JP7450392B2

JP7450392B2 - cutting equipment

Info

Publication number: JP7450392B2
Application number: JP2020003163A
Authority: JP
Inventors: 英明田中
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2020-01-10
Filing date: 2020-01-10
Publication date: 2024-03-15
Anticipated expiration: 2040-01-10
Also published as: JP2021109285A

Description

本発明は、切削装置に関する。 The present invention relates to a cutting device.

各種デバイスが形成されたシリコン、ガリウムヒ素、サファイア、セラミックス、ガラス、樹脂基板など各種板状の被加工物を切削ブレードで切削する切削装置が広く用いられている。このような切削装置では、発光部と受光部の間に切削ブレードの刃先を侵入させて、刃先の高さを検出する切削ブレード検出ユニットが使用されている（特許文献１参照）。 BACKGROUND OF THE INVENTION Cutting apparatuses are widely used that use a cutting blade to cut various plate-shaped workpieces such as silicon, gallium arsenide, sapphire, ceramics, glass, and resin substrates on which various devices are formed. Such a cutting device uses a cutting blade detection unit that detects the height of the cutting blade by inserting the cutting edge of the cutting blade between the light emitting part and the light receiving part (see Patent Document 1).

特許第４５９００５８号公報Patent No. 4590058

切削ブレードは、ボンドが砥粒で固定された極薄の環状部材であり、切削するに従い消耗することで自生発刃し、一定以上の切れ味が常に維持される。このため、切削ブレードの刃先の高さは、徐々に変動するため、定期的にその高さを測定しながら切削ブレードの高さを補正する必要がある。そこで、切削ブレードの刃先の高さを検出する切削ブレード検出ユニットが使用されている。このような切削ブレード検出ユニットは、受光量によって刃先を検出するため、発光部や受光部が切削屑等の付着により汚れてしまうと、検出結果がずれてしまうおそれがあった。 The cutting blade is an extremely thin annular member to which a bond is fixed with abrasive grains, and as the blade wears out as it cuts, it self-sharpens and maintains a certain level of sharpness. Therefore, since the height of the cutting edge of the cutting blade gradually changes, it is necessary to correct the height of the cutting blade while periodically measuring the height. Therefore, a cutting blade detection unit is used that detects the height of the cutting edge of the cutting blade. Since such a cutting blade detection unit detects the cutting edge based on the amount of light received, if the light emitting section or the light receiving section becomes dirty due to adhesion of cutting debris, there is a risk that the detection results will be incorrect.

そこで、発光部や受光部が切削屑等の付着により汚れてしまう可能性を低減するために、切削ブレード検出ユニットの使用時以外に、切削ブレード検出ユニットを保護カバーで覆う構成が使用されている。しかしながら、保護カバーの開閉部が雰囲気中の切削屑の付着等により開閉動作が不完全になり、発光部や受光部に汚れが付着してしまうおそれがあった。 Therefore, in order to reduce the possibility that the light emitting part and the light receiving part become dirty due to adhesion of cutting debris, etc., a configuration is used in which the cutting blade detection unit is covered with a protective cover when the cutting blade detection unit is not in use. . However, the opening/closing operation of the protective cover may become incomplete due to adhesion of cutting chips in the atmosphere, and there is a risk that dirt may adhere to the light emitting section and the light receiving section.

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、切削ブレード検出ユニットを覆う保護カバーの閉まり具合を判定できる切削装置を提供することである。 The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a cutting device that can determine the degree of closure of a protective cover that covers a cutting blade detection unit.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削ブレードで切削する切削ユニットと、発光部と該発光部からの光を受光する受光部とを有し、該発光部と該受光部との間に該切削ブレードが位置付けられて遮蔽された該光の量で該切削ブレードの先端位置を検出する切削ブレード検出ユニットと、警告情報を報知する報知部と、を備え、該切削ブレード検出ユニットは、該発光部と該受光部とを有するセンサー部と、該センサー部を覆って外部の空間から該センサー部を遮蔽する遮蔽位置と、該センサー部を露出する開放位置とに選択的に位置付けられる保護カバーと、該保護カバーに設置され、該保護カバーが該遮蔽位置に位置付けられると該発光部と該受光部との間に挿入されて、該発光部からの光を受ける該受光部の受光量を減少させる遮光部材と、該保護カバーを該遮蔽位置に位置付けた際の該受光量と予め設定された閾値とを比較し、該保護カバーが該センサー部を外部の空間から遮蔽する所定の位置まで閉まったか否かを判定するとともに、該保護カバーが所定の位置まで閉まっていないと判定した場合に、該警告情報を該報知部から報知させる閉状態判定部と、を備え、該閉状態判定部は、該切削ユニットによる該被加工物の切削加工中に、該受光量と予め設定された閾値とを比較し、該保護カバーが該センサー部を外部の空間から遮蔽する所定の位置まで閉まったか否かを判定するものである。
該閉状態判定部は、該保護カバーが所定の位置まで閉まっていないと判定した場合に、該被加工物の切削加工を停止する構成としても良い。 In order to solve the above-mentioned problems and achieve the objects, a cutting device of the present invention includes a chuck table that holds a workpiece, and a cutting unit that cuts the workpiece held on the chuck table with a cutting blade. , has a light emitting part and a light receiving part that receives light from the light emitting part, and the cutting blade is positioned between the light emitting part and the light receiving part, and the amount of the blocked light is the amount of the cutting blade. The cutting blade detection unit includes a cutting blade detection unit that detects a tip position, and a notification section that notifies warning information, and the cutting blade detection unit includes a sensor section that has the light emitting section and the light receiving section, and a sensor section that covers the sensor section. a protective cover that is selectively positioned at a shielding position that shields the sensor unit from outside space and an open position that exposes the sensor unit; and a protective cover that is installed on the protective cover, and the protective cover is positioned at the shielding position. a light shielding member inserted between the light emitting section and the light receiving section to reduce the amount of light received by the light receiving section receiving light from the light emitting section; The amount of received light is compared with a preset threshold value, and it is determined whether the protective cover is closed to a predetermined position that shields the sensor section from the outside space , and whether the protective cover is closed to a predetermined position. a closed state determining section that causes the notifying section to notify the warning information when it is determined that the warning information is not present ; and a preset threshold value to determine whether the protective cover has closed to a predetermined position that shields the sensor section from the outside space .
The closed state determining section may be configured to stop cutting the workpiece when determining that the protective cover is not closed to a predetermined position.

該発光部は発光面を備え、該受光部は該発光面と対向する受光面とを備え、該遮光部材は、該遮蔽位置に位置付けられると、該発光面と該受光面に密着する構成としても良い。 The light emitting section includes a light emitting surface, the light receiving section includes a light receiving surface opposite to the light emitting surface, and the light shielding member is configured to be in close contact with the light emitting surface and the light receiving surface when positioned at the shielding position. Also good.

本願発明は、切削ブレード検出ユニットを覆う保護カバーの閉まり具合を判定できる。 The present invention can determine whether the protective cover covering the cutting blade detection unit is closed.

図１は、実施形態に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a cutting device according to an embodiment. 図２は、図１の切削ブレード検出ユニットの構成例を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing an example of the configuration of the cutting blade detection unit shown in FIG. 1. FIG. 図３は、図２の切削ブレード検出ユニットにおける一状態の要部を示す断面図である。FIG. 3 is a sectional view showing a main part of the cutting blade detection unit of FIG. 2 in one state. 図４は、図１の切削ユニットの構成及び図２の切削ブレード検出ユニットの機能構成の一例を模式的に示す図である。FIG. 4 is a diagram schematically showing an example of the configuration of the cutting unit in FIG. 1 and the functional configuration of the cutting blade detection unit in FIG. 2. 図５は、図２の切削ブレード検出ユニットがブレード検出動作を実施したときに光電変換部から電圧比較部に出力される出力電圧のグラフの一例である。FIG. 5 is an example of a graph of the output voltage output from the photoelectric conversion section to the voltage comparison section when the cutting blade detection unit of FIG. 2 performs a blade detection operation. 図６は、図２の切削ブレード検出ユニットの保護カバーが遮蔽位置まで閉まっている状態を示す断面図である。FIG. 6 is a sectional view showing a state in which the protective cover of the cutting blade detection unit of FIG. 2 is closed to a shielding position. 図７は、図６の状態でカバー遮蔽判定動作を実施したときに光電変換部から電圧比較部に出力される出力電圧のグラフの一例である。FIG. 7 is an example of a graph of the output voltage output from the photoelectric conversion section to the voltage comparison section when the cover shielding determination operation is performed in the state of FIG. 6. 図８は、図２の切削ブレード検出ユニットの保護カバーが遮蔽位置まで閉まっていない状態を示す断面図である。FIG. 8 is a sectional view showing a state in which the protective cover of the cutting blade detection unit of FIG. 2 is not closed to the shielding position. 図９は、図８の状態でカバー遮蔽判定動作を実施したときに光電変換部から電圧比較部に出力される出力電圧のグラフの一例である。FIG. 9 is an example of a graph of the output voltage output from the photoelectric conversion section to the voltage comparison section when the cover shielding determination operation is performed in the state of FIG. 8.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Modes (embodiments) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the contents described in the following embodiments. Further, the constituent elements described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the configurations described below can be combined as appropriate. Moreover, various omissions, substitutions, or changes in the configuration can be made without departing from the gist of the present invention.

〔実施形態〕
本発明の実施形態に係る切削装置１を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態に係る切削装置１の構成例を示す斜視図である。図２は、図１の切削ブレード検出ユニット３０の構成例を示す斜視図である。図３は、図２の切削ブレード検出ユニット３０における一状態の要部を示す断面図である。図４は、図１の切削ユニット２０の構成及び図２の切削ブレード検出ユニット３０の機能構成の一例を模式的に示す図である。切削装置１は、図１に示すように、チャックテーブル１０と、切削ユニット２０と、切削ブレード検出ユニット３０と、報知部４０と、を備える。 [Embodiment]
A cutting device 1 according to an embodiment of the present invention will be described based on the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a cutting device 1 according to an embodiment. FIG. 2 is a perspective view showing a configuration example of the cutting blade detection unit 30 of FIG. 1. As shown in FIG. FIG. 3 is a sectional view showing a main part of the cutting blade detection unit 30 of FIG. 2 in one state. FIG. 4 is a diagram schematically showing an example of the configuration of the cutting unit 20 in FIG. 1 and the functional configuration of the cutting blade detection unit 30 in FIG. 2. As shown in FIG. 1, the cutting device 1 includes a chuck table 10, a cutting unit 20, a cutting blade detection unit 30, and a notification section 40.

切削装置１の切削対象である被加工物１００は、例えば、シリコン、サファイア、ガリウムヒ素などを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハなどのウエーハである。被加工物１００は、平坦な表面１０１の格子状に形成される複数の分割予定ライン１０２によって区画された領域にデバイス１０３が形成されている。被加工物１００は、表面１０１の裏側の裏面１０４に粘着テープ１０５が貼着され、粘着テープ１０５の外縁部に環状フレーム１０６が装着されている。また、本発明では、被加工物１００は、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス板、又はガラス板等でも良い。 The workpiece 100 to be cut by the cutting device 1 is, for example, a wafer such as a disk-shaped semiconductor wafer or an optical device wafer whose base material is silicon, sapphire, gallium arsenide, or the like. A device 103 is formed on the workpiece 100 in an area defined by a plurality of dividing lines 102 formed in a grid pattern on a flat surface 101 . The workpiece 100 has an adhesive tape 105 attached to the back surface 104 on the back side of the front surface 101, and an annular frame 106 attached to the outer edge of the adhesive tape 105. Further, in the present invention, the workpiece 100 may be a rectangular package substrate having a plurality of devices sealed with resin, a ceramic plate, a glass plate, or the like.

チャックテーブル１０は、被加工物１００を保持する。チャックテーブル１０は、被加工物１００を保持する平坦な保持面１１が上面に形成されかつ多数のポーラス孔を備えたポーラスセラミック等から構成された円盤形状の吸着部と、吸着部を上面中央部の窪み部に嵌め込んで固定する枠体とを備えた円盤形状である。保持面１１は、水平面であるＸＹ平面に平行に形成されている。チャックテーブル１０は、吸着部が、図示しない真空吸引経路を介して図示しない真空吸引源と接続され、保持面１１全体で、被加工物１００を吸引保持する。 The chuck table 10 holds a workpiece 100. The chuck table 10 has a flat holding surface 11 for holding a workpiece 100 formed on the upper surface, and a disk-shaped suction section made of porous ceramic or the like having a large number of porous holes, and a suction section located at the center of the top surface. It is disc-shaped and includes a frame that is fitted into the recess and fixed. The holding surface 11 is formed parallel to the XY plane, which is a horizontal plane. The chuck table 10 has a suction section connected to a vacuum suction source (not shown) via a vacuum suction path (not shown), and suctions and holds the workpiece 100 on the entire holding surface 11 .

チャックテーブル１０は、Ｘ軸移動ユニットにより水平方向の一方向であるＸ軸方向に移動自在に設けられている。チャックテーブル１０は、不図示の回転駆動部が接続されており、回転駆動部によりＸＹ平面に直交し鉛直方向に平行なＺ軸周りに回転可能である。 The chuck table 10 is provided movably in the X-axis direction, which is one horizontal direction, by an X-axis moving unit. The chuck table 10 is connected to a rotation drive unit (not shown), and is rotatable by the rotation drive unit around a Z axis that is orthogonal to the XY plane and parallel to the vertical direction.

切削ユニット２０は、図４に示すように、切削ブレード２１と、スピンドル２２と、切削ブレード昇降部２３と、を含む。切削ブレード２１は、外周縁に設けられた切り刃２１－１を有する。切り刃２１－１は、例えば、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。切削ブレード２１は、切削するに従い切り刃２１－１が消耗することで自生発刃し、一定以上の切れ味が常に維持される。 The cutting unit 20 includes a cutting blade 21, a spindle 22, and a cutting blade elevating section 23, as shown in FIG. The cutting blade 21 has a cutting edge 21-1 provided on the outer peripheral edge. The cutting blade 21-1 is made of, for example, abrasive grains such as diamond or CBN (Cubic Boron Nitride), and a bond material (binding material) such as metal or resin, and is formed to have a predetermined thickness. The cutting blade 21 self-sharpens as the cutting edge 21-1 wears out as it cuts, and its sharpness is always maintained above a certain level.

切削ブレード２１は、水平方向の別の一方向でありＸ軸方向に直交するＹ軸方向と平行な軸心周りの回転動作が加えられて、チャックテーブル１０に保持された被加工物１００を切削する。スピンドル２２は、軸心がＹ軸方向に沿って設けられ、先端で軸心周りに回転可能に切削ブレード２１を支持する。スピンドル２２は、Ｙ軸周りに回転駆動し、切削ブレード２１の回転軸となる。切削ブレード昇降部２３は、スピンドル２２をＺ軸方向に移動させることで、スピンドル２２の先端で支持された切削ブレード２１を昇降させる。 The cutting blade 21 cuts the workpiece 100 held on the chuck table 10 by rotating around an axis parallel to the Y-axis direction, which is another horizontal direction and perpendicular to the X-axis direction. do. The spindle 22 has its axis along the Y-axis direction, and supports the cutting blade 21 at its tip so as to be rotatable around the axis. The spindle 22 is driven to rotate around the Y-axis, and serves as the rotation axis of the cutting blade 21. The cutting blade elevating section 23 moves the spindle 22 in the Z-axis direction, thereby elevating the cutting blade 21 supported at the tip of the spindle 22.

切削ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物１００に対して、Ｙ軸移動ユニットによりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニットによりＸＹ平面に直交し鉛直方向に平行なＺ軸方向に移動自在に設けられている。 The cutting unit 20 is provided to be movable in the Y-axis direction by a Y-axis movement unit with respect to the workpiece 100 held on the chuck table 10, and is movable in the vertical direction perpendicular to the XY plane by the Z-axis movement unit. It is provided so as to be movable in the parallel Z-axis direction.

切削装置１は、切削ブレード２１を回転させながら、Ｘ軸移動ユニット、Ｙ軸移動ユニット及びＺ軸移動ユニットにより、チャックテーブル１０に保持された被加工物１００と切削ブレード２１とを分割予定ライン１０２に沿って相対的に移動させて、分割予定ライン１０２に沿って被加工物１００を切削ブレード２１で切削加工する。 The cutting device 1 rotates the cutting blade 21 and uses an X-axis moving unit, a Y-axis moving unit, and a Z-axis moving unit to move the workpiece 100 held on the chuck table 10 and the cutting blade 21 to a planned dividing line 102. The workpiece 100 is cut along the dividing line 102 with the cutting blade 21 while moving relatively along the dividing line 102 .

切削ブレード検出ユニット３０は、図２に示すように、センサー部３１と、保護カバー３２と、遮光部材３３と、エアー供給ノズル３５と、洗浄水供給ノズル３６と、を備える。また、切削ブレード検出ユニット３０は、図４に示すように、閉状態判定部５１と、光電変換部５２と、基準電圧設定部５３と、電圧比較部５４と、端部位置検出部５５と、算出部５６と、位置補正部５７と、光源６０と、を備える。 As shown in FIG. 2, the cutting blade detection unit 30 includes a sensor section 31, a protective cover 32, a light shielding member 33, an air supply nozzle 35, and a cleaning water supply nozzle 36. Further, as shown in FIG. 4, the cutting blade detection unit 30 includes a closed state determination section 51, a photoelectric conversion section 52, a reference voltage setting section 53, a voltage comparison section 54, an end position detection section 55, It includes a calculation section 56, a position correction section 57, and a light source 60.

センサー部３１は、図２に示すように、切削ブレード検出ユニット３０のユニット本体３０－１から立設したセンサー本体３１－１と、センサー本体３１－１から立設した一対の側壁３１－２とを有している。一対の側壁３１－２は、Ｙ軸方向に間隔をあけて配置され、互いの間の間隔が、切削ブレード２１の切り刃２１－１の厚みよりも広い幅を有している。一対の側壁３１－２は、互いの間に回転する切削ブレード２１の切り刃２１－１の下端部２１－２が侵入可能な溝部３１－３を形成している。 As shown in FIG. 2, the sensor section 31 includes a sensor main body 31-1 erected from the unit main body 30-1 of the cutting blade detection unit 30, and a pair of side walls 31-2 erected from the sensor main body 31-1. have. The pair of side walls 31-2 are spaced apart from each other in the Y-axis direction, and the space between them is wider than the thickness of the cutting edge 21-1 of the cutting blade 21. The pair of side walls 31-2 form a groove 31-3 between which the lower end 21-2 of the cutting edge 21-1 of the rotating cutting blade 21 can enter.

センサー部３１は、図２、図３及び図４に示すように、発光部３８と、受光部３９と、を有する。発光部３８は、図２、図３及び図４に示すように、一方の側壁３１－２に設けられ、他方の側壁３１－２に向けて光を発する。発光部３８は、図４に示すように、光源６０が光ファイバー等により光学的に接続されており、光源６０からの光を発する。発光部３８は、光を発する発光面３８－１を備える。発光面３８－１は、一方の側壁３１－２と概ね同一平面を形成している。 The sensor section 31 includes a light emitting section 38 and a light receiving section 39, as shown in FIGS. 2, 3, and 4. As shown in FIGS. 2, 3, and 4, the light emitting section 38 is provided on one side wall 31-2 and emits light toward the other side wall 31-2. As shown in FIG. 4, the light emitting unit 38 is optically connected to a light source 60 through an optical fiber or the like, and emits light from the light source 60. The light emitting section 38 includes a light emitting surface 38-1 that emits light. The light emitting surface 38-1 forms approximately the same plane as one side wall 31-2.

受光部３９は、図２及び図４に示すように、他方の側壁３１－２に発光部３８と対面する位置に設けられ、発光部３８からの光を受光する。受光部３９は、受光素子が光ファイバー等により光学的に接続されており、受光素子で受光部３９に到達した光を検出する。受光部３９は、光電変換部５２に光ファイバー等により光学的に接続されており、発光部３８から受光した光を光電変換部５２に送る。受光部３９は、光を受光する受光面３９－１を備える。受光面３９－１は、他方の側壁３１－２と概ね同一平面を形成している。発光面３８－１と受光面３９－１とは、互いに平行であり、Ｙ軸方向に対向している。 As shown in FIGS. 2 and 4, the light receiving section 39 is provided on the other side wall 31-2 at a position facing the light emitting section 38, and receives light from the light emitting section 38. In the light receiving section 39, a light receiving element is optically connected by an optical fiber or the like, and the light reaching the light receiving section 39 is detected by the light receiving element. The light receiving section 39 is optically connected to the photoelectric conversion section 52 by an optical fiber or the like, and sends the light received from the light emitting section 38 to the photoelectric conversion section 52. The light receiving section 39 includes a light receiving surface 39-1 that receives light. The light receiving surface 39-1 forms approximately the same plane as the other side wall 31-2. The light emitting surface 38-1 and the light receiving surface 39-1 are parallel to each other and face each other in the Y-axis direction.

切削ブレード検出ユニット３０は、発光部３８と受光部３９の間、すなわち溝部３１－３に切削ブレード２１の切り刃２１－１の下端部２１－２を侵入させて、下端部２１－２の高さ（溝部３１－３における深さ方向の位置）を検出する。 The cutting blade detection unit 30 inserts the lower end portion 21-2 of the cutting blade 21-1 of the cutting blade 21 into the space between the light emitting portion 38 and the light receiving portion 39, that is, the groove portion 31-3, and increases the height of the lower end portion 21-2. The depth (position in the depth direction in the groove portion 31-3) is detected.

保護カバー３２は、図２に示すように、センサー部３１、エアー供給ノズル３５及び洗浄水供給ノズル３６を覆って外部の空間からセンサー部３１等を遮蔽する遮蔽位置３２－１（図２中に二点鎖線で示す）と、センサー部３１等を露出する開放位置３２－２（図２中に実線で示す）とに選択的に位置づけられる。実施形態１では、保護カバー３２は、Ｘ軸方向の一端部に設けられたヒンジ３２－３によりセンサー本体３１－１に取り付けられ、ヒンジ３２－３を中心に遮蔽位置３２－１と開放位置３２－２とに亘って回転自在である。保護カバー３２は、不図示のエアーシリンダにより、遮蔽位置３２－１と開放位置３２－２とに亘って回転移動される。本実施形態では、切り刃２１－１の下端部２１－２の高さを検出する際に、保護カバー３２が開放位置３２－２に位置付けられて、切り刃２１－１の下端部２１－２の高さを検出することがない際には、保護カバー３２が遮蔽位置３２－１に位置付けられる。 As shown in FIG. 2, the protective cover 32 covers the sensor section 31, the air supply nozzle 35, and the cleaning water supply nozzle 36, and shields the sensor section 31 and the like from the outside space at a shielding position 32-1 (indicated in FIG. 2). (indicated by a two-dot chain line) and an open position 32-2 (indicated by a solid line in FIG. 2) where the sensor section 31 and the like are exposed. In the first embodiment, the protective cover 32 is attached to the sensor main body 31-1 by a hinge 32-3 provided at one end in the X-axis direction, and has a shielding position 32-1 and an open position 32 centered around the hinge 32-3. It is rotatable over -2. The protective cover 32 is rotated between a shielding position 32-1 and an open position 32-2 by an air cylinder (not shown). In this embodiment, when detecting the height of the lower end 21-2 of the cutting blade 21-1, the protective cover 32 is positioned at the open position 32-2, and the lower end 21-2 of the cutting blade 21-1 is When the height is not detected, the protective cover 32 is positioned at the shielding position 32-1.

遮光部材３３は、図２に示すように、保護カバー３２の内側に設置されている。遮光部材３３は、図３に示すように、保護カバー３２が遮蔽位置３２－１に位置付けられると、発光部３８と受光部３９との間に挿入されて、発光部３８からの光を受ける受光部３９の受光量を減少させる。遮光部材３３は、本実施形態では、保護カバー３２がセンサー部３１を外部の空間から遮蔽する所定の位置である遮蔽位置３２－１まで閉まっていない場合、すなわち遮蔽位置３２－１よりも開放位置３２－２側に位置する場合には、発光部３８と受光部３９との間の一部または全てを遮らない状態となる。また、遮光部材３３は、本実施形態では、図３に示すように、保護カバー３２が上記した遮蔽位置３２－１まで閉まると、発光部３８と受光部３９との間を所定以上、または完全に遮る。 The light shielding member 33 is installed inside the protective cover 32, as shown in FIG. As shown in FIG. 3, when the protective cover 32 is positioned at the shielding position 32-1, the light shielding member 33 is inserted between the light emitting section 38 and the light receiving section 39, and receives light from the light emitting section 38. The amount of light received by the section 39 is reduced. In this embodiment, the light shielding member 33 is moved to an open position when the protective cover 32 is not closed to a shielding position 32-1, which is a predetermined position that shields the sensor unit 31 from the outside space, that is, a position that is more open than the shielding position 32-1. When located on the 32-2 side, part or all of the space between the light emitting section 38 and the light receiving section 39 is not blocked. Further, in this embodiment, as shown in FIG. 3, when the protective cover 32 is closed to the above-mentioned shielding position 32-1, the light shielding member 33 closes the space between the light emitting section 38 and the light receiving section 39 by a predetermined amount or more, or completely. interrupt.

遮光部材３３は、本実施形態では、図３に示すように、互いに平行な側面３３－１，３３－２を有し、側面３３－１と側面３３－２との間の幅が、溝部３１－３の幅と同等または少し小さい。このため、遮光部材３３は、図３に示すように、保護カバー３２が遮蔽位置３２－１に位置付けられると、溝部３１－３に嵌め合わせられ、側面３３－１が発光面３８－１に密着し、側面３３－２が受光面３９－１に密着する。切削ブレード検出ユニット３０は、このように保護カバー３２が遮蔽位置３２－１に位置付けられたときに遮光部材３３が発光面３８－１及び受光面３９－１に密着することで、雰囲気中の切削屑等が発光面３８－１及び受光面３９－１に付着する可能性をさらに低減する。 In this embodiment, the light shielding member 33 has side surfaces 33-1 and 33-2 that are parallel to each other, as shown in FIG. The width is equal to or slightly smaller than -3. Therefore, as shown in FIG. 3, when the protective cover 32 is positioned at the shielding position 32-1, the light shielding member 33 is fitted into the groove 31-3, and the side surface 33-1 is brought into close contact with the light emitting surface 38-1. The side surface 33-2 is in close contact with the light-receiving surface 39-1. When the protective cover 32 is positioned at the shielding position 32-1, the cutting blade detection unit 30 allows the light-shielding member 33 to come into close contact with the light-emitting surface 38-1 and the light-receiving surface 39-1, thereby preventing cutting in the atmosphere. The possibility that debris or the like will adhere to the light emitting surface 38-1 and the light receiving surface 39-1 is further reduced.

なお、遮光部材３３は、本発明では上記形態に限定されず、側面３３－１と側面３３－２との間の幅が、溝部３１－３の幅よりも十分に細くても良い。遮光部材３３は、このような場合には、保護カバー３２が遮蔽位置３２－１に位置付けられると、側面３３－１と発光面３８－１との間に所定の間隙が形成され、側面３３－２と受光面３９－１との間に所定の間隙が形成される。このように、保護カバー３２が遮蔽位置３２－１に位置付けられたときに遮光部材３３が発光面３８－１及び受光面３９－１との間に所定の間隙が形成されることで、遮光部材３３が溝部３１－３内を円滑に移動することができ遮光部材３３が発光面３８－１及び受光面３９－１を傷つけてしまう可能性を抑制することができる。 Note that the light shielding member 33 is not limited to the above-mentioned form in the present invention, and the width between the side surfaces 33-1 and 33-2 may be sufficiently narrower than the width of the groove portion 31-3. In such a case, when the protective cover 32 is positioned at the shielding position 32-1, a predetermined gap is formed between the side surface 33-1 and the light-emitting surface 38-1, and the light-shielding member 33 closes the side surface 33-1. A predetermined gap is formed between 2 and the light receiving surface 39-1. In this way, when the protective cover 32 is positioned at the shielding position 32-1, a predetermined gap is formed between the light-shielding member 33 and the light-emitting surface 38-1 and the light-receiving surface 39-1, so that the light-shielding member 33 can move smoothly within the groove 31-3, and the possibility of the light shielding member 33 damaging the light emitting surface 38-1 and the light receiving surface 39-1 can be suppressed.

遮光部材３３の遮蔽位置３２－１に位置付けられた際の下端３３－３は、発光部３８及び受光部３９の下端と同一平面上に位置している。なお、本発明では、遮光部材３３の遮蔽位置３２－１に位置付けられた際の下端３３－３が発光部３８及び受光部３９の下端と同一平面上に位置しているとは、保護カバー３２が遮蔽位置３２－１に位置すると、光の回折を含めて遮光部材３３が発光部３８からの受光部３９に受光される光を完全に遮って受光部３９の受光量が０になり、保護カバー３２が遮蔽位置３２－１よりも開放位置３２－２側に位置すると、遮光部材３３が発光部３８からの受光部３９に受光される光を完全に遮ることなく受光部３９の受光量が０を超えることを示している。 The lower end 33-3 of the light shielding member 33 when positioned at the shielding position 32-1 is located on the same plane as the lower ends of the light emitting section 38 and the light receiving section 39. In the present invention, when the lower end 33-3 of the light shielding member 33 is positioned at the shielding position 32-1 is located on the same plane as the lower ends of the light emitting section 38 and the light receiving section 39, it means that the protective cover 32 is located at the shielding position 32-1, the light shielding member 33 completely blocks the light received by the light receiving part 39 from the light emitting part 38, including the light diffraction, and the amount of light received by the light receiving part 39 becomes 0, and the protection When the cover 32 is located closer to the open position 32-2 than the shielding position 32-1, the light shielding member 33 does not completely block the light received by the light receiving unit 39 from the light emitting unit 38, and the amount of light received by the light receiving unit 39 is reduced. It shows that it exceeds 0.

なお、遮光部材３３の遮蔽位置３２－１に位置付けられた際の下端３３－３は、本発明では上記形態に限定されず、発光部３８及び受光部３９の下端よりも溝部３１－３の深さ方向に浅く位置付けられても良い。この場合、遮光部材３３が発光部３８からの受光部３９に受光される光を完全に遮らず、受光部３９の受光量が０より大きい値となる。この場合には、後述する閾値６２（図７及び図９参照）は、後述の形態よりも高く設定される。また、遮光部材３３の遮蔽位置３２－１に位置付けられた際の下端３３－３は、発光部３８及び受光部３９の下端よりも溝部３１－３の深さ方向に深く位置付けられ、発光部３８と受光部３９との間を完全に遮るようにしても構わない。 Note that the lower end 33-3 of the light shielding member 33 when positioned at the shielding position 32-1 is not limited to the above-mentioned form in the present invention, and is deeper in the groove portion 31-3 than the lower ends of the light emitting part 38 and the light receiving part 39. It may be positioned shallowly in the horizontal direction. In this case, the light blocking member 33 does not completely block the light received by the light receiving section 39 from the light emitting section 38, and the amount of light received by the light receiving section 39 becomes a value larger than zero. In this case, a threshold value 62 (see FIGS. 7 and 9), which will be described later, is set higher than in the embodiment described below. Furthermore, the lower end 33-3 of the light shielding member 33 when positioned at the shielding position 32-1 is positioned deeper in the depth direction of the groove 31-3 than the lower ends of the light emitting section 38 and the light receiving section 39, and the light emitting section 38 The space between the light receiving section 39 and the light receiving section 39 may be completely blocked.

エアー供給ノズル３５は、不図示の圧縮エアー供給源に接続されており、圧縮エアー供給源から供給されたエアーを発光面３８－１及び受光面３９－１に向けて吹き付ける。洗浄水供給ノズル３６は、不図示の洗浄水供給源に接続されており、洗浄水供給源から供給された洗浄水を発光面３８－１及び受光面３９－１に向けて吹き付ける。切削ブレード検出ユニット３０は、エアー供給ノズル３５及び洗浄水供給ノズル３６からそれぞれエアー及び洗浄水を発光面３８－１及び受光面３９－１に向けて吹き付けることで、発光面３８－１及び受光面３９－１を洗浄する。 The air supply nozzle 35 is connected to a compressed air supply source (not shown), and blows air supplied from the compressed air supply source toward the light emitting surface 38-1 and the light receiving surface 39-1. The cleaning water supply nozzle 36 is connected to a cleaning water supply source (not shown), and sprays cleaning water supplied from the cleaning water supply source toward the light emitting surface 38-1 and the light receiving surface 39-1. The cutting blade detection unit 30 sprays air and cleaning water toward the light-emitting surface 38-1 and the light-receiving surface 39-1 from the air supply nozzle 35 and the cleaning water supply nozzle 36, respectively. Clean 39-1.

光電変換部５２は、受光部３９から送られる光の光量に対応した電圧を電圧比較部５４へ出力する。切削ブレード２１の切り刃２１－１が溝部３１－３に侵入するに従って、切削ブレード２１の切り刃２１－１が発光部３８と受光部３９との間を遮る量が増加すると、光電変換部５２からの出力電圧が徐々に減少する。本実施形態において、光電変換部５２は、受光率が１００％の時には５Ｖ（最大電圧）、受光率が０％の時には０Ｖ（最小電圧）の電圧を出力する。光電変換部５２は、受光部３９の受光量が所定光量となったとき、すなわち切削ブレード２１の切り刃２１－１の下端部２１－２が発光部３８と受光部３９との間の所定位置に達したときに、出力電圧が基準電圧６１（図５参照、本実施形態では、３Ｖ）になるように設定されている。所定位置は、例えば、切削ブレード２１の切り刃２１－１の下端部２１－２が保持面１１の上面に接触する位置として設定される。 The photoelectric converter 52 outputs a voltage corresponding to the amount of light sent from the light receiver 39 to the voltage comparator 54 . As the cutting blade 21-1 of the cutting blade 21 enters the groove portion 31-3, the amount that the cutting blade 21-1 of the cutting blade 21 blocks between the light emitting part 38 and the light receiving part 39 increases. The output voltage from will gradually decrease. In this embodiment, the photoelectric conversion unit 52 outputs a voltage of 5V (maximum voltage) when the light reception rate is 100%, and outputs a voltage of 0V (minimum voltage) when the light reception rate is 0%. When the amount of light received by the light receiving section 39 reaches a predetermined amount, the photoelectric conversion section 52 converts the lower end 21-2 of the cutting blade 21-1 of the cutting blade 21 into a predetermined position between the light emitting section 38 and the light receiving section 39. The output voltage is set to become the reference voltage 61 (see FIG. 5, 3V in this embodiment) when the voltage reaches the reference voltage 61. The predetermined position is set, for example, as a position where the lower end portion 21-2 of the cutting edge 21-1 of the cutting blade 21 contacts the upper surface of the holding surface 11.

基準電圧設定部５３は、設定された基準電圧６１を電圧比較部５４に出力する。本実施形態において基準電圧６１は、上述したように、３Ｖである。電圧比較部５４は、光電変換部５２からの出力電圧と基準電圧設定部５３によって設定された基準電圧６１とを比較し、光電変換部５２からの出力電圧が基準電圧６１に達したとき、その旨の信号を端部位置検出部５５に出力する。端部位置検出部５５は、電圧比較部５４から上記信号が出力された時点で、切削ブレード昇降部２３から取得した切削ユニット２０のＺ軸方向における位置を切削ブレード２１の切り刃２１－１の下端部２１－２の基準位置（原点位置）として検出する。つまり、端部位置検出部５５は、受光部３９の受光量が所定光量になったとき、すなわち切削ブレード２１の切り刃２１－１の下端部２１－２が発光部３８と受光部３９との間の所定位置に達したときに、切削ブレード昇降部２３から取得した切削ユニット２０のＺ軸方向における位置を切削ブレード２１の切り刃２１－１の下端部２１－２の基準位置として検出する。端部位置検出部５５は、検出した切削ブレード２１の切り刃２１－１の下端部２１－２の基準位置を算出部５６に出力する。 The reference voltage setting section 53 outputs the set reference voltage 61 to the voltage comparison section 54. In this embodiment, the reference voltage 61 is 3V, as described above. The voltage comparison unit 54 compares the output voltage from the photoelectric conversion unit 52 with a reference voltage 61 set by the reference voltage setting unit 53, and when the output voltage from the photoelectric conversion unit 52 reaches the reference voltage 61, A signal indicating this is output to the end position detection section 55. The end position detection section 55 detects the position of the cutting unit 20 in the Z-axis direction obtained from the cutting blade lifting section 23 at the time when the voltage comparison section 54 outputs the above signal. It is detected as the reference position (origin position) of the lower end portion 21-2. In other words, when the amount of light received by the light receiving section 39 reaches a predetermined amount, the end position detecting section 55 detects that when the lower end 21-2 of the cutting blade 21-1 of the cutting blade 21 is located between the light emitting section 38 and the light receiving section 39. When the predetermined position in between is reached, the position of the cutting unit 20 in the Z-axis direction obtained from the cutting blade elevating section 23 is detected as the reference position of the lower end portion 21-2 of the cutting edge 21-1 of the cutting blade 21. The end position detection unit 55 outputs the detected reference position of the lower end 21-2 of the cutting edge 21-1 of the cutting blade 21 to the calculation unit 56.

算出部５６は、端部位置検出部５５によって検出された基準位置に基づいて、Ｚ軸方向の切削ブレード２１の切り刃２１－１の下端部２１－２の位置の補正量を算出する。位置補正部５７は、算出部５６によって算出された補正量に基づいて、切削ブレード２１の切り刃２１－１の下端部２１－２のＺ軸方向の位置を補正する。 The calculation unit 56 calculates the amount of correction for the position of the lower end 21-2 of the cutting blade 21-1 of the cutting blade 21 in the Z-axis direction based on the reference position detected by the end position detection unit 55. The position correction unit 57 corrects the position of the lower end portion 21-2 of the cutting edge 21-1 of the cutting blade 21 in the Z-axis direction based on the correction amount calculated by the calculation unit 56.

また、電圧比較部５４は、保護カバー３２を遮蔽位置３２－１に位置付けた際の受光部３９が受光した受光量と予め設定された閾値６２（図７及び図９参照）とを比較し、保護カバー３２が上記した遮蔽位置３２－１まで閉まったか否か（閉まり具合）を判定する閉状態判定部５１としても機能する。ここで、保護カバー３２が遮蔽位置３２－１まで閉まったか否かを判定するとは、保護カバー３２が遮蔽位置３２－１に位置付けられているか否かを判定することを示している。ここで、閾値６２は、０Ｖよりも大きな値であり、遮蔽位置３２－１よりも開放位置３２－２側に位置するときに受光部３９が受光する受光量を変換して得られる電圧値よりも小さな値である。 Further, the voltage comparison unit 54 compares the amount of light received by the light receiving unit 39 when the protective cover 32 is positioned at the shielding position 32-1 with a preset threshold value 62 (see FIGS. 7 and 9), It also functions as a closed state determining unit 51 that determines whether the protective cover 32 is closed to the above-mentioned shielding position 32-1 (closed state). Here, determining whether the protective cover 32 is closed to the shielding position 32-1 means determining whether the protective cover 32 is positioned at the shielding position 32-1. Here, the threshold value 62 is a value larger than 0V, and is larger than the voltage value obtained by converting the amount of light received by the light receiving section 39 when the light receiving section 39 is located closer to the open position 32-2 than the shielding position 32-1. is also a small value.

閉状態判定部５１として機能する電圧比較部５４は、保護カバー３２を遮蔽位置３２－１に位置付けた際の光電変換部５２からの出力電圧と閾値６２とを比較し、光電変換部５２からの出力電圧が閾値６２以下である場合に、保護カバー３２が上記した遮蔽位置３２－１まで閉まったと判定し、光電変換部５２からの出力電圧が閾値６２より大きい場合に、保護カバー３２が当該遮蔽位置３２－１まで閉まっていないと判定する。閉状態判定部５１として機能する電圧比較部５４は、保護カバー３２が上記した遮蔽位置３２－１まで閉まっていないと判定した場合に、この判定結果の旨の警告情報を報知部４０から報知させる。 The voltage comparison unit 54 functioning as the closed state determination unit 51 compares the output voltage from the photoelectric conversion unit 52 when the protective cover 32 is positioned at the shielding position 32-1 with a threshold value 62, and determines the output voltage from the photoelectric conversion unit 52. When the output voltage is less than or equal to the threshold value 62, it is determined that the protective cover 32 is closed to the above-mentioned shielding position 32-1, and when the output voltage from the photoelectric conversion section 52 is greater than the threshold value 62, the protective cover 32 closes to the shielding position 32-1. It is determined that the door is not closed to position 32-1. When the voltage comparison unit 54 functioning as the closed state determination unit 51 determines that the protective cover 32 is not closed to the above-mentioned shielding position 32-1, the voltage comparison unit 54 causes the notification unit 40 to notify warning information of this determination result. .

報知部４０は、閉状態判定部５１が、保護カバー３２が上記した遮蔽位置３２－１まで閉まっていないと判定した場合に、この判定結果の旨の警告情報を報知する。報知部４０は、例えば、液晶表示装置等により構成される画像を表示する画像表示ユニット、スピーカ等により構成される音声を発信する音声ユニット、及び、発光ダイオード等により構成される点灯する光報知ユニット等である。 When the closed state determining unit 51 determines that the protective cover 32 is not closed to the above-mentioned shielding position 32-1, the notifying unit 40 notifies warning information of this determination result. The notification unit 40 includes, for example, an image display unit configured with a liquid crystal display device etc. to display an image, an audio unit configured with a speaker etc. to emit audio, and an optical notification unit configured with a light emitting diode etc. to light up. etc.

切削装置１は、切削装置１の各構成要素をそれぞれ制御する制御部５０を備える。制御部５０は、切削装置１の各構成要素と情報通信可能に電気的に接続されている。制御部５０は、切削装置１による切削処理、切削ブレード２１の検出処理、及び、保護カバー３２の閉まり具合の判定処理を実現する。制御部５０は、例えばオペレータにより入力設定された被加工物１００の切削条件に従って、切削ブレード２１により被加工物１００を切削する。また、制御部５０は、オペレータにより入力設定された切削ブレード２１の検出条件に従って、切削ブレード検出ユニット３０により切削ブレード２１を検出する。また、制御部５０は、オペレータにより入力設定された保護カバー３２の閉まり具合の判定条件に従って、切削ブレード検出ユニット３０により保護カバー３２の閉まり具合を判定する。 The cutting device 1 includes a control unit 50 that controls each component of the cutting device 1. The control unit 50 is electrically connected to each component of the cutting device 1 so as to be able to communicate information. The control unit 50 realizes a cutting process by the cutting device 1, a process for detecting the cutting blade 21, and a process for determining whether the protective cover 32 is closed. The control unit 50 cuts the workpiece 100 with the cutting blade 21 according to cutting conditions for the workpiece 100 input and set by an operator, for example. Further, the control unit 50 causes the cutting blade detection unit 30 to detect the cutting blade 21 according to the detection conditions for the cutting blade 21 input and set by the operator. Further, the control unit 50 determines the degree of closure of the protective cover 32 using the cutting blade detection unit 30 according to the conditions for determining the degree of closure of the protective cover 32 input and set by the operator.

制御部５０は、本実施形態では、コンピュータシステムを含む。制御部５０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実行して、制御部５０を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して切削装置１の各構成要素に出力する。演算処理装置は、オペレータから不図示の入力装置に入力された切削装置１の各処理の条件を、入出力インターフェース装置を介して受け付ける。 The control unit 50 includes a computer system in this embodiment. The control unit 50 includes an arithmetic processing unit having a microprocessor such as a CPU (Central Processing Unit), a storage device having a memory such as a ROM (Read Only Memory) or a RAM (Random Access Memory), and an input/output interface device. and has. The arithmetic processing device executes arithmetic processing according to a computer program stored in the storage device, and outputs control signals for controlling the control unit 50 to each component of the cutting device 1 via the input/output interface device. do. The arithmetic processing device receives conditions for each process of the cutting device 1 that are input from an operator to an input device (not shown) via an input/output interface device.

閉状態判定部５１、光電変換部５２、基準電圧設定部５３、電圧比較部５４、端部位置検出部５５、算出部５６及び位置補正部５７の各機能は、本実施形態では、上記した制御部５０の演算処理装置が記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムを実行することにより実現される。 In this embodiment, each function of the closed state determination section 51, the photoelectric conversion section 52, the reference voltage setting section 53, the voltage comparison section 54, the end position detection section 55, the calculation section 56, and the position correction section 57 is controlled by the above-described control. This is realized by the arithmetic processing unit of the unit 50 executing a computer program stored in a storage device.

以上のような構成を有する実施形態に係る切削装置１の動作について以下に説明する。切削装置１は、切削ブレード２１の切り刃２１－１の下端部２１－２の高さを検出するブレード検出動作を実施する際には、エアーシリンダで保護カバー３２を開放位置３２－２に位置付ける。切削装置１は、ブレード検出動作の完了後に、エアーシリンダで保護カバー３２を開放位置３２－２から遮蔽位置３２－１まで回転させた後、受光部３９の受光量に基づいて、保護カバー３２が遮蔽位置３２－１まで閉まったか否かを判定するカバー遮蔽判定動作を実施する。切削装置１は、保護カバー３２が遮蔽位置３２－１に位置付けられていると判定すると、被加工物１００の切削加工等を開始し、保護カバー３２が遮蔽位置３２－１に位置付けられていない即ち遮蔽位置３２－１よりも開放位置３２－２側に位置すると判定すると、被加工物１００の切削加工等を停止し、報知部４０からその旨の警告情報を報知する。 The operation of the cutting device 1 according to the embodiment having the above configuration will be described below. When the cutting device 1 performs a blade detection operation for detecting the height of the lower end 21-2 of the cutting blade 21-1 of the cutting blade 21, the protective cover 32 is positioned at the open position 32-2 using an air cylinder. . After the blade detection operation is completed, the cutting device 1 uses an air cylinder to rotate the protective cover 32 from the open position 32-2 to the shielded position 32-1, and then rotates the protective cover 32 based on the amount of light received by the light receiving section 39. A cover shielding determination operation is performed to determine whether the cover is closed to the shielding position 32-1. When the cutting device 1 determines that the protective cover 32 is positioned at the shielding position 32-1, it starts cutting etc. of the workpiece 100, and when it determines that the protective cover 32 is not positioned at the shielding position 32-1, i.e. If it is determined that the position is closer to the open position 32-2 than the shield position 32-1, cutting of the workpiece 100 is stopped, and the notification unit 40 notifies warning information to that effect.

切削装置１は、例えば、切削ブレード２１の消耗を考慮して、切削ブレード２１により所定の枚数の被加工物１００を切削するごとに、切削ブレード検出ユニット３０でブレード検出動作を実施する。ブレード検出動作では、切削装置１は、切削ブレード昇降部２３で切削ブレード２１の切り刃２１－１の下端部２１－２を徐々に溝部３１－３に侵入させていきながら、切削ブレード検出ユニット３０の発光部３８から受光部３９に向けて光を発生させ、光電変換部５２から受光部３９が受光した受光量に対応した電圧を電圧比較部５４に出力させる。 For example, in consideration of the wear and tear of the cutting blade 21, the cutting device 1 performs a blade detection operation with the cutting blade detection unit 30 every time a predetermined number of workpieces 100 are cut with the cutting blade 21. In the blade detection operation, the cutting device 1 gradually moves the lower end 21-2 of the cutting blade 21-1 of the cutting blade 21 into the groove 31-3 with the cutting blade elevating section 23, and the cutting blade detection unit 30 Light is generated from the light emitting section 38 toward the light receiving section 39, and a voltage corresponding to the amount of light received by the light receiving section 39 is outputted from the photoelectric conversion section 52 to the voltage comparing section 54.

図５は、図２の切削ブレード検出ユニット３０がブレード検出動作を実施したときに光電変換部５２から電圧比較部５４に出力される出力電圧のグラフの一例である。本実施形態では、光電変換部５２は、図５に示すように、受光率が１００％の時には５Ｖ（最大電圧）、受光率が０％の時には０Ｖ（最小電圧）の電圧を出力する。電圧比較部５４は、光電変換部５２からの出力電圧が基準電圧６１（本実施形態では、３Ｖ）に達したとき（図５に示すｔ＝ｔ１）、その旨の信号を端部位置検出部５５に出力する。 FIG. 5 is an example of a graph of the output voltage output from the photoelectric conversion section 52 to the voltage comparison section 54 when the cutting blade detection unit 30 of FIG. 2 performs a blade detection operation. In this embodiment, as shown in FIG. 5, the photoelectric conversion unit 52 outputs a voltage of 5V (maximum voltage) when the light reception rate is 100%, and outputs a voltage of 0V (minimum voltage) when the light reception rate is 0%. When the output voltage from the photoelectric conversion unit 52 reaches the reference voltage 61 (3V in this embodiment) (t=t1 shown in FIG. 5), the voltage comparison unit 54 sends a signal to that effect to the end position detection unit. 55.

端部位置検出部５５は、電圧比較部５４から上記信号が出力された時点（ｔ＝ｔ１）での切削ブレード昇降部２３から取得した切削ユニット２０のＺ軸方向における位置を、切削ブレード２１の切り刃２１－１の下端部２１－２の基準位置（原点位置）として検出し、検出した基準位置を算出部５６に出力する。算出部５６は、端部位置検出部５５によって検出された基準位置に基づいて、Ｚ軸方向の切削ブレード２１の切り刃２１－１の下端部２１－２の位置の補正量を算出する。位置補正部５７は、算出部５６によって算出された補正量に基づいて、切削ブレード昇降部２３で切削ブレード２１の切り刃２１－１の下端部２１－２のＺ軸方向の位置を補正する。算出部５６により補正量を算出し、位置補正部５７による切削ブレード２１の位置の補正がなされると、切削装置１によるブレード検出動作が完了する。 The end position detection section 55 detects the position of the cutting unit 20 in the Z-axis direction obtained from the cutting blade lifting section 23 at the time when the voltage comparison section 54 outputs the above-mentioned signal (t=t1). The lower end portion 21-2 of the cutting blade 21-1 is detected as a reference position (original position), and the detected reference position is output to the calculation unit 56. The calculation unit 56 calculates the amount of correction for the position of the lower end 21-2 of the cutting blade 21-1 of the cutting blade 21 in the Z-axis direction based on the reference position detected by the end position detection unit 55. The position correction unit 57 corrects the position of the lower end portion 21-2 of the cutting blade 21-1 of the cutting blade 21 in the cutting blade elevating unit 23 in the Z-axis direction based on the correction amount calculated by the calculation unit 56. When the calculation unit 56 calculates the correction amount and the position correction unit 57 corrects the position of the cutting blade 21, the blade detection operation by the cutting device 1 is completed.

切削装置１は、ブレード検出動作の完了後に、エアーシリンダで保護カバー３２を開放位置３２－２から遮蔽位置３２－１まで回転させた後、カバー遮蔽判定動作を実施する。カバー遮蔽判定動作では、切削装置１は、発光部３８から受光部３９に向けて光を発生させ、光電変換部５２から受光部３９が受光した受光量に対応した電圧を電圧比較部５４に出力させて、光電変換部５２から電圧比較部５４に出力される出力電圧に基づいて、保護カバー３２が遮蔽位置３２－１まで閉まったか否かを判定する。 After the blade detection operation is completed, the cutting device 1 uses an air cylinder to rotate the protective cover 32 from the open position 32-2 to the shielding position 32-1, and then performs the cover shielding determination operation. In the cover shielding determination operation, the cutting device 1 generates light from the light emitting section 38 toward the light receiving section 39, and outputs a voltage corresponding to the amount of light received by the light receiving section 39 from the photoelectric conversion section 52 to the voltage comparison section 54. Then, based on the output voltage output from the photoelectric conversion section 52 to the voltage comparison section 54, it is determined whether the protective cover 32 is closed to the shielding position 32-1.

図６は、図２の切削ブレード検出ユニット３０の保護カバー３２が上記した遮蔽位置３２－１まで閉まっている状態を示す断面図である。図７は、図６の状態でカバー遮蔽判定動作を実施したときに光電変換部５２から電圧比較部５４に出力される出力電圧のグラフの一例である。図８は、図２の切削ブレード検出ユニット３０の保護カバー３２が上記した遮蔽位置３２－１まで閉まっていない状態を示す断面図である。図９は、図８の状態でカバー遮蔽判定動作を実施したときに光電変換部５２から電圧比較部５４に出力される出力電圧のグラフの一例である。 FIG. 6 is a sectional view showing a state in which the protective cover 32 of the cutting blade detection unit 30 of FIG. 2 is closed to the above-mentioned shielding position 32-1. FIG. 7 is an example of a graph of the output voltage output from the photoelectric conversion section 52 to the voltage comparison section 54 when the cover shielding determination operation is performed in the state shown in FIG. FIG. 8 is a sectional view showing a state in which the protective cover 32 of the cutting blade detection unit 30 of FIG. 2 is not closed to the above-mentioned shielding position 32-1. FIG. 9 is an example of a graph of the output voltage output from the photoelectric conversion section 52 to the voltage comparison section 54 when the cover shielding determination operation is performed in the state shown in FIG.

図６に示すように保護カバー３２が上記した遮蔽位置３２－１まで閉まっている状態では、遮光部材３３は、発光部３８と受光部３９との間をちょうど完全に遮る。このため、切削装置１は、図６の状態でカバー遮蔽判定動作を実施すると、受光部３９の受光率が０％となり、図７に示すように、光電変換部５２から電圧比較部５４に出力される出力電圧は０Ｖ（最小電圧）となる。 As shown in FIG. 6, when the protective cover 32 is closed to the above-mentioned shielding position 32-1, the light shielding member 33 completely shields the space between the light emitting section 38 and the light receiving section 39. Therefore, when the cutting device 1 performs the cover shielding determination operation in the state shown in FIG. 6, the light reception rate of the light receiving section 39 becomes 0%, and as shown in FIG. The output voltage will be 0V (minimum voltage).

切削装置１は、例えば雰囲気中の切削屑の付着等により保護カバー３２の遮蔽位置３２－１と開放位置３２－２との間での回転移動の動作が不完全になってしまった場合、図８に示すように保護カバー３２が上記した遮蔽位置３２－１まで閉まらず、遮蔽位置３２－１よりも開放位置３２－２側に位置し、雰囲気中の切削屑等の侵入を許す隙間７１を生じさせてしまう。そして、切削装置１は、図８に示すように保護カバー３２が当該遮蔽位置３２－１まで閉まらない場合には、発光部３８と受光部３９との間において遮光部材３３によって遮られない領域７２を生じさせてしまう。 If the rotational movement of the protective cover 32 between the shielding position 32-1 and the open position 32-2 becomes incomplete due to, for example, adhesion of cutting debris in the atmosphere, the cutting device 1 will not operate as shown in the figure. As shown in FIG. 8, the protective cover 32 does not close to the shielding position 32-1 described above, and is located closer to the open position 32-2 than the shielding position 32-1, creating a gap 71 that allows cutting debris in the atmosphere to enter. cause it to occur. In the cutting device 1, when the protective cover 32 does not close to the shielding position 32-1 as shown in FIG. This will cause

このため、このため、切削装置１は、図８の状態でカバー遮蔽判定動作を実施すると、領域７２によって受光部３９の受光率が０％よりも大きな値となり、図９に示すように、光電変換部５２から電圧比較部５４に出力される出力電圧は０Ｖ（最小電圧）よりも大きな値の正電圧７３となる。 Therefore, when the cutting device 1 performs the cover shielding determination operation in the state shown in FIG. The output voltage output from the converter 52 to the voltage comparator 54 is a positive voltage 73 having a value larger than 0V (minimum voltage).

カバー遮蔽判定動作では、閉状態判定部５１として機能する電圧比較部５４は、光電変換部５２から電圧比較部５４に出力される出力電圧と閾値６２とを比較する。図６に示す状態では、この比較の結果、光電変換部５２からの出力電圧が０Ｖ（最小電圧）であり、閾値６２以下であるため、閉状態判定部５１として機能する電圧比較部５４は、保護カバー３２が上記した遮蔽位置３２－１まで閉まっていると判定する。また、図８に示す状態では、この比較の結果、光電変換部５２からの出力電圧が正電圧７３であり、閾値６２より大きいため、閉状態判定部５１として機能する電圧比較部５４は、保護カバー３２が当該遮蔽位置３２－１まで閉まっておらず、遮蔽位置３２－１よりも開放位置３２－２側に位置していると判定する。 In the cover shielding determination operation, the voltage comparison section 54 functioning as the closed state determination section 51 compares the output voltage output from the photoelectric conversion section 52 to the voltage comparison section 54 and the threshold value 62 . In the state shown in FIG. 6, as a result of this comparison, the output voltage from the photoelectric conversion unit 52 is 0V (minimum voltage), which is less than or equal to the threshold value 62. Therefore, the voltage comparison unit 54 functioning as the closed state determination unit 51 It is determined that the protective cover 32 is closed to the above-mentioned shielding position 32-1. Further, in the state shown in FIG. 8, as a result of this comparison, the output voltage from the photoelectric conversion section 52 is a positive voltage 73, which is larger than the threshold value 62, so the voltage comparison section 54 functioning as the closed state determination section 51 It is determined that the cover 32 is not closed to the shielding position 32-1 and is located closer to the open position 32-2 than the shielding position 32-1.

閉状態判定部５１として機能する電圧比較部５４は、保護カバー３２が上記した遮蔽位置３２－１まで閉まっていないと判定した場合、被加工物１００の切削加工等を停止し、この判定結果の旨の警告情報を報知部４０から報知させる。閉状態判定部５１として機能する電圧比較部５４により、保護カバー３２が遮蔽位置３２－１閉まったか否かを判定し、保護カバー３２が遮蔽位置３２－１まで閉まっていないと判定した場合に警告情報を報知部４０から報知させると、切削装置１によるカバー遮蔽判定動作が完了する。 When the voltage comparison unit 54 functioning as the closed state determination unit 51 determines that the protective cover 32 is not closed to the above-mentioned shielding position 32-1, it stops cutting the workpiece 100 and calculates the result of this determination. The notification unit 40 issues warning information to the effect. The voltage comparison unit 54 functioning as the closed state determination unit 51 determines whether the protective cover 32 is closed to the shielding position 32-1, and issues a warning if it is determined that the protective cover 32 is not closed to the shielding position 32-1. When the information is reported from the notification unit 40, the cover shielding determination operation by the cutting device 1 is completed.

以上のような構成を有する実施形態に係る切削装置１は、切削ブレード検出ユニット３０が、保護カバー３２に設置され、保護カバー３２が遮蔽位置３２－１に位置付けられると、発光部３８と受光部３９との間に挿入されて、発光部３８からの光を受ける受光部３９の受光量を減少させる遮光部材３３と、保護カバー３２を遮蔽位置３２－１に位置付けた際の受光部３９が受光した受光量と予め設定された閾値６２とを比較し、保護カバー３２がセンサー部３１を外部の空間から遮蔽する所定の位置まで閉まったか否かを判定する閉状態判定部５１と、を備える。このため、実施形態に係る切削装置１は、切削ブレード検出ユニット３０が持ち合わせている機能を活用して、新たにセンサーを設けることなく、切削ブレード検出ユニット３０を覆う保護カバー３２の閉まり具合を判定できるという作用効果を奏する。 In the cutting device 1 according to the embodiment having the above configuration, when the cutting blade detection unit 30 is installed on the protective cover 32 and the protective cover 32 is positioned at the shielding position 32-1, the light emitting part 38 and the light receiving part are connected to each other. A light blocking member 33 is inserted between the light emitting unit 39 and the light receiving unit 39 to reduce the amount of light received by the light receiving unit 39 that receives light from the light emitting unit 38. A closed state determining unit 51 compares the received light amount with a preset threshold value 62 and determines whether the protective cover 32 is closed to a predetermined position that shields the sensor unit 31 from the outside space. Therefore, the cutting device 1 according to the embodiment utilizes the functions of the cutting blade detection unit 30 to determine the degree of closure of the protective cover 32 that covers the cutting blade detection unit 30 without providing a new sensor. It has the effect of being able to do it.

また、実施形態に係る切削装置１は、閉状態判定部５１が、保護カバー３２がセンサー部３１を外部の空間から遮蔽する所定の位置まで閉まっていないと判定した場合に、被加工物１００の切削加工等を停止する。このため、実施形態に係る切削装置１は、発光部３８及び受光部３９に切削屑等の汚れが付着してしまうことを未然に防ぐことができるという作用効果を奏する。 Further, in the cutting device 1 according to the embodiment, when the closed state determining unit 51 determines that the protective cover 32 is not closed to a predetermined position that shields the sensor unit 31 from the external space, Stop cutting, etc. Therefore, the cutting device 1 according to the embodiment has the effect of being able to prevent dirt such as cutting debris from adhering to the light emitting section 38 and the light receiving section 39.

また、実施形態に係る切削装置１は、閉状態判定部５１が、保護カバー３２がセンサー部３１を外部の空間から遮蔽する所定の位置まで閉まっていないと判定した場合に、この判定結果の旨の警告情報を報知部４０から報知させる。このため、実施形態に係る切削装置１は、切削ブレード検出ユニット３０を覆う保護カバー３２の閉まり具合の判定結果を切削装置１のオペレータに速やかに認識させ、切削ブレード検出ユニット３０を覆う保護カバー３２の閉まり具合の改善措置をオペレータに促すことができるという作用効果を奏する。 Further, in the cutting device 1 according to the embodiment, when the closed state determining unit 51 determines that the protective cover 32 is not closed to a predetermined position that shields the sensor unit 31 from the outside space, the cutting device 1 is configured to provide an information about the determination result. The notification unit 40 broadcasts warning information. Therefore, the cutting device 1 according to the embodiment allows the operator of the cutting device 1 to quickly recognize the determination result of the closed state of the protective cover 32 that covers the cutting blade detection unit 30, and the protective cover 32 that covers the cutting blade detection unit 30 This has the effect of prompting the operator to take measures to improve the closing condition of the door.

また、実施形態に係る切削装置１は、保護カバー３２が遮蔽位置３２－１に位置付けられると、遮光部材３３の側面３３－１，３３－２がそれぞれ発光面３８－１及び受光面３９－１に密着する。このため、実施形態に係る切削装置１は、保護カバー３２が遮蔽位置３２－１に位置付けられたときに遮光部材３３が発光面３８－１及び受光面３９－１に密着することで、雰囲気中の切削屑等が発光面３８－１及び受光面３９－１に付着する可能性をさらに低減することができるという作用効果を奏する。 Further, in the cutting device 1 according to the embodiment, when the protective cover 32 is positioned at the shielding position 32-1, the side surfaces 33-1 and 33-2 of the light shielding member 33 are arranged as the light-emitting surface 38-1 and the light-receiving surface 39-1, respectively. closely adhere to. Therefore, in the cutting device 1 according to the embodiment, when the protective cover 32 is positioned at the shielding position 32-1, the light-shielding member 33 is in close contact with the light-emitting surface 38-1 and the light-receiving surface 39-1. This has the effect of further reducing the possibility that cutting debris and the like will adhere to the light emitting surface 38-1 and the light receiving surface 39-1.

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、上記実施形態では、切削装置１は、ブレード検出動作の完了後に、エアーシリンダで保護カバー３２を開放位置３２－２から遮蔽位置３２－１まで回転させた後、受光部３９の受光量に基づいて、カバー遮蔽判定動作を実施しているが、本発明では、保護カバー３２を遮蔽位置３２－１に位置付けた後に、例えば切削ユニット２０による被加工物１００の切削加工中に、定期的にカバー遮蔽判定動作を実施してもよい。このようにした場合、切削装置１は、保護カバー３２を一旦上記した遮蔽位置３２－１に位置付けた後で、例えば雰囲気中の切削屑の付着等に起因して、当該遮蔽位置３２－１から開放位置３２－２側に少し移動してしまって隙間７１を生じさせてしまうような場合に、保護カバー３２の閉まり具合に問題が生じていることを判定し、警告情報を報知することができる。 Note that the present invention is not limited to the above embodiments. That is, various modifications can be made without departing from the gist of the invention. For example, in the embodiment described above, after the blade detection operation is completed, the cutting device 1 rotates the protective cover 32 from the open position 32-2 to the shielding position 32-1 using the air cylinder, and then adjusts the amount of light received by the light receiving unit 39. However, in the present invention, after positioning the protective cover 32 at the shielding position 32-1, for example, during cutting of the workpiece 100 by the cutting unit 20, the cover shielding determination operation is performed periodically. A cover shielding determination operation may also be performed. In this case, after the protective cover 32 is once positioned at the above-mentioned shielding position 32-1, the cutting device 1 is moved from the shielding position 32-1 due to, for example, adhesion of cutting debris in the atmosphere. If the protective cover 32 moves a little toward the open position 32-2 and creates a gap 71, it can be determined that there is a problem with the way the protective cover 32 is closed, and warning information can be issued. .

１切削装置
１０チャックテーブル
２０切削ユニット
２１切削ブレード
３０切削ブレード検出ユニット
３１センサー部
３２保護カバー
３２－１遮蔽位置
３２－２開放位置
３３遮光部材
３８発光部
３８－１発光面
３９受光部
３９－１受光面
４０報知部
５０制御部
５１閉状態判定部
１００被加工物 1 Cutting device 10 Chuck table 20 Cutting unit 21 Cutting blade 30 Cutting blade detection unit 31 Sensor section 32 Protective cover 32-1 Shielding position 32-2 Open position 33 Light shielding member 38 Light emitting section 38-1 Light emitting surface 39 Light receiving section 39-1 Light receiving surface 40 Notification unit 50 Control unit 51 Closed state determination unit 100 Workpiece

Claims

A chuck table that holds a workpiece, a cutting unit that cuts the workpiece held on the chuck table with a cutting blade, a light emitting part, and a light receiving part that receives light from the light emitting part. a cutting blade detection unit that detects the tip position of the cutting blade based on the amount of light that is blocked by the cutting blade positioned between the light emitting part and the light receiving part; and a notification part that notifies warning information. Prepare,
The cutting blade detection unit includes:
a sensor section having the light emitting section and the light receiving section;
a protective cover that is selectively positioned at a shielding position that covers the sensor unit and shields the sensor unit from an external space, and an open position that exposes the sensor unit;
installed on the protective cover, and when the protective cover is positioned at the shielding position, is inserted between the light emitting section and the light receiving section to reduce the amount of light received by the light receiving section that receives light from the light emitting section A light shielding member;
Comparing the amount of light received when the protective cover is positioned at the shielding position with a preset threshold value, and determining whether the protective cover has closed to a predetermined position that shields the sensor section from the outside space. and a closed state determination unit that causes the notification unit to notify the warning information when it is determined that the protective cover is not closed to a predetermined position ,
The closed state determination section compares the amount of received light with a preset threshold value during cutting of the workpiece by the cutting unit, and determines whether the protective cover is in a predetermined state that shields the sensor section from an external space. A cutting device that determines whether it has closed to the position .

The cutting device according to claim 1, wherein the closed state determining section stops cutting the workpiece when determining that the protective cover is not closed to a predetermined position.

The light-emitting section includes a light-emitting surface, and the light-receiving section includes a light-receiving surface opposite to the light-emitting surface,
The cutting device according to claim 1 or 2, wherein the light shielding member is in close contact with the light emitting surface and the light receiving surface when positioned at the shielding position.