JP7449639B2 - フォトマスクの検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Description
フォトマスクの画像データを記憶する記憶部と、
フォトマスクの画像データから検査画像データを作成する検査画像データ作成部と、
検査画像データに係る検査画像を表示可能とする画像表示部とを備え、
検査画像データ作成部は、
フォトマスクの画像データをマトリクス状に分割する画像データ分割部と、
各分割画像データから、各分割画像に含まれるパターンの1つのエッジラインに対して当該エッジライン又はこのオフセットラインであって少なくとも2本以上のラインが用いられる図形データを含む単位検査画像データを作成する単位検査画像データ作成部と、
各単位検査画像データを統合して検査画像データを作成する単位検査画像データ統合部とを備える
フォトマスクの検査装置である。
フォトマスクの画像データをマトリクス状に分割し、各分割画像データから、各分割画像に含まれるパターンの1つのエッジラインに対して当該エッジライン又はこのオフセットラインであって少なくとも2本以上のラインが用いられる図形データを含む単位検査画像データを作成し、各単位検査画像データを統合して作成される検査画像データを用意し、
検査画像データに係る検査画像を表示し、パターンのエッジ部における誤差の有無を(目視又は装置で)検査する
フォトマスクの検査方法である。
単位検査画像データ作成部は、分割画像データから作成される第1中間データ、第1中間データにおけるパターンのエッジラインを第1オフセット量でパターンの外側にオフセットしたオフセットラインをエッジラインとする図形データを含む第2中間データ、及び、第1中間データにおけるパターンのエッジラインを第2オフセット量でパターンの内側にオフセットしたオフセットラインをエッジラインとする図形データを含む第3中間データ、の少なくとも2つの中間データを合成処理して単位検査画像データを作成する
との構成を採用することができる。
単位検査画像データ作成部は、第1中間データ、第2中間データ及び第3中間データの3つの中間データを合成処理して単位検査画像データを作成する
との構成を採用することができる。
第2オフセット量は、対象となるパターンの設計上の線幅の1/2より小さい量である
との構成を採用することができる。
第2オフセット量は、対象となるパターンの設計上の線幅の1/2以上の量である
との構成を採用することができる。
Claims (6)
- フォトマスクの画像データを記憶する記憶部と、
フォトマスクの画像データから検査画像データを作成する検査画像データ作成部と、
検査画像データに係る検査画像を表示可能とする画像表示部とを備え、
検査画像データ作成部は、
フォトマスクの画像データをマトリクス状に分割する画像データ分割部と、
各分割画像データから、各分割画像に含まれるパターンの1つのエッジラインに対して当該エッジライン又はこのオフセットラインであって少なくとも2本以上のラインが用いられる図形データを含む単位検査画像データを作成する単位検査画像データ作成部と、
各単位検査画像データを統合して検査画像データを作成する単位検査画像データ統合部とを備える
フォトマスクの検査装置。 - 単位検査画像データ作成部は、分割画像データから作成される第1中間データ、第1中間データにおけるパターンのエッジラインを第1オフセット量でパターンの外側にオフセットしたオフセットラインをエッジラインとする図形データを含む第2中間データ、及び、第1中間データにおけるパターンのエッジラインを第2オフセット量でパターンの内側にオフセットしたオフセットラインをエッジラインとする図形データを含む第3中間データ、の少なくとも2つの中間データを合成処理して単位検査画像データを作成する
請求項1に記載のフォトマスクの検査装置。 - 単位検査画像データ作成部は、第1中間データ、第2中間データ及び第3中間データの3つの中間データを合成処理して単位検査画像データを作成する
請求項2に記載のフォトマスクの検査装置。 - 第2オフセット量は、対象となるパターンの設計上の線幅の1/2より小さい量である
請求項2又は請求項3に記載のフォトマスクの検査装置。 - 第2オフセット量は、対象となるパターンの設計上の線幅の1/2以上の量である
請求項2又は請求項3に記載のフォトマスクの検査装置。 - フォトマスクの画像データをマトリクス状に分割し、各分割画像データから、各分割画像に含まれるパターンの1つのエッジラインに対して当該エッジライン又はこのオフセットラインであって少なくとも2本以上のラインが用いられる図形データを含む単位検査画像データを作成し、各単位検査画像データを統合して作成される検査画像データを用意し、
検査画像データに係る検査画像を表示し、パターンのエッジ部における誤差の有無を検査する
フォトマスクの検査方法。
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- 2020-05-15 JP JP2020086358A patent/JP7449639B2/ja active Active
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