JP7469945B2 - ワイヤ電極の変位量を検出するセンサ装置 - Google Patents
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Description
tanα=(ΔX2-ΔX1)/L (式1a)
tanα=(ΔY2-ΔY1)/L (式1b)
ΔX1=c1×[(S1+S2)-(S3+S4)]/(S1+S2+S3+S4)
(式2)
ここで、c1は、(無次元の)信号依存値[(S1+S2)-(S3+S4)]/(S1+S2+S3+S4)を長さ寸法に換算するための所定の換算係数である。
ΔY1=c1×[(S1+S3)-(S2+S4)]/(S1+S2+S3+S4)
(式3)
ここで、c2は、(無次元の)信号依存値[(S1+S3)-(S2+S4)]/(S1+S2+S3+S4)を長さ寸法に換算するための所定の換算係数である。
ΔX2=c3×[(S5+S6)-(S7+S8)]/(S5+S6+S7+S8)
(式4)
ΔY2=c4×[(S5+S7)-(S6+S8)]/(S5+S6+S7+S8)
(式5)
ここで、c3、c4は、(無次元の)信号依存値[(S5+S6)-(S7+S8)]/(S5+S6+S7+S8)または[(S5+S7)-(S6+S8)]/(S5+S6+S7+S8)をそれぞれ長さ寸法に換算するための所定の換算係数である。
なお、本願は、特許請求の範囲に記載の発明に関するものであるが、他の態様として以下を含む。
1.
第1の測定平面(T1)において基準軸線(O)上に位置する第1の基準点(O1)に関するワイヤ放電加工機のワイヤ電極(1)の変位量(ΔX1,ΔY1)を検出するセンサ装置(10)であって、
前記第1の測定平面(T1)は、前記第1の基準点(O1)と、第1の変位方向(X)と、該第1の変位方向(X)に対して垂直に延びる第2の変位方向(Y)とによって定義され、前記第1の変位方向(X)および前記第2の変位方向(Y)は、それぞれ前記基準軸線(O)に対して垂直に延びる、センサ装置(10)において、
前記センサ装置(10)は、巻線要素配列体(18)を有し、該巻線要素配列体(18)は、前記ワイヤ電極(1)によって生成される交番磁界(11)を捕捉するとともに第1~第4の測定信号(S1~S4)を生成するための、前記第1の測定平面(T1)に配置された少なくとも1つの第1~第4の巻線要素(20.1~20.4)を有し、
前記第1~第4の巻線要素(20.1~20.4)は、第1の平面(A1)および第2の平面(A2)において、前記第1~第4の巻線要素(20.1~20.4)が前記第1の基準点(O1)に関してそれぞれ対偶を成して前記第1および前記第2の変位方向(X,Y)に対向するように配置されており、前記第1の平面(A1)および前記第2の平面(A2)は、それぞれ前記基準軸線(O)に対して平行に延在し、前記第1の平面(A1)および前記第2の平面(A2)は、前記第1の基準点(O1)に関して、前記第2の変位方向(Y)に相互に間隔を置いて対向して配置されていることを特徴とする、センサ装置(10)。
2.
前記センサ装置(10)は、支持体(12)を有し、該支持体(12)は、前記第1~前記第4の巻線要素(20.1~20.4)が前記第1の平面(A1)および前記第2の平面(A2)において支持されるように構成されている、上記1のセンサ装置(10)。
3.
前記支持体(12)は、前記第1の平面(A1)に対して平行な第1の表面(B1)と、前記第2の平面(A2)に対して平行な第2の表面(B2)とを有する、上記2のセンサ装置(10)。
4.
前記支持体(12)は、基板のコアとして構成されている、上記2または3のセンサ装置(10)。
5.
前記支持体(12)は、前記第1~前記第4の巻線要素(20.1~20.4)を支持するための共通の単一の部分によって形成されている、上記2から4までのいずれか1項のセンサ装置(10)。
6.
前記支持体(12)は、前記第1~前記第4の巻線要素(20.1~20.4)を支持するための、相互に分離された2つの部分(12.1,12.2)を有し、両前記部分(12.1,12.2)は、少なくとも1つの別の部分(14.1)を介して相互に結合されている、上記2から4までのいずれか1つのセンサ装置(10)。
7.
前記支持体(12)は、凹部(16)を有する、上記2から6までのいずれか1つのセンサ装置(10)。
8.
前記凹部(16)は、前記基準軸線(O)に対して平行に前記支持体(12)を通って延在する、上記7記載のセンサ装置(10)。
9.
前記凹部(16)は、前記基準軸線(O)の方向に見て、前記第1の変位方向(X)に、前記第2の変位方向(Y)に対向する前記巻線要素(20.1,20.2)の第1の対偶と前記第2の変位方向(Y)に対向する前記巻線要素(20.3,20.4)の第2の対偶との間に延在するとともに、前記第2の変位方向(Y)に、前記第1の平面(A1)と前記第2の平面(A2)との間に延在する、上記7または8のセンサ装置(10)。
10.
前記第1の基準点(O1)は、前記凹部(16)の横断面の内側に位置する、上記7から9までのいずれか1つのセンサ装置(10)。
11.
前記第1~前記第4の巻線要素(20.1~20.4)は、前記第1の基準点(O1)に関して対称に配置されている、上記1から10までのいずれか1つのセンサ装置(10)。
12.
前記第1~前記第4の巻線要素(20.1~20.4)は、共通の構造体として、前記支持体(12)上に形成されている、上記2から11までのいずれか1つのセンサ装置(10)。
13.
前記センサ装置(10)は、前記第1の測定平面(T1)における変位量(ΔX1,ΔY1)が前記第1~前記第4の測定信号(S1~S4)に基づいて得られるように構成されている、上記1から12までのいずれか1つのセンサ装置(10)。
14.
上記1から13までのいずれか1つのセンサ装置(10)と、ワイヤ電極(1)とを備え、該ワイヤ電極(1)は、無変位状態で、前記基準軸線(O)に対して同軸に前記第1の基準点(O1)を通って延在する、ワイヤ放電加工機。
15.
前記ワイヤ放電加工機は、交流パルスを生成する信号発生器(3)を有し、前記ワイヤ電極(1)は、該ワイヤ電極(1)に交流パルスが印加されると、捕捉されるべき交番磁界(11)が生成されるように構成されている、上記14のワイヤ放電加工機。
3 信号発生器
4.1,4.2 評価ユニット
10 センサ装置
11 交番磁界
12 支持体
12.1,12.2 部分
14.1,14.2,14.21,14.22 部分
16 凹部
18 巻線要素配列体
20.1~20.8 巻線要素
22.1~22.8 基準巻線要素
A1,A2 平面
B1,B2 表面
C1~C2 表面
O 基準軸線
O1,O2 基準点
R1~R4 基準信号
S1~S8 信号
T1,T2 測定平面
Claims (15)
- 第1の測定平面(T1)において基準軸線(O)上に位置する第1の基準点(O1)に関するワイヤ放電加工機のワイヤ電極(1)の変位量(ΔX1,ΔY1)を検出するセンサ装置(10)であって、
前記第1の測定平面(T1)は、前記第1の基準点(O1)と、第1の変位方向(X)と、該第1の変位方向(X)に対して垂直に延びる第2の変位方向(Y)とによって定義され、前記第1の変位方向(X)および前記第2の変位方向(Y)は、それぞれ前記基準軸線(O)に対して垂直に延びる、センサ装置(10)において、
前記センサ装置(10)は、巻線要素配列体(18)を有し、該巻線要素配列体(18)は、前記ワイヤ電極(1)によって生成される交番磁界(11)を捕捉するとともに第1~第4の測定信号(S1~S4)を生成するための、前記第1の測定平面(T1)に配置された少なくとも1つの第1~第4の巻線要素(20.1~20.4)を有し、
前記第1~第4の巻線要素(20.1~20.4)は、第1の平面(A1)および第2の平面(A2)において、前記第1~第4の巻線要素(20.1~20.4)が前記第1の基準点(O1)に関してそれぞれ対偶を成して前記第1および前記第2の変位方向(X,Y)に対向するように配置されており、前記第1の平面(A1)および前記第2の平面(A2)は、それぞれ前記基準軸線(O)に対して平行に延在し、前記第1の平面(A1)および前記第2の平面(A2)は、前記第1の基準点(O1)に関して、前記第2の変位方向(Y)に相互に間隔を置いて対向して配置されていることを特徴とする、センサ装置(10)。 - 前記センサ装置(10)は、支持体(12)を有し、該支持体(12)は、前記第1~前記第4の巻線要素(20.1~20.4)が前記第1の平面(A1)および前記第2の平面(A2)において支持されるように構成されている、請求項1に記載のセンサ装置(10)。
- 前記支持体(12)は、前記第1の平面(A1)に対して平行な第1の表面(B1)と、前記第2の平面(A2)に対して平行な第2の表面(B2)とを有する、請求項2に記載のセンサ装置(10)。
- 前記支持体(12)は、基板のコアとして構成されている、請求項2または3に記載のセンサ装置(10)。
- 前記支持体(12)は、前記第1~前記第4の巻線要素(20.1~20.4)を支持するための共通の単一の部分によって形成されている、請求項2から4までのいずれか1項に記載のセンサ装置(10)。
- 前記支持体(12)は、前記第1~前記第4の巻線要素(20.1~20.4)を支持するための、相互に分離された2つの部分(12.1,12.2)を有し、両前記部分(12.1,12.2)は、少なくとも1つの別の部分(14.1)を介して相互に結合されている、請求項2から4までのいずれか1項に記載のセンサ装置(10)。
- 前記支持体(12)は、凹部(16)を有する、請求項2から6までのいずれか1項に記載のセンサ装置(10)。
- 前記凹部(16)は、前記基準軸線(O)に対して平行に前記支持体(12)を通って延在する、請求項7記載のセンサ装置(10)。
- 前記凹部(16)は、前記基準軸線(O)の方向に見て、前記第1の変位方向(X)に、前記第2の変位方向(Y)に対向する前記巻線要素(20.1,20.2)の第1の対偶と前記第2の変位方向(Y)に対向する前記巻線要素(20.3,20.4)の第2の対偶との間に延在するとともに、前記第2の変位方向(Y)に、前記第1の平面(A1)と前記第2の平面(A2)との間に延在する、請求項7または8に記載のセンサ装置(10)。
- 前記第1の基準点(O1)は、前記凹部(16)の横断面の内側に位置する、請求項7から9までのいずれか1項に記載のセンサ装置(10)。
- 前記第1~前記第4の巻線要素(20.1~20.4)は、前記第1の基準点(O1)に関して対称に配置されている、請求項1から10までのいずれか1項に記載のセンサ装置(10)。
- 前記第1~前記第4の巻線要素(20.1~20.4)は、共通の構造体として、前記支持体(12)上に形成されている、請求項2から10までのいずれか1項に記載のセンサ装置(10)。
- 前記センサ装置(10)は、前記第1の測定平面(T1)における変位量(ΔX1,ΔY1)が前記第1~前記第4の測定信号(S1~S4)に基づいて得られるように構成されている、請求項1から12までのいずれか1項に記載のセンサ装置(10)。
- 請求項1から13までのいずれか1項に記載のセンサ装置(10)と、ワイヤ電極(1)とを備え、該ワイヤ電極(1)は、無変位状態で、前記基準軸線(O)に対して同軸に前記第1の基準点(O1)を通って延在する、ワイヤ放電加工機。
- 前記ワイヤ放電加工機は、交流パルスを生成する信号発生器(3)を有し、前記ワイヤ電極(1)は、該ワイヤ電極(1)に交流パルスが印加されると、捕捉されるべき交番磁界(11)が生成されるように構成されている、請求項14に記載のワイヤ放電加工機。
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