JP7455713B2 - 基板処理方法 - Google Patents
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<1-1.基板処理システムの概略構成>
図1は、一実施形態に係る基板処理システム1の概略構成の一例を示す図である。基板処理システム1は、例えば、ホストコンピュータ10と、基板処理装置20と、搬送装置30とを備える。基板処理装置20は複数設けられてもよい。ホストコンピュータ10と、複数の基板処理装置20と、搬送装置30とは例えば通信回線50を介して通信可能に接続される。通信回線50には、例えば、有線回線および無線回線の一方もしくは両方が採用される。
図2は、ホストコンピュータ10の電気的な構成の一例を示すブロック図である。ホストコンピュータ10は、複数の基板処理装置20を統括的に管理するための装置(管理装置ともいう)である。
図3は、基板処理装置20の概略構成の一例を示す模式的な平面図であり、図4は、基板処理装置20の概略構成の一例を示す模式的な側面図である。
図5は、一つの処理ユニット21の構成を例示する概略図である。図5は鉛直方向に垂直な方向から見た図である。処理ユニット21は基板Wを一枚ずつ処理する枚葉式のユニットである。処理ユニット21は本体制御ユニット22の制御の下で動作する。本体制御ユニット22は処理ユニット21に備えられた各部の動作やバルブの開閉を制御する。
図6には、液交換部28の液交換ユニット281の一例が概略的に示されている。液交換ユニット281は貯留槽261内の処理液HFNを新しい処理液HFNに交換することができ、液排出部D1と液供給部F1とを含んでいる。液排出部D1は排液配管2811と排液バルブ2812とを含む。排液配管2811の上流端は貯留槽261の例えば底部に接続される。排液バルブ2812は排液配管2811に介挿されている。排液バルブ2812が開くことにより、貯留槽261内の処理液HFNは排液配管2811および排液バルブ2812を通じて外部に排出される。排液バルブ2812が閉じることにより、貯留槽261は処理液HFNを貯留することができる。排液配管2811にはポンプが介挿され得る。
図8は、本体制御ユニット22の電気的な構成の一例を示すブロック図である。本体制御ユニット22は、例えば、コンピュータで実現され、バスラインBu2を介して接続された、通信部221、入力部222、出力部223、記憶部224、制御部225およびドライブ226を備える。
次に、製品用の基板Wに対する薬液処理(エッチング処理)について述べる。まず、センターロボット82から未処理の基板Wが処理ユニット21に搬入され、スピンチャック5によって保持される。基板Wの上面Wuにはシリコン層が形成されている。スピンチャック5は基板Wを保持した状態で基板回転軸A1のまわりで基板Wを回転させる。ガード昇降装置55はガード機構7に、例えば処理液HFN用の位置をとらせる。具体的には、ガード昇降装置55はガード71,72をそれぞれの上位置に移動させ、ガード73,74をそれぞれの下位置で停止したままとする。次に、ノズル移動装置37が処理液ノズル341,342を処理位置に移動させた上で、例えば、処理液バルブ361が開くことにより、処理液ノズル341から基板Wの上面Wuに処理液HFNを吐出する。
SiO2+6HF⇔H2SiF6+2H2O ・・・(2)
式(1)は、シリコン(Si)と硝酸(HNO3)との酸化反応を示しており、当該酸化反応によりシリコン酸化膜(SiO2)が形成される。式(2)は、式(1)で生じたシリコン酸化膜とフッ酸(HF)との溶解反応を示しており、当該溶解反応によりシリコン酸化膜が除去される。つまり、シリコン層は硝酸により酸化されて、一旦、シリコン酸化膜という中間生成膜となり、この中間生成膜がフッ酸により溶解されることで、除去される。
Si+4HNO2⇔SiO2+4NO+2H2O ・・・(4)
つまり、式(1)の酸化反応によって生じた一酸化窒素(NO)と硝酸とが反応し、亜硝酸(HNO2)を生成し(式(3))、当該亜硝酸がシリコンに作用して、シリコンを酸化させる(式(4))。亜硝酸は硝酸よりも酸化力が強いので、式(4)の酸化反応により、速やかにシリコン層を酸化することができる。そして、フッ酸により、そのシリコン酸化膜を速やかに除去することができる。
貯留槽261に貯留された処理液HFNの状態は時間の経過とともに変化する。例えば基板Wの処理に供された処理液HFNを貯留槽261に回収することにより、貯留槽261内の処理液HFNは徐々に劣化する。なぜなら、基板Wの処理に供された処理液には、例えば、基板Wのシリコンとの反応で生成した副生成物、および、基板Wに付着した不純物の少なくともいずれか一方が含まれ、これらも貯留槽261に回収されるからである。貯留槽262に貯留された処理液HNAの状態も同様に時間の経過とともに変化する。
以下では、主として、貯留槽261内の処理液HFNに対する交換処理について説明する。
本体制御ユニット22は、ライフ値が寿命条件を満足していないときに、ステップS1を再び実行する。つまり、ライフ値が寿命条件を満足していないので、処理液の交換は不要であると判断し、本体制御ユニット22はステップS1を繰り返す。
そこで、液交換処理(ステップS3)に続いて自動的にダミー処理(ステップS4)が実行される。つまり、次の基板Wに対する処理の再開(後述のステップS5:処理工程)に先立って、ダミー処理が行われる。
そこで、基板処理装置20は、ダミー処理(ステップS4)の後に自動的に次の基板Wからの処理を再開する(ステップS6:処理工程)。この基板処理(ステップS6)では、インデクサロボット81およびセンターロボット82が協働して、キャリアC内の製品用の基板Wを処理ユニット21に搬送し、処理ユニット21において、処理液供給機構6が交換後の処理液HFNを基板Wの上面Wuに供給する。これにより、基板Wのシリコン層を高いエッチング速度で安定してエッチングすることができる。
以上のように、本体制御ユニット22は処理液の交換要否を判断し(ステップS1)、処理液の交換が必要と判断したときに、自動的に処理液の液交換処理(ステップS3)が実行される。言い換えれば、ユーザの入力部102,222,242への操作なしに、液交換処理が行われる。よって、ユーザにとっての利便性を向上させることができる。
図12は、ダミー工程の一例を示すフローチャートである。ダミー工程(ステップS42)は、パドル処理(ステップS423)を含んでいてもよい。以下に、具体的に説明する。ダミー工程において、まず、スピンチャック5が基板回転軸A1のまわりでダミー基板DWを回転させる(ステップS421)。また、ガード昇降装置55はガード機構7に処理液HFNに応じた位置をとらせる。次に、ノズル移動装置37が処理液ノズル341,342を処理位置に移動させ、処理液ノズル341が処理液HFNをダミー基板DWの上面に吐出する(ステップS422)。これにより、処理液HFNはダミー基板DWの上面を広がってダミー基板DWの周縁から飛散する。
上述の例では、貯留槽261内の処理液HFNを交換したときには、ダミー工程において、貯留槽261内の新しい処理液HFNをダミー基板DWに供給し、ダミー基板DWの主面を経由した処理液HFNを貯留槽261に回収した。同様に、貯留槽262内の処理液HNAを交換したときには、ダミー工程において、貯留槽262内の新しい処理液HFNをダミー基板DWに供給し、ダミー基板DWの主面を経由した処理液HNAを貯留槽261に回収する。つまり、交換対象となる処理液を第1処理液と呼び、ダミー工程においてダミー基板DWの主面に供給される処理液を第2処理液と呼ぶと、上述の例では、第2処理液は、貯留槽に貯留された交換後の第1処理液である。これによれば、複数種類の処理液を必要とせずに、貯留槽内の第1処理液における窒素酸化物の量(濃度)を高めることができる。しかしながら、本実施の形態は必ずしもこれに限らない。
図6および図7の例では、センサ271,272が設けられている。センサ271は、貯留槽261に回収される処理液における窒素酸化物(例えば一酸化窒素または二酸化窒素)の量(濃度)を検出する溶存成分マイクロセンサであり、センサ272は貯留槽262に回収される処理液における窒素酸化物の量(濃度)を検出する溶存成分マイクロセンサである。センサ271は例えば回収配管266に設けられ、センサ272は例えば回収配管267に設けられる。センサ271,272はその検出値を示す電気信号を本体制御ユニット22に出力する。
<7-1.処理液の回収についての変形>
上述の例では、ガード機構7の位置制御によって、処理液の回収先を変更した。しかしながら、必ずしもこれに限らない。
図16は、処理液供給機構6の構成の一部の他の一例を概略的に示す図である。処理液ノズル34が処理液配管351,352の両方と接続される。処理液バルブ361は処理液配管351に介挿され、処理液バルブ362は処理液配管352に介挿される。
6 処理液供給機構
20 基板処理装置
21 処理ユニット
23 基板収容器(ダミー基板収容器)
261,261L,261R,262,262L,262R 貯留槽
271,272 センサ
28,28L,28R 液交換部
82 基板搬送部(センターロボット)
91,92 処理液回収機構
HFN,HNA 処理液
DW ダミー基板
W 基板
Claims (5)
- フッ酸および硝酸を含む、貯留槽に貯留された第1処理液の交換要否を判断する判断工程と、
前記判断工程において前記第1処理液の交換が必要であると判断したときに、液交換部が前記貯留槽に貯留された前記第1処理液を交換する交換工程と、
前記交換工程の後に、基板搬送部が、基板処理装置内の据え付け型の基板収容器からダミー基板を取り出し、前記ダミー基板を処理ユニットに搬送するダミー搬入工程と、
前記ダミー搬入工程の後に、前記処理ユニットにおいて、処理液供給機構が、シリコン層が形成された前記ダミー基板の主面に対して、フッ酸および硝酸を含む第2処理液を供給し、前記ダミー基板の前記主面を経由した前記第2処理液を処理液回収機構によって前記貯留槽に回収するダミー工程と、
前記ダミー工程の後に、前記基板搬送部が前記処理ユニットから前記基板収容器に前記ダミー基板を搬送するダミー搬出工程と、
前記ダミー搬出工程の後に、前記基板搬送部が、シリコン層が形成された主面を有する製品用の基板を前記処理ユニットに搬送し、前記処理ユニットにおいて、前記処理液供給機構が、前記貯留槽に貯留された前記第1処理液を前記基板の前記主面に供給する処理工程と
を備える、基板処理方法。 - 請求項1に記載の基板処理方法であって、
前記第2処理液は、前記貯留槽に貯留された交換後の前記第1処理液である、基板処理方法。 - 請求項1に記載の基板処理方法であって、
前記第1処理液は、フッ酸、硝酸および酢酸を含み、
前記第2処理液は、酢酸を含まずにフッ酸および硝酸を含む、基板処理方法。 - 請求項1から請求項3のいずれか一つに記載の基板処理方法であって、
前記ダミー工程は、前記第2処理液の供給を停止して、前記第2処理液の液膜を前記ダミー基板の前記主面の上で保持するパドル工程を含む、基板処理方法。 - 請求項1から請求項4のいずれか一つに記載の基板処理方法であって、
前記ダミー工程において、前記貯留槽に回収される前記第2処理液における窒素酸化物をセンサによって検出し、前記センサの検出値に基づいて、前記ダミー工程を終了させる、基板処理方法。
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