JP7484782B2 - 感光性樹脂組成物 - Google Patents
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Description
[1] (A)分子内にフェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂、
(B)分子中に少なくとも2つ以上のアルコキシメチル基を含有する化合物、及び
(C)光酸発生剤、を含有する感光性樹脂組成物であって、
(A)成分が、下記式(A-1)で表される構造を含む化合物、式(A-2)で表される構造を含む化合物、及び式(A-3)で表される構造を有する化合物を含有する、感光性樹脂組成物。
式(A-2)中、R2は、それぞれ独立に、下記式(b)で表される2価の基、下記式(c)で表される2価の基、下記式(b)で表される2価の基と下記式(c)で表される2価の基との組み合わせからなる2価の基、下記式(a)で表される2価の基と下記式(b)で表される2価の基との組み合わせからなる2価の基、又は下記式(a)で表される2価の基と下記式(c)で表される2価の基との組み合わせからなる2価の基を表し、X2はそれぞれ独立に置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、ハロゲン原子、又は置換基を有していてもよい1価の複素環基を表す。n2は、0~4の整数を表し、m2は1~200の整数を表す。*は結合手を表す。
式(A-3)中、R3は、下記式(a)で表される2価の基、下記式(b)で表される2価の基、下記式(c)で表される2価の基、又はこれらの組み合わせからなる2価の基を表し、X3及びX4は、それぞれ独立に置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、ハロゲン原子、又は置換基を有していてもよい1価の複素環基を表す。n3及びn4は、それぞれ独立に0~4の整数を表す。
式(b)中、X11はそれぞれ独立に置換基を有していてもよいアルキル基を表す。p1は、0~4の整数を表す。*は結合手を表す。
式(c)中、X12及びX13はそれぞれ独立に置換基を有していてもよいアルキル基を表す。p2及びp3は、それぞれ独立に0~4の整数を表す。*は結合手を表す。
[2] 式(A-1)で表される構造を含む化合物の含有量が、(A)成分全体を100質量部としたとき、5質量%以上85質量%以下である、[1]に記載の感光性樹脂組成物。
[3] 式(A-2)で表される構造を含む化合物の含有量が、(A)成分全体を100質量部としたとき、6質量%以上80質量%以下である、[1]又は[2]に記載の感光性樹脂組成物。
[4] 式(A-3)で表される構造を有する化合物の含有量が、(A)成分全体を100質量部としたとき、6質量%以上80質量%以下である、[1]~[3]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[5] さらに、(D)有機充填材、及び(E)無機充填材のいずれかを含有する、[1]~[4]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[6] (B)成分が、分子中に少なくとも2つ以上のアルコキシメチル基を含有するアミノ樹脂を含有する、[1]~[5]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[7] (B)成分が、メラミン樹脂を含有する、[1]~[6]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[8] 支持体と、該支持体上に設けられた、[1]~[7]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂組成物層と、を有する支持体付き感光性フィルム。
[9] [1]~[7]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層を含むプリント配線板。
[10] 絶縁層が、ソルダーレジストである、[9]に記載のプリント配線板。
[11] [9]又は[10]に記載のプリント配線板を含む、半導体装置。
[12] 回路基板上に、[1]~[7]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂組成物層を形成する工程と、
感光性樹脂組成物層に活性光線を照射して硬化させる工程と、
硬化した感光性樹脂組成物層を現像する工程と、を含む、プリント配線板の製造方法。
本発明の感光性樹脂組成物は、(A)分子内にフェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂、(B)分子中に少なくとも2つ以上のアルコキシメチル基を含有する化合物、及び(C)光酸発生剤、を含有する感光性樹脂組成物であって、(A)成分が、下記式(A-1)で表される構造を含む化合物、式(A-2)で表される構造を含む化合物、及び式(A-3)で表される構造を有する化合物を含有する。
式(A-2)中、R2は、それぞれ独立に、下記式(b)で表される2価の基、下記式(c)で表される2価の基、下記式(b)で表される2価の基と下記式(c)で表される2価の基の組み合わせからなる2価の基、下記式(a)で表される2価の基と下記式(b)で表される2価の基との組み合わせからなる2価の基、又は下記式(a)で表される2価の基と下記式(c)で表される2価の基との組み合わせからなる2価の基を表し、X2はそれぞれ独立に置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、ハロゲン原子、又は置換基を有していてもよい1価の複素環基を表す。n2は、0~4の整数を表し、m2は1~200の整数を表す。*は結合手を表す。
式(A-3)中、R3は、下記式(a)で表される2価の基、下記式(b)で表される2価の基、下記式(c)で表される2価の基、又はこれらの組み合わせからなる2価の基を表し、X3及びX4は、それぞれ独立に置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、ハロゲン原子、又は置換基を有していてもよい1価の複素環基を表す。n3及びn4は、それぞれ独立に0~4の整数を表す。
式(b)中、X11はそれぞれ独立に置換基を有していてもよいアルキル基を表す。p1は、0~4の整数を表す。*は結合手を表す。
式(c)中、X12及びX13はそれぞれ独立に置換基を有していてもよいアルキル基を表す。p2及びp3は、それぞれ独立に0~4の整数を表す。*は結合手を表す。
感光性樹脂組成物は、(A)成分として分子内にフェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂を含有する。(A)成分は、下記式(A-1)で表される構造を含む化合物、式(A-2)で表される構造を含む化合物、及び式(A-3)で表される構造を有する化合物を含有する。
式(A-2)中、R2は、それぞれ独立に、下記式(b)で表される2価の基、下記式(c)で表される2価の基、下記式(b)で表される2価の基と下記式(c)で表される2価の基の組み合わせからなる2価の基、下記式(a)で表される2価の基と下記式(b)で表される2価の基との組み合わせからなる2価の基、又は下記式(a)で表される2価の基と下記式(c)で表される2価の基との組み合わせからなる2価の基を表し、X2はそれぞれ独立に置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、ハロゲン原子、又は置換基を有していてもよい1価の複素環基を表す。n2は、0~4の整数を表し、m2は1~200の整数を表す。*は結合手を表す。
式(A-3)中、R3は、下記式(a)で表される2価の基、下記式(b)で表される2価の基、下記式(c)で表される2価の基、又はこれらの組み合わせからなる2価の基を表し、X3及びX4は、それぞれ独立に置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、ハロゲン原子、又は置換基を有していてもよい1価の複素環基を表す。n3及びn4は、それぞれ独立に0~4の整数を表す。
式(b)中、X11はそれぞれ独立に置換基を有していてもよいアルキル基を表す。p1は、0~4の整数を表す。*は結合手を表す。
式(c)中、X12及びX13はそれぞれ独立に置換基を有していてもよいアルキル基を表す。p2及びp3は、それぞれ独立に0~4の整数を表す。*は結合手を表す。
感光性樹脂組成物に含まれる(A)成分は、(A-1)成分として、下記式(A-1)で表される構造を含む化合物を含有する。(A-1)成分は、1種単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
樹脂の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により、ポリスチレン換算の値として測定できる。
感光性樹脂組成物に含まれる(A)成分は、(A-2)成分として、下記式(A-2)で表される構造を含む化合物を含有する。(A-2)成分は、1種単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
式(b)中、X11はそれぞれ独立に置換基を有していてもよいアルキル基を表す。p1は、0~4の整数を表す。*は結合手を表す。
式(c)中、X12及びX13はそれぞれ独立に置換基を有していてもよいアルキル基を表す。p2及びp3は、それぞれ独立に0~4の整数を表す。*は結合手を表す。
感光性樹脂組成物に含まれる(A)成分は、(A-3)成分として、下記式(A-3)で表される構造を有する化合物を含有する。(A-3)成分は、1種単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
式(b)中、X11はそれぞれ独立に置換基を有していてもよいアルキル基を表す。p1は、0~4の整数を表す。*は結合手を表す。
式(c)中、X12及びX13はそれぞれ独立に置換基を有していてもよいアルキル基を表す。p2及びp3は、それぞれ独立に0~4の整数を表す。*は結合手を表す。
感光性樹脂組成物は、(B)成分として、(B)分子中に少なくとも2つ以上のアルコキシメチル基を含有する化合物を含有する。(B)成分は、(A)成分と反応して架橋構造を形成させる機能を有する。(B)成分は、1種単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
式(B-4)中、X35、及びX36は、アルコキシメチル基を表す。
感光性樹脂組成物は、(C)成分として光酸発生剤を含有する。(C)光酸発生剤は、紫外線等の活性光線の照射時に酸を発生させ、発生した酸により、(A)成分と(B)との反応を促進してネガ型のパターンを有利に形成することができる。(C)成分は、1種単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
感光性樹脂組成物は、任意の成分として、さらに(D)有機充填材を含んでいてもよい。(D)有機充填材は柔軟性を示すことから感光性樹脂組成物の硬化物の応力を分散させることが可能となり、その結果、クラック耐性、及び絶縁性を向上させることが可能となる。
感光性樹脂組成物は、任意の成分として、(E)無機充填材を含んでいてもよい。(E)無機充填材を樹脂組成物に含有させることで、絶縁性に優れる硬化物を得ることが可能となる。
感光性樹脂組成物は、任意の成分として、更に(F)溶剤を含有していてもよい。(F)溶剤を含有させることによりワニス粘度を調整できる。(F)溶剤としては、有機溶剤が挙げられる。
感光性樹脂組成物は、本発明の目的を阻害しない程度に、(G)その他の添加剤を更に含有してもよい。(G)その他の添加剤としては、例えば、熱可塑性樹脂;ビニルシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、スチリルシラン系カップリング剤、メタクリルシラン系カップリング剤、アクリルシラン系カップリング剤、アミノシラン系カップリング剤、イソシアヌレートシラン系カップリング剤、ウレイドシラン系カップリング剤、メルカプトシラン系カップリング剤、イソシアネートシラン系カップリング剤、酸無水物シラン系カップリング剤等のシランカップリング剤;トリアジンチオール類(例:2,4,6-トリメルカプト-s-トリアジン、2-ジブチルアミノ-4,6-ジメルカプト-s-トリアジン、N’-tert-ブチル-N-シクロプロピル-6-(メチルチオ)-1,3,5-トリアジン-2,4-ジアミン)、ピペリジン類、ピラゾール類(例:3,5-ジメチルピラゾール、3-メチル-5-ピラゾロン)、トリアゾール類(例:1,2,4-トリアゾール、3-メルカプト-1,2,4-トリアゾール)、ベンゾトリアゾール類(例:1,2,3-ベンゾトリアゾール、1-ヒドロキシベンゾトリアゾール)等の窒素原子及び/又は硫黄原子含有化合物;フタロシアニンブルー、フタロシアニングリーン、アイオディン・グリーン、ジアゾイエロー、クリスタルバイオレット、酸化チタン、カーボンブラック、ナフタレンブラック等の着色剤;ハイドロキノン、フェノチアジン、メチルハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、カテコール、ピロガロール等の重合禁止剤;ベントン、モンモリロナイト等の増粘剤;シリコーン系、フッ素系、ビニル樹脂系の消泡剤;エポキシ樹脂、アンチモン化合物、リン系化合物、芳香族縮合リン酸エステル、含ハロゲン縮合リン酸エステル等の難燃剤;フェノール系硬化剤、シアネートエステル系硬化剤等の熱硬化樹脂等の各種添加剤を添加することができる。
感光性樹脂組成物は、現像時間を長くしても、現像液に対する安定性(現像時間依存性)に優れるという特性を示す。現像時間依存性の評価は、現像時間が30秒、60秒、90秒、及び120秒である場合の、露光パターンの開口20μmのビアの底部の径を測定する。その際、ビアの底部の径が15μm以上20μm以下である現像時間の数が多いほど現像時間依存性に優れると評価する。このとき、ビアの底部の径が15μm以上20μm以下である現像時間の数が好ましくは1以上、より好ましくは2以上、さらに好ましくは3以上である。現像時間依存性の評価は、後述する実施例に記載の方法により測定することができる。
本発明の感光性樹脂組成物は、感光性樹脂組成物層が支持体上に層形成された支持体付き感光性フィルムの形態で好適に使用することができる。つまり、支持体付き感光性フィルムは、支持体と、該支持体上に設けられた、本発明の感光性樹脂組成物で形成された感光性樹脂組成物層を含む。
本発明のプリント配線板は、本発明の感光性樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層を含む。該絶縁層は、ソルダーレジストとして使用することが好ましい。
(I)回路基板上に、本発明の感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂組成物層を形成する工程、
(II)感光性樹脂組成物層に活性光線を照射して硬化させる工程、及び
(III)硬化した感光性樹脂組成物層を現像する工程を含む。
以下、絶縁層がソルダーレジストである場合の一例について説明する。
感光性樹脂組成物層の形成方法としては、感光性樹脂組成物を含む樹脂ワニスを直接的に回路基板上に塗布する方法、及び前記支持体付き感光性フィルムを用いる方法が挙げられる。
塗布及び乾燥、あるいはラミネートにより、回路基板上に感光性樹脂組成物層が設けられた後、次いで、マスクパターンを通して、感光性樹脂組成物層の所定部分に活性光線を照射し、照射部の感光性樹脂組成物層を光硬化させる露光工程を行う。活性光線としては、例えば、紫外線、可視光線、電子線、X線等が挙げられ、特に紫外線が好ましい。紫外線の照射量はおおむね10mJ/cm2~1000mJ/cm2である。露光方法にはマスクパターンをプリント配線板に密着させて行う接触露光法と、密着させずに平行光線を使用して露光する非接触露光法とがあるが、どちらを用いてもかまわない。また、感光性樹脂組成物層上に支持体が存在している場合は、支持体上から露光してもよいし、支持体を剥離後に露光してもよい。
露光工程後、感光性樹脂組成物層上に支持体が存在している場合にはその支持体を除去した後現像して、光硬化されていない部分(未露光部)を除去して現像することにより、パターンを形成することができる。現像は、通常ウェット現像により行う。
上記工程(III)終了後、必要に応じて、熱硬化(ポストベーク)工程を行い、ソルダーレジストを形成する。ポストベーク工程としては、高圧水銀ランプによる紫外線照射工程やクリーンオーブンを用いた加熱工程等が挙げられる。紫外線を照射させる場合は必要に応じてその照射量を調整することができ、例えば0.05J/cm2~10J/cm2程度の照射量で照射を行うことができる。また加熱の条件は、感光性樹脂組成物中の樹脂成分の種類、含有量などに応じて適宜選択すればよいが、好ましくは150℃~250℃で20分間~180分間の範囲、より好ましくは160℃~230℃で30分間~120分間の範囲で選択される。
プリント配線板は、ソルダーレジストを形成後、さらに穴あけ工程、デスミア工程を含んでもよい。これらの工程は、プリント配線板の製造に用いられる、当業者に公知の各種方法に従って実施してよい。
本発明の半導体装置は、プリント配線板を含む。本発明の半導体装置は、本発明のプリント配線板を用いて製造することができる。
(A-1)成分(「TR4020G」旭有機材社製)10質量部、(A-2)成分(「MEHC-7851SS」明和化成社製)5質量部、(A-3)成分(「BisE」本州化学社製)5質量部、分子中に少なくとも2つ以上のアルコキシメチル基を含有する化合物(「MW-390」三和ケミカル社製)5質量部、光酸発生剤(「MP-トリアジン」三和ケミカル社製)0.05質量部、有機充填材(「MM-101SM」根上工業社製)6質量部と、MEK(純正化学社製)12質量部とを混合して樹脂組成物1を得た。
実施例1において、有機充填材(「MM-101SM」根上工業社製)の量を6質量部から2質量部に変えた。
以上の事項以外は実施例1と同様にして樹脂組成物2を得た。
実施例2において、有機充填材(「MM-101SM」根上工業社製)2質量部を用いなかった。
以上の事項以外は実施例2と同様にして樹脂組成物3を得た。
実施例2において、(A-3)成分(「BisE」本州化学社製)5質量部を、(A-3)成分(「BisA」三井化学ファイン社製)5質量部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして樹脂組成物4を得た。
実施例2において、(A-3)成分(「BisE」本州化学社製)5質量部を、(A-3)成分(「BisF」三井化学ファイン社製)5質量部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして樹脂組成物5を得た。
実施例2において、(A-3)成分(「BisE」本州化学社製)5質量部を、(A-3)成分(「BisP-TMC」本州化学社製)5質量部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして樹脂組成物6を得た。
実施例2において、(A-3)成分(「BisE」本州化学社製)5質量部を、(A-3)成分(「BisP-M」三井化学ファイン社製)5質量部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして樹脂組成物7を得た。
実施例2において、(A-2)成分(「MEHC-7851SS」明和化成社製)5質量部を、(A-2)成分(「MEHC-78004S」明和化成社製)5質量部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして樹脂組成物8を得た。
実施例2において、さらに無機充填材(「UFP-30」平均粒径0.3μm、デンカ社製)30質量部を用いた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして樹脂組成物9を得た。
実施例2において、さらに無機充填材(「SO-C2」平均粒径0.5μm、アドマテックス社製)30質量部を用いた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして樹脂組成物10を得た。
実施例2において、
(A-1)成分(「TR4020G」旭有機材社製)の量を10質量部から4質量部に変え、
(A-2)成分(「MEHC-7851SS」明和化成社製)の量を5質量部から12質量部に変え、かつ、
(A-3)成分(「BisE」本州化学社製)の量を5質量部から4質量部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして樹脂組成物11を得た。
実施例2において、
(A-1)成分(「TR4020G」旭有機材社製)の量を10質量部から4質量部に変え、
(A-2)成分(「MEHC-7851SS」明和化成社製)の量を5質量部から4質量部に変え、かつ、
(A-3)成分(「BisE」本州化学社製)の量を5質量部から12質量部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして樹脂組成物12を得た。
実施例2において、
(A-1)成分(「TR4020G」旭有機材社製)の量を10質量部から16質量部に変え、
(A-2)成分(「MEHC-7851SS」明和化成社製)の量を5質量部から2質量部に変え、かつ、
(A-3)成分(「BisE」本州化学社製)の量を5質量部から2質量部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして樹脂組成物13を得た。
実施例2において、
(A-1)成分(「TR4020G」旭有機材社製)の量を10質量部から18質量部に変え、
(A-2)成分(「MEHC-7851SS」明和化成社製)の量を5質量部から1質量部に変え、かつ、
(A-3)成分(「BisE」本州化学社製)の量を5質量部から1質量部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして樹脂組成物14を得た。
実施例2において、
(A-1)成分(「TR4020G」旭有機材社製)の量を10質量部から2質量部に変え、
(A-2)成分(「MEHC-7851SS」明和化成社製)の量を5質量部から4質量部に変え、かつ、
(A-3)成分(「BisE」本州化学社製)の量を5質量部から14質量部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして樹脂組成物15を得た。
実施例2において、
(A-1)成分(「TR4020G」旭有機材社製)の量を10質量部から2質量部に変え、
(A-2)成分(「MEHC-7851SS」明和化成社製)の量を5質量部から14質量部に変え、かつ、
(A-3)成分(「BisE」本州化学社製)の量を5質量部から4質量部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして樹脂組成物16を得た。
実施例2において、
(A-1)成分(「TR4020G」旭有機材社製)の量を10質量部から20質量部に変え、
(A-2)成分(「MEHC-7851SS」明和化成社製)5質量部を用いず、かつ、
(A-3)成分(「BisE」本州化学社製)5質量部を用いなかった。
以上の事項以外は実施例2と同様にして樹脂組成物17を得た。
実施例2において、
(A-2)成分(「MEHC-7851SS」明和化成社製)の量を5質量部から10質量部に変え、かつ、
(A-3)成分(「BisE」本州化学社製)5質量部を用いなかった。
以上の事項以外は実施例2と同様にして樹脂組成物18を得た。
実施例2において、
(A-2)成分(「MEHC-7851SS」明和化成社製)5質量部を用いず、かつ、
(A-3)成分(「BisE」本州化学社製)の量を5質量部から10質量部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして樹脂組成物19を得た。
実施例2において、
(A-1)成分(「TR4020G」旭有機材社製)10質量部を用いず、
(A-2)成分(「MEHC-7851SS」明和化成社製)の量を5質量部から10質量部に変え、かつ、
(A-3)成分(「BisE」本州化学社製)の量を5質量部から10質量部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして樹脂組成物20を得た。
実施例2において、
(A-3)成分(「BisE」本州化学社製)5質量部を、下記構造式で表されるアルカリ可溶性樹脂(「TrisP-PA」本州化学社製)5質量部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして樹脂組成物21を得た。
実施例2において、
(A-1)成分(「TR4020G」旭有機材社製)の量を10質量部から15質量部に変え、
(A-2)成分(「MEHC-7851SS」明和化成社製)5質量部を用いず、かつ、
(A-3)成分(「BisE」本州化学社製)5質量部を、アルカリ可溶性樹脂(「TrisP-PA」本州化学社製)5質量部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして樹脂組成物22を得た。
実施例2において、
(A-1)成分(「TR4020G」旭有機材社製)の量を10質量部から14質量部に変え、
(A-2)成分(「MEHC-7851SS」明和化成社製)5質量部を、(A-2)成分(「MEHC-78004S」明和化成社製)6質量部に変え、
(A-3)成分(「BisE」本州化学社製)5質量部を用いず、
有機充填材(「MM-101SM」根上工業社製)の量を2質量部から3質量部に変え、かつ、
分子中に少なくとも2つ以上のアルコキシメチル基を含有する化合物(「MW-390」三和ケミカル社製)の量を5質量部から6質量部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして樹脂組成物23を得た。
実施例2において、
(A-1)成分(「TR4020G」旭有機材社製)の量を10質量部から16質量部に変え、
(A-2)成分(「MEHC-7851SS」明和化成社製)5質量部を用いず、
(A-3)成分(「BisE」本州化学社製)5質量部を、アルカリ可溶性樹脂(「TrisP-PA」本州化学社製)4質量部に変え、かつ、
有機充填材(「MM-101SM」根上工業社製)の量を2質量部から3質量部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして樹脂組成物24を得た。
支持体としてPETフィルム(東レ社製「ルミラーT60」、厚み38μmを用意した。各実施例及び比較例で調製した樹脂組成物(感光性樹脂組成物)をかかるPETフィルムに乾燥後の感光性樹脂組成物層の厚みが20μmになるよう、ダイコーターにて均一に塗布し、80℃から110℃で6分間乾燥することにより、離型PET上に感光性樹脂組成物層を有する支持体付き感光性フィルムを得た。
ガラスエポキシ基板(銅張積層板)の銅層を5%硫酸により処理をした。支持体付き感光性フィルムの感光性樹脂組成物層が銅層表面と接するように配置し、真空ラミネーター(ニッコー・マテリアルズ社製、VP160)を用いて積層し、前記銅張積層板と、前記感光性樹脂組成物層と、前記支持体とがこの順に積層された積層体を形成した。圧着条件は、真空引きの時間30秒間、圧着温度80℃、圧着圧力0.7MPa、加圧時間30秒間とした。
厚さ18μmの銅層をパターニングした回路が形成されているガラスエポキシ基板(銅張積層板)の銅層に対して、5%硫酸により処理をした。予め作製した支持体付き感光性フィルムを感光性樹脂組成物層が銅回路表面と接するように配置し、真空ラミネーター(ニッコー・マテリアルズ社製、VP160)を用いて積層し、前記銅張積層板と、前記感光性樹脂組成物層と、前記支持体とがこの順に積層された積層体を形成した。圧着条件は、真空引きの時間30秒間、圧着温度80℃、圧着圧力0.7MPa、加圧時間30秒間とした。該積層体を室温30分以上静置し、該積層体の支持体上から、丸穴パターンを用いパターン形成装置を用いて、紫外線で露光を行った。露光パターンは開口:10μm/20μm/30μm/40μm/50μm/60μm/70μm/80μm/90μm/100μmの丸穴を描画させる石英ガラスマスクを使用した。室温にて5分間静置した後、前記積層体から支持体を剥がし取った。次に、80℃、10分間の加熱処理を行った。該積層板上の感光性樹脂組成物層の全面に、現像液として23℃の2.38質量%水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液をスプレー圧0.1MPaにて1分間スプレー現像を行った。スプレー現像後、1J/cm2の紫外線照射を行い、さらに190℃、60分間の加熱処理を行って感光性樹脂組成物層を硬化させ、開口部を有する絶縁層を該積層体上に形成した。これをクラック耐性評価用積層体とした。
◎:500回後にクラック及び剥離が認められない。
○:500回後にクラック及び剥離が認められるが、200回後にクラック及び剥離が認められない。
×:200回後にクラック及び剥離が認められる。
ポリイミド基材上にライン幅15μm、スペース幅15μmで、配線が6箇所あるくし型状の銅回路を用意した。次に予め作製した支持体付き感光性フィルムの感光性樹脂組成物層が銅回路表面と接するように配置し、真空ラミネーター(ニッコー・マテリアルズ社製、VP160)を用いて積層し、前記銅張積層板と、前記感光性樹脂組成物層と、前記支持体とがこの順に積層された積層体を形成した。圧着条件は、真空引きの時間30秒間、圧着温度80℃、圧着圧力0.7MPa、加圧時間30秒間とした。該積層体を室温30分以上静置し、該積層体の支持体上から、全面を紫外線で露光を行った。この際の露光量は、解像性が最も良かった露光量とした。室温にて5分間静置した後、前記積層体から支持体を剥がし取った。次に、80℃、10分間の加熱処理を行った。該積層板上の感光性樹脂組成物層の全面に、現像液として23℃の2.38質量%水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液をスプレー圧0.1MPaにて1分間スプレー現像を行った。スプレー現像後、1J/cm2の紫外線照射を行い、さらに190℃、60分間の加熱処理を行って感光性樹脂組成物層を硬化させ、開口部を有する絶縁層を該積層体上に形成した。これを絶縁性評価用積層体とした。
◎:200時間後の絶縁抵抗値が1×107Ω未満の配線が6箇所中で1箇所以下
〇:100時間後の絶縁抵抗値が1×107Ω未満の配線が6箇所中で1箇所以下
×:100時間後の絶縁抵抗値が1×107Ω未満の配線が6箇所中で2箇所以上
Claims (12)
- (A)分子内にフェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂、
(B)分子中に少なくとも2つ以上のアルコキシメチル基を含有する化合物、及び
(C)光酸発生剤、を含有する感光性樹脂組成物であって、
(A)成分が、下記式(A-1)で表される構造と、両末端とを含む化合物、式(A-2)で表される構造と、両末端とを含む化合物、及び式(A-3)で表される構造を有する化合物を含有し、
該両末端が、置換基を有していてもよいヒドロキシフェニル基及び/又はアルデヒド基である、感光性樹脂組成物。
式(A-2)中、R2は、それぞれ独立に、下記式(b)で表される2価の基、下記式(c)で表される2価の基、下記式(b)で表される2価の基と下記式(c)で表される2価の基との組み合わせからなる2価の基、下記式(a)で表される2価の基と下記式(b)で表される2価の基との組み合わせからなる2価の基、又は下記式(a)で表される2価の基と下記式(c)で表される2価の基との組み合わせからなる2価の基を表し、X2はそれぞれ独立に置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、ハロゲン原子、又は置換基を有していてもよい1価の複素環基を表す。n2は、0~4の整数を表し、m2は1~200の整数を表す。*は結合手を表す。
式(A-3)中、R3は、下記式(a)で表される2価の基、下記式(b)で表される2価の基、下記式(c)で表される2価の基、又はこれらの組み合わせからなる2価の基を表し、X3及びX4は、それぞれ独立に置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、ハロゲン原子、又は置換基を有していてもよい1価の複素環基を表す。n3及びn4は、それぞれ独立に0~4の整数を表す。
式(b)中、X11はそれぞれ独立に置換基を有していてもよいアルキル基を表す。p1は、0~4の整数を表す。*は結合手を表す。
式(c)中、X12及びX13はそれぞれ独立に置換基を有していてもよいアルキル基を表す。p2及びp3は、それぞれ独立に0~4の整数を表す。*は結合手を表す。 - 式(A-1)で表される構造を含む化合物の含有量が、(A)成分全体を100質量部としたとき、5質量%以上85質量%以下である、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- 式(A-2)で表される構造を含む化合物の含有量が、(A)成分全体を100質量部としたとき、6質量%以上80質量%以下である、請求項1又は2に記載の感光性樹脂組成物。
- 式(A-3)で表される構造を有する化合物の含有量が、(A)成分全体を100質量部としたとき、6質量%以上80質量%以下である、請求項1~3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。
- さらに、(D)有機充填材、及び(E)無機充填材のいずれかを含有する、請求項1~4のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。
- (B)成分が、分子中に少なくとも2つ以上のアルコキシメチル基を含有するアミノ樹脂を含有する、請求項1~5のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。
- (B)成分が、メラミン樹脂を含有する、請求項1~6のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。
- 支持体と、該支持体上に設けられた、請求項1~7のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂組成物層と、を有する支持体付き感光性フィルム。
- 請求項1~7のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層を含むプリント配線板。
- 絶縁層が、ソルダーレジストである、請求項9に記載のプリント配線板。
- 請求項9又は10に記載のプリント配線板を含む、半導体装置。
- 回路基板上に、請求項1~7のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂組成物層を形成する工程と、
感光性樹脂組成物層に活性光線を照射して硬化させる工程と、
硬化した感光性樹脂組成物層を現像する工程と、を含む、プリント配線板の製造方法。
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