JP7474406B2 - レーザ加工システム及びレーザ加工方法 - Google Patents
レーザ加工システム及びレーザ加工方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7474406B2 JP7474406B2 JP2020117134A JP2020117134A JP7474406B2 JP 7474406 B2 JP7474406 B2 JP 7474406B2 JP 2020117134 A JP2020117134 A JP 2020117134A JP 2020117134 A JP2020117134 A JP 2020117134A JP 7474406 B2 JP7474406 B2 JP 7474406B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- workpiece
- processing
- wafer
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 239
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 46
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 35
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 13
- 230000001629 suppression Effects 0.000 claims description 10
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 256
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 59
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 21
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 20
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 18
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 10
- 230000004044 response Effects 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 7
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000001962 electrophoresis Methods 0.000 description 1
- 239000002223 garnet Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Dicing (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
〔全体構成〕
実施形態に係るレーザ加工システムは、図1、図2に示すダイシング装置及び図3、図4に示す研削研磨装置を備える。また、レーザ加工システムは、ダイシング装置を適用して加工が施されたウエハを研削研磨装置へ搬送する搬送装置を備える。なお、搬送装置の図示は省略する。
図1は実施形態に係るレーザ加工システムに適用されるダイシング装置の全体構成図である。ダイシング装置10は、ウエハ移動部11、レーザヘッド40及び制御部50を備える。レーザヘッド40はレーザ光学部20及び観察光学部30を備える。なお、実施形態に記載のレーザヘッド40はレーザ照射部の構成要素の一例である。また、実施形態に記載の制御部50はレーザ照射制御部が含まれる。
図2は図1に示すダイシング装置の機能ブロック図である。図2に示す制御部50は、統括制御部100を備える。統括制御部100はダイシング装置10の各部を統括的に制御する。
次に、レーザ加工システムに適用される研削研磨装置について説明する。以下に説明する研削研磨装置は、ウエハを研削する研削部及びウエハを研磨する研磨部を備える。図3は研削研磨装置に適用される研削部の概略構成図である。同図には、研削部61を模式的に図示する。
図4は研削研磨装置の機能ブロック図である。研削研磨装置60は、制御部200を備える。制御部200に具備される各部は、研削研磨装置60の各種の機能に対応する。
〔全体の手順〕
図5は実施形態に係るレーザ加工方法の手順を示すフローチャートである。レーザ加工工程S10では、図1に示す吸着ステージ13へウエハWを載置する。吸着ステージ13はウエハWを吸着支持する。
図6は図5に示すレーザ加工工程の手順を示すフローチャートである。ウエハ情報取得工程S20では、図2に示すウエハ情報取得部150は加工対象のウエハWの識別情報を取得する。ウエハ情報取得工程S20の後にレーザ加工条件設定工程S22へ進む。
次に、レーザ加工溝のエッジオフ量及びレーザ加工領域のエッジオフ量について、詳細に説明する。
図8は比較例に係るレーザ加工の模式図である。同図には、任意のストリートに沿うウエハWAの断面図300及びウエハWの外周部の一部を拡大した、ウエハWAの表面320における拡大平面図302を示す。
図9は実施形態に係るレーザ加工方法に適用されるレーザ加工の模式図である。同図には、任意のストリートに沿うウエハWの断面図304及びウエハWの外周部の一部を拡大した、ウエハWの表面320における拡大平面図306を示す。
図11は比較例に係るレーザ加工の他の例の模式図である。同図には任意のストリートに沿うウエハWAの断面図312及びウエハWAの外周部の一部を拡大した、ウエハWの表面320における拡大平面図314を示す。
図12はチップ割れ及びチップ飛びの評価結果を示す表である。図12に示す表における比較例1は図8に示すウエハWAに対応する。比較例2は図11に示すウエハWAに対応する。
本実施形態に係るレーザ加工システム及びレーザ加工方法は、以下の作用効果を得ることが可能である。
ウエハWの表面に形成されるレーザ加工溝330のエッジオフ量S1を、ウエハWの内部に形成されるレーザ加工領域340のエッジオフ量S2と異ならせる。これにより、ウエハWの裏面を研削及び研磨する際にウエハWへ付与される応力及び衝撃が緩和され、チップ飛びの発生を抑制し得る。また、実用上問題となるチップ割れの発生を抑制し得る。
レーザ加工溝330のエッジオフ量S1をレーザ加工領域340のエッジオフ量S2よりも大きくする。これにより、チップ飛びの発生及びチップ割れの発生の抑制効果が向上し得る。
異常抑制加工モードが設定された場合に、レーザ加工溝330のエッジオフ量S1をレーザ加工領域340のエッジオフ量S2と異ならせるレーザ加工条件が自動的に設定される。これにより、異常抑制加工モードが設定された場合に、チップ飛びの発生及びチップ割れの発生が抑制されるレーザ加工を実施し得る。
ウエハWの種類に応じたウエハのレーザ加工条件が設定される。これより、各種のウエハWに適したレーザ加工条件を設定し得る。
Claims (6)
- 被加工物に対してレーザ光を照射するレーザ照射部と、
前記被加工物を支持する支持部と、
前記支持部を用いて支持される前記被加工物と前記レーザ照射部とを相対的に移動させる移動部と、
前記レーザ照射部を制御して、前記被加工物の表面に規定される加工ラインに沿い、前記被加工物の表面に形成されるレーザ加工溝であり、前記加工ラインにおける前記被加工物の端に達しないレーザ加工溝、及び前記加工ラインに沿って前記被加工物の内部に形成されるレーザ加工領域であり、前記加工ラインにおける前記被加工物の端に達しないレーザ加工領域を形成するレーザ照射制御部と、
を備え、
前記レーザ照射制御部は、前記加工ラインにおける前記被加工物の一端から、前記被加工物の一端の側のレーザ加工溝の端までの距離と、前記加工ラインにおける前記被加工物の一端から、前記被加工物の一端の側の前記レーザ加工領域の端までの距離とを互いに異ならせる、レーザ加工システム。 - 前記被加工物の加工モードを設定する加工モード設定部を備え、
前記レーザ照射制御部は、前記加工モード設定部を用いて、前記被加工物の異常を抑制する異常抑制加工モードが設定された場合に、前記加工ラインにおける前記被加工物の一端から前記レーザ加工溝の端までの距離と、前記加工ラインにおける前記被加工物の一端から前記レーザ加工領域の端までの距離とを互いに異ならせる、請求項1に記載のレーザ加工システム。 - 前記レーザ照射制御部は、前記加工ラインにおける前記被加工物の一端から前記レーザ加工溝の端までの距離を、前記加工ラインにおける前記被加工物の一端から前記レーザ加工領域の端までの距離よりも長く設定する、請求項1又は2に記載のレーザ加工システム。
- 前記被加工物の情報を取得する被加工物情報取得部と、
前記被加工物情報取得部を用いて取得された前記被加工物の情報に応じて、前記加工ラインにおける前記被加工物の一端から前記レーザ加工溝の端までの距離及び前記加工ラインにおける前記被加工物の一端から前記レーザ加工領域の端までの距離を設定する設定部と、
を備えた請求項1から3のいずれか一項に記載のレーザ加工システム。 - 前記レーザ加工溝の加工条件及び前記レーザ加工領域の加工条件の少なくともいずれかを取得する加工条件取得部を備え、
前記設定部は、前記加工条件取得部を用いて取得した前記レーザ加工溝の加工条件及び前記レーザ加工領域の加工条件の少なくともいずれかに応じて、前記加工ラインにおける前記被加工物の一端から前記レーザ加工溝の端までの距離及び前記加工ラインにおける前記被加工物の一端から前記レーザ加工領域の端までの距離を設定する請求項4に記載のレーザ加工システム。 - 被加工物を支持する支持部を用いて支持される前記被加工物と前記被加工物に対してレーザ光を照射するレーザ照射部とを相対的に移動させ、前記被加工物に対してレーザ光を照射して被加工物を加工するレーザ加工方法であって、
前記被加工物の表面に規定される加工ラインに沿い、前記被加工物の表面に形成されるレーザ加工溝であり、前記加工ラインにおける前記被加工物の端に達しないレーザ加工溝を形成するレーザ加工溝形成工程と、
前記加工ラインに沿って前記被加工物の内部に形成されるレーザ加工領域であり、前記加工ラインにおける前記被加工物の端に達しないレーザ加工領域を形成するレーザ加工領域形成工程と、
を含み、
前記加工ラインにおける前記被加工物の一端から、前記被加工物の一端の側の前記レーザ加工溝の端までの距離と、前記加工ラインにおける前記被加工物の一端から、前記被加工物の一端の側の前記レーザ加工領域の端までの距離とが互いに異なる、レーザ加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020117134A JP7474406B2 (ja) | 2020-07-07 | 2020-07-07 | レーザ加工システム及びレーザ加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020117134A JP7474406B2 (ja) | 2020-07-07 | 2020-07-07 | レーザ加工システム及びレーザ加工方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022014664A JP2022014664A (ja) | 2022-01-20 |
JP7474406B2 true JP7474406B2 (ja) | 2024-04-25 |
Family
ID=80120475
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020117134A Active JP7474406B2 (ja) | 2020-07-07 | 2020-07-07 | レーザ加工システム及びレーザ加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7474406B2 (ja) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007258236A (ja) | 2006-03-20 | 2007-10-04 | Denso Corp | 半導体基板の分断方法およびその分断方法で作製された半導体チップ |
JP2011187479A (ja) | 2010-03-04 | 2011-09-22 | Disco Corp | ウエーハの加工方法 |
JP2012130952A (ja) | 2010-12-22 | 2012-07-12 | Hamamatsu Photonics Kk | レーザ加工方法 |
JP2013135026A (ja) | 2011-12-26 | 2013-07-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハの加工方法 |
JP2018206967A (ja) | 2017-06-05 | 2018-12-27 | 株式会社ディスコ | チップの製造方法 |
JP2019114712A (ja) | 2017-12-25 | 2019-07-11 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 素子チップの製造方法 |
JP2019186426A (ja) | 2018-04-12 | 2019-10-24 | 株式会社ディスコ | チップの製造方法 |
-
2020
- 2020-07-07 JP JP2020117134A patent/JP7474406B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007258236A (ja) | 2006-03-20 | 2007-10-04 | Denso Corp | 半導体基板の分断方法およびその分断方法で作製された半導体チップ |
JP2011187479A (ja) | 2010-03-04 | 2011-09-22 | Disco Corp | ウエーハの加工方法 |
JP2012130952A (ja) | 2010-12-22 | 2012-07-12 | Hamamatsu Photonics Kk | レーザ加工方法 |
JP2013135026A (ja) | 2011-12-26 | 2013-07-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハの加工方法 |
JP2018206967A (ja) | 2017-06-05 | 2018-12-27 | 株式会社ディスコ | チップの製造方法 |
JP2019114712A (ja) | 2017-12-25 | 2019-07-11 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 素子チップの製造方法 |
JP2019186426A (ja) | 2018-04-12 | 2019-10-24 | 株式会社ディスコ | チップの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2022014664A (ja) | 2022-01-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8021963B2 (en) | Wafer treating method | |
TWI574314B (zh) | Wafer processing method | |
US11340163B2 (en) | Method and apparatus for detecting facet region, wafer producing method, and laser processing apparatus | |
TWI455196B (zh) | Processing method of optical element wafers (2) | |
US9649775B2 (en) | Workpiece dividing method | |
US20040089644A1 (en) | Laser machining method and laser machining apparatus | |
JP2017024039A (ja) | ウエーハの薄化方法 | |
KR20130121719A (ko) | 레이저 가공 장치 및 레이저 가공 방법 | |
JP5839923B2 (ja) | パシベーション膜が積層された基板のアブレーション加工方法 | |
JP2005209719A (ja) | 半導体ウエーハの加工方法 | |
CN105810633B (zh) | 晶片的加工方法 | |
TW201909262A (zh) | 晶圓加工方法 | |
JP2004179302A (ja) | 半導体ウエーハの分割方法 | |
KR20130137534A (ko) | 웨이퍼의 가공 방법 | |
JP2020038870A (ja) | ウェーハの加工方法 | |
KR20170127370A (ko) | 웨이퍼의 가공 방법 | |
WO2020213479A1 (ja) | 処理装置及び処理方法 | |
JP2014099522A (ja) | 板状物の加工方法 | |
JP7474406B2 (ja) | レーザ加工システム及びレーザ加工方法 | |
JP6152013B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
US20230020620A1 (en) | Laminated device wafer forming method | |
JP5916336B2 (ja) | ウエーハの研削方法 | |
JP7334065B2 (ja) | チップの製造方法 | |
JP2019009191A (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP2011171382A (ja) | 分割方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230601 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20240229 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240313 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240326 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7474406 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |