JP7496839B2 - 特にマイクロリソグラフィ投影露光装置用のミラー - Google Patents
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Description
光学有効面と、
ミラー基板と、
光学有効面に入射した電磁放射線を反射する反射層系と、
ミラー基板と反射層系との間に配置された少なくとも1つの圧電層であり、圧電層の反射層系側に位置する第1電極構成体及び圧電層のミラー基板側に位置する第2電極構成体により局所的に可変の変形を発生させる電界を印加されることが可能な少なくとも1つの圧電層と
を備え、上記電極構成体の一方に、当該電極構成体に沿って電位の連続したプロファイルを設定するためのメディエータ層が割り当てられ、且つ
上記メディエータ層は、少なくとも2つの相互に電気的に絶縁された領域を有する。
ミラー基板と、
光学有効面に入射した電磁放射線を反射する反射層系と、
ミラー基板と反射層系との間に配置された少なくとも1つの圧電層であり、圧電層の反射層系側に位置する第1電極構成体及びそのミラー基板側に位置する第2電極構成体により局所的に可変の変形を発生させる電界を印加されることが可能な少なくとも1つの圧電層と
を備え、上記電極構成体の一方に、当該電極構成体に沿って電位の少なくとも領域的に連続したプロファイルを設定するためのメディエータ層が割り当てられ、
メディエータ層を割り当てられた電極構成体は、複数の電極を有し、電極のそれぞれに、他方の電極構成体に対する電圧をリード線により印加することが可能であり、且つ
各電位を少なくとも部分的に遮蔽する遮蔽電極が、異なる電極又は異なる電極の集合体間にいずれの場合も配置されるミラーに関する。
ミラー基板を用意するステップと、
ミラー基板に圧電層と第1及び第2電極構成体とを施すステップであり、圧電層のミラー基板とは反対側に位置する第1電極構成体及び圧電層のミラー基板側に位置する第2電極構成体により、局所的に可変の変形を発生させる電界を圧電層に印加することが可能であるステップと、
上記電極構成体の一方に沿って電位の少なくとも領域的に連続したプロファイルを設定するためのメディエータ層を、少なくとも2つの相互に電気的に絶縁された領域を有するように施すステップと、
光学有効面に入射した作動波長を有する電磁放射線を反射する反射積層体を施すステップと
を含む方法に関する。
Claims (23)
- 光学有効面(11、31)を有する、特にマイクロリソグラフィ投影露光装置用のミラーであって、
ミラー基板(12、32)と、
前記光学有効面(11、31)に入射した電磁放射線を反射する反射層系(21、41)と、
前記ミラー基板(12、32)と前記反射層系(21、41)との間に配置された少なくとも1つの圧電層(16、36)であり、該圧電層(16、36)の前記反射層系(21、41)側に位置する第1電極構成体及び前記圧電層(16、36)の前記ミラー基板(12、32)側に位置する第2電極構成体により局所的に可変の変形を発生させる電界を印加されることが可能な少なくとも1つの圧電層(16、36)と
を備え、前記電極構成体の一方に、該電極構成体に沿って電位の少なくとも領域的に連続したプロファイルを設定し、200ジーメンス/メートル未満の導電率を有するメディエータ層(17、37、51、52、53、71)が割り当てられ、且つ
該メディエータ層(17、37、51、52、53、71)は、少なくとも2つの相互に電気的に絶縁された領域(17a、17b、17c、…;37a、37b、37c、…)を有し、前記メディエータ層(17、37、51、52、53、71)のこれらの電気的に絶縁された領域(17a、17b、17c、…;37a、37b、37c、…)は、同一の連続的な圧電層(16、36)に割り当てられるミラー。 - 請求項1に記載のミラーにおいて、前記メディエータ層(17、37、51、52、53、71)を割り当てられた前記電極構成体は、複数の電極(20、40、41、42、43、70)を有し、該電極のそれぞれに、他方の電極構成体(14、34)に対する電圧をリード線(19、39)により印加することが可能であることを特徴とするミラー。
- 請求項2に記載のミラーにおいて、前記メディエータ層(17、37、51、52、53、71)は、複数の相互に電気的に絶縁された領域を提供するよう構造化され、該領域は、異なる電極(20、40、41、42、43、70)又は異なる電極(20、40、41、42、43、70)の集合体に割り当てられることを特徴とするミラー。
- 請求項3に記載のミラーにおいて、前記構造化により、直接隣接した電極(20、40、41、42、43、70)間でのみ前記メディエータ層(17、37、51、52、53、71)を介して電流を流すことができることを特徴とするミラー。
- 請求項3に記載のミラーにおいて、前記構造化により、同じ集合体にそれぞれ関連する電極(20、40、41、42、43、70)間でのみ前記メディエータ層(17、37、51、52、53、71)を介して電流を流すことができることを特徴とするミラー。
- 請求項5に記載のミラーにおいて、各集合体の電極数は、前記メディエータ層(17、37、51、52、53、71)にわたって変わることを特徴とするミラー。
- 請求項1~6のいずれか1項に記載のミラーにおいて、前記メディエータ層(17)の前記相互に電気的に絶縁された領域(17a、17b、17c、…)は、該領域(17a、17b、17c、…)間に位置する電気絶縁材料により相互に分離されることを特徴とするミラー。
- 請求項1~7のいずれか1項に記載のミラーにおいて、前記メディエータ層(37)の前記相互に電気的に絶縁された領域(37a、37b、37c、…)は、1000を超える誘電率εrを有する材料により相互に分離されることを特徴とするミラー。
- 請求項1~8のいずれか1項に記載のミラーにおいて、前記圧電層(36)は、前記メディエータ層(37)の前記相互に電気的に絶縁された領域(37a、37b、37c、…)間に延びることを特徴とするミラー。
- 請求項1~9のいずれか1項に記載のミラーにおいて、前記相互に電気的に絶縁された領域(17a、17b、17c、…;37a、37b、37c、…)を分離する電気絶縁部(25、45)が、前記圧電層(16、36)と平行な平面で、10μm未満の最大寸法を有することを特徴とするミラー。
- 請求項2~10のいずれか1項に記載のミラーにおいて、各電位を少なくとも部分的に遮蔽する遮蔽電極(72)が、異なる電極(70)又は異なる電極(70)の集合体間にいずれの場合も配置されることを特徴とするミラー。
- 請求項11に記載のミラーにおいて、場合によっては、規定電圧が前記遮蔽電極(72)に印加され得るか、又は該遮蔽電極(72)がゼロ電圧で作動され得ることを特徴とするミラー。
- 光学面(11、31)を有する、特にマイクロリソグラフィ投影露光装置用のミラーであって、
ミラー基板(12、32)と、
前記光学有効面(11、31)に入射した電磁放射線を反射する反射層系(21、41)と、
前記ミラー基板(12、32)と前記反射層系(21、41)との間に配置された少なくとも1つの圧電層(16、36)であり、該圧電層(16)の前記反射層系(21)側に位置する第1電極構成体及び前記圧電層(16、36)の前記ミラー基板(12、32)側に位置する第2電極構成体により局所的に可変の変形を発生させる電界を印加されることが可能な少なくとも1つの圧電層(16、36)と
を備え、前記電極構成体の一方に、当該電極構成体に沿って電位の少なくとも領域的に連続したプロファイルを設定するためのメディエータ層(71)が割り当てられ、
該メディエータ層(71)を割り当てられた前記電極構成体は、複数の電極(70)を有し、該電極のそれぞれに、他方の電極構成体に対する電圧をリード線により印加することが可能であり、且つ
各電位を少なくとも部分的に遮蔽する遮蔽電極(72)が、異なる電極(70)又は異なる電極(70)の集合体間にいずれの場合も配置されるミラー。 - 請求項1~13のいずれか1項に記載のミラーにおいて、前記メディエータ層(17、37、51、52、53、71)の材料は、酸化チタン、窒化ガリウム、酸化ガリウム、窒化アルミニウム、酸化アルミニウムと、ランタン(La)、マンガン(Mn)、コバルト(Co)、カルシウム(Ca)、ストロンチウム(Sr)、鉄(Fe)、銅(Cu)、又はニッケル(Ni)を含む混合酸化物とを含む群から選択されることを特徴とするミラー。
- 請求項1~14のいずれか1項に記載のミラーにおいて、該ミラー(10、30)は、30nm未満の作動波長用に設計されることを特徴とするミラー。
- 請求項1~15のいずれか1項に記載のミラーにおいて、既定の所望のプロファイルからの最大偏差が2%未満であるように電界が前記圧電層(16、36)に印加されることにより、局所的に可変の変位を発生させることが可能であることを特徴とするミラー。
- 請求項1~16のいずれか1項に記載のミラーにおいて、該ミラーの前記光学使用面とミラーエッジとの間の距離が、10mm未満であることを特徴とするミラー。
- 請求項1~17のいずれか1項に記載のミラーにおいて、前記メディエータ層(17、37)は、10kΩ未満の平均シート抵抗を有することを特徴とするミラー。
- 請求項1~18のいずれか1項に記載のミラーにおいて、該ミラーは、マイクロリソグラフィ投影露光装置(600、700)用のミラー(10、30)であることを特徴とするミラー。
- マイクロリソグラフィ投影露光装置(600、700)の光学系であって、請求項1~19のいずれか1項に記載のミラー(10、30)を有することを特徴とする光学系。
- 照明装置及び投影レンズを備えたマイクロリソグラフィ投影露光装置(600、700)であって、請求項20に記載の光学系を備えることを特徴とするマイクロリソグラフィ投影露光装置。
- ミラーを製造する方法であって、
ミラー基板(12、32)を用意するステップと、
該ミラー基板(12、32)に圧電層(16、36)と第1及び第2電極構成体とを施すステップであり、前記圧電層(16、36)の前記ミラー基板(12、32)とは反対側に位置する前記第1電極構成体及び前記圧電層(16、36)の前記ミラー基板(12、32)側に位置する前記第2電極構成体により、局所的に可変の変形を発生させる電界を前記圧電層(16、36)に印加することが可能であるステップと、
前記電極構成体の一方に沿った電位の少なくとも領域的に連続したプロファイルを設定し、200ジーメンス/メートル未満の導電率を有するメディエータ層(17、37)を、該メディエータ層(17、37)が少なくとも2つの相互に電気的に絶縁された領域(17a、17b、17c、…、37a、37b、37c、…)を有し、前記メディエータ層(17、37、51、52、53、71)のこれらの電気的に絶縁された領域(17a、17b、17c、…;37a、37b、37c、…)は、同一の連続的な圧電層(16、36)に割り当てられるように施すステップと、
光学有効面(11、31)に入射した作動波長を有する電磁放射線を反射する反射積層体(21、41)を施すステップと
を含む方法。 - 請求項22に記載の方法において、前記メディエータ層(17、37)を施すステップは、該メディエータ層を構造化するステップを含み、該構造化は、リソグラフィにより又はレーザアブレーションを用いて実行されることを特徴とする方法。
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