JP7449732B2 - 異常検知方法および搬送装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明に係る搬送装置の一実施形態となる印刷装置1の構成を示した図である。この印刷装置1は、長尺帯状の基材9を搬送しつつ、複数のヘッド21~24から基材9へ向けてインクの液滴を吐出することにより、基材9の表面に画像を印刷する装置である。基材9は、印刷用紙であってもよく、あるいは、樹脂製のフィルムであってもよい。また、基材9は、金属箔や、ガラス製の基材であってもよい。図1に示すように、印刷装置1は、搬送機構10、印刷部20、複数のセンサ30、画像取得部40、およびコンピュータ50を備えている。
図4は、上述したコンピュータ50の機能を、概念的に示したブロック図である。図4に示すように、コンピュータ50は、ずれ量実測部51、学習部52、制御部53、異常検知部54、影響度算出部55、および計測項目特定部56を有する。ずれ量実測部51、学習部52、制御部53、異常検知部54、影響度算出部55、および計測項目特定部56の各機能は、コンピュータ50のプロセッサ501が、コンピュータプログラムCPに従って動作することにより実現される。
続いて、上述した印刷装置1における学習処理、印刷処理、および異常検知処理について、詳細に説明する。図5は、学習処理、印刷処理、および異常検知処理の流れを示したフローチャートである。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではない。以下では、種々の変形例について、上記の実施形態との相違点を中心に説明する。
図7は、第1変形例に係る学習処理、印刷処理、および異常検知処理の流れを示したフローチャートである。図7の例では、ステップS6よりも前に、ステップS8を実行する。すなわち、異常検知部54が異常の有無を判定する前に、影響度算出部55が、複数の計測項目のそれぞれについて、更新前後の学習済みモデルMにおける影響度を算出する。このように、影響度算出部55は、異常の有無に関わらず、影響度の算出を行ってもよい。
図8は、本発明に係る搬送装置の他の実施形態となる描画装置2の斜視図である。この描画装置2は、基板Wを水平に移動させつつ、基板Wの上面に露光パターンを描画する装置である。図8に示すように、描画装置2は、搬送機構60、露光部70、複数のセンサ(図示省略)、レーザ干渉計80、およびコンピュータ90を備えている。
上記の実施形態では、センサ30の計測値D2を、教師あり学習用のモデルに、そのまま入力していた。また、上記の実施形態では、見当ずれ量の実測値D1も、そのまま教師データとして使用していた。しかしながら、センサ30の計測値D2は、所定の演算やフィルタ処理を行うことにより、機械学習に適した値に加工した上で、モデルに入力してもよい。また、見当ずれ量の実測値D1も、所定の演算やフィルタ処理を行うことより、機械学習に適した値に加工した上で、教師データとして使用してもよい。
2 描画装置
9 基材
10 搬送機構
11 巻き出し部
12 搬送ローラ
13 巻き取り部
20 印刷部
21 第1ヘッド
22 第2ヘッド
23 第3ヘッド
24 第4ヘッド
30 センサ
40 画像取得部
50 コンピュータ
51 ずれ量実測部
52 学習部
53 制御部
54 異常検知部
55 影響度算出部
56 計測項目特定部
60 搬送機構
61 主走査機構
62 副走査機構
63 ステージ
70 露光部
80 レーザ干渉計
90 コンピュータ
91 ずれ量実測部
92 学習部
93 制御部
94 異常検知部
95 影響度算出部
96 計測項目特定部
610 リニアモータ
D1 検討ずれ量の実測値
D2 センサの計測値
D3 ヨーイング角度の実測値
D4 センサの計測値
I 画像データ
M モデル
T テーブル
W 基板
Claims (8)
- 搬送装置における異常検知方法であって、
a)前記搬送装置に設けられた複数のセンサから得られる複数の計測項目の計測値を入力変数とし、目的変数の実測値を教師データとして、教師あり学習アルゴリズムによりモデルのパラメータを調整することにより、前記入力変数に対応する前記目的変数の推定値を出力する学習済みモデルを生成する工程と、
b)前記搬送装置を動作させつつ、前記複数のセンサから得られる複数の計測項目の計測値を入力変数とし、前記目的変数の実測値を教師データとして、前記教師あり学習アルゴリズムにより前記学習済みモデルの前記パラメータを調整することにより、前記学習済みモデルを更新する工程と、
c)前記複数の計測項目のそれぞれについて、更新前後の前記学習済みモデルにおける調整済みの前記パラメータに基づく影響度の変化を算出する工程と、
d)前記影響度の変化に基づいて、前記搬送装置の異常と関連する計測項目を特定する工程と、
を有する、異常検知方法。 - 請求項1に記載の異常検知方法であって、
前記工程d)では、他の計測項目よりも前記影響度の変化が大きい計測項目を、前記異常と関連する計測項目として特定する、異常検知方法。 - 請求項1または請求項2に記載の異常検知方法であって、
e)前記工程d)よりも前に、前記学習済みモデルから出力される前記目的変数の推定値が、正常範囲内であるか否かに基づいて、前記異常の有無を判定する工程
をさらに有し、
前記工程d)では、前記工程e)において前記異常があると判定された場合に、前記影響度の変化に基づいて、前記異常と関連する計測項目を特定する、異常検知方法。 - 請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の異常検知方法であって、
前記搬送装置は、長尺帯状の基材を所定の搬送経路に沿って長手方向に搬送しつつ、複数のヘッドから基材の表面にインクを吐出する印刷装置であり、
前記目的変数は、複数のヘッドによるインクの吐出位置の相互のずれ量である、異常検知方法。 - 搬送装置であって、
複数のセンサと、
前記複数のセンサから得られる複数の計測項目の計測値を入力変数とし、目的変数の実測値を教師データとして、教師あり学習アルゴリズムによりモデルのパラメータを調整することにより、前記入力変数に対応する前記目的変数の推定値を出力する学習済みモデルを生成および更新する学習部と、
前記複数の計測項目のそれぞれについて、更新前後の前記学習済みモデルにおける調整済みの前記パラメータから影響度を算出する影響度算出部と、
更新前後の前記学習済みモデルにおける前記影響度の変化に基づいて、前記搬送装置の異常と関連する計測項目を特定する計測項目特定部と、
を有する、搬送装置。 - 請求項5に記載の搬送装置であって、
前記計測項目特定部は、他の計測項目よりも前記影響度の変化が大きい計測項目を、前記異常と関連する計測項目として特定する、搬送装置。 - 請求項5または請求項6に記載の搬送装置であって、
前記学習済みモデルから出力される前記目的変数の推定値が、正常範囲内であるか否かに基づいて、前記異常の有無を判定する異常検知部
をさらに備え、
前記異常検知部が、前記異常があると判定した場合に、前記計測項目特定部は、前記影響度の変化に基づいて、前記異常と関連する計測項目を特定する、搬送装置。 - 請求項5から請求項7までのいずれか1項に記載の搬送装置であって、
長尺帯状の基材を所定の搬送経路に沿って長手方向に搬送する搬送機構と、
前記搬送機構により搬送される基材へ向けてインクを吐出する複数のヘッドと、
をさらに備え、
前記目的変数は、複数のヘッドによるインクの吐出位置の相互のずれ量である、搬送装置。
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