JP7448609B2 - 光学検査装置、方法及びプログラム - Google Patents
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Description
まず、本実施形態に係る光学検査システム1の構成について、図面を参照して詳細に説明する。
以下、本実施形態に係る光学検査システム1について、図面を参照して詳細に説明する。ここでは、第1の実施形態との相違点について主に説明し、同一の部分については同一の符号を付してその説明を省略する。
以下、本実施形態に係る光学検査システム1について、図面を参照して詳細に説明する。ここでは、第2の実施形態との相違点について主に説明し、同一の部分については同一の符号を付してその説明を省略する。
以下、本実施形態に係る光学検査システム1について、図面を参照して詳細に説明する。ここでは、第1の実施形態との相違点について主に説明し、同一の部分については同一の符号を付してその説明を省略する。
第1の実施形態、第2の実施形態、第3の実施形態及び第4の実施形態において、物体側にテレセントリック性を有する光学装置20について説明したが、これに限らない。各々の実施形態に係る光学装置20は、少なくとも物体側にテレセントリック性を有していればよく、さらに像側にもテレセントリック性を有していてもよい。像側テレセントリック光学系では、出射瞳は無限遠の位置にあり、像空間で光軸と主光線とが平行である。つまり、各実施形態に係る光学系30は、何れかの波長の光線に対する両側テレセントリック光学系であってもよい。
Claims (11)
- 第1の波長の光線を通過させる第1の波長選択フィルターを有し、前記第1の波長の光線に対して物体側にテレセントリック性を有している第1の光学系と、
前記第1の波長とは異なる第2の波長の光線を通過させる第2の波長選択フィルターを有し、前記第1の波長選択フィルターと前記第2の波長選択フィルターとは共通のフィルターに配置され、前記第2の波長の光線に対して前記物体側に非テレセントリック性を有している第2の光学系と、
前記物体の物点から前記第1の光学系を通過した前記第1の波長の光線と、前記物点から前記第2の光学系を通過した前記第2の波長の光線とに基づいて、前記物体を撮像可能な撮像素子と、
前記撮像素子からの画像データをカラー分離して色毎の画像データを生成し、前記色毎の画像データに基づいて、前記物点における少なくとも前記第1の波長の光線と前記第2の波長の光線との各々の散乱角を算出する処理回路と、
を具備する光学検査装置。 - 前記第1の光学系及び前記第2の光学系は、前記第1の光学系の光軸上に配置され、前記第1の光学系及び前記第2の光学系により共有されている少なくとも1つのレンズを有する、請求項1に記載の光学検査装置。
- 前記第1の光学系の光軸と、前記第2の光学系の光軸とは同軸である、請求項2に記載の光学検査装置。
- 前記共通のフィルターは、第1のカラーフィルターである、請求項3に記載の光学検査装置。
- 前記第1のカラーフィルターは、前記共有されているレンズの焦点面に配置されている、請求項4に記載の光学検査装置。
- 前記第1のカラーフィルターにおいて、前記第1の波長選択フィルター及び前記第2の波長選択フィルターは、前記共有されているレンズの光軸に対して回転対称に配置されており、
前記第1の波長選択フィルターは、主光線が前記共有されているレンズの焦点を通る光線の光線経路上に配置されている、
請求項5に記載の光学検査装置。 - 前記第2の光学系は、前記第1の波長及び前記第2の波長とは異なる第3の波長の光線を通過させる第3の波長選択フィルターをさらに有し、
前記第3の波長選択フィルターは、前記第1の波長選択フィルター及び前記第2の波長選択フィルターとともに、前記共有されているレンズの光軸に対して回転対称に前記第1のカラーフィルターに配置されており、
前記第2の波長選択フィルターと前記第3の波長選択フィルターとは、前記第2の波長の光線が前記第2の波長選択フィルターに入射し、前記第2の波長の光線の散乱角度とは異なる散乱角度の前記第3の波長の光線が、前記第3の波長選択フィルターに入射するように配置されており、
前記撮像素子は、前記第2の光学系を通過した前記第3の波長の光線をさらに同軸で撮像可能である、
請求項6に記載の光学検査装置。 - 前記第1の光学系は、さらに像側にテレセントリック性を有する、請求項1乃至7のうち何れか1項に記載の光学検査装置。
- 前記第1の波長選択フィルターと前記第2の波長選択フィルターとは、前記共通のフィルターに回転対称に配置されている、請求項1に記載の光学検査装置。
- 物体の物点から第1の光学系を通過した第1の波長の光線と、前記物点から第2の光学系を通過し前記第1の波長とは異なる第2の波長の光線とを同時に撮像して画像データを取得し、
前記画像データをカラー分離して色毎の画像データを生成し、
前記色毎の画像データに基づいて、前記物点における少なくとも前記第1の波長の光線と前記第2の波長の光線との各々の散乱角を算出する、
光学検査方法であって、
前記第1の光学系は、前記第1の波長の光線を通過させる第1の波長選択フィルターを有し、前記第1の波長の光線に対して前記物体側にテレセントリック性を有し、
前記第2の光学系は、前記第1の波長とは異なる第2の波長の光線を通過させる第2の波長選択フィルターを有し、前記第1の波長選択フィルターと前記第2の波長選択フィルターとは共通のフィルターに配置され、前記第2の波長の光線に対して前記物体側に非テレセントリック性を有している、
光学検査方法。 - コンピュータに、
物体の物点から第1の光学系を通過した第1の波長の光線と、前記物点から第2の光学系を通過し前記第1の波長とは異なる第2の波長の光線とを同時に撮像して画像データを取得させる機能と、
前記画像データをカラー分離して色毎の画像データを生成させる機能と、
前記色毎の画像データに基づいて、前記物点における少なくとも前記第1の波長の光線と前記第2の波長の光線との各々の散乱角を算出させる機能と、
を実現させる光学検査プログラムであって、
前記第1の光学系は、前記第1の波長の光線を通過させる第1の波長選択フィルターを有し、前記第1の波長の光線に対して前記物体側にテレセントリック性を有し、
前記第2の光学系は、前記第1の波長とは異なる第2の波長の光線を通過させる第2の波長選択フィルターを有し、前記第1の波長選択フィルターと前記第2の波長選択フィルターとは共通のフィルターに配置され、前記第2の波長の光線に対して前記物体側に非テレセントリック性を有している、
光学検査プログラム。
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