JP7475976B2 - 研削装置 - Google Patents

Description

本発明は、研削装置に関する。

例えば非汎用圧縮機のような、非汎用金属製品については、製品ごとに形状が異なるため、職人の手作業による研削加工が施されている。しかし、このような非汎用品の研削加工作業も、ロボットアーム等を用いた自動化が求められている。

この要求を満たすための装置として、例えば、特許文献１には、連結部を有するロボットアームと、前記連結部によって前記ロボットアームに連結される加工工具と、前記加工工具の押付け方向ベクトルを含む工具軌道データを生成する軌道データ生成装置と、を備えた研削装置が開示されている。

特開２０１６－２６２８号公報

特許文献１に記載の研削装置では、加工工具の移動軌跡及び向きを被研削面の細かい形状（凹凸）に精緻に合致させるために、加工工具の工具軌道データの作成において、ロボットデータ作成のためのオフラインティーチングとは別に、綿密なデータ作成作業を行う必要性があり、そのためのソフトウェア導入等によるコスト増大が問題となっている。

本発明の目的は、加工工具が支持機構によって支持され被研削面に沿って移動しながら前記被研削面を研削加工する際に、支持機構の被研削面に対する相対位置に変化が生じても、簡易な構造で前記加工工具を前記被研削面に正対させながら前記加工工具による研削可能状態を維持することが可能な研削装置を提供することにある。

提供される研削装置は、研削対象物の被研削面の研削加工を行う研削加工部と、前記研削加工部を支持しながら前記被研削面に沿って移動させる可動支持部と、前記研削加工部が前記可動支持部に対して互いに直交する二つの軸周りに回動することを許容しながら、前記研削加工部と前記可動支持部とを互いに連結する連結部と、を備える。前記研削加工部は、前記連結部に接続される本体部と、前記本体部に取り付けられ前記被研削面上を転動する少なくとも１つの転動体と、前記本体部に取り付けられ前記転動体を前記被研削面に吸着させる吸着力を生成する吸着力生成部と、前記本体部に取り付けられ前記被研削面を研削する加工工具と、を有する。そして、前記加工工具は、前記吸着力によって前記被研削面に吸着させられる前記少なくとも１つの転動体が前記被研削面上を転動することに伴い、前記被研削面に沿って移動する前記本体部とともに前記被研削面上を移動して当該被研削面を研削する。また、前記少なくとも１つの転動体は、前記被研削面に吸着しながら前記被研削面上を転動する少なくとも１つの吸着転動体を含み、当該少なくとも１つの吸着転動体が当該吸着転動体の前記被研削面と接触する部位を前記被研削面に吸着させる前記吸着力を生成する。

前記研削装置によれば、簡易な構造で前記加工工具が前記被研削面を良好に研削することが可能な状態を維持することができる。具体的には、前記可動支持部が前記研削加工部を支持しながら前記被研削面に沿って移動させる際に、前記可動支持部の前記被研削面に対する相対位置に変化が生じても、前記連結部が前記研削加工部を前記可動支持部に対して互いに直交する二つの軸周りに回動することを許容することにより、前記研削加工部の前記加工工具が前記被研削面に正対することを可能にし、これにより、前記加工工具が前記被研削面を研削することが可能な状態を維持する。なお、本明細書において、「前記可動支持部の前記被研削面に対する相対位置」とは、前記可動支持部において、前記連結部と接続する部分、例えば先端部と前記被研削面との相対角度及び相対距離を意味するものとする。

さらに、前記研削装置の吸着力生成部及び少なくとも１つの転動体は、前記加工工具が前記被研削面から離れることなく前記被研削面の研削加工を行っている状態で、前記加工工具を前記被研削面上で移動させる。具体的には、次のとおりである。前記吸着力生成部が前記少なくとも１つの転動体を前記被研削面に吸着させる吸着力を生成することによって、前記少なくとも１つの転動体は、前記被研削面に吸着しながら前記被研削面上を転動することができる。これにより、前記転動体が取り付けられた前記本体部が前記被研削面に沿って移動する。そして、前記加工工具は、前記被研削面から離れることなく前記被研削面の研削加工を行っている状態で、前記被研削面に沿って移動する前記本体部とともに前記被研削面上を移動する。また、少なくとも１つの吸着転動体は、当該吸着転動体の前記被研削面と接触する部位を前記被研削面に吸着させる前記吸着力を生成するので、別個に本体部に取り付けられ吸着力を生成する前記吸着力生成部を必要とすることなく、前記被研削面に対応しながら吸着及び転動を行うことができる。

前記研削装置の好ましい態様として、前記連結部は、前記研削加工部が前記可動支持部に対して任意の軸回りに回動することを許容しながら、前記研削加工部と前記可動支持部とを互いに連結する。

この態様に係る前記研削装置によれば、前記可動支持部が前記被研削面に対峙する方向にかかわらず、前記連結部は、前記研削加工部が前記可動支持部に対して任意の方向の軸回りに回動することを許容し、これにより、前記研削加工部の前記加工工具が確実に前記被研削面に正対して前記被研削面を研削することが可能な状態を維持することを可能にする。

前記研削装置の好ましい態様として、前記少なくとも１つの吸着転動体は、当該吸着転動体を磁力により前記被研削面に吸着させる磁石を含む。

この態様に係る前記研削装置によれば、前記研削対象物が金属磁性体、例えば鋼で形成されている場合に、容易に前記吸着転動体が前記被研削面に吸着することができる。

前記研削装置の好ましい態様として、前記少なくとも１つの吸着転動体は、それぞれが通電されることによって磁力を生成する電磁石を含む複数の電磁石転動体を含み、前記複数の電磁石転動体は、それぞれの通電の有無が互いに独立して切替可能となるように電源回路に接続され、当該複数の電磁石転動体の転動が可能である転動可能方向が互いに異なるように配置されている。

この態様に係る前記研削装置によれば、複数の電磁石転動体のうち所定の転動方向に転動する電磁石転動体のみを通電することにより、当該電磁石転動体のみを被研削面に吸着させて前記所定の方向に円滑に研削加工部を移動させることができる。

前記研削装置の好ましい態様として、前記加工工具は、砥石と、前記砥石を前記被研削面上で回転させる原動機と、を有する。

前記研削装置の好ましい態様として、前記加工工具は、前記本体部に対して前記被研削面の法線方向を含む方向に変位可能となるように当該本体部に取り付けられ、前記研削加工部は、前記加工工具を前記本体部から前記被研削面に向かって押し付ける押付け力を生成する押付け力生成部を、更に有する。

この態様に係る前記研削装置によれば、前記加工工具は、前記押付け力生成部により生成された前記押付け力によって前記被研削面に向かって押し付けられることにより前記被研削面と常に接触しながら当該被研削面に沿って移動することができ、これにより、確実に前記被研削面の研削加工を行うことができる。

前記研削装置の好ましい態様として、前記押付け力生成部は、前記押付け力を生成するアクチュエータと、前記押付け力の大きさが一定になるように前記アクチュエータを制御するアクチュエータ制御部と、を有する。

この態様に係る前記研削装置によれば、前記アクチュエータ制御部によって制御された前記アクチュエータによって前記加工工具が前記被研削面に一定の大きさの押付け力で押し付けられるので、前記被研削面の研削加工の精度が向上する。

前記研削装置の好ましい態様として、前記押付け力生成部は、前記加工工具にかかる前記押付け力の大きさを測定し、測定された前記押付け力の大きさを前記アクチュエータ制御部に入力する押付け力測定部を更に有し、前記アクチュエータ制御部は、前記押付け力測定部から入力された前記押付け力の大きさに基づいて、前記押付け力の大きさが一定になるように前記アクチュエータをフィードバック制御する。

この態様に係る前記研削装置によれば、前記加工工具にかかる前記押付け力の大きさを安定化させて、前記加工工具による前記被研削面の研削加工の精度をより向上させることができる。

前記研削装置の好ましい態様として、前記押付け力測定部は、前記加工工具に取り付けられて前記加工工具にかかる前記押付け力の大きさを電圧に変換するロードセルを有する。

前記研削装置の好ましい態様として、前記可動支持部は、前記研削対象物の形状に対応して前記研削加工部を支持しながら前記被研削面に沿って移動させるロボットアームである。

この態様に係る前記研削装置によれば、前記研削対象物が製品ごとに形状が異なる非汎用品であっても、前記連結部によって前記ロボットアームに連結された前記研削加工部の前記加工工具が前記研削対象物の形状に対応しながら前記被研削面に正対し続け、前記被研削面を研削することが可能な状態を維持する。具体的に、この態様に係る前記研削装置によれば、前記ロボットアームが前記研削対象物の形状に対応して前記研削加工部を支持しながら前記被研削面に沿って移動させるために、前記ロボットアームの先端部の前記被研削面に対する相対位置が常に一定となるような軌道データを必要としない。なぜなら、前記連結部が、前記研削加工部が前記可動支持部に対して前記被研削面と平行な少なくとも一方向の軸周りに回動することを許容するからである。したがって、前記ロボットアームの制御装置に前記軌道データが入力されていなくても、前記連結部によって前記ロボットアームに連結された前記研削加工部の前記加工工具は、前記被研削面上を移動するに際し前記研削対象物の形状に対応し前記被研削面に正対し続け、前記被研削面を研削することが可能な状態を維持する。

前記研削装置の好ましい態様として、前記研削装置は、あるいは、前記被研削面として円筒状の内周面を持つ研削対象物の研削加工を行うものであり、前記可動支持部は、前記内周面が形成する空間の内側に挿入されることが可能な基礎部と、前記基礎部に対して前記研削加工部が前記内周面の径方向に変位可能となるように前記基礎部から延びて当該研削加工部を支持する少なくとも１つの腕部と、前記少なくとも１つの腕部を前記内周面の中心軸回りに回転させる回転駆動部と、を含み、前記連結部は、前記少なくとも１つの腕部と前記研削加工部とを互いに連結するものであってもよい。

この態様に係る前記研削装置によれば、前記少なくとも１つの腕部の回転という簡易な動きのみによって被研削面である円筒状の内周面の研削加工を行うことができる。具体的に、前記可動支持部の前記基礎部が前記内周面が形成する空間の内側に挿入された状態で、前記少なくとも１つの腕部が、前記内周面が形成する空間の内側に挿入された前記基礎部から延び前記基礎部に対して径方向に変位して、前記研削加工部を前記内周面に到達させる。そして、前記回転駆動部が前記少なくとも１つの腕部を前記内周面の中心軸回りに回転させることにより、前記少なくとも１つの腕部の回転という簡易な動きのみによって、前記研削加工部は、被研削面である前記内周面の研削加工を行うことができる。

さらに、この態様に係る前記研削装置によれば、前記内周面の径が一定でない場合でも、前記連結部が前記研削加工部を前記少なくとも１つの腕部に対して前記被研削面と平行な少なくとも一方向の軸周りに回動することを許容することにより、被研削面である前記内周面に前記加工工具を正対させながら前記加工工具が研削することが可能な状態を維持することができる。

このタイプの研削装置では、前記基礎部は、固定部と、前記固定部から前記内周面の中心軸方向に延び当該中心軸方向に移動可能であり且つ当該中心軸回りに回転可能である回転軸部と、を有し、前記少なくとも１つの腕部は、前記回転軸部から前記内周面の径方向に延びる腕部を含み、前記固定部は、前記回転駆動部を有し、前記回転駆動部が、前記回転軸部を前記中心軸回りに回転させることにより、前記腕部を前記内周面の中心軸回りに回転させるのが、好ましい。

この態様に係る前記研削装置によれば、前記固定部が有する前記回転駆動部が前記回転軸部を前記中心軸回りに回転させることにより、前記腕部が前記内周面の中心軸回りに回転させられる。そして、前記腕部に前記連結部を介して連結されている前記研削加工部は、前記腕部の回転にともなって、前記被研削面の周方向に移動しながら、研削加工を行うことができる。

前記研削装置の好ましい態様として、前記少なくとも１つの腕部は、前記基礎部から延び前記内周面の周方向に互いに離れて配置された複数の腕部を含む。

この態様に係る前記研削装置によれば、前記複数の腕部のそれぞれに前記連結部を介して連結される前記研削加工部は、効率的に、被研削面である前記内周面の研削加工を行うことができる。

したがって、本発明に係る研削装置によれば、加工工具が支持機構によって支持され被研削面に沿って移動しながら前記被研削面を研削加工する際に、支持機構の被研削面に対する相対位置に変化が生じても、簡易な構造で前記加工工具を前記被研削面に正対させながら前記加工工具による研削可能状態を維持することができる。

本発明の第１の実施の形態に係る概略的な研削装置を示す斜視図である。 第１の実施の形態に係る研削装置が備える連結部を示す斜視図である。 第１の実施の形態に係る研削装置が備える押付け力生成部の構成を示すブロック図である。 第１の実施の形態に係る概略的な研削装置が研削対象物の研削加工を行っている様子を示す図である。 第１の実施の形態に係る研削装置の変形例を示す斜視図である。 本発明の第２の実施の形態に係る概略的な研削装置及び研削対象物を示す斜視図である。 径方向に切断した研削加工時における第２の実施の形態に係る研削装置及び研削対象物を示す断面図である。 第１及び第２の実施の形態に係る研削装置が備える研削加工部の変形例を示す斜視図である。

本発明の好ましい実施の形態を、図面を参照しながら説明する。

本発明の第１の実施の形態に係る研削装置１を、図１ないし図４に基づいて説明する。

第１の実施の形態における研削対象物ＯＢ１は、磁性材料、例えば鋼、で形成された非汎用の金属加工製品であり、円柱体である。そして、第１の実施の形態における被研削面ＧＳ１は、円柱体の外側面であり円筒面である。すなわち、被研削面ＧＳ１は、水平方向に対して垂直な円筒面である。

研削装置１は、鋼などの金属材料、もしくは磁性材料で形成された非汎用品である研削対象物ＯＢ１の被研削面ＧＳ１の研削加工を行うための装置である。研削装置１は、研削加工部１０と、可動支持部２０と、連結部３０と、を備える。

研削加工部１０は、研削装置１のうちの被研削面ＧＳ１の研削加工を行う部分である。研削加工部１０は、連結部３０に接続される本体部１１と、被研削面ＧＳ１に吸着しながら被研削面ＧＳ１上を転動する複数の吸着転動体１２と、被研削面ＧＳ１を研削する加工工具１６と、加工工具１６を本体部１１から被研削面ＧＳ１に向かって押し付ける押付け力を生成する押付け力生成部１４と、を有する。

本体部１１は、研削加工部１０の各種モジュールを取り付けて、それらを一体的に被研削面ＧＳ１上で移動させるためのものである。本体部１１には、複数の吸着転動体１２と、押付け力生成部１４と、加工工具１６と、が取り付けられている。

複数の吸着転動体１２は、被研削面ＧＳ１上を転動することが可能となるように本体部１１に取り付けられ、その転動に伴って本体部１１が被研削面ＧＳ１に沿って移動することを可能にする。同時に、複数の吸着転動体１２は、それぞれが自身を被研削面ＧＳ１に吸着させるための吸着力を生成する。複数の吸着転動体１２は、通電されることによって磁力を生成する電磁石を含む。これにより、複数の吸着転動体１２は、磁力によって、磁性材料、例えば鋼、で形成された研削対象物ＯＢ１の被研削面ＧＳ１に自身を吸着させる吸着力を生成する。すなわち、複数の吸着転動体１２は、複数の電磁石転動体である。この実施の形態では、複数の電磁石転動体１２は、それぞれの転動可能方向を互いに同じ方向とするように、本体部１１に取り付けられている。複数の電磁石転動体１２は、それぞれ同じ電源回路（図示されていない）に接続されて、通電されることにより磁力を発生させる状態となり、通電を遮断されることにより磁力を発生させない状態となる。

加工工具１６は、被研削面ＧＳ１の研削加工を行うための工具である。加工工具１６は、砥石と、前記砥石を被研削面ＧＳ１上で回転させる原動機と、を有する、原動機は、前記電源回路に接続される電動機である。原動機は、通電されることによって前記砥石を被研削面ＧＳ１上で回転させる。これにより、前記砥石は、被研削面ＧＳ１を研削することができる。

押付け力生成部１４は、加工工具１６と本体部１１との間に介在するようにして本体部１１に取り付けられて、加工工具１６を本体部１１と被研削面ＧＳ１との間で変位可能にしながら保持するものである。そして、押付け力生成部１４は、加工工具１６を本体部１１から被研削面ＧＳ１に向かって押し付ける押付け力を生成する。

押付け力生成部１４は、図３に示すように、前記押付け力を生成するアクチュエータ１４１と、アクチュエータ制御部１４２と、押付け力測定部１４３と、を有する。

アクチュエータ１４１は、前記電源回路に接続されて、本体部１１に固定されたまま被研削面ＧＳ１の法線方向を含む方向に伸縮することによって、加工工具１６を被研削面ＧＳ１の法線方向を含む方向に変位させる電気アクチュエータ、例えばソレノイド、である。アクチュエータ１４１は、加工工具１６を被研削面ＧＳ１に押し付ける押付け力を生成し、当該押付け力によって加工工具１６を変位させる。言い換えれば、加工工具１６は、アクチュエータ１４１が伸縮することによって、本体部１１に対して被研削面ＧＳ１の法線方向を含む方向に変位可能となるように、アクチュエータ１４１を介して本体部１１に取り付けられている。ここで、「法線方向を含む方向」とは、法線方向を含む平面に含まれる任意の線分が形成する方向である。

アクチュエータ制御部１４２は、前記押付け力の大きさが一定になるようにアクチュエータ１４１を制御するものである。押付け力測定部１４３は、加工工具１６にかかる押付け力の大きさを測定し、測定された押付け力の大きさをアクチュエータ制御部１４２に入力するセンサである。

詳細には、アクチュエータ制御部１４２は、押付け力測定部１４３から入力された前記押付け力の大きさに基づいて、前記押付け力の大きさが一定になるようにアクチュエータ１４１をフィードバック制御する。これにより、被研削面ＧＳ１の凹凸等に応じて押付力が一時的に変動しても、直ちにアクチュエータ１４１による押付け力が修正されて、前記押付け力が一定の大きさに戻る。

押付け力測定部１４３は、加工工具１６に取り付けられて加工工具１６にかかる前記押付け力の大きさを電圧に変換するロードセルを有する。そして、ロードセルが入力する電圧を、押付け力測定部１４３が増幅してアクチュエータ制御部１４２に更に入力する。

可動支持部２０は、研削加工部１０を支持しながら被研削面ＧＳ１に沿って移動させるものであり、第１の実施の形態においては、ロボットアームである。すなわち、可動支持部２０は、研削対象物ＯＢ１の形状に対応して研削加工部１０を支持しながら被研削面ＧＳ１に沿って移動させる。

可動支持部２０は、固定部２１と、固定部２１から連なる５つの腕部２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅと、前記５つの腕部のそれぞれを互いに連結し関節となる４つの関節部２９ａ、２９ｂ、２９ｃ、２９ｄと、制御装置（図示されていない）と、を有する。４つの関節部２９ａ、２９ｂ、２９ｃ、２９ｄは、それぞれ隣接する腕部が相対変位することを許容しながら、腕部を相対変位させるように駆動するアクチュエータを有している。前記５つの腕部が４つの関節部によって自在に位置を変更することにより、可動支持部２０は、任意の場所に研削加工部１０を配置することが可能となる。

さらに、前記制御装置は、４つの関節部２９ａ、２９ｂ、２９ｃ、２９ｄが有するそれぞれのアクチュエータに接続されて、それぞれのアクチュエータを制御する。そして、前記制御装置には、研削加工部１０を研削対象物ＯＢ１の被研削面ＧＳ１に沿って移動させるための軌道データが入力されている。

連結部３０は、研削加工部１０と可動支持部２０とを互いに連結するものであり、第１の実施の形態において、いわゆるユニバーサルジョイントである。連結部３０は、研削加工部１０が可動支持部２０に対して２つの軸回りに回動することを許容するように、それらを連結する。連結部３０は、図２に示すように、接続凸部３１０を有する第１回動体３１と、接続凹部３２０を有する第２回動体３２と、第１回動体３１と第２回動体３２との間に位置する回動軸支持体３３と、回動軸支持体３３と第１回動体３１とに通されてそれらを互いに軸回りに回動可能にする第１回動軸３０ａと、第１回動軸３０ａに直交するように配置され回動軸支持体３３と第２回動体３２とに通されてそれらを互いに軸回りに回動可能にする第２回動軸３０ｂと、を有する。接続凸部３１０は、図示されていないが、可動支持部２０の先端側の腕部２３ｅが有する接続凹部に嵌合する。接続凹部３２０には、図示されていないが、研削加工部１０の本体部１１が有する接続凸部が嵌合する。

連結部３０は、第１回動体３１が回動軸支持体３３に対して第１回動軸３０ａ周りに回動することによって、可動支持部２０の先端側の腕部２３ｅと研削加工部１０とを第１回動軸３０ａ周りに互いに回動することを許容する。同様に、連結部は、第２回動体３２が回動軸支持体３３に対して第２回動軸３０ｂ周りに回動することによって、可動支持部２０の先端側の腕部２３ｅと研削加工部１０とを第２回動軸３０ｂ周りに互いに回動することを許容する。これにより、連結部３０を介して可動支持部２０に連結される研削加工部１０は、可動支持部２０の先端側の腕部２３ｅに対して、被研削面ＧＳ１と平行な任意の軸回りに回動可能となっている。

次に、第１の実施の形態に係る研削装置１の動作及び作用効果を説明する。

図４に示すように、研削装置１を用いて研削対象物ＯＢ１の被研削面ＧＳ１を研削するにあたり、可動支持部２０は、研削加工部１０を研削加工開始位置に配置する。具体的には、可動支持部２０が有する制御装置は、可動支持部２０の５つの腕部２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅを４つの関節部２９ａ、２９ｂ、２９ｃ、２９ｄがそれぞれ有するアクチュエータによって自在に変位させて、研削加工部１０の加工工具１６を研削対象物ＯＢ１の被研削面ＧＳ１に対峙させるようにしながら、研削加工部１０を研削加工開始位置に配置する。このとき、可動支持部２０は、研削加工部１０の複数の吸着転動体１２の転動可能方向が被研削面ＧＳ１の周方向となるように、研削加工部１０を研削加工開始位置に配置する。

続いて、可動支持部２０は、研削加工部１０を支持しながら被研削面ＧＳ１に沿って移動させる。具体的には、可動支持部２０は、水平方向に対して垂直な円周面である被研削面ＧＳ１の周方向に沿って、研削加工部１０を移動させる。

さらに、研削加工部１０自身は、複数の吸着転動体１２が生成する吸着力によって、被研削面ＧＳ１に吸着し続けながら被研削面ＧＳ１上を移動する。具体的には、複数の吸着転動体１２が電磁石を含むので、磁力を生成し、鋼により形成される研削対象物ＯＢ１の被研削面ＧＳ１に吸着させる吸着力を生成する。同時に、複数の吸着転動体１２は、被研削面ＧＳ１上を被研削面ＧＳ１の周方向に転動することができる。

これにより、加工工具１６は、前記吸着力によって被研削面ＧＳ１に吸着させられる複数の吸着転動体１２が被研削面ＧＳ１上を転動することに伴い、被研削面ＧＳ１に沿って移動する本体部１１とともに被研削面ＧＳ１上を移動して被研削面ＧＳ１を研削する。

したがって、研削装置１によれば、簡易な構造で加工工具１６が被研削面ＧＳ１を良好に研削することが可能な状態を維持することができる。具体的には、可動支持部２０が研削加工部１０を支持しながら被研削面ＧＳ１に沿って移動させる際に、可動支持部２０の被研削面ＧＳ１に対する相対位置に変化が生じても、連結部３０が、研削加工部１０を可動支持部２０に対して被研削面ＧＳ１と平行な第１回動軸３０ａ及び第２回動軸３０ｂにより任意の方向の軸周りに回動することを許容することにより、研削加工部１０の加工工具１６を被研削面ＧＳ１に確実に正対することを可能にし、これにより、加工工具１６が被研削面ＧＳ１を研削することが可能な状態を維持する。

また、研削装置１によれば、研削対象物ＯＢ１が製品ごとに形状が異なる非汎用品であっても、連結部３０によって、ロボットアームである可動支持部２０に連結された研削加工部１０の加工工具１６が研削対象物ＯＢ１の形状に対応しながら被研削面ＧＳ１に正対し続け、被研削面ＧＳ１を研削することが可能な状態を維持する。具体的に、研削装置１によれば、ロボットアームである可動支持部２０が研削対象物ＯＢ１の形状に対応して研削加工部１０を支持しながら被研削面ＧＳ１に沿って移動させるために、ロボットアームの腕部２３ｅの先端部の被研削面ＧＳ１に対する相対位置が常に一定となるような、被研削面ＧＳ１の細かい形状に対応した軌道データを必要としない。なぜなら、連結部３０が、研削加工部１０が可動支持部２０に対して被研削面ＧＳ１と平行な第１回動軸３０ａ及び第２回動軸３０ｂの軸周りに回動することを許容するからである。したがって、ロボットアームの制御装置に前記軌道データが入力されていなくても、連結部３０によってロボットアームに連結された研削加工部１０の加工工具１６は、被研削面ＧＳ１上を移動するに際し研削対象物ＯＢ１の形状に対応して被研削面ＧＳ１に正対し続け、被研削面ＧＳ１を研削することが可能な状態を維持する。

さらに、複数の吸着転動体１２は、加工工具１６が被研削面ＧＳ１から離れることなく被研削面ＧＳ１の研削加工を行っている状態で、加工工具１６を被研削面ＧＳ１上で移動させる。具体的には、次のとおりである。吸着転動体１２は、被研削面ＧＳ１に吸着する吸着力を生成することによって、被研削面ＧＳ１に吸着しながら被研削面ＧＳ１上を転動することができる。これにより、吸着転動体１２が取り付けられた本体部１１が被研削面ＧＳ１に沿って移動する。そして、加工工具１６は、被研削面ＧＳ１から離れることなく被研削面ＧＳ１の研削加工を行っている状態で、被研削面ＧＳ１に沿って移動する本体部１１とともに被研削面ＧＳ１上を移動する。また、加工工具１６の研削加工に伴う反力によって、加工工具１６が位置ずれしようとすることを、吸着転動体１２による吸着力によって抑制することができる。

さらに、研削装置１によれば、複数の吸着転動体１２は、自身を被研削面ＧＳ１に吸着させる吸着力を生成するので、被研削面ＧＳ１に対応しながら吸着及び転動を行うことができる。

さらに、研削装置１によれば、研削対象物ＯＢ１が金属磁性体である鋼で形成されているので、吸着転動体１２が生じる磁力により容易に被研削面ＧＳ１に吸着することができる。

さらに、研削装置１によれば、加工工具１６は、押付け力生成部１４のアクチュエータ１４１により生成された押付け力によって被研削面ＧＳ１に向かって押し付けられることにより被研削面ＧＳ１の法線方向を含む方向に変位し、確実に被研削面ＧＳ１の研削加工を行うことができる。

さらに、研削装置１によれば、アクチュエータ制御部１４２によって制御されたアクチュエータ１４１によって加工工具１６が被研削面ＧＳ１に一定の大きさの押付け力で押し付けられるので、被研削面ＧＳ１の研削加工の精度が向上する。

さらに詳細には、研削装置１によれば、押付け力測定部１４３に測定され押付け力測定部１４３から入力された前記押付け力の大きさに基づいて、加工工具１６にかかる押付け力の大きさが一定になるようにアクチュエータ制御部１４２がアクチュエータ１４１をフィードバック制御することにより、加工工具１６にかかる押付け力の大きさを安定化させて、加工工具１６による被研削面ＧＳ１の研削加工の精度をより向上させることができる。

本発明は、連結部が可動支持部又は研削加工部と直接的に接続しているものに限定されず、間接的に接続しているものであってもよい。

このことを説明するために、第１の実施の形態に係る研削装置１の変形例である研削装置１Ｂを、図５に基づいて説明する。なお、上記の説明と同一の構成要素については同一の符号を用いて説明を省略することとし、主に異なる構成要素について説明を行うものとする。

研削装置１Ｂは、研削加工部１０、可動支持部２０と、連結部３０と、延長腕部４０と、を備える。

延長腕部４０は、連結部３０と研削加工部１０との間に介在する棒状の部材である。延長腕部４０は、研削加工部１０を可動支持部２０より更に離れた位置に配置させることができる。延長腕部４０は、可動支持部２０と連結部３０との間に介在してもよい。

研削装置１Ｂによれば、ロボットアームである可動支持部２０の可動範囲を拡大させることができ、研削加工部１０により研削加工を行うことができる範囲を拡大させることができる。

本発明は、可動支持部がロボットアームのような複雑な装置構成を必要とするものに限定されず、可動支持部が腕部の回転という簡易な動きを実現する装置構成によるものであってもよい。

また、本発明は、連結部が複数の回動軸を有するものに限定されず、被研削面と平行な１つの回動軸のみを有するものであってもよい。

次に、本発明の第２の実施の形態に係る研削装置１Ａを、図６及び図７に基づいて説明する。なお、第２の実施の形態において、上記の第１の実施の形態と同一の構成要素については同一の符号を用いて説明を省略することとし、主に異なる構成要素について説明を行うものとする。

研削装置１Ａは、研削対象物ＯＢ２が有する円筒状の内周面である被研削面ＧＳ２の研削加工を行うものである。研削装置１Ａは、研削加工部１０と可動支持部２０Ａと連結部３０Ａとを備える。

可動支持部２０Ａは、固定台２１Ａと、基礎柱２２Ａと、回転軸部２３Ａと、２つの腕部２４Ａと、制御装置（図示されていない）と、を有する。

固定台２１Ａは、基礎柱２２Ａを伸縮させるためのアクチュエータである基礎柱伸縮装置２５Ａを有している。

基礎柱２２Ａは、固定台２１Ａから直上に延び、上下方向に伸縮可能であるように固定台２１Ａに取り付けられている。基礎柱２２Ａは、例えば、ラチス構造や蛇腹構造により伸縮可能に構成されている。

さらに、基礎柱２２Ａは、回転軸部２３Ａを、回転軸部２３Ａの軸線の周方向に回転させ、かつ、前記軸線方向に移動させるためのアクチュエータである回転軸部駆動装置２６Ａを有している。

回転軸部２３Ａは、基礎柱２２Ａから、研削対象物ＯＢ１の被研削面ＧＳ２の中心軸ＣＡ方向に延びる棒状の部材である。回転軸部２３Ａは、研削対象物ＯＢ１の円筒状の内周面である被研削面ＧＳ２が形成する空間の内側に入り込むために必要な長さを有している。回転軸部２３Ａは、被研削面ＧＳ２の中心軸ＣＡ回りに回転可能である。また、回転軸部２３Ａは、被研削面ＧＳ２の中心軸ＣＡ方向に移動可能である。そして、回転軸部２３Ａは、回転軸部駆動装置２６Ａによって、被研削面ＧＳ２の中心軸ＣＡ回りに回転させられ、被研削面ＧＳ２の中心軸ＣＡ方向に移動させられる。

さらに、回転軸部２３Ａは、腕部２４Ａを伸縮させるためのアクチュエータである腕部伸縮装置２７Ａを有している。

腕部２４Ａは、回転軸部２３Ａの先端近傍に取り付けられる棒状の部材である。腕部２４Ａは、回転軸部２３Ａの軸線に直交する方向、すなわち、被研削面ＧＳ２の径方向に延びる。さらに、腕部２４Ａは、その軸線方向、すなわち、被研削面ＧＳ２の径方向に伸縮可能である。腕部２４Ａは、例えば、ラチス構造や蛇腹構造により伸縮可能に構成されている。２つの腕部２４Ａは、互いに反対方向に向くように、回転軸部２３Ａから延び被研削面ＧＳ２の周方向に１８０度互いに離れて配置されている。そして、２つの腕部２４Ａは、それぞれ腕部伸縮装置２７Ａによって伸縮させられる。

２つの腕部２４Ａの先端には、それぞれ連結部３０Ａが接続されている。そして、連結部３０Ａを介して、２つの腕部２４Ａには、それぞれ研削加工部１０が連結されている。

制御装置は、基礎柱伸縮装置２５Ａ、回転軸部駆動装置２６Ａ及び腕部伸縮装置２７Ａに接続されて、それらを制御する。

固定台２１Ａ、基礎柱伸縮装置２５Ａ、基礎柱２２Ａ及び回転軸部駆動装置２６Ａは、回転軸部２３Ａを移動及び回転させるための固定部２１Ａｆを構成する。さらに、固定部２１Ａｆ、回転軸部２３Ａ及び腕部伸縮装置２７Ａは、腕部２４Ａを被研削面ＧＳ２に挿入するための基礎部２８Ａを構成する。さらに、回転軸部駆動装置２６Ａは、回転軸部２３Ａを回転させるための回転駆動部を構成する。

すなわち、基礎部２８Ａは、研削対象物ＯＢ２の内周面である被研削面ＧＳ２が形成する空間の内側に挿入されることが可能である。

腕部２４Ａは、伸縮可能であり、連結部３０Ａを介して研削加工部１０に連結されていることから、基礎部２８Ａに対して研削加工部１０が被研削面ＧＳ２の径方向に変位可能となるように基礎部２８Ａから延びて研削加工部１０を支持している。

そして、回転軸部駆動装置２６Ａ（回転駆動部）が、回転軸部２３Ａを中心軸ＣＡ回りに回転させることにより、腕部２４Ａを被研削面ＧＳ２の中心軸ＣＡ回りに回転させる。

連結部３０Ａは、第１の実施の形態に係る連結部３０と異なり、回転軸として第１回動軸３０ａのみを有する。そして、連結部３０Ａの第１回動軸３０ａは、腕部２４Ａの軸線方向に直交し、かつ、研削対象物ＯＢ２の円筒状の内周面である被研削面ＧＳ２の中心軸ＣＡに直交する方向に配置されている。これにより、第１回動軸３０ａは、被研削面ＧＳ２の周方向に平行となる。

第２の実施の形態に係る研削加工部１０において、複数の吸着転動体１２は、転動可能方向を被研削面ＧＳ２の周方向に一致させるように配置されている。これにより、研削加工部１０は、被研削面ＧＳ２上を周方向に移動しながら被研削面ＧＳ２を研削することができる。

第２の実施の形態における研削対象物ＯＢ２は、略円筒形状を有し、磁性材料、例えば鋼、で形成された非汎用の金属加工製品である。そして、研削対象物ＯＢ２は、略円筒形状の内周面を被研削面ＧＳ２とする。被研削面ＧＳ２は、図６に示すように、奥（図６の右側）にかけてテーパー形状となるように形成されている。すなわち、被研削面ＧＳ２である内周面の径は、一定ではない。

次に、第２の実施の形態に係る研削装置１Ａの動作及び作用効果を説明する。なお、第１の実施形態と同じ作用効果の説明については、説明を省略する。

図７に示すように、研削装置１Ａを用いて研削対象物ＯＢ２の被研削面ＧＳ２を研削するにあたり、可動支持部２０Ａの基礎柱伸縮装置２５Ａが、基礎柱２２Ａを伸縮させ、これによって、回転軸部２３Ａの高さ位置を被研削面ＧＳ２の中心軸ＣＡの高さ位置に合わさせる。

そして、回転軸部駆動装置２６Ａが回転軸部２３Ａを被研削面ＧＳ２の中心軸ＣＡ方向に移動させて、回転軸部２３Ａの先端近傍に取り付けられた腕部２４Ａを被研削面ＧＳ２すなわち円筒状の内周面が形成する空間の内側に挿入する。

そして、腕部伸縮装置２７Ａが腕部２４Ａを被研削面ＧＳ２の径方向に伸ばして、腕部２４Ａに連結部３０Ａを介して連結された研削加工部１０を被研削面ＧＳ２における研削加工開始位置に配置する。

続いて、可動支持部２０Ａの回転軸部駆動装置２６Ａ（回転駆動部）が、回転軸部２３Ａを被研削面ＧＳ２の中心軸ＣＡ回りに回転させる。これにより、腕部２４Ａが回転させられて、研削加工部１０は、被研削面ＧＳ２上を周方向に移動させられ、被研削面ＧＳ２を研削加工する。

２つの研削加工部１０が研削加工開始位置から１８０度回転して、加工工具１６の幅で周方向に被研削面ＧＳ２の研削加工を完了すると、腕部伸縮装置２７Ａが腕部２４Ａを縮めて、回転軸部駆動装置２６Ａが、回転軸部２３Ａを加工工具１６の幅に相当する距離を移動させて、再び、研削加工部１０を次の研削加工開始位置に配置する。このようにして、研削装置１Ａは、円筒状の内周面である被研削面ＧＳ２の研削加工を行う。

したがって、研削装置１Ａによれば、腕部２４Ａの回転という簡易な動きのみによって円筒状の内周面である被研削面ＧＳ２の研削加工を行うことができる。

さらに、研削装置１Ａによれば、円筒状の内周面である被研削面ＧＳ２の径が一定でない場合でも、例えば被研削面ＧＳ２がテーパー形状であったとしても、連結部３０Ａが研削加工部１０を腕部２４Ａに対して被研削面ＧＳ２の周方向と平行な第１回動軸３０ａの軸周りに回動することを許容することにより、被研削面ＧＳ２である内周面に加工工具１６を正対させながら加工工具１６が研削することが可能な状態を維持する。

さらに、研削装置１Ａによれば、２つの腕部２４Ａのそれぞれに連結部３０Ａを介して連結される２つの研削加工部１０は、効率的に、被研削面ＧＳ２である内周面の研削加工を行うことができる。

なお、第２の実施の形態における研削装置１Ａは、腕部２４Ａが被研削面ＧＳ２の周方向に回転することを実現する構成を有するものであればよく、基礎柱２２Ａの伸縮や回転軸部２３Ａの被研削面ＧＳ２の中心軸ＣＡ方向の移動を実現する構成、すなわち、基礎柱伸縮装置２５Ａや、回転軸部駆動装置２６Ａのうちの回転軸部２３Ａを中心軸ＣＡ方向に移動させる構成を必須の構成要素とするものではない。

本発明は、研削加工部の複数の吸着転動体における転動可能方向が全て同じ方向となるように、複数の吸着転動体が配置されているものに限定されず、互いに異なる方向となるように配置されているものであってもよい。

このことを説明するために、第１及び第２の実施の形態に係る研削装置１の研削加工部１０の変形例である研削加工部１０Ｃを、図８に基づいて説明する。なお、上記の説明と同一の構成要素については同一の符号を用いて説明を省略することとし、主に異なる構成要素について説明を行うものとする。

研削加工部１０Ｃは、本体部１１と、通電されることによって磁力を生成する電磁石を含む複数の電磁石転動体を含む複数の吸着転動体１２Ｃと、加工工具１６と、押付け力生成部１４と、を有する。

複数の吸着転動体１２Ｃは、それぞれの通電の有無が互いに独立して切替可能となるように電源回路に接続され、当該複数の電磁石転動体の転動が可能である転動可能方向が互いに異なるように配置されている。

具体的には、次のとおりである。複数の吸着転動体１２Ｃは、Ｘ方向を転動可能方向とする４つの電磁石転動体１２１と、Ｘ方向に直交するＹ方向を転動可能方向とする２つの電磁石転動体１２２と、を含む。電磁石転動体１２１は、Ｙ方向に平行な中心軸を有し、当該中心軸回りに転動することによって、Ｘ方向に転動可能となっている。電磁石転動体１２２は、Ｘ方向に平行な中心軸を有し、Ｙ方向に転動可能となっている。

４つの電磁石転動体１２１は、それぞれの通電の有無を同時に切り替える第１切替スイッチに接続されている。２つの電磁石転動体１２２は、それぞれの通電の有無を同時に切り替える第２切替スイッチに接続されている。第１切替スイッチ及び第２切替スイッチは、同じ電源回路に接続されている。

第１切替スイッチがＯＮで第２切替スイッチがＯＦＦのとき、研削加工部１０Ｃは、４つの電磁石転動体１２１が被研削面に吸着し転動することによって、Ｘ方向に移動しながら被研削面の研削加工を行うことができる。

一方、第１切替スイッチがＯＦＦで第２切替スイッチがＯＮのとき、研削加工部１０Ｃは、２つの電磁石転動体１２２が被研削面に吸着し転動することによって、Ｙ方向に移動しながら被研削面の研削加工を行うことができる。

したがって、研削加工部１０Ｃを備える研削装置によれば、研削装置の操作者が加工工具１６の移動方向を研削加工工程の途中で変化させようとするとき、第１切替スイッチ及び第２切替スイッチを操作又は制御して、複数の電磁石転動体１２１、１２２のうちの変化後の加工工具１６の移動方向に転動可能方向が一致する電磁石転動体のみに通電させ、その他の電磁石転動体の通電を遮断させる。これにより、変化後の加工工具１６の移動方向に転動可能方向が一致する電磁石転動体のみが磁力を生成している状態となる。そして、当該電磁石転動体が生成した磁力により被研削面に吸着しながら変化後の加工工具１６の移動方向に転動を行うことにより、研削加工部１０Ｃの本体部１１が移動方向を変化させることができる。これにより、本体部１１とともに移動する加工工具１６は、被研削面の研削加工を続けながら移動方向を変化させることができる。

次に、本発明には、上述した実施形態や変形例とは異なる変形例も含まれることを説明する。

本発明は、研削加工部において吸着転動体のように吸着力の生成と転動という動作とを１つの部材で実現するものを有するものに限定されず、吸着力を生成する吸着力生成部と被研削面上を転動する転動体とをそれぞれ別個に有するものであってもよい。すなわち、研削加工部は、本体部に取り付けられ転動体を被研削面に吸着させる吸着力を生成する吸着力生成部を更に有するものであってもよい。例えば、吸着力生成部は、転動体とは別個に本体部に取り付けられた電磁石又は永久磁石であってもよい。

さらに、吸着力生成部は、磁力を有するものに限定されず、例えば、被研削面付近の空気を吸引することによって、被研削面への吸着力を生成するものであってもよい。

本発明は、研削加工部が複数の転動体を有するものに限定されず、１つの転動体のみを有するものであってもよい。すなわち、転動体は、本体部に取り付けられた加工工具が被研削面に正対しながら被研削面上を移動することができるようにするものであればよい。

本発明は、研削加工部が押付け力生成部を有するものに限定されず、他の手段により押付け力を生成し加工工具を被研削面に押し付けるものであってもよい。例えば、吸着力生成部による吸着力を押付け力として利用してもよいし、可動支持部により押付け力を生成してもよい。例えば、第２の実施の形態において、腕部２４Ａを伸縮させる腕部伸縮装置２７Ａによって押付け力を生成してもよい。

本発明は、押付け力生成部が、ソレノイドであるアクチュエータを有するものに限定されず、加工工具１６と本体部１１との間に介在するようにして本体部１１に取り付けられて加工工具１６を本体部１１と被研削面ＧＳ１との間で変位可能にしながら保持するものであればよい。例えば、押付け力生成部は、コイルばねであってもよい。

本発明は、第２の実施の形態に係る研削装置１Ａのように、可動支持部が研削加工部を支持する２つの腕部を有するものに限定されず、可動支持部が複数の腕部を有するものであってもよいし、１つの腕部を有するものであってもよい。可動支持部が研削加工部を支持する複数の腕部を有する場合において、第２の実施の形態に係る研削装置１Ａにあっては、複数の腕部２４Ａは、それぞれ回転軸部２３Ａから延び、被研削面ＧＳ２である円筒状の内周面の周方向に互いに離れて配置されていることが望ましい。これにより、複数の腕部２４Ａのそれぞれに連結部３０Ａを介して連結される複数の研削加工部１０は、効率的に、被研削面である前記内周面の研削加工を行うことができる。

本発明は、連結部が、研削加工部が可動支持部に対して任意の方向の軸回りに回動することを許容するものである場合において、第１の実施の形態に係る連結部３０であるユニバーサルジョイントに限定されず、その他の形態に係るものであってもよい。例えば、連結部は、ボールジョイントであってもよい。

本発明は、研削加工部の押付け力生成部が押付け力測定部を有するものである場合において、押付け力測定部がロードセルにより構成されるものに限定されず、例えば、加工工具が有する原動機の回転数又はモータトルクを押付け力測定部が測定することによって押付け力の大きさを測定するものであってもよい。

本発明は、第２の実施の形態に係る研削装置１Ａにおいて、腕部２４Ａの被研削面ＧＳ２の周方向への回転を実現する構成が、基礎柱２２Ａが有する回転軸部駆動装置２６Ａによるものに限定されず、例えば、回転軸部２３Ａが有する駆動装置すなわち腕部伸縮装置２７Ａが回転駆動部として機能するものであってもよい。

本発明は、第２の実施の形態に係る研削装置１Ａにおいて、回転軸部２３Ａの被研削面ＧＳ２の中心軸ＣＡ方向の移動を実現する構成が、基礎柱２２Ａが有する回転軸部駆動装置２６Ａによるものに限定されず、例えば、固定台２１Ａの下側にスライドレールが設けられていて、研削装置１Ａ全体が中心軸ＣＡ方向に移動できるものであってもよい。

１、１Ａ、１Ｂ 研削装置
１０、１０Ｃ 研削加工部
１１ 研削加工部の本体部
１２、１２Ｃ 吸着転動体（電磁石転動体）
１２１ Ｘ方向に転動可能な電磁石転動体
１２２ Ｙ方向に転動可能な電磁石転動体
１４ 押付け力生成部
１４１ アクチュエータ
１４２ アクチュエータ制御部
１４３ 押付け力測定部
１６ 加工工具
２０、２０Ａ 可動支持部
２１、２１Ａｆ 固定部
２１Ａ 固定台
２２Ａ 基礎柱
２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ ロボットアームの腕部
２３Ａ 回転軸部
２４Ａ 腕部
２５Ａ 基礎柱伸縮装置
２６Ａ 回転軸部駆動装置（回転駆動部）
２７Ａ 腕部伸縮装置
２８Ａ 基礎部
２９ａ、２９ｂ、２９ｃ、２９ｄ ロボットアームの関節部
３０、３０Ａ 連結部
３０ａ 第１回動軸
３０ｂ 第２回動軸
３１ 第１回動体
３１０ 接続凸部
３２ 第２回動体
３２０ 接続凹部
３３ 回動軸支持体
４０ 延長腕部
ＯＢ１、ＯＢ２ 研削対象物
ＧＳ１、ＧＳ２ 被研削面
ＣＡ 中心軸

Claims (13)

1. 研削対象物の被研削面の研削加工を行う研削加工部と、
   前記研削加工部を支持しながら前記被研削面に沿って移動させる可動支持部と、
   前記研削加工部が前記可動支持部に対して互いに直交する二つの軸周りに回動することを許容しながら、前記研削加工部と前記可動支持部とを互いに連結する連結部と、
   を備え、
   前記研削加工部は、前記連結部に接続される本体部と、前記本体部に取り付けられ前記被研削面上を転動する少なくとも１つの転動体と、前記本体部に取り付けられ前記少なくとも１つの転動体を前記被研削面に吸着させる吸着力を生成する吸着力生成部と、前記本体部に取り付けられ前記被研削面を研削する加工工具と、を有し、
   前記加工工具は、前記吸着力によって前記被研削面に吸着させられる前記少なくとも１つの転動体が前記被研削面上を転動することに伴い、前記被研削面に沿って移動する前記本体部とともに前記被研削面上を移動して当該被研削面を研削し、
   前記少なくとも１つの転動体は、前記被研削面に吸着しながら前記被研削面上を転動する少なくとも１つの吸着転動体を含み、当該少なくとも１つの吸着転動体が当該吸着転動体の前記被研削面と接触する部位を前記被研削面に吸着させる前記吸着力を生成する、
   研削装置。
2. 前記連結部は、前記研削加工部が前記可動支持部に対して任意の軸回りに回動することを許容しながら、前記研削加工部と前記可動支持部とを互いに連結する、
   請求項１に記載の研削装置。
3. 前記少なくとも１つの吸着転動体は、当該吸着転動体を磁力により前記被研削面に吸着させる磁石を含む、
   請求項１に記載の研削装置。
4. 前記少なくとも１つの吸着転動体は、それぞれが通電されることによって磁力を生成する電磁石を含む複数の電磁石転動体を含み、
   前記複数の電磁石転動体は、それぞれの通電の有無が互いに独立して切替可能となるように電源回路に接続され、当該複数の電磁石転動体の転動が可能である転動可能方向が互いに異なるように配置されている、
   請求項１に記載の研削装置。
5. 前記加工工具は、砥石と、前記砥石を前記被研削面上で回転させる原動機と、を有する、
   請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の研削装置。
6. 前記加工工具は、前記本体部に対して前記被研削面の法線方向を含む方向に変位可能となるように当該本体部に取り付けられ、
   前記研削加工部は、前記加工工具を前記本体部から前記被研削面に向かって押し付ける押付け力を生成する押付け力生成部を、更に有する、
   請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の研削装置。
7. 前記押付け力生成部は、前記押付け力を生成するアクチュエータと、前記押付け力の大きさが一定になるように前記アクチュエータを制御するアクチュエータ制御部と、を有する、
   請求項６に記載の研削装置。
8. 前記押付け力生成部は、前記加工工具にかかる前記押付け力の大きさを測定し、測定された前記押付け力の大きさを前記アクチュエータ制御部に入力する押付け力測定部を更に有し、
   前記アクチュエータ制御部は、前記押付け力測定部から入力された前記押付け力の大きさに基づいて、前記押付け力の大きさが一定になるように前記アクチュエータをフィードバック制御する、
   請求項７に記載の研削装置。
9. 前記押付け力測定部は、前記加工工具に取り付けられて前記加工工具にかかる前記押付け力の大きさを電圧に変換するロードセルを有する、
   請求項８に記載の研削装置。
10. 前記可動支持部は、前記研削対象物の形状に対応して前記研削加工部を支持しながら前記被研削面に沿って移動させるロボットアームである、
    請求項１ないし請求項９のいずれかに記載の研削装置。
11. 前記研削装置は、前記被研削面として円筒状の内周面を持つ研削対象物の研削加工を行うものであり、
    前記可動支持部は、前記内周面が形成する空間の内側に挿入されることが可能な基礎部と、前記基礎部に対して前記研削加工部が前記内周面の径方向に変位可能となるように前記基礎部から延びて当該研削加工部を支持する少なくとも１つの腕部と、前記少なくとも１つの腕部を前記内周面の中心軸回りに回転させる回転駆動部と、を含み、
    前記連結部は、前記少なくとも１つの腕部と前記研削加工部とを互いに連結する、
    請求項１ないし請求項９のいずれかに記載の研削装置。
12. 前記基礎部は、固定部と、前記固定部から前記内周面の中心軸方向に延び当該中心軸方向に移動可能であり且つ当該中心軸回りに回転可能である回転軸部と、を有し、
    前記少なくとも１つの腕部は、前記回転軸部から前記内周面の径方向に延びる腕部を含み、
    前記固定部は、前記回転駆動部を有し、
    前記回転駆動部が、前記回転軸部を前記中心軸回りに回転させることにより、前記少なくとも１つの腕部を前記内周面の中心軸回りに回転させる、
    請求項１１に記載の研削装置。
13. 前記少なくとも１つの腕部は、前記基礎部から延び前記内周面の周方向に互いに離れて配置された複数の腕部を含む、
    請求項１１又は請求項１２に記載の研削装置。

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