本体４１０と一体となっている部材でもない。封止部５１０が接合等によってタンク本体４１０と一体となり、封止部５１０によって封止されている空間における所定以上の内圧が封止部５１０に掛かると、接合が当該内圧によって解除され、接合解除前に比べて、封止部５１０がタンク本体４１０からずれ、封止が確保されない懸念が生じる。しかしながら、本実施形態の封止部５１０はタンク本体４１０の加工によって形成されるため、上記に比べて、内圧が封止部５１０に掛かっても、タンク本体４１０からの封止部材５００のずれが抑制され得、封止が確保され得る。

５．実施形態２のターゲット供給装置の説明
次に、実施形態２のターゲット供給装置４０の構成を説明する。なお、上記において説明した構成と同様の構成については同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明は省略する。

５．１ 構成
図５は、本実施形態におけるターゲット供給装置４０を含む一部の概略構成例を示す模式図である。図５では、図３と同様に、圧力調節器４３、ヒータ４４、及び温度センサ４５といったターゲット供給装置４０の構成の一部が省略されている。

本実施形態のターゲット供給装置４０では、実施形態１のターゲット供給装置４０と同様に、第１内包部材及び第１流路部材はタンク本体４１０であり、第１流路はタンク流路４１４であり、第２内包部材及び第２流路部材はノズル４２であり、第２流路はノズル流路４２４である。また、本実施形態のターゲット供給装置４０では、比較例のターゲット供給装置４０と同様に、第１内包部材の第１面はタンク本体４１０の底面４１０ａであり、第２内包部材の第２面はノズル４２の上面４２ａである。

本実施形態のタンク本体４１０の構成は、比較例のタンク本体４１０の構成と同じ、つまり封止部５１０が省略されていることを除いて実施形態１のタンク本体４１０の構成と同じとされる。

本実施形態のノズル４２の構成は、封止部５１０がノズル４２の一部でありノズル４２に一体に形成されていることを除いて実施形態１のノズル４２の構成と同じとされる。このように、本実施形態のターゲット供給装置４０では、封止部５１０の位置が実施形態１の封止部５１０の位置とは異なっている。

本実施形態のターゲット供給装置４０の構成として、本実施形態におけるノズル４２及びノズル４２の一部である封止部５１０の関係は、実施形態１におけるタンク本体４１０及びタンク本体４１０の一部である封止部５１０の関係と同様とされる。

本実施形態の封止部５１０は、実施形態１の封止部５１０とは上下に反転している。従って、封止部５１０の外径は底面４１０ａから上面４２ａに向かって徐々に大きくされ、封止部５１０の内径は底面４１０ａから上面４２ａに向かって徐々に小さくされている。このように、封止部５１０の径方向における断面の幅は、底面４１０ａから上面４２ａに向かって徐々に大きくされている。

本実施形態の締結部材６００は締結によって底面４１０ａに封止部５１０を押圧し、封止部５１０は締結部材６００による底面４１０ａへの押圧によって塑性変形する。

本実施形態の封止部５１０と封止部５１０に押圧されるタンク本体４１０との関係は、実施形態１の封止部５１０と封止部５１０に押圧されるノズル４２との関係と同様とされる。

５．２ 作用・効果
本実施形態のターゲット供給装置４０では、第１内包部材はタンク本体４１０であり、第２内包部材はノズル４２である。封止部５１０は、ノズル４２に一体に形成されており、上面４２ａから底面４１０ａに向かって延在し、底面４１０ａに密着する。締結部材６００は、封止部５１０を底面４１０ａに押圧する。封止部５１０は、締結部材６００による底面４１０ａへの押圧によって塑性変形し、塑性変形によって連通部４４０の周囲における底面４１０ａ及び上面４２ａの間の空間を封止する。

上記のように、本実施形態の封止部５１０と封止部５１０に押圧されるタンク本体４１０との関係は、実施形態１の封止部５１０と封止部５１０に押圧されるノズル４２との関係と同様とされる。従って、本実施形態の封止部５１０とタンク本体４１０との関係により得られる作用・効果は、実施形態１の封止部５１０とノズル４２との関係により得られる作用・効果と同様である。また、本実施形態におけるノズル４２及びノズル４２に一体に形成されている封止部５１０の関係は、実施形態１におけるタンク本体４１０及びタンク本体４１０に一体に形成されている封止部５１０の関係と同様とされる。従って、本実施形態におけるノズル４２及び封止部５１０の関係により得られる作用・効果は、実施形態１におけるタンク本体４１０及び封止部５１０の関係により得られる作用・効果と同様である。このように、本実施形態のターゲット供給装置４０では、封止部５１０がノズル４２に一体に形成されていても、実施形態１に示すように封止部５１０がタンク本体４１０に一体に形成されている場合と同様の作用・効果を得ることができる。

６．実施形態３のターゲット供給装置の説明
次に、実施形態３のターゲット供給装置４０の構成を説明する。なお、上記において説明した構成と同様の構成については同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明は省略する。

６．１ 構成
図６は、本実施形態におけるターゲット供給装置４０を含む一部の概略構成例を示す模式図である。図６では、図３と同様に、圧力調節器４３、ヒータ４４、及び温度センサ４５といったターゲット供給装置４０の構成の一部が省略されている。

本実施形態のターゲット供給装置４０では、実施形態１のターゲット供給装置４０と同様に、第１内包部材及び第１流路部材はタンク本体４１０であり、第１流路はタンク流路４１４であり、第２内包部材及び第２流路部材はノズル４２であり、第２流路はノズル流路４２４である。また、本実施形態のターゲット供給装置４０では、比較例のターゲット供給装置４０と同様に、第１内包部材の第１面はタンク本体４１０の底面４１０ａであり、第２内包部材の第２面はノズル４２の上面４２ａである。

本実施形態のターゲット供給装置４０では、ノズル４２の構成は実施形態１のノズル４２の構成と同じであるが、タンク本体４１０の構成は実施形態１のタンク本体４１０の構成とは異なる。具体的には、本実施形態のタンク本体４１０は、実施形態１のタンク本体４１０の一部である延在部７００をさらに含む。

延在部７００は、封止部５１０と同様に、タンク本体４１０への切削などの加工によってタンク本体４１０の一部として構成されており、タンク本体４１０に一体に形成されている。従って、延在部７００は、タンク本体４１０とは別部材ではないし、接合等によってタンク本体４１０と一体となっている部材でもない。

上記のように延在部７００はタンク本体４１０の一部として構成されているため、延在部７００の材質はタンク本体４１０の材質と同じである。また、延在部７００の熱膨張係数も、タンク本体４１０の熱膨張係数と同じである。

延在部７００は、封止部５１０と同様に、底面４１０ａへの切削などによってリング状に形成されており、底面４１０ａに連続している。延在部７００は、タンク本体４１０の底面４１０ａからノズル４２の上面４２ａに向かって延在している突起である。

延在部７００は、連通部４４０の中心軸を基準とする同一の円の円周上に位置している。延在部７００は、封止部５１０の径方向において締結部材６００よりも外側に位置しており、封止部５１０及び締結部材６００を全周に渡って囲う。従って、締結部材６００は、タンク流路４１４の径方向において封止部５１０及び延在部７００の間に配置される。

延在部７００の中心軸を含む平面における延在部７００の断面は、矩形形状である。断面が正方形形状とされる例を示しているが、断面の形状は、正方形形状や矩形形状に限定されない。延在部７００の平面状の当接面は、タンク本体４１０とノズル４２との締結前においてタンク本体４１０とノズル４２とが対向している状態では、封止部５１０の密着面５１１よりもノズル４２の上面４２ａから離間している。従って、図７に示すように、底面４１０ａからの延在部７００の高さは底面４１０ａからの封止部５１０の高さよりも小さくされており、延在部７００と封止部５１０との高さの差Ｈは例えば１０μｍ－１００μｍとなっている。

締結部材６００は、密着面５１１が上面４２ａに当接した後、延在部７００が上面４２ａに面当接するまで、ノズル４２をタンク本体４１０に押圧する。従って、延在部７００は、タンク本体４１０及びノズル４２の締結によって封止部５１０よりも後にノズル４２の上面４２ａと面当接する。

６．２ 作用・効果
本実施形態のターゲット供給装置４０では、延在部７００は、タンク本体４１０の一部であり、底面４１０ａから上面４２ａに向かって延在している。延在部７００は、タンク本体４１０及びノズル４２の締結によって封止部５１０よりも後にノズル４２の上面４２ａと当接する。

本実施形態のターゲット供給装置４０では、封止部５１０は、密着面５１１が上面４２ａに当接してから延在部７００が上面４２ａに当接するまでの間、塑性変形する。従って、封止部５１０の塑性変形量が封止部５１０の高さと延在部７００の高さとの差Ｈによって規定され得、塑性変形量が差Ｈによって規定されない場合に比べて塑性変形量の再現性が向上し得る。なお、延在部７００が上面４２ａに面当接する必要はなく、延在部７００が上面４２ａに向かって先細に構成され、延在部７００が上面４２ａに点状あるいは線状に当接してもよい。

本実施形態のターゲット供給装置４０では、延在部７００は、リング状であり、封止部５１０の径方向において締結部材６００よりも外側に位置し、封止部５１０と締結部材６００とを全周に渡って囲う。

この場合、延在部７００が締結部材６００の内側に配置されている場合に比べて、上面４２ａへの延在部７００の密着を締結部材６００の側方から目視にて容易に確認し得る。また、延在部７００がリング状であると、締結部材６００の側方であればどこからでも延在部７００が目視され得る。

ターゲット供給装置４０において、ターゲット供給装置４０の組み立て後に封止部５１０における封止の漏れを確認する場合、延在部７００には開口または溝が位置することが好ましい。開口は、延在部７００の径方向において延在部７００を貫通している。溝は、延在部７００の中心軸方向に窪んでいると共に、延在部７００の径方向において延在部７００を貫通している。このような開口または溝から、漏れが確認される。或いは、漏れを確認する場合、延在部７００はリング状である必要はない。例えば、複数の延在部７００がタンク本体４１０の中心軸周りにおいて互いに等間隔離れて位置し、複数の延在部７００の間の隙間から漏れが確認されてもよい。

７．実施形態４のターゲット供給装置の説明
次に、実施形態４のターゲット供給装置４０の構成を説明する。なお、上記において説明した構成と同様の構成については同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明は省略する。

７．１ 構成
図８は、本実施形態におけるターゲット供給装置４０を含む一部の概略構成例を示す模式図である。図８では、図３と同様に、圧力調節器４３、ヒータ４４、及び温度センサ４５といったターゲット供給装置４０の構成の一部が省略されている。

本実施形態のターゲット供給装置４０は、実施形態１のタンク本体４１０及び実施形態２のノズル４２を含む。従って、本実施形態のターゲット供給装置４０では、封止部５１０はタンク本体４１０及びノズル４２のそれぞれに構成される。また、本実施形態のターゲット供給装置４０は、タンク本体４１０及びノズル４２の間に配置されフィルタケース８００をさらに含む。

フィルタケース８００は、ターゲット物質を内包する内包部材であり、ターゲット物質が流れる流路部材でもある。以下に、フィルタケース８００について説明する。

フィルタケース８００は、筒状である。フィルタケース８００は、タンク流路４１４及びノズル流路４２４に連通するケース流路８０２と、ケース流路８０２に配置されるフィルタ８０４と、フィルタ８０４をフィルタケース８００に固定する固定部材８０６とを含む。

ケース流路８０２は、タンク流路４１４から流入するターゲット物質がノズル流路４２４に流出する供給路である。ケース流路８０２の一部はタンク流路４１４と連通し、一部の直径は、タンク流路４１４の直径よりも大きくされている。ケース流路８０２の残りの一部はノズル流路４２４と連通し、残りの一部の直径はノズル流路４２４の直径と同じにされている。残りの一部の直径は、ノズル流路４２４の直径よりも大きくてもよいし、一部の直径と同じにされてもよい。

フィルタ８０４は、フィルタ８０４を通過するターゲット物質をろ過し、ターゲット物質からパーティクルを除去する。パーティクルは、酸化スズといった金属酸化物である。このようなフィルタ８０４は、例えば、パーティクルを捕集するために、多孔質部材で構成されている。従って、フィルタ８０４には無数の貫通孔が位置しており、貫通孔の口径は例えば３μｍ－１０μｍである。また、フィルタ８０４の熱膨張係数とフィルタケース８００の熱膨張係数との差は、フィルタケース８００の熱膨張係数の２０％より小さいことが好ましい。

フィルタ８０４の外周面はケース流路８０２におけるフィルタケース８００の内周面に密着しており、フィルタ８０４の外周面及びフィルタケース８００の内周面の間は封止されている。

固定部材８０６は、フィルタ８０４に重ねられており、底面４１０ａに当接する。固定部材８０６は、タンク本体４１０及びフィルタケース８００が後述する締結部材６００ａによって締結される際に、底面４１０ａによってフィルタ８０４に向かって押圧される。これにより、固定部材８０６は、ケース流路８０２におけるフィルタケース８００の内周面に位置する段差にフィルタ８０４を押し付け、フィルタ８０４を段差に固定する。段差は、ケース流路８０２の一部及び残りの一部の間に位置する。固定部材８０６は、リング状のシムであり、ケース流路８０２の中心軸を基準とする同一の円の円周上に配置される。固定部材８０６は、封止部５１０の内側に配置される。従って、本実施形態におけるタンク本体４１０側の封止部５１０の内周面は、タンク本体４１０のタンク流路４１４におけるタンク本体４１０の内周面と連続していない。

上記のフィルタ８０４の外周面及びフィルタケース８００の内周面における封止と固定部材８０６の固定とによって、フィルタ８０４の外周面及びフィルタケース８００の内周面の間からフィルタケース８００外部へのターゲット物質の漏れが抑制される。なお、上記のフィルタ８０４の外周面及びフィルタケース８００の内周面における封止のみによって上記ターゲット物質の漏れが抑制されるのであれば、固定部材８０６は省略されてもよい。この場合、タンク本体４１０側の封止部５１０の内周面は、実施形態１と同様に、タンク本体４１０のタンク流路４１４におけるタンク本体４１０の内周面と連続してもよい。

フィルタケース８００の材質と固定部材８０６の材質とは、タンク本体４１０の材質及びノズル４２の材質と同じである。フィルタケース８００及び固定部材８０６の材質は、タンク本体４１０の材質及びノズル４２の材質と同じであることが好ましいが、スズとの反応性が低い上記材質であればタンク本体４１０の材質及びノズル４２の材質と異なってもよい。フィルタケース８００及び固定部材８０６の熱膨張係数は、タンク本体４１０及びノズル４２のそれぞれの熱膨張係数と同じであることが好ましい。

フィルタケース８００は、底面４１０ａに対向する上面８１０ａと、上面４２ａに対向する底面８２ａとを含む。

本実施形態の締結部材６００は、タンク本体４１０及びフィルタケース８００と、フィルタケース８００及びノズル４２とのそれぞれに配置される。説明の便宜上、それぞれの締結部材６００を、締結部材６００ａ，６００ｂとして説明する。締結部材６００ａ，６００ｂの構成は、締結部材６００の構成と同じとされる。

複数の締結部材６００ａは、タンク流路４１４とケース流路８０２とが互いに連通するように、フィルタケース８００及びタンク本体４１０を互いに締結する。複数の締結部材６００ａは、タンク流路４１４の中心軸周りにおいて互いに等間隔離れて配置される。

締結部材６００ａの熱膨張係数は、タンク本体４１０及びフィルタケース８００のそれぞれの熱膨張係数と同じである。

また、複数の締結部材６００ｂは、ケース流路８０２とノズル流路４２４とが互いに連通するように、フィルタケース８００及びノズル４２を互いに締結する。複数の締結部材６００ｂは、ノズル流路４２４の中心軸周りにおいて互いに等間隔離れて配置される。締結部材６００ｂは、締結部材６００ａよりも内側に配置される。締結部材６００ｂは、締結部材６００ａよりも外側に配置されてもよい。

締結部材６００ｂの熱膨張係数は、フィルタケース８００及びノズル４２のそれぞれの熱膨張係数と同じである。

ここで、締結部材６００ａによって締結されるタンク本体４１０及びフィルタケース８００について説明する。タンク本体４１０及びフィルタケース８００において、本実施形態のターゲット供給装置４０では、実施形態１のターゲット供給装置４０と同様に、第１内包部材及び第１流路部材はタンク本体４１０であり、第１流路はタンク流路４１４である。また、タンク本体４１０及びフィルタケース８００において、本実施形態のターゲット供給装置４０では、第２内包部材及び第２流路部材はフィルタケース８００となり、第２流路はケース流路８０２となる。また、第１面はタンク本体４１０の底面４１０ａとなり、第２面はフィルタケース８００の上面８１０ａとなる。従って、フィルタケース８００は実施形態１のノズル４２に相当し、ケース流路８０２は実施形態１のノズル流路４２４に相当し、上面８１０ａは実施形態１の上面４２ａに相当する。上面８１０ａの構成は、実施形態１の上面４２ａの構成と同じとされる。

封止部５１０は、実施形態１の封止部５１０と同様に、タンク本体４１０の底面４１０ａに連続する。封止部５１０は、タンク流路４１４及びケース流路８０２の間の連通部４４０ａの中心軸を基準とする同一の円の円周上に位置し、連通部４４０ａを全周に渡って囲う。また、封止部５１０は、封止部５１０の径方向において連通部４４０ａ及び締結部材６００ａの間に位置している。複数の締結部材６００ａは、フィルタケース８００をタンク本体４１０に向けて押し付けて、フィルタケース８００及びタンク本体４１０を互いに締結する。締結部材６００ａは、締結によって上面８１０ａを封止部５１０に押圧する。封止部５１０は、締結部材６００ａによる上面８１０ａへの押圧によって塑性変形する。封止部５１０は、塑性変形によってノズル流路４２４とケース流路８０２との連通部４４０ａの周囲における底面４１０ａ及び上面８１０ａの間の空間を封止する。

次に、締結部材６００ｂによって締結されるフィルタケース８００及びノズル４２について説明する。フィルタケース８００及びノズル４２において、本実施形態のターゲット供給装置４０では、実施形態２のターゲット供給装置４０と同様に、第２内包部材及び第２流路部材はノズル４２であり、第２流路はノズル流路４２４である。また、フィルタケース８００及びノズル４２において、本実施形態のターゲット供給装置４０では、第１内包部材及び第１流路部材はフィルタケース８００となり、第１流路はケース流路８０２となる。また、第１面はフィルタケース８００の底面８２ａとなり、第２面はノズル４２の上面４２ａとなる。従って、フィルタケース８００は実施形態２のタンク本体４１０に相当し、ケース流路８０２は実施形態２のタンク流路４１４に相当し、底面８２ａは実施形態２の底面４１０ａに相当する。底面８２ａの構成は、実施形態２の底面４１０ａの構成と同じとされる。

本実施形態のノズル４２の構成は、実施形態２のノズル４２の構成と同じとされている。従って、封止部５１０は、実施形態２の封止部５１０と同様に、ノズル４２の上面４２ａに連続する。封止部５１０は、ケース流路８０２及びノズル流路４２４の間の連通部４４０ｂの中心軸を基準とする同一の円の円周上に位置し、連通部４４０ｂを全周に渡って囲う。また、封止部５１０は、封止部５１０の径方向において連通部４４０ｂ及び締結部材６００ｂの間に位置している。複数の締結部材６００ｂは、ノズル４２をフィルタケース８００に向けて押し付けて、ノズル４２及びフィルタケース８００を互いに締結する。締結部材６００ｂは、締結によって底面８２ａに封止部５１０を押圧する。封止部５１０は、締結部材６００ｂによる底面８２ａへの押圧によって塑性変形する。封止部５１０は、塑性変形によってケース流路８０２とノズル流路４２４との連通部４４０ｂの周囲における底面８２ａ及び上面４２ａの間の空間を封止する。

７．２ 作用・効果
本実施形態のターゲット供給装置４０では、タンク本体４１０及びフィルタケース８００において、第１内包部材はタンク本体４１０であり、第２内包部材はフィルタケース８００である。封止部５１０は、タンク本体４１０に一体に形成されており、底面４１０ａから上面８１０ａに向かって延在し、上面８１０ａに密着する。締結部材６００ａは、上面８１０ａを封止部５１０に押圧する。封止部５１０は、締結部材６００ａによる上面８１０ａへの押圧によって塑性変形し、塑性変形によって連通部４４０ａの周囲における底面４１０ａ及び上面８１０ａの間の空間を封止する。

本実施形態のタンク本体４１０における封止部５１０と封止部５１０に押圧されるフィルタケース８００との関係は、実施形態１の封止部５１０と封止部５１０に押圧されるノズル４２との関係と同様とされる。従って、本実施形態の封止部５１０とフィルタケース８００との関係により得られる作用・効果は、実施形態１の封止部５１０とノズル４２との関係により得られる作用・効果と同様である。このように本実施形態のターゲット供給装置４０では、フィルタケース８００がタンク本体４１０に締結されても、実施形態１に示すように封止部５１０がノズル４２に押圧される場合と同様の作用・効果を得ることができる。

また、本実施形態のターゲット供給装置４０では、フィルタケース８００及びノズル４２において、第１内包部材はフィルタケース８００であり、第２内包部材はノズル４２である。封止部５１０は、ノズル４２に一体に形成されており、上面４２ａから底面８２ａに向かって延在し、底面４１０ａに密着する。締結部材６００ｂは、封止部５１０を底面８２ａに押圧する。封止部５１０は、締結部材６００ｂによる底面８２ａへの押圧によって塑性変形し、塑性変形によって４４０ｂの周囲における底面８２ａ及び上面４２ａの間の空間を封止する。

本実施形態のノズル４２における封止部５１０と封止部５１０に押圧されるフィルタケース８００との関係は、実施形態２の封止部５１０と封止部５１０に押圧されるタンク本体４１０との関係と同様とされる。従って、本実施形態のノズル４２における封止部５１０とフィルタケース８００との関係により得られる作用・効果は、実施形態２の封止部５１０とタンク本体４１０との関係により得られる作用・効果と同様である。このように本実施形態のターゲット供給装置４０では、フィルタケース８００がノズル４２に締結されても、実施形態２に示すように封止部５１０がタンク本体４１０に押圧される場合と同様の作用・効果を得ることができる。

以上、上記実施形態を例に説明したが、本開示はこれらに限定されるものではなく、適宜変更することが可能である。

実施形態１及び実施形態２の変形例として、図９に示すように、ターゲット供給装置４０は実施形態１のタンク本体４１０及び実施形態２のノズル４２を含み、実施形態１のタンク本体４１０と実施形態２のノズル４２とが互いに締結されてもよい。従って、封止部５１０は、実施形態１のように第１内包部材であるタンク本体４１０及び実施形態２のように第２内包部材であるノズル４２のそれぞれに一体に形成されている。２つの封止部５１０のうちの一方は、封止部５１０の径方向において、封止部５１０の他方の外側に位置する。図９では、ノズル４２における封止部５１０はタンク本体４１０における封止部５１０の外側に位置するが、それぞれの封止部５１０の位置は逆であってもよい。封止部５１０が２重に位置するため、封止の効果が高まる。なお、２つの封止部５１０が封止部５１０の中心軸方向に並んでおり、一方の封止部５１０が他方の封止部５１０に密着してもよい。実施形態１、実施形態２、及び上記変形例における封止部５１０によって、封止部５１０は、互いに離れて配置されるタンク本体４１０及びノズル４２の少なくとも一方に一体に形成されており、当該一方から他方に向かって延在し、延在側に位置する他方に密着すると理解できる。

封止部５１０の形成のため、タンク本体４１０とノズル４２とのうちの封止部５１０を含む部材が切削によって加工される。加工によって部材から削りカスが発生し、削りカスが当該部材の流路に溜まることがある。溜まった削りカスは流路を含む部材の洗浄によって除去され、流路における削りカスの溜まりは抑制される。削りカスは微細であるため、封止部５１０がノズル４２の一部である場合、ノズル４２が洗浄されても、一部の削りカスがノズル孔４２６に残り、ノズル孔４２６の詰まりの原因となり得る。従って、封止部５１０は、ノズル４２よりも、ノズル孔４２６の直径よりも大きい直径であるタンク流路４１４を含むタンク本体４１０の一部であることが好ましい。

実施形態３の変形例１として、図１０に示すように、延在部７００は、実施形態２のターゲット供給装置４０において、実施形態２の第２内包部材であるノズル４２に一体に形成されており、第２面である上面４２ａに連続してもよい。

実施形態３の変形例２として、図１１に示すように、延在部７００は、実施形態１及び実施形態２の変形例におけるタンク本体４１０及びノズル４２のそれぞれに一体に形成されており、底面４１０ａ及び上面４２ａのそれぞれに連続してもよい。なお、本変形例において、延在部７００は、底面４１０ａ及び上面４２ａのそれぞれに連続する必要はなく、底面４１０ａ及び上面４２ａのいずれか一方のみに連続してもよい。

実施形態３、及び上記実施形態３の変形例１，２における延在部７００によって、延在部７００は、第１内包部材であるタンク本体４１０及び第２内包部材であるノズル４２のうちの封止部５１０を含む内包部材に一体に形成されており、当該内包部材から当該内包部材とは別の内包部材に向かって延在すると理解できる。

実施形態３の変形例３として、延在部７００は、実施形態１のターゲット供給装置４０において実施形態１のノズル４２に一体に形成されており、上面４２ａに連続してもよいし、または実施形態２のターゲット供給装置４０において実施形態２のタンク本体４１０に一体に形成されており、底面４１０ａに連続してもよい。従って、延在部７００は、タンク本体４１０及びノズル４２のうちの封止部５１０を含まない部材に一体に形成されていると理解できる。

実施形態４の変形例１として、図１２に示すように、タンク本体４１０及びフィルタケース８００において、タンク本体４１０の構成は、実施形態２のタンク本体４１０の構成と同じとされる。また、本変形例における封止部５１０は、第２内包部材であるフィルタケース８００の一部として構成されており、フィルタケース８００に一体に形成されており、第２面である上面８１０ａに連続する。本変形例の封止部５１０と封止部５１０に押圧されるタンク本体４１０との関係は、実施形態４の封止部５１０と封止部５１０に押圧されるフィルタケース８００との関係と同様とされる。従って、本変形例の封止部５１０とタンク本体４１０との関係により得られる作用・効果は、実施形態４の封止部５１０とフィルタケース８００との関係により得られる作用・効果と同様である。また、本変形例におけるフィルタケース８００及びフィルタケース８００に一体に形成されている封止部５１０との関係は、実施形態４におけるタンク本体４１０及びタンク本体４１０に一体に形成されている封止部５１０との関係と同様とされる。従って、本変形例におけるフィルタケース８００及び封止部５１０の関係により得られる作用・効果は、実施形態４のタンク本体４１０及び封止部５１０の関係により得られる作用・効果と同様である。

実施形態４の変形例２として、図１３に示すように、タンク本体４１０及びフィルタケース８００において、ターゲット供給装置４０は実施形態４のタンク本体４１０及び実施形態４の変形例１のフィルタケース８００を含み、実施形態４のタンク本体４１０と実施形態４の変形例１のフィルタケース８００とが互いに締結されてもよい。従って、実施形態４の変形例２では、封止部５１０は、実施形態４のように第１内包部材であるタンク本体４１０及び実施形態４の変形例１のように第２内包部材であるフィルタケース８００のそれぞれに一体に形成されている。２つの封止部５１０のうちの一方は、封止部５１０の径方向において、封止部５１０の他方の外側に位置する。なお、２つの封止部５１０が封止部５１０の中心軸方向に並んでおり、一方の封止部５１０が他方の封止部５１０に密着してもよい。

実施形態４、及び実施形態４の変形例１，２における封止部５１０の位置によって、封止部５１０は、第１内包部材であるタンク本体４１０及び第２内包部材であるフィルタケース８００の少なくとも一方に一体に形成されていると理解できる。

実施形態４の変形例３として、図１４に示すように、フィルタケース８００及びノズル４２において、ノズル４２の構成は、実施形態１のノズル４２の構成と同じとされる。また、封止部５１０は、第１内包部材であるフィルタケース８００の一部として構成されており、フィルタケース８００に一体に形成されており、第１面である底面８２ａに連続する。本変形例の封止部５１０と封止部５１０に押圧されるノズル４２との関係は、実施形態４の封止部５１０と封止部５１０に押圧されるフィルタケース８００との関係と同様とされる。従って、本変形例の封止部５１０とノズル４２との関係により得られる作用・効果は、実施形態４の封止部５１０とフィルタケース８００との関係により得られる作用・効果と同様である。また、本変形例におけるフィルタケース８００及びフィルタケース８００に一体に形成されている封止部５１０の関係は、実施形態４におけるノズル４２及びノズル４２に一体に形成されている封止部５１０の関係と同様とされる。従って、本変形例のフィルタケース８００及び封止部５１０の関係により得られる作用・効果は、実施形態４のノズル４２及び封止部５１０の関係により得られる作用・効果と同様である。

実施形態４の変形例４として、図１５に示すように、フィルタケース８００及びノズル４２において、ターゲット供給装置４０は実施形態４のノズル４２及び実施形態４の変形例３のフィルタケース８００を含み、実施形態４のノズル４２と実施形態４の変形例３のフィルタケース８００とが互いに締結されてもよい。従って、実施形態４の変形例４では、封止部５１０は、実施形態４の変形例３のように第１内包部材であるフィルタケース８００及び実施形態４のように第２内包部材であるノズル４２のそれぞれに一体に形成されている。２つの封止部５１０のうちの一方は、封止部５１０の径方向において、封止部５１０の他方の外側に位置する。なお、２つの封止部５１０が封止部５１０の中心軸方向に並んでおり、一方の封止部５１０が他方の封止部５１０に密着してもよい。

実施形態４、及び実施形態４の変形例３，４における封止部５１０の位置によって、封止部５１０は、第１内包部材であるフィルタケース８００及び第２内包部材であるノズル４２の少なくとも一方に一体に形成されていると理解できる。

実施形態４の変形例５として、図１６、図１７、及び図１８に示すように、延在部７００は、第１内包部材であるタンク本体４１０と第２内包部材であるフィルタケース８００とのうちの封止部５１０を含む内包部材に一体に形成されていてもよい。図１６に示すタンク本体４１０及びフィルタケース８００の構成は、実施形態４のタンク本体４１０及びフィルタケース８００の構成と同じとされる。図１７に示すタンク本体４１０及びフィルタケース８００の構成は、実施形態４の変形例１のタンク本体４１０及びフィルタケース８００の構成と同じとされる。図１８に示すタンク本体４１０及びフィルタケース８００の構成は、実施形態４の変形例２のタンク本体４１０及びフィルタケース８００の構成と同じとされる。図１８に示す変形例において、延在部７００は、底面４１０ａ及び上面８１０ａのそれぞれに連続する必要はなく、底面４１０ａ及び上面８１０ａのいずれか一方に連続してもよい。

実施形態４の変形例６として、図１９、図２０、及び図２１に示すように、延在部７００は、第１内包部材であるフィルタケース８００と第２内包部材であるノズル４２とのうちの封止部５１０を含む内包部材に一体に形成されていてもよい。図１９に示すノズル４２及びフィルタケース８００の構成は、実施形態４のノズル４２及びフィルタケース８００の構成と同じとされる。図２０に示すノズル４２及びフィルタケース８００の構成は、実施形態４の変形例３のノズル４２及びフィルタケース８００の構成と同じとされる。図２１に示すノズル４２及びフィルタケース８００の構成は、実施形態４の変形例４のノズル４２及びフィルタケース８００の構成と同じとされる。図２１に示す変形例において、延在部７００は、底面８２ａ及び上面４２ａのそれぞれに連続する必要はなく、底面８２ａ及び上面４２ａのいずれか一方のみに連続してもよい。

実施形態４の変形例７として、延在部７００は、第１内包部材であるタンク本体４１０と第２内包部材であるフィルタケース８００とのうちの封止部５１０を含まない内包部材に一体に形成されていてもよい。

実施形態４の変形例８として、延在部７００は、第１内包部材であるフィルタケース８００と第２内包部材であるノズル４２とのうちの封止部５１０を含まない内包部材に一体に形成されていてもよい。

実施形態４及び実施形態４の各変形例において、封止部５１０は、タンク本体４１０及びフィルタケース８００側と、フィルタケース８００及び第２内包部材であるノズル４２側との両方に位置する必要はなく、どちらか一方に位置してもよい。

封止部５１０の塑性変形のために、タンク本体４１０とフィルタケース８００とノズル４２とにおいて、硬さに差が生じていてもよい。

タンク本体４１０とフィルタケース８００とノズル４２とは、１つの締結部材６００によって締結されてもよい。

タンク本体４１０が筒状で、タンク本体４１０の内部空間がノズル流路４２４と連通していてもよい。この場合、タンク本体４１０の内部空間は第１流路となる。また、封止部５１０は、上面４２ａに対向するタンク本体４１０の端面に連続すればよい。

上記の説明は、制限ではなく単なる例示を意図している。従って、特許請求の範囲を逸脱することなく本開示の実施形態に変更を加えることができることは、当業者には明らかである。また、本開示の実施形態を組み合わせて使用することも当業者には明らかである。
本明細書及び特許請求の範囲全体で使用される用語は、明記が無い限り「限定的でない」用語と解釈されるべきである。たとえば、「含む」又は「含まれる」という用語は、「含まれるものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。「有する」という用語は、「有するものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。また、不定冠詞「１つの」は、「少なくとも１つ」又は「１又はそれ以上」を意味すると解釈されるべきである。また、「Ａ、Ｂ及びＣの少なくとも１つ」という用語は、「Ａ」「Ｂ」「Ｃ」「Ａ＋Ｂ」「Ａ＋Ｃ」「Ｂ＋Ｃ」又は「Ａ＋Ｂ＋Ｃ」と解釈されるべきである。さらに、それらと「Ａ」「Ｂ」「Ｃ」以外のものとの組み合わせも含むと解釈されるべきである。

Claims (6)

1. ターゲット物質を内包する第１内包部材と、
   前記第１内包部材から流れ込む前記ターゲット物質を内包する第２内包部材と、
   前記第２内包部材に設けられる凹部に配置され、前記第１内包部材から流れ込む前記ターゲット物質をろ過するフィルタと、
   前記第１内包部材及び前記第２内包部材の一方に一体に形成されており、前記一方の内包部材から他方の内包部材に向かって延在し、前記第１内包部材及び前記第２内包部材の間の連通部を全周に渡って囲い、前記他方の内包部材に密着するリング状の封止部と、
   前記フィルタ及び前記第１内包部材に当接し、前記連通部を全周に渡って囲うリング状の固定部材と、
   前記第１内包部材が前記連通部を介して前記第２内包部材と連通するように前記第１内包部材及び前記第２内包部材を互いに締結し、締結によって前記他方の内包部材に前記封止部を押圧する締結部材と、
   を備え、
   前記封止部は、前記締結部材による前記他方の内包部材への押圧によって塑性変形し、塑性変形によって前記連通部の周囲における前記第１内包部材及び前記第２内包部材の間の空間を封止し、
   前記固定部材は、前記締結部材による第１内包部材からの押圧力により、前記フィルタを前記第２内包部材へ押圧する
   ターゲット供給装置。
2. 請求項１に記載のターゲット供給装置であって、
   前記一方の内包部材のうちの前記封止部が連続する面は、平面であり、前記他方の内包部材に密着する前記封止部の密着面よりも前記他方の内包部材から離間している。
3. 請求項１に記載のターゲット供給装置であって、
   前記他方の内包部材に密着する前記封止部の密着面及び前記他方の内包部材のうちの前記密着面が密着する面は、平面である。
4. 請求項１に記載のターゲット供給装置であって、
   前記第１内包部材、前記第２内包部材、及び前記締結部材のそれぞれの熱膨張係数は、互いに同じである。
5. プラズマ生成領域を含むチャンバ装置と、
   前記プラズマ生成領域にターゲット物質を供給するターゲット供給装置と、
   前記プラズマ生成領域において前記ターゲット物質からプラズマが生成されるように前記ターゲット物質にレーザ光を照射するレーザ装置と、
   を備え、
   前記ターゲット供給装置は、
   ターゲット物質を内包する第１内包部材と、
   前記第１内包部材から流れ込む前記ターゲット物質を内包する第２内包部材と、
   前記第２内包部材に設けられる凹部に配置され、前記第１内包部材から流れ込む前記ターゲット物質をろ過するフィルタと、
   前記第１内包部材及び前記第２内包部材の一方に一体に形成されており、前記一方の内包部材から他方の内包部材に向かって延在し、前記第１内包部材及び前記第２内包部材の間の連通部を全周に渡って囲い、前記他方の内包部材に密着するリング状の封止部と、
   前記フィルタ及び前記第１内包部材に当接し、前記連通部を全周に渡って囲うリング状の固定部材と、
   前記第１内包部材が前記連通部を介して前記第２内包部材と連通するように前記第１内包部材及び前記第２内包部材を互いに締結し、締結によって前記他方の内包部材に前記封止部を押圧する締結部材と、
   を備え、
   前記封止部は、前記締結部材による前記他方の内包部材への押圧によって塑性変形し、塑性変形によって前記連通部の周囲における前記第１内包部材及び前記第２内包部材の間の空間を封止し、
   前記固定部材は、前記締結部材による第１内包部材からの押圧力により、前記フィルタを前記第２内包部材へ押圧する
   極端紫外光生成装置。
6. プラズマ生成領域を含むチャンバ装置と、
   前記プラズマ生成領域にターゲット物質を供給するターゲット供給装置と、
   前記プラズマ生成領域において前記ターゲット物質からプラズマが生成されるように前記ターゲット物質にレーザ光を照射するレーザ装置と、
   を備え、
   前記ターゲット供給装置は、
   ターゲット物質を内包する第１内包部材と、
   前記第１内包部材から流れ込む前記ターゲット物質を内包する第２内包部材と、
   前記第２内包部材に設けられる凹部に配置され、前記第１内包部材から流れ込む前記ターゲット物質をろ過するフィルタと、
   前記第１内包部材及び前記第２内包部材の一方に一体に形成されており、前記一方の内包部材から他方の内包部材に向かって延在し、前記第１内包部材及び前記第２内包部材の間の連通部を全周に渡って囲い、前記他方の内包部材に密着するリング状の封止部と、
   前記フィルタ及び前記第１内包部材に当接し、前記連通部を全周に渡って囲うリング状の固定部材と、
   前記第１内包部材が前記連通部を介して前記第２内包部材と連通するように前記第１内包部材及び前記第２内包部材を互いに締結し、締結によって前記他方の内包部材に前記封止部を押圧する締結部材と、
   を備え、
   前記封止部は、前記締結部材による前記他方の内包部材への押圧によって塑性変形し、塑性変形によって前記連通部の周囲における前記第１内包部材及び前記第２内包部材の間の空間を封止し、
   前記固定部材は、前記締結部材による第１内包部材からの押圧力により、前記フィルタを前記第２内包部材へ押圧する
   極端紫外光生成装置によって、前記ターゲット物質に前記レーザ光を照射することによって前記プラズマを生成し、前記プラズマから生成される極端紫外光を露光装置に出射し、
   電子デバイスを製造するために、前記露光装置によって感光基板上に前記極端紫外光を露光すること
   を含む電子デバイスの製造方法。
   

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