JP7448136B2 - ベーパチャンバ - Google Patents
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Images
Description
平板状の第1の部材と平板状の第2の部材とを平板状の中間板を介在させて貼り合わせることにより形成され、内部に冷媒が封入された封止空間を有し、前記第2の部材の一部に冷却対象が配置される配置部が設けられたベーパチャンバであって、
前記封止空間として、前記第1の部材と前記中間板との間の第1の空間と、前記第2の部材と前記中間板との間の第2の空間とを有し、
前記中間板の前記配置部に対向する部分に、前記冷却対象から前記配置部を介して伝えられた熱を奪って蒸気化した冷媒を、前記第2の空間から前記第1の空間に送る連通部が形成され、
前記第1の空間には、前記連通部から送られた蒸気化した冷媒を次第に凝縮させながら前記中間板の面方向に送る蒸気流路が形成され、
前記中間板には、前記蒸気流路で凝縮した冷媒を、毛細管現象により前記第1の空間から前記第2の空間に送る第1の毛細管流路が形成され、
前記第2の空間には、前記第1の毛細管流路から送られた凝縮した冷媒を前記配置部に送る第2の毛細管流路が形成されており、
前記連通部では、
前記第2の空間と前記第1の空間とを連通する第1の貫通孔が前記中間板に2次元配列されており、
前記第1の貫通孔では、前記第1の空間側の孔の大きさの方が前記第2の空間側の孔の大きさよりも大きくなっている。
前記中間板に2次元配列され、前記第1の空間と前記第2の空間とを連通し、毛細管現象により、凝縮した冷媒を前記第1の空間から前記第2の空間に送る第2の貫通孔を有する、
こととしてもよい。
こととしてもよい。
こととしてもよい。
こととしてもよい。
こととしてもよい。
こととしてもよい。
こととしてもよい。
こととしてもよい。
ことしてもよい。
こととしてもよい。
こととしてもよい。
前記第1の保持部が、前記蒸気流路及び前記第1の毛細管流路の一部を形成している、
こととしてもよい。
前記第2の保持部が、前記第2の毛細管流路を形成している、
こととしてもよい。
本実施の形態に係るベーパチャンバ1は、縦置きにもできる。ベーパチャンバ1を縦置き、すなわち面方向を重力方向とした場合でも、例えば、図7に示すように、第2の毛細管流路14は、重力に逆らって冷媒5を送ることができるので、図1(C)に示すような冷媒5の循環経路を実現することができる。
Claims (14)
- 平板状の第1の部材と平板状の第2の部材とを平板状の中間板を介在させて貼り合わせることにより形成され、内部に冷媒が封入された封止空間を有し、前記第2の部材の一部に冷却対象が配置される配置部が設けられたベーパチャンバであって、
前記封止空間として、前記第1の部材と前記中間板との間の第1の空間と、前記第2の部材と前記中間板との間の第2の空間とを有し、
前記中間板の前記配置部に対向する部分に、前記冷却対象から前記配置部を介して伝えられた熱を奪って蒸気化した冷媒を、前記第2の空間から前記第1の空間に送る連通部が形成され、
前記第1の空間には、前記連通部から送られた蒸気化した冷媒を次第に凝縮させながら前記中間板の面方向に送る蒸気流路が形成され、
前記中間板には、前記蒸気流路で凝縮した冷媒を、毛細管現象により前記第1の空間から前記第2の空間に送る第1の毛細管流路が形成され、
前記第2の空間には、前記第1の毛細管流路から送られた凝縮した冷媒を前記配置部に送る第2の毛細管流路が形成されており、
前記連通部では、
前記第2の空間と前記第1の空間とを連通する第1の貫通孔が前記中間板に2次元配列されており、
前記第1の貫通孔では、前記第1の空間側の孔の大きさの方が前記第2の空間側の孔の大きさよりも大きくなっている、
ベーパチャンバ。 - 前記第1の毛細管流路は、
前記中間板に2次元配列され、前記第1の空間と前記第2の空間とを連通し、毛細管現象により、凝縮した冷媒を前記第1の空間から前記第2の空間に送る第2の貫通孔を有する、
請求項1に記載のベーパチャンバ。 - 前記蒸気流路として、前記連通部から離れる方向に延びる不連続な壁により前記中間板の面方向に仕切られた複数の蒸気流路が形成されている、
請求項1又は2に記載のベーパチャンバ。 - 前記壁の間が、前記第1の毛細管流路の一部を形成する、
請求項3に記載のベーパチャンバ。 - 前記壁は、前記中間板の面方向に沿って2次元配列された第1の突起によって形成され、前記第1の突起の間が前記第1の毛細管流路の一部を形成する、
請求項4に記載のベーパチャンバ。 - 前記第1の突起は、前記中間板と前記第1の部材との間隔を保持する、
請求項5に記載のベーパチャンバ。 - 前記第2の毛細管流路は、前記中間板の面方向に沿って延び、互いに交差する複数の流路によって形成されている、
請求項1から6のいずれか一項に記載のベーパチャンバ。 - 前記第2の毛細管流路は、前記中間板の面方向に沿って格子状に延びている、
請求項7に記載のベーパチャンバ。 - 前記第2の毛細管流路は、前記中間板の面方向に沿って2次元配列された第2の突起間に形成されている、
請求項8に記載のベーパチャンバ。 - 前記第2の突起は、前記中間板と前記第2の部材との間隔を保持する、
請求項9に記載のベーパチャンバ。 - 前記第1の空間を構成する凹部と、前記蒸気流路及び前記第1の毛細管流路の一部を形成する部材とが、前記中間板又は前記第1の部材に形成されている、
請求項1に記載のベーパチャンバ。 - 前記第2の空間を構成する凹部と、前記第2の毛細管流路の一部を形成する部材とが、前記中間板又は前記第2の部材に形成されている、
請求項1又は11に記載のベーパチャンバ。 - 前記第1の空間では、前記第1の部材と前記中間板との間隔を保持する第1の保持部が、2次元配列されており、
前記第1の保持部が、前記蒸気流路及び前記第1の毛細管流路の一部を形成している、
請求項1に記載のベーパチャンバ。 - 前記第2の空間では、前記第2の部材と前記中間板との間隔を保持する第2の保持部が、2次元配列されており、
前記第2の保持部が、前記第2の毛細管流路を形成している、
請求項1又は13に記載のベーパチャンバ。
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