JP7455411B2 - パッケージ型真空ポンプユニット - Google Patents
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 41
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 claims description 8
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims description 2
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 3
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 2
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
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Description
本発明はルーツ式真空ポンプとルーツ式真空ポンプを冷却する冷却装置を、吸音材を備えたボックスに格納したパッケージ型真空ポンプユニットに関する。
この種のパッケージ型真空ポンプユニットの一形式が特開２００７‐１２７１１４号に開示されている。
このパッケージ型真空ポンプユニットでは、真空ポンプの稼働時に発生する騒音によって作業環境が悪化するのを防止するため、吸音材を備えたボックスに真空ポンプを格納している。
また、真空ポンプの稼働時に発生する発熱によってボックス内の温度が上昇し、真空ポンプが過熱して作動不良を来すのを防止するため、ボックス内に真空ポンプを冷却する冷却装置を設けている。
このパッケージ型真空ポンプユニットでは、真空ポンプの稼働時に発生する騒音によって作業環境が悪化するのを防止するため、吸音材を備えたボックスに真空ポンプを格納している。
また、真空ポンプの稼働時に発生する発熱によってボックス内の温度が上昇し、真空ポンプが過熱して作動不良を来すのを防止するため、ボックス内に真空ポンプを冷却する冷却装置を設けている。
上記した従来のパッケージ型真空ポンプユニットは、冷却装置として水冷式の冷却器と排気ファンをボックス内に格納し、冷却器の上に排気ファンを配置している。真空ポンプは冷却器の下方に配置され、真空ポンプの下部周辺には真空ポンプが吸引する空気をボックスの外から内に引き込むための排気用配管が設置されている。この排気用配管は冷却器に接続されている。
上記のパッケージ型真空ポンプユニットによれば、排気ファンによって外気がボックスの下方から上方へ流れ、冷却器へ流入する。また、真空ポンプの発熱によって排気管内の空気が加熱され、加熱空気が冷却器へ流入し、排気用配管も冷却される。そして、外気と加熱空気が冷却器内で混合し、排気ファンによってボックスから排気される。
従来のパッケージ型真空ポンプユニットでは排気ファンでボックスに外気を導入してボックス内部を冷却するとともに、冷却器で排気用配管を冷却している。しかし、冷却器によって直接真空ポンプを冷却するわけではなく、真空ポンプの下部に配管した排気用配管を冷却器で冷却して間接的に真空ポンプを冷却しているので、冷却効果が低い。
本発明は、騒音を抑制でき、かつ真空ポンプを効果的に冷却できるパッケージ型真空ポンプユニットを提供することを目的とする。
本発明は、騒音を抑制でき、かつ真空ポンプを効果的に冷却できるパッケージ型真空ポンプユニットを提供することを目的とする。
請求項１に記載の本発明は、ケーシングにロータ室とロータ室に連通する吸込口及び吐出口を設け、ロータ室に一対のルーツロータを回転可能に組み付け、ルーツロータの回転に伴い空気を吸込口から吸引し、吐出口から吐出するルーツ式真空ポンプと、
ルーツ式真空ポンプを冷却する冷却装置を備え
ルーツ式真空ポンプと冷却装置を、吸音材を備えたボックスに格納したパッケージ型真空ポンプユニットであって、
冷却装置として、ケーシングに貫通して設けられ、冷却オイルが流れる循環路と、
冷却オイルのリザーブタンクと循環路を接続する配管と、
リザーブタンクから循環路へ冷却オイルを圧送して冷却オイルをリザーブタンクとケーシングの循環路との間で循環させる圧送ポンプと、
リザーブタンク内の冷却オイルとの間で熱交換を行う熱交換器と、
熱交換器で冷却オイルとの間で熱交換した冷媒が流れるラジエターと、
ラジエターに送風してラジエターを冷却し、ラジエターからボックスの外に放熱するラジエターの冷却用ファンと、
ボックスの上部に内設され、ボックス内の空気をボックスの外部へ排気する排気ファンで構成したことを特徴とする。
ルーツ式真空ポンプを冷却する冷却装置を備え
ルーツ式真空ポンプと冷却装置を、吸音材を備えたボックスに格納したパッケージ型真空ポンプユニットであって、
冷却装置として、ケーシングに貫通して設けられ、冷却オイルが流れる循環路と、
冷却オイルのリザーブタンクと循環路を接続する配管と、
リザーブタンクから循環路へ冷却オイルを圧送して冷却オイルをリザーブタンクとケーシングの循環路との間で循環させる圧送ポンプと、
リザーブタンク内の冷却オイルとの間で熱交換を行う熱交換器と、
熱交換器で冷却オイルとの間で熱交換した冷媒が流れるラジエターと、
ラジエターに送風してラジエターを冷却し、ラジエターからボックスの外に放熱するラジエターの冷却用ファンと、
ボックスの上部に内設され、ボックス内の空気をボックスの外部へ排気する排気ファンで構成したことを特徴とする。
本発明によれば、吸音材を備えたボックスにオイルクーラ、ルーツ式真空ポンプ及び排気ファンを格納しているので、稼働時にルーツ式真空ポンプ、オイルクーラ、排気ファン等から発生する騒音によって作業環境が悪化するのを防止できる。
そして、ボックスに格納したオイルクーラからルーツ式真空ポンプのケーシングに貫通して設けた循環路へ冷却オイル圧送してケーシングを冷却し、排気ファンでボックス内の空気をボックスの外に排気するので、ルーツ式真空ポンプが過熱して作動不良を来すのを効果的に防止できる。
また、冷却媒体として冷却オイルを循環させているので、循環路の内部に錆やスケールが付着し難く、長期間にわたって高い冷却効率を維持でき、ランニングコストを低く抑えることができる。
そして、ボックスに格納したオイルクーラからルーツ式真空ポンプのケーシングに貫通して設けた循環路へ冷却オイル圧送してケーシングを冷却し、排気ファンでボックス内の空気をボックスの外に排気するので、ルーツ式真空ポンプが過熱して作動不良を来すのを効果的に防止できる。
また、冷却媒体として冷却オイルを循環させているので、循環路の内部に錆やスケールが付着し難く、長期間にわたって高い冷却効率を維持でき、ランニングコストを低く抑えることができる。
以下に本発明を図面に基づき説明する。図１～図３には本発明の一実施例に係るパッケージ型真空ポンプユニット１０が示されている。このパッケージ型真空ポンプユニット１０はボックス１１を備え、ボックス１１にルーツ式真空ポンプ１２とオイルクーラ１３及び排気ファン１４が格納されている。
ボックス１１は複数枚のパネル１１ａをフレーム１５に固定して四角の箱型に組み立てられている。
図２及び図３に示すように、ボックス１１の各側面を構成するパネル１１ａの表面には吸音材１１ｂが貼り付けられている。ボックス１１の上面にはルーツ式真空ポンプ１２の吐出管１２ａが突出して設けられるとともに、排熱口１１ｄが設けられている。またボックス１１の正面には、外気取入口１１ｅとオイルクーラ１３の給油蓋１１ｆが設けられている。ボックス１１の背面にはルーツ式真空ポンプ１２の吸引管１２ｂが突出して設けられている。ルーツ式真空ポンプ１２とオイルクーラ１３はボックス１１の底面１１ｃに載置して固定されている。排気ファン１４は排熱口１１ｄに対向するようにルーツ式真空ポンプ１２の上方の排熱口１１ｄの直下に設置されている。
図２及び図３に示すように、ボックス１１の各側面を構成するパネル１１ａの表面には吸音材１１ｂが貼り付けられている。ボックス１１の上面にはルーツ式真空ポンプ１２の吐出管１２ａが突出して設けられるとともに、排熱口１１ｄが設けられている。またボックス１１の正面には、外気取入口１１ｅとオイルクーラ１３の給油蓋１１ｆが設けられている。ボックス１１の背面にはルーツ式真空ポンプ１２の吸引管１２ｂが突出して設けられている。ルーツ式真空ポンプ１２とオイルクーラ１３はボックス１１の底面１１ｃに載置して固定されている。排気ファン１４は排熱口１１ｄに対向するようにルーツ式真空ポンプ１２の上方の排熱口１１ｄの直下に設置されている。
図４に示すように、ルーツ式真空ポンプ１２は、二つのロータ室１２ｅ、１２ｆを形成したケーシング１２ｇを有し、各ロータ室１２ｅ，１２ｆに一対のルーツロータ１２ｈを回転可能に組み付けた多段のルーツ式真空ポンプ構造を備えている。ケーシング１２ｇには一方のロータ室１２ｅに連通する吸引口１２ｉと、他方のロータ室１２ｆに連通する吐出口１２ｊ及び両ロータ室１２ｅ，１２ｆを連通する連通路１２ｋが設けられている。また、ケーシング１２ｇにはオイルクーラ１３から圧送される冷却オイル１６（図５参照）が循環する循環路１２ｍが貫通して設けられている。吸引口１２ｉには吸引管１２ｂが接続され、吐出口１２ｊには吐出管１２ａが接続されている。
オイルクーラ１３の機能的構成を図５に示す。オイルクーラ１３は冷却オイル１３ａのリザーブタンク１３ｂと、リザーブタンク１３ｂに浸漬した熱交換器１３ｆと、リザーブタンク１３ｂからルーツ式真空ポンプ１２へ冷却オイル１３ａを圧送する圧送ポンプ１３ｃとラジエター１３ｄ及びラジエター１３ｄの冷却用ファン１３ｅを備えている。そして、オイルクーラ１３と循環路１２ｍが熱交換前オイル配管１６及び熱交換後オイル配管１７で接続されている。また、ラジエター１３ｄと熱交換器１３ｆが高温伝熱パイプ１８及び放熱後伝熱パイプ１９で接続されている。図２中、符号２０はオイルクーラ１３の給油口で、給油蓋１１ｆで覆われている。また、符号２１はルーツ式真空ポンプのモータである。
本実施例に係る多段ルーツ式真空ポンプ１０の構造は以上の通りであって、ルーツロータ１２ｈの回転に伴い空気が吸込管１２ｂから吸引され、ロータ室で圧縮されて吐出管１２ａから吐出する。
本実施例に係るパッケージ型真空ポンプユニット１０によれば、吸音材１１ｂを貼り付けたパネル１１ａで組み立てたボックス１１にルーツ式真空ポンプ１２、オイルクーラ１３及び排気ファン１４を格納しているので、稼働時にルーツ式真空ポンプ１２、オイルクーラ１３、排気ファン１４等から発生する騒音によって作業環境が悪化するのを防止できる。
本実施例に係るパッケージ型真空ポンプユニット１０によれば、吸音材１１ｂを貼り付けたパネル１１ａで組み立てたボックス１１にルーツ式真空ポンプ１２、オイルクーラ１３及び排気ファン１４を格納しているので、稼働時にルーツ式真空ポンプ１２、オイルクーラ１３、排気ファン１４等から発生する騒音によって作業環境が悪化するのを防止できる。
ボックス１１に格納したオイルクーラ１３からルーツ式真空ポンプ１２のケーシング１２ｇに貫通して設けた循環路１２ｍへ冷却オイル１３ａを圧送してケーシング１２ｇを冷却し、排気ファン１４でボックス１１内の空気をボックス１１の外に排気するので、ルーツ式真空ポンプ１２が過熱して作動不良を来すのを効果的に防止できる。
冷却媒体として冷却オイル１３ａを循環させているので、循環路１２ｍの内部に錆やスケールが付着し難く、長期間にわたって高い冷却効率を維持でき、ランニングコストを低く抑えることができる。
１０…パッケージ型真空ポンプユニット
１１…ボックス
１１ａ…パネル
１１ｂ…吸音材
１２…ルーツ式真空ポンプ
１２ａ…吐出管
１２ｂ…吸引管
１２ｅ、１２ｆ…ロータ室
１２ｇ…ケーシング
１２ｈ…ルーツロータ
１２ｉ…吸引口
１２ｊ…吐出口
１２ｍ…循環路
１３…オイルクーラ
１３ａ…冷却オイル
１３ｂ…リザーブタンク
１３ｃ…圧送ポンプ
１３ｄ…ラジエター
１３ｅ…冷却用ファン
１３ｆ…熱交換器
１４…排気ファン
１１…ボックス
１１ａ…パネル
１１ｂ…吸音材
１２…ルーツ式真空ポンプ
１２ａ…吐出管
１２ｂ…吸引管
１２ｅ、１２ｆ…ロータ室
１２ｇ…ケーシング
１２ｈ…ルーツロータ
１２ｉ…吸引口
１２ｊ…吐出口
１２ｍ…循環路
１３…オイルクーラ
１３ａ…冷却オイル
１３ｂ…リザーブタンク
１３ｃ…圧送ポンプ
１３ｄ…ラジエター
１３ｅ…冷却用ファン
１３ｆ…熱交換器
１４…排気ファン
Claims (1)
- ケーシングにロータ室とロータ室に連通する吸込口及び吐出口を設け、ロータ室に一対のルーツロータを回転可能に組み付け、ルーツロータの回転に伴い空気を吸込口から吸引し、吐出口から吐出するルーツ式真空ポンプと、
ルーツ式真空ポンプを冷却する冷却装置を備え
ルーツ式真空ポンプと冷却装置を、吸音材を備えたボックスに格納したパッケージ型真空ポンプユニットであって、
冷却装置として、ケーシングに貫通して設けられ、冷却オイルが流れる循環路と、
冷却オイルのリザーブタンクと循環路を接続する配管と、
リザーブタンクから循環路へ冷却オイルを圧送して冷却オイルをリザーブタンクとケーシングの循環路との間で循環させる圧送ポンプと、
リザーブタンク内の冷却オイルとの間で熱交換を行う熱交換器と、
熱交換器で冷却オイルとの間で熱交換した冷媒が流れるラジエターと、
ラジエターに送風してラジエターを冷却し、ラジエターからボックスの外に放熱するラジエターの冷却用ファンと、
ボックスの上部に内設され、ボックス内の空気をボックスの外部へ排気する排気ファンで構成したことを特徴とするパッケージ型真空ポンプユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2022066701A JP7455411B2 (ja) | 2022-04-14 | 2022-04-14 | パッケージ型真空ポンプユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2022066701A JP7455411B2 (ja) | 2022-04-14 | 2022-04-14 | パッケージ型真空ポンプユニット |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2023157053A JP2023157053A (ja) | 2023-10-26 |
| JP7455411B2 true JP7455411B2 (ja) | 2024-03-26 |
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ID=88469539
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2022066701A Active JP7455411B2 (ja) | 2022-04-14 | 2022-04-14 | パッケージ型真空ポンプユニット |
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| Country | Link |
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| JP (1) | JP7455411B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3189394B2 (ja) | 1992-07-01 | 2001-07-16 | 井関農機株式会社 | 籾摺ロ−ルの間隙調節装置 |
| JP2009108696A (ja) | 2007-10-26 | 2009-05-21 | Kobe Steel Ltd | スクリュ圧縮機 |
| JP6336088B2 (ja) | 2013-12-27 | 2018-06-06 | 北京北方華創微電子装備有限公司Ｂｅｉｊｉｎｇ Ｎａｕｒａ Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｃｏ．， Ｌｔｄ． | カセット位置決め装置および半導体処理機器 |
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2022
- 2022-04-14 JP JP2022066701A patent/JP7455411B2/ja active Active
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